KR20040099260A - 반도체 처리 장치에 있어서의 포트 구조 - Google Patents
반도체 처리 장치에 있어서의 포트 구조 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (11)
- 반도체 처리 장치에 대해 피처리 기판을 반출입하기 위한 포트 구조이며,상기 장치의 외부측 영역과 내부측 영역을 구획하는 동시에, 상기 피처리 기판을 통과시키는 포트를 갖는 격벽과,상기 포트를 개폐하도록 상기 격벽에 배치된 도어와,상기 외부측 영역 내에서 상기 포트를 향해 배치되며, 복수매의 피처리 기판을 다단으로 수용하는 캐리어 용기를 상기 캐리어 용기의 입구부와 상기 포트가 대향하는 상태에서 적재하도록 형성되는 적재부와,상기 적재부의 상방에 배치되며, 상기 캐리어 용기 상으로부터 상기 캐리어 용기를 상기 적재부에 대해 압박하는 압박 부재와,상기 압박 부재를 상기 캐리어 용기와 결합하는 하측 위치와, 상기 캐리어 용기의 이동과 간섭하지 않는 상측 위치 사이에서 이동시키는 구동부를 구비하는 포트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 구동부는 상기 압박 부재를 수평한 축의 주위로 회전시킴으로써 상기 하측 위치와 상기 상측 위치 사이에서 이동시키는 포트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 상측 위치에 있어서 상기 압박 부재는 상기 격벽에 따라서 기립하는 포트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 캐리어 용기는 그 상부에 형성된 오목부를 구비하고, 상기 압박 부재는 상기 오목부와 결합하는 볼록부를 구비하는 포트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 적재부에는 상기 캐리어 용기와 결합하여 상기 캐리어 용기를 위치 결정하는 위치 결정 부재가 배치되는 포트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 캐리어 용기는 그 바닥부에 형성된 결합 오목부를 구비하고, 상기 적재부에는 상기 적재부에 대해 이동함으로써 상기 결합 오목부와 선택적으로 결합하는 결합 부재가 배치되는 포트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 캐리어 용기의 상기 입구부가 상기 포트 상에 배치된 상태에 있어서 상기 캐리어 용기에 대해 청정 가스의 공급과 배기를 행하는 가스 공급부 및 배기부를 더 구비하는 포트 구조.
- 제7항에 있어서, 상기 격벽 및 상기 도어는 상기 캐리어 용기의 상기 입구부가 상기 포트 상에 배치된 상태에 있어서 상기 도어와 상기 입구부 사이에 버퍼 공간이 형성되도록 배치되어 상기 버퍼 공간에 상기 가스 공급부와 상기 배기부가 접속되는 포트 구조.
- 제7항에 있어서, 상기 도어, 상기 가스 공급부 및 상기 배기부를 제어하는 제어부를 더 구비하고, 상기 제어부는 상기 도어를 폐쇄한 상태에 있어서 상기 가스 공급부와 상기 배기부에 의해 상기 캐리어 용기 내를 상기 청정 가스에 의해 치환하는 포트 구조.
- 제9항에 있어서, 상기 캐리어 용기는 상기 입구부를 개폐하는 덮개 부재를 더 구비하고, 상기 도어는 상기 외부측 영역과 상기 내부측 영역을 기밀하게 구획한 상태에 있어서 상기 덮개 부재를 상기 캐리어 용기에 대해 착탈하는 착탈 디바이스를 구비하는 포트 구조.
- 제10항에 있어서, 상기 착탈 디바이스는 상기 제어부에 의해 상기 도어, 상기 가스 공급부 및 상기 배기부와 함께 제어되는 포트 구조.
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