KR102372513B1 - Fims 시스템 - Google Patents

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장혁진
조선희
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주식회사 위존
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 담긴 웨이퍼를 청정환경 하에서 공정 간에 투입하는 FIMS 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 공정장치측과의 연계적인 접속을 위한 설비 본체, 풉 세팅과 전후진 작동을 위한 스테이지 유니트, 풉 개방을 위한 이중 도어 유니트 등을 포함함과 더불어 청정 환경과 완벽한 기밀 환경을 조성하면서 풉 내의 웨이퍼를 반도체 가공 장치측으로 투입하는 새로운 타입의 FIMS 시스템을 구현함으로써, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 투입의 안정성과 고품질의 수율을 확보할 수 있는 등 전반적으로 반도체 제조 설비와 반도체 제조 공정을 효율적으로 운용할 수 있는 한편, 풉 내부의 퍼지 시 설비 본체의 내부에 N2 유로를 형성함과 더불어 도어 한쪽 측면부에서 N2 가스를 분사한 후에 도어 다른 한쪽 측하단부에서 N2 가스를 배출시키는 새로운 퍼지 방식을 구현함으로써, 풉의 규격이나 사양, N2 포트의 위치 등에 관계없이 모든 풉에 공용으로 사용할 수 있고, 또 설비 본체의 도어측에 풉을 밀착 고정시킬 때 풉 탑 그립을 이용하여 풉의 상부를 눌러주면서 고정시키는 방식을 적용함으로써, 풉이 뒤로 밀리는 것을 방지할 수 있는 등 풉의 안정적이고 긴밀한 고정상태를 확보할 수 있으며, 또 FIMS 설비에 대한 품질 검사를 위해 리크 테스트(Leak test)를 실시할 때, 실제 리크 테스트 환경을 조성하면서 자체적으로 리크 테스트를 실시할 수 있는 새로운 셀프 리크 테스트 장치를 구현함으로써, 리크 테스트에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있고, 정확하고 효율적인 리크 테스트 품질을 얻을 수 있는 FIMS 시스템을 제공한다.

Description

FIMS 시스템{FIMS system}
본 발명은 FIMS 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 캐리어에 담긴 웨이퍼를 청정환경 하에서 공정 간에 투입하는 FIMS 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 FIMS 시스템(Front opening Interface Mechanical Standard system)은 웨어퍼 캐리어(FOUP)에 포함되어 있는 웨이퍼를 청정 환경과 기밀 환경이 유지되어 있는 조건에서 소정의 공정으로 투입하는 시스템이다.
이러한 FIMS 시스템은 웨이퍼 및/또는 웨이퍼 카세트를 저장 및 운반하는데 사용되는 작은 부피의 밀봉된 풉, 반도체 가공 장치에 놓여져 노출된 웨이퍼 및/또는 웨이퍼 카세트가 반도체 가공 장치의 내부 안팎으로 운반되는 용도의 소규모의 깨끗한 공간을 제공할 목적으로 반도체 가공 장치에 놓여 있는 입출력 초소형 클린룸 장치, 웨이퍼 및/또는 웨이퍼 카세트를 입자에 노출시키지 않고 풉과 크린룸 장치 사이에서 운반하기 위한 인터페이스 등을 포함한다.
보통 반도체 제조라인에서 웨이퍼를 풉과 반도체 가공 장치 사이에서 운반하기 위하여, 풉은 수동 또는 자동으로 스테이지 유니트 상에 적재되며, 그 다음 스테이지 유니트 상의 풉은 반도체 가공 장치 쪽으로 전진된다.
그리고, 풉이 전진한 후에 풉 도어의 잠금이 풀리면서 풉 내부가 오픈되며, 이 상태에서 웨이퍼가 속해 있는 풉의 내부 공간과 반도체 가공 장치의 내부 공간의 환경은 주변과 격리되면서 깨끗하게 유지된다.
그 다음으로, 상기 반도체 가공 장치 내부의 웨이퍼 조작 로봇은 풉 내부에서 지지되는 특정의 웨이퍼에 접근하여 풉과 반도체 가공 장지 사이에서 운반할 수 있다.
이와 같은 FIMS 시스템은 공개특허공보 제10-2003-0031115호, 공개특허공보 제10-2006-0061935호, 공개특허공보 제10-2012-0119679호, 공개특허공보 제10-2013-0063256호, 공개특허공보 제10-2013-0068831호 등에 다양한 것들이 개시되어 있다.
그러나, 종래의 FIMS 시스템은 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 공정과 공정 간에 웨이퍼를 풉에 수납하는 경우 어느 정도 시간이 경과하면, 외부의 산소나 오염 물질이 침투하여 웨이퍼 상에 자연 산화막이 형성되면서 불량 웨이퍼 발생의 원인이 된다.
따라서, 후속 공정으로 웨이퍼를 투입하기 전에 풉의 일측에 형성된 가스 공급구로 질소 등의 불활성 가스를 주입하고, 다른 일측에 형성된 가스 배기구로 산소 등의 오염 물질을 배출시키도록 하고 있는데, 이러한 풉으로의 불활성 가스 주입에 의한 국부 청정방법은 퍼징 타임이 오래 소요될 뿐만 아니라, 풉으로 주입되는 불활성 가스들끼리 부딪혀 풉 내에서 불활성 가스들끼리 부딪혀 난류를 일으키면서 불활성 가스의 주입 및 배출이 원활하지 못하는 등 오염 물질이 잘 배출되지 않으며, 풉의 규격마다 국부 청정방법이 달라 공정이 지연되고 또 다양한 종류의 모든 풉에 공용으로 사용할 수 없는 등의 문제점이 있다.
둘째, 스테이지 상의 풉을 설비 본체 상의 도어측에 밀착시킨 후, 양편의 엣지 클램프로 풉의 상단 측면을 고정시키는 방식인 관계로 풉 밀착부위의 전체 둘레에 걸쳐 완벽한 기밀 상태를 유지하는데 어려움이 있다.
셋째, FIMS 설비 제작 후, 품질 검사를 위해 리크 테스트(Leak test)를 실시하게 되는데, 이때 대부분은 리크 테스트 장비를 갖춘 외부 업체로 FIMS 설비를 보내서 리크 테스트를 받기 때문에 시간적으로나 비용적인 측면에서 비효율적이다.
공개특허공보 제10-2003-0031115호 공개특허공보 제10-2006-0061935호 공개특허공보 제10-2012-0119679호 공개특허공보 제10-2013-0063256호 공개특허공보 제10-2013-0068831호
따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 반도체 공정장치측과의 연계적인 접속을 위한 설비 본체, 풉 세팅과 전후진 작동을 위한 스테이지 유니트, 풉 개방을 위한 이중 도어 유니트 등을 포함함과 더불어 청정 환경과 완벽한 기밀 환경을 조성하면서 풉 내의 웨이퍼를 반도체 가공 장치측으로 투입하는 새로운 타입의 FIMS 시스템을 구현함으로써, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 투입의 안정성과 고품질의 수율을 확보할 수 있는 등 전반적으로 반도체 제조 설비와 반도체 제조 공정을 효율적으로 운용할 수 있는 FIMS 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 풉 내부의 퍼지 시 설비 본체의 내부에 N2 유로를 형성함과 더불어 도어 한쪽 측면부에서 N2 가스를 분사한 후에 도어 다른 한쪽 측하단부에서 N2 가스를 배출시키는 새로운 퍼지 방식을 구현함으로써, N2 포트 위치나 높이 등이 다른 다양한 규격이나 사양의 풉에 관계없이 모든 종류의 풉에 공용으로 사용할 수 있는 FIMS 시스템을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 설비 본체의 도어측에 풉을 밀착 고정시킬 때 풉 탑 그립 유니트를 이용하여 풉의 상부를 눌러주면서 고정시키는 방식을 적용함으로써, 풉이 뒤로 밀리는 것을 방지할 수 있는 등 풉의 안정적이고 긴밀한 고정상태를 확보할 수 있는 FIMS 시스템을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 FIMS 설비에 대한 품질 검사를 위해 리크 테스트(Leak test)를 실시할 때, 실제 리크 테스트 환경을 조성하면서 자체적으로 리크 테스트를 실시할 수 있는 새로운 셀프 리크 테스트 유니트를 구현함으로써, 리크 테스트에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있고, 정확하고 효율적인 리크 테스트 품질을 얻을 수 있는 FIMS 시스템을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제공하는 FIMS 시스템은 다음과 같은 특징이 있다.
상기 FIMS 시스템은 상부 일측에 풉과 통하는 도어를 갖춘 설비 본체와, 상기 설비 본체의 전면에서 도어의 하단부에 설치되어 풉을 받쳐줌과 더불어 풉을 전후진시키면서 도어측으로 붙여주고 도어측으로부터 떨어뜨려주는 스테이지 유니트와, 상기 설비 본체의 후면에 전후 이동이 가능한 구조로 설치되어 풉 도어를 열어주거나 닫아주는 내부 도어 및 외부 도어의 조합으로 구성되는 이중 도어 유니트와, 상기 풉의 내부가 열려있는 상태에서 N2 가스를 분사하여 풉 내부를 퍼지하는 N2 퍼지 유니트와, 상기 설비 본체의 전면에 설치되어 풉을 고정시켜주는 풉 탑 그립 유니트를 포함하는 구조로 이루어진다.
특히, 상기 FIMS 시스템의 N2 퍼지 유니트는 설비 본체의 내부를 따라 형성되는 N2 유로와, 상기 N2 유로와 연결되는 동시에 도어의 한쪽 측면부를 따라 나란하게 수직 설치되어 도어 영역에 N2 커튼을 조성하면서 N2 가스를 분사하는 N2 디퓨저와, 상기 N2 디퓨저가 설치되어 있는 위치의 맞은편에서 도어의 하단부에 형성되어 N2 가스를 배출시키는 N2 가스 배출구로 구성되어, 풉의 규격이나 사양에 관계없이 모든 풉에 대해 N2 퍼지를 실시할 수 있는 것이 특징이다.
여기서, 상기 풉 탑 그립 유니트는 설비 본체의 전면 상단부에 설치되는 실린더 브라켓과, 상기 실린더 브라켓의 전면에 설치되는 업다운 실린더와, 상기 업다운 실린더의 로드에 결합됨과 더불어 실린더 브라켓에 있는 LM 가이드에 의한 안내를 받으면서 상하 작동하는 LM 플레이트와, 상기 LM 플레이트의 저면에 설치되어 풉의 상면부를 눌러서 고정시켜주는 핸들링 플레이트를 포함할 수 있다.
이때, 상기 풉 탑 그립 유니트의 핸들링 플레이는 풉의 상면부에 있는 탑 핸들링 플레이트의 중앙부에 끼워지면서 눌러주는 중심 가압부와 탑 핸들링 플레이트의 외곽부를 눌러주는 외곽 가압부를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 FIMS 시스템은 설비 본체의 전면부에서 도어의 양편에 설치되어 풉의 양편을 눌러서 고정시켜주는 한쌍의 엣지 클램프를 더 포함할 수 있다.
바람직한 실시예로서, 상기 이중 도어 유니트는 내부 도어의 전후진 작동을 위해 동력을 제공하는 수단으로서, 외부 도어의 한쪽 측면부에 설치되는 내부 도어 베이스와, 상기 내부 도어 베이스 상에 설치되면서 내부 도어를 움직여주는 내부 도어 실린더와, 상기 내부 도어 베이스와 내부 도어의 측면 사이에 개재되어 내부 도어의 움직임을 안내하는 내부 도어 LM장치로 구성되는 내부 도어 구동부를 더 포함할 수 있다.
바람직한 실시예로서, 상기 FIMS 시스템은 설비 본체의 후면부를 감싸면서 밀폐시켜주는 동시에 공간을 조성하는 구조로 설치되는 사각 케이스 형태의 커버와, 상기 커버를 설비 본체측에 고정시켜주는 체결 장치와, 상기 커버의 내부에 테스트 가스를 공급 및 배출하기 위하여 커버의 일측과 다른 일측에 각각 설치되는 인렛 포트 및 아웃렛 포트와, 상기 테스트 가스의 공급과 배출을 제어함과 더불어 커버의 내부 압력을 감지한 후에 이를 출력하는 컨트롤 박스로 구성되는 셀프 리크 테스트 유니트를 더 포함하라 수 있으며, 따라서 FIMS 시스템은 FIMS 설비에 대한 품질 검사를 위해 리크 테스트를 실시할 때, 실제 리크 테스트 환경을 조성하면서 자체적으로 리크 테스트를 실시할 수 있는 특징이 있다.
본 발명에서 제공하는 FIMS 시스템은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 반도체 공정장치측과의 연계적인 접속을 위한 설비 본체, 풉 세팅과 전후진 작동을 위한 스테이지 유니트, 풉 개방을 위한 이중 도어 유니트 등을 포함하는 FIMS 시스템을 이용하여 청정 환경과 완벽한 기밀 환경을 조성하면서 풉 내의 웨이퍼를 반도체 가공 장치측으로 투입하는 방식을 적용함으로써, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 투입의 안정성과 고품질의 수율을 확보할 수 있는 등 전반적으로 반도체 제조 설비와 반도체 제조 공정을 효율적으로 운용할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 풉 내부의 퍼지 시 설비 본체의 내부에 N2 유로를 형성하고, 도어 한쪽 측면부에서 N2 가스를 분사하여 도어 다른 한쪽 측하단부에서 N2 가스를 배출시키는 새로운 퍼지 방식을 적용함으로써, 풉의 규격이나 사양, N2 포트의 위치 등에 관계없이 모든 풉에 공용으로 사용할 수 있는 효과가 있다.
셋째, 설비 본체의 도어측에 풉이 도킹한 상태에서 풉 탑 그립 유니트를 이용하여 풉의 상부면 중심부와 외곽부를 동시에 눌러주면서 고정시키는 방식을 적용함으로써, 풉이 뒤로 밀리는 것을 방지할 수 있는 등 풉의 안정적이고 긴밀한 고정상태를 확보할 수 있는 효과가 있다.
넷째, FIMS 설비에 대한 품질 검사를 위해 리크 테스트(Leak test)를 실시할 때, 실제 리크 테스트 환경을 조성하면서 자체적으로 리크 테스트를 실시할 수 있는 셀프 리크 테스트 유니트를 적용함으로써, 공장에서 FIMS 설비 제작은 물론 리크 테스트까지 일괄적으로 실시할 수 있는 등 리크 테스트에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있고, 정확하고 효율적인 리크 테스트 품질을 얻을 수 있는 효과가 있다.
도 1과 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 전체 구조를 나타내는 사시도
도 3 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 이중 도어 유니트를 나타내는 사시도와 단면도
도 9와 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 N2 퍼지 유니트를 나타내는 사시도와 정면도
도 11 내지 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 풉 탑 그립 유니트를 나타내는 사시도, 평면도, 측면도 및 정면도
도 16 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 셀프 리크 테스트 유니트를 나타내는 사시도
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1과 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 전체 구조를 나타내는 사시도이다.
도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 FIMS 시스템은 상부 일측에 풉과 통하는 도어(10)를 갖춘 설비 본체(11)를 포함한다.
상기 설비 본체(11)는 프레임 구조물(미도시) 상에 지지되는 플레이트 조합형 구조로서, 이러한 설비 본체(11)의 전면부에는 도어(10)가 설치되고, 이렇게 설치되는 도어(10)는 사각형의 관통 구조로 이루어져 이곳을 통해 풉(12)의 내부가 반도체 가공 장치측과 통할 수 있게 된다.
이와 같은 설비 본체(11)의 전면에는 도어(10)의 아래쪽으로 스테이지 유니트(13)는 물론 그 옆쪽으로 대기 영역이 각각 설치되며, 이때의 대기 영역에 놓여져 있는 풉(12)이 로봇 등에 의해 스테이지 유니트(13) 상에 로딩되면, 웨이퍼 투입을 위한 공정 처리가 진행될 수 있게 된다.
그리고, 상기 설비 본체(11)의 후면부에는 이중 도어 유니트(15)가 설치되며, 이때의 이중 도어 유니트(15)는 설비 본체(11)의 후면부에서 도어(10)의 옆쪽으로 설치되는 도어 LM 가이드(34)과 볼/스크류, 실린더 등과 같은 액추에이터(35)에 의해 좌우로 작동되면서 도어 영역에 위치되거나 도어 영역을 벗어난 옆쪽 영역에 위치될 수 있게 된다.
이와 더불어, 상기 설비 본체(11)의 전면부 하단에는 컨트롤 박스(32)가 설치되며, 이러한 컨트롤 박스(32)는 스테이지 유니트(13), 이중 도어 유니트(15), N2 퍼지 유니트(16), 풉 탑 그립 유니트(17), 셀프 리크 테스트 유니트(33) 등을 출력 제어하는 역할을 하게 된다.
한편, 상기 설비 본체(11)의 전면에는 풉(12)의 로딩을 위한 스테이지 유니트(13)가 설치되며, 이러한 스테이지 유니트(13)는 도어(10)의 하단부에 수평 설치되어 풉(12)을 지지하는 동시에 이때의 풉(12)을 전후진시키면서 도어(10)측으로 붙여주거나 도어(10)측으로부터 떨어뜨려주는 역할을 하게 된다.
이를 위하여, 상기 스테이지 유니트(13)는 풉(12)을 받쳐주는 스테이지 플레이트(36), 스테이지 플레이트(36)를 전진 및 후진시켜주는 스테이지 실린더(37), 전후진 안내를 위한 스테이지 LM 가이드(38) 등을 포함하며, 이러한 스테이지 유니트(13)는 일반 FIMS 시스템에서 채택하고 있는 스테이지 유니트와 유사하므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
그리고, 상기 설비 본체(11)의 후면에는 풉(12)의 풉 도어(14)를 열어주거나 닫아주는 역할을 하는 이중 도어 유니트(15)가 설치된다.
이러한 이중 도어 유니트(15)는 내부 도어(15a) 및 외부 도어(15b)의 조합으로 구성되며, 이때의 이중 도어 유니트(15)는 설비 본체(11)의 플레이트와 나란한 수직 자세를 취하면서 설비 본체(11)의 후면에 설치되어 있는 도어 LM 가이드(34)에 의해 지지되는 동시에 액추에이터(35)의 작동 시 좌우로 이동하면서 도어 영역 또는 도어 영역을 벗어난 아래쪽 영역에 각각 위치될 수 있게 된다.
또한, 상기 설비 본체(11)는 도어(10)측에 밀착되어 있는 풉(12)을 고정시켜주는 수단으로 풉 탑 그립 유니트(17) 및/또는 한쌍의 엣지 클램프(미도시)를 포함하며, 이때의 풉 탑 그립 유니트(17)에 대해서는 뒤에서 상세히 설명하기로 한다.
상기 한쌍의 엣지 클램프는 설비 본체(11)의 전면부에서 도어(10)의 양편에 각각 설치되며, 이렇게 설치되는 엣지 클램프는 풉(12)의 상단부 양쪽 측면을 눌러서 고정시켜주게 된다.
이를 위하여, 상기 엣지 클램프는 실린더(미도시), 실린더 도그(미도시), 샤프트(미도시) 및 엣지 쿠션(미도시)으로 구성되며, 실린더의 후진 작동에 의해 풉(12)측으로 움직이는 엣지 쿠션을 이용하여 풉(12)을 고정시켜줄 수 있게 되고, 실린더의 전진 작동에 의해 엣지 쿠션이 풉(12)측에서 떨어짐으로써 풉(12)을 해제시켜줄 수 있게 된다.
도 3 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 이중 도어 유니트를 나타내는 사시도와 단면도이다.
도 3 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 이중 도어 유니트(15)는 풉(12)의 풉 도어(14)를 열어주거나 닫아주는 역할은 물론, 풉 도어(14)를 도어 영역에서 벗어나게 하여 풉(12) 내부를 개방시켜주는 역할을 하게 된다.
이를 위하여, 상기 이중 도어 유니트(15)는 내부 도어(15a) 및 외부 도어(15b)의 조합으로 구성되며, 이때의 내부 도어(15a)는 외부 도어(15b)의 내측에 형합되는 구조로 배치된다.
상기 내부 도어(15a)는 사각의 플레이트 형태로서, 전면의 대각선 양측으로는 풉 도어(14)를 흡착하여 잡아줄 수 있는 진공 패드(39)가 각각 설치되는 동시에 좌우 양편으로는 풉 도어(14)의 록킹 장치(미도시)를 풀어주거나 다시 잠궈줄 수 있는 래치(40)가 각각 설치된다.
그리고, 상기 진공 패드(39)는 진공 배관(미도시)측과 연결되어 진공압을 제공받을 수 있게 되고, 상기 각 래치(40)는 캠 플레이트(41)를 매개로 각각의 래치 실린더(42)의 로드에 연결되어 래치 실린더(42)의 작동 시 회전되면서 풉 도어(14)를 열거나 닫아줄 수 있게 된다.
여기서, 수평 자세로 위아래에 나란하게 설치되는 래치 실린더(42), 래치 작동을 위한 캠 플레이트(41) 등은 내부 도어(15a)에 형성되는 홈 내에 수용된 후에 커버(43)에 의해 마감되면서 외부로 노출되지 않게 되고, 커버 바깥쪽으로 진공 패드(39)와 래치(40)만이 노출될 수 있게 된다.
이러한 내부 도어(15a)는 외부 도어(15b)의 내측에 설치되어 내부 도어 구동부(27)에 의해 전후진 작동되면서 풉 도어(14)측으로 접근하거나 풉 도어(14)측으로부터 떨어질 수 있게 된다.
이를 위하여, 상기 이중 도어 유니트(15)는 내부 도어(15a)의 전후진 작동을 위해 동력을 제공하는 수단으로 내부 도어 구동부(27)를 포함한다.
상기 내부 도어 구동부(27)는 내부 도어 베이스(27a), 내부 도어 실린더(27b), 내부 도어 LM장치(27c)로 구성된다.
상기 내부 도어 베이스(27a)는 사각판 형태로서, 외부 도어(15b)의 한쪽 측면부에 설치되고, 상기 내부 도어 실린더(27b)는 내부 도어 베이스(27a)의 안쪽면에 상하 중간 높이에서 수평 자세로 설치되는 동시에 이때의 내부 도어 실린더(27a)의 로드는 내부 도어(15a)의 측단부에 연결된다.
그리고, 상기 내부 도어 LM장치(27c)는 한 쌍으로 이루어지면서 레일 부분은 내부 도어 베이스(27a)측에 설치되는 동시에 슬라이더 부분은 내부 도어(15a)에 설치되어 있는 내부 도어 브라켓(27d)측과 결합된다.
이에 따라, 상기 내부 도어 실린더(27b)의 전후진 작동에 의해 내부 도어(15a)는 앞쪽으로 이동하여 풉 도어(14)측에 근접된 후에 진동 패드(39)와 래치(40)를 이용하여 풉 도어(14)를 열어주거나, 풉 도어(14)를 취부한 후에 뒤쪽으로 물러날 수 있게 된다.
이렇게 내부 도어(15a)의 전후진 작동을 위한 내부 도어 구동부(27)를 한 쪽 측면으로 배치한 구조를 채택함으로써, 내부 도어 센터 부분의 공간 활용도를 높일 수 있는 이점이 있다.
상기 외부 도어(15b)는 사각의 틀 형태로서, 내부 도어(15a)를 내측으로 수용함과 더불어 설비 본체(11)측에 설치되는 사각틀 형태의 이중 도어 프레임(50)의 내측으로 수용되어 지지되는 구조로 설치된다.
즉, 상기 이중 도어 프레임(50)은 설비 본체(11)에 설치되어 있는 도어 LM 가이드(34) 상에 지지되는 구조로 설치되고, 이렇게 설치되는 이중 도어 프레임(50)의 내측에 외부 도어(15b)가 지지되는 구조로 설치될 수 있게 된다.
이러한 외부 도어(15b)는 전후 이동하면서 설비 본체(11)의 후면부에 밀착되어 도어(10)의 둘레를 막아주거나, 설비 본체(11)의 후면부로부터 떨어진 상태로 좌우로 이동할 수 있게 된다.
이를 위하여, 상기 외부 도어(15b)의 상단부와 하단부에는 각각 2개씩의 도어 실린더(44) 및 볼 스플라인(45)이 설치되며, 이때의 도어 실린더(44)의 실린더 몸체는 이중 도어 프레임(50)측에 연결되는 동시에 실린더 로드는 외부 도어(15b)에 설치되는 로드 브라켓(51)에 연결되고, 상기 볼 스플라인(45)은 이중 도어 프레임(50)측과 외부 도어(15b) 사이에 개재되어 외부 도어(15b)의 전후 이동을 안내할 수 있게 된다.
이에 따라, 상기 도어 실린더(44)의 전진 작동 시 외부 도어(15b)는 앞쪽으로 이동하여 설비 본체(11)측에 붙을 수 있게 되고, 도어 실린더(44)의 후진 작동 시 외부 도어(15b)는 설비 본체(11)측으로부터 떨어질 수 있게 된다.
그리고, 상기 외부 도어(15b)의 전면에는 가장자리 둘레를 따라서 실링용 O-링(46)이 설치되며, 이때의 실링용 O-링(46)은 도어(10)의 가장자리 둘레의 설비 본체(11)의 후면에 밀착되면서 도어(10)의 가장자리 둘레의 설비 본체(11)의 전면에 밀착되는 풉(12)의 내부 기밀상태를 유지시켜주는 역할을 하게 된다.
바람직한 실시예로서, 상기 실링용 O-링(46)은 실리콘 패드(경도 Shore25)로 이루어지게 되며, 이러한 실링용 O-링(46)은 기본 발포 실리콘 패드(경도 Shore45)에 비해 우수한 압착성능을 발휘할 수 있기 때문에 기밀 확보에 유리한 점이 있다.
따라서, 상기 풉(12)의 풉 도어(14)를 오픈하는 경우, 도어 실린더(44)의 전진 작동에 의해 이중 도어 유니트(15)의 외부 도어(15b)가 도어(10)의 둘레에 밀착된 상태에서 내부 도어 구동부(27)의 전진 작동에 의해 내부 도어(15a)가 전진하게 되고, 내부 도어(15a)의 진공 패드(39)가 풉 도어(14)에 밀착됨과 동시에 래치(40)가 풉 도어(14)의 록킹 장치에 체결되며, 진공압 작용으로 진공 패드(39)가 풉 도어(14)를 흡착함과 동시에 래치 실린더(42)의 작동에 의해 래치(40)가 록킹 장치를 해제하게 된다.
계속해서, 상기 내부 도어 구동부(27)의 후진 작동에 의해 풉 도어(14)를 잡고 있는 내부 도어(15a)가 후진하게 되고, 계속해서 도어 실린더(44)의 후진 작동에 의해 외부 도어(15b)가 설비 본체(11)측으로부터 떨어진 상태에서 풉 도어(14)를 포함하는 내외부 도어(15a,15b) 전체가 액추에이터(35)의 작동에 의해 도어 영역을 벗어나 옆쪽으로 이동하게 됨으로써, 풉(12)의 내부가 개방되면서 그 속에 있는 웨이퍼가 로봇 등에 의해 반도체 가공 장치측으로 투입될 수 있게 된다.
도 9와 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 N2 퍼지 유니트를 나타내는 사시도와 정면도이다.
도 9와 도 10에 도시한 바와 같이, 상기 N2 퍼지 유니트(16)는 풉(12)의 내부가 열려있는 상태에서 N2 가스를 분사하여 풉 내부를 퍼지하는 역할을 하게 된다.
이를 위하여, 상기 N2 퍼지 유니트(16)는 N2 가스의 분사를 위한 N2 디퓨저(19)와 N2 가스의 배출을 위한 N2 가스 배출구(20)를 포함한다.
상기 N2 디퓨저(19)는 도어(10)의 한쪽 측면부, 즉 도어(10)를 이루는 사각형 개구부의 한쪽 측벽부를 따라 나란하게 수직 설치되며, 이렇게 설치되는 N2 디퓨저(19)는 도어 영역에 N2 커튼을 조성하면서 N2 가스를 분사하게 된다.
이와 더불어, 상기 N2 가스 배출구(20)는 N2 디퓨저(19)가 설치되어 있는 위치의 맞은편에서 도어(10)의 하단부, 즉 도어(10)를 이루는 사각형 개구부의 다른 한쪽 측벽과 이웃하는 아래쪽 바닥부에 형성된다.
이때, 상기 N2 디퓨저(19)는 길다란 바 형태로서, 도어(10)의 개구부 측벽부의 상하 전체 구간에 걸쳐 설치되고, 이렇게 설치되는 N2 디퓨저(19)로부터 분사되는 N2 가스는 도어(10)의 개구부 전체 공간을 수직으로 차단하는 에어 커튼(N2 커튼)의 형태를 이루게 되며, 이에 따라 에어 커튼이 만들어내는 차단벽에 의해 풉(12)의 내부 영역과 설비 본체(11)의 후면부 공간 영역이 격리될 수 있게 되고, 결국 N2 퍼지 시에 풉(12) 내의 오염물질은 반도체 가공 장치 등이 속해 있는 설비 본체 후면부의 공간 영역으로 새어나가지 않고 N2 가스 배출구(20)를 통해 유도된 후에 N2 배출 덕트(47)를 거쳐 밖으로 배출될 수 있게 된다.
그리고, 상기 설비 본체(11)의 내부에는 N2 유로(18)가 형성되며, 이때의 N2 유로(18)는 외부의 N2 가스 공급원(미도시)측과 연결되는 동시에 N2 디퓨저(19)측과도 연결된다.
이에 따라, N2 가스 공급원으로부터 공급되는 N2 가스는 N2 유로(18)를 거쳐서 N2 디퓨저(19)를 통해 도어 영역으로 분사될 수 있게 된다.
이렇게 N2 퍼지 유니트(16)가 설비 본체(11)의 도어(10)측에 구비됨으로써 풉의 규격이나 사양에 관계없이 모든 풉에 대해 N2 퍼지를 실시할 수 있는 장점이 있다.
예를 들면, 기본 방식은 스테이지 유니트측에 설치되어 있는 N2 노즐을 통하여 N2 가스를 흐르게 하는 방식인데, 이 경우 각 풉 메이커마다 N2 포트 위치가 다르며 높이 또한 다르기 때문에 하나의 FIMS 시스템에서는 이에 맞는 하나의 풉만을 사용해야 하는 한계가 있으며, 이와 달리 본 발명의 설비 본체 사이드 퍼지 방식은 설비 본체 내부에 N2 유로를 가공하여 풉 내부로 N2 가스를 흐르게 하는 방식이므로, 모든 풉에 공용으로 사용할 수 있는 장점이 있다.
여기서, 미설명 부호 48은 차압 센서를 장착할 수 있는 차압 센서 포트이고, 49는 O2농도 센서를 장착할 수 있는 O2 농도 센서 포트를 나타낸다.
이에 따라, 상기 풉(12)이 설비 본체(11)의 전면부에서 도어(10)측에 밀착됨과 더불어 내외부 도어(15a,15b)에 의해 풉 도어(14)가 열려서 풉(12)의 내부가 개방된 상태에서, N2 가스 공급원으로부터 N2 가스가 공급되면, 이때의 N2 가스는 N2 유로(18)를 거쳐서 N2 디퓨저(19)를 통해 도어 영역으로 분사되고, 계속해서 N2 가스는 풉 내부의 오염물질과 함께 N2 가스 배출구(20)로 빠져나가게 됨으로써, 풉 내부에 대한 N2 퍼지가 완료된다.
도 11 내지 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 풉 탑 그립 유니트를 나타내는 사시도, 평면도, 측면도 및 정면도이다.
도 11 내지 도 15에 도시한 바와 같이, 상기 풉 탑 그립 유니트(17)는 설비 본체(11)의 도어(10)에 밀착되어 있는 상태의 풉(12)을 고정시켜주는 역할을 하게 된다.
이를 위하여, 상기 풉 탑 그립 유니트(17)는 유니트 전체를 지지하는 역할의 실린더 브라켓(21), 동력을 제공하는 역할의 업다운 실린더(22), 핸들링 플레이트(25)를 지지하는 역할의 LM 플레이트(24), 풉(12)을 눌러주는 역할의 핸들링 플레이트(25)를 포함한다.
상기 실린더 브라켓(21)은 설비 본체(11)의 전면 상단부, 예를 들면 설비 본체(11)에 있는 도어(10)의 바로 윗쪽에 설치되며, 이렇게 설치되는 실린더 브라켓(21)의 전면 양편에는 LM 가이드(23)가 각각 설치된다.
상기 업다운 실린더(22)는 실린더 브라켓(21)의 전면 일측, 즉 양쪽의 LM 가이드(23)의 사이 위치에 로드를 아래로 한 수직 자세로 설치된다.
상기 LM 플레이트(24)는 수직판과 수평판의 조합으로 이루어진 "ㄴ"자 형태의 플레이트로서, 수직판을 통해 LM 가이드(23)에 지지됨과 더불어 수평판을 통해 업다운 실린더(22)의 로드에 결합되는 구조로 설치된다.
이에 따라, 상기 업다운 실린더(22)의 전후진 작동 시 LM 플레이트(24)는 LM 가이드(23)의 안내를 받으면서 상승 또는 하강 작동할 수 있게 된다.
상기 핸들링 플레이트(25)는 실질적으로 풉(12)의 상면부를 눌러주는 수단으로서, LM 플레이트(24)의 저면에 나란하게 고정되는 구조로 설치된다.
특히, 상기 핸들링 플레이트(25)는 직사각판 형태의 외곽 가압부(25b)와 원판 형태의 중심 가압부(25a)의 일체형으로 이루어지게 되며, 이때의 중심 가압부(25a)는 외곽 가압부(25b)의 전단부 길이 중간에서 앞쪽으로 돌출되는 상태로 형성될 수 있게 된다.
이러한 핸들링 플레이트(25)의 중심 가압부(25a)와 외곽 가압부(25b)는 풉(12)의 상면부에 있는 탑 핸들링 플레이트(26)의 중앙부와 외곽부 뒷부분을 동시에 눌러줄 수 있게 된다.
이때, 상기 중심 가압부(25a)는 탑 핸들링 플레이트(26)의 중심부에 있는 요홈부위에 끼워지면서 눌러주게 됨으로써 풉(12)은 균형있게 안정적으로 고정될 수 있게 된다.
이렇게 핸들링 플레이트(25)의 중심 가압부(25a)와 외곽 가압부(25b)가 중심부 및 외곽부 2곳을 동시에 눌러주게 됨과 더불어 중심 가압부(25a)가 풉(12)의 중심을 잡아주게 되고 또 외곽 가압부(25b)가 풉(12)의 무게중심 앞쪽(중심에서 도어쪽으로 치우친 쪽)을 잡아주게 됨으로써, 풉(12)은 도어(10)측에 도킹한 상태에서 뒤쪽으로 밀리지 않고 안정적으로 정위치를 고수할 수 있게 된다.
이와 더불어, 상기 풉 탑 그립 유니트(17)는 풉(12)의 상단부 양쪽 측면을 눌러서 고정시켜주는 엣지 클램프와는 달리, 풉(12)의 상면부를 눌러서 고정시키는 타입으로 이루어짐으로써, 풉(12)의 규격이나 사양, 크기, 종류 등에 관계없이 다양한 형태의 풉(12)에 모두 적용할 수 있는 이점이 있다.
따라서, 상기 풉(12)이 도어(10)측에 도킹하면, 업다운 실린더(22)가 전진 작동하게 되고, 이와 동시에 LM 플레이트(24) 및 핸들링 플레이트(25)가 하강하게 되며, 계속해서 핸들링 플레이트(25)가 풉(12)의 상면을 눌러주게 됨으로써, 풉(12)은 도킹 상태를 유지하면서 안정적으로 고정될 수 있게 된다.
도 16 내지 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 FIMS 시스템의 셀프 리크 테스트 유니트를 나타내는 사시도이다.
도 16 내지 도 18에 도시한 바와 같이, 상기 셀프 리크 테스트 유니트(33)는 FIMS 설비 제작 후에 품질 검사를 위해 자체적으로 리크 테스트(Leak test)를 가능하게 해주는 역할을 하게 된다.
이를 위하여, 상기 셀프 리크 테스트 유니트(33)는 소정의 밀폐된 공간을 조성하는 커버(28)와, 테스트 가스, 예를 들면 99.999%의 고순도 질소와 같은 테스트 가스의 주입과 배출을 위한 인렛 포트(30) 및 아웃렛 포트(31)와, 리크 테스트의 전체 진행 과정을 관장하는 컨트롤 박스(32)는 물론, 부수적으로 차압 센서(미도시), O2 농도 센서(미도시) 등을 포함한다.
상기 커버(28)는 사각 케이스 형태로서 설비 본체(11)의 후면부 전체, 예를 들면 설비 본체(11)의 수직 프레임 후면 전체를 감싸면서 풉 내부 공간을 비롯하여 도어(10)의 후면쪽 공간을 밀페시키는 구조로 설치된다.
이에 따라, 상기 설비 본체(11)의 후면부 전체가 커버(28)에 의해 마감됨으로써, 풉(12)의 내부는 실질적으로 반도체 가공 장치측으로 웨이퍼의 투입이 이루어지는 환경과 동일한 환경 속에 놓이게 된다.
이러한 커버(28)는 볼트 등과 같은 체결 장치(미도시)에 의해 설비 본체(11)측에 다수 곳이 고정되는 구조로 설치될 수 있게 되며, 이때의 설비 본체(11)측과 커버(28)측 간의 밀착부위에는 기밀을 위한 실링 패드(미도시)가 개재될 수 있게 된다.
상기 인렛 포트(30)와 아웃렛 포트(31)는 커버(28)의 일측과 다른 일측에 각각 설치되며, 인렛 포트(30)측과 아웃렛 포트(31)측으로 각각 연결되는 튜브(미도시)에 의해 커버(28)의 내부에는 테스트 가스가 공급될 수 있게 되고 또 테스트 가스가 배출될 수 있게 된다.
상기 컨트롤 박스(32)는 테스트 가스의 공급과 배출을 위한 솔레노이드 밸브(미도시)를 제어하는 역할, 커버(28)의 내부 압력을 감지한 후에 이를 출력하여 디스플레이하는 역할 등을 하게 된다.
따라서, FIMS 설비 제작 후, 풉(12)을 도어(10)측에 도킹함과 더불어 이중 도어 유니트(13)를 옆으로 이동시켜 도어(10)를 개방한 상태에서, 설비 본체(11)의 후면부에 커버(28)를 설치하고, 인렛 포트(30)와 아웃렛 포트(31)에 테스트 가스 공급원(미도시)으로부터 연장되는 각각의 튜브를 연결한 다음, 컨트롤 박스(32)의 테스트 ON 스위치(미도시)를 조작하면, 커버(28)의 내부로 테스트 가스가 주입된다.
계속해서, 상기 컨트롤 박스(32)는 커버(28) 내부의 압력을 차압 센서 등으로 감지한 후, 이를 컨트롤 박스(32)에 있는 디스플레이창(미도시)에 디스플레이하면, 작업자는 이때의 표시되는 수치를 확인하고 기 설정 수치와 비교하는 것으로 리크 여부를 판단할 수 있게 된다.
이와 같이, FIMS 설비에 대한 품질 검사를 위해 자체적으로 리크 테스트(Leak test)를 실시할 수 있으므로, 공장에서 FIMS 설비 제작은 물론 리크 테스트까지 일괄적으로 실시할 수 있으며, 따라서 리크 테스트에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있음은 물론, 보다 정확하고 효율적인 리크 테스트 품질을 얻을 수 있게 된다.
따라서, 이와 같이 구성되는 FIMS 시스템의 작동 상태를 살펴보면 다음과 같다.
여기서는 FIMS 시스템을 이용하여 풉(12)에 들어 있는 웨이퍼(미도시)를 반도체 가공 장치측으로 투입하는 과정을 보여준다.
1) 설비 본체(11)의 스테이지 유니트(13)의 옆에 있는 대기 영역에 풉(12)을 투입한다.
2) FTR 로봇(미도시)을 이용하여 대기 영역에 있는 풉(12)을 스테이지 유니트(13)에 로딩한다.
3) 스테이지 유니트(13)를 작동시켜서 풉(12)을 도어(10)측으로 전진시킨다.
4) 풉(12)이 도어(10)측에 도킹되면 풀 탑 그립 유니트(17)를 작동시키거나 및/또는 엣지 클램프(27)를 작동시켜서 풉(12)을 고정시킨다.
5) 이중 도어 유니트(15)의 외부 도어(15b)를 전진시켜서 설비 본체(11)의 후면부 도어 둘레를 밀폐시킨 상태에서, 내부 도어(15a)를 전진시킨 후에 래치(40)를 작동시켜서(예컨대, 래치를 90°작동시켜서 풉 도어(14)의 잠금을 해제한다.
6) 진공 패드(39)를 이용하여 잠금이 해제되어 있는 풉 도어(14)를 흡착한다.
7) 풉 도어(14)를 잡고 있는 내부 도어(15a)를 후진시킨 상태에서 N2 퍼지 유니트(16)를 작동시켜서 풉(12)의 내부를 퍼지하여 풉(12) 내의 오염물질을 배출시킨다.
8) 이중 도어 유니트(15)의 외부 도어(15b)를 후진시켜서 설비 본체(11)의 후면부 도어 둘레로부터 떨어뜨린 상태에서, 풉 도어(14)를 포함하는 이중 도어 유니트(15) 전체를 옆으로 이동시켜서 풉(12)의 내부를 개방하고, 풉(12)의 내부에 탑재되어 있는 웨이퍼가 노출되도록 한다.
9) WTR 로봇이 풉(12)의 내부에 있는 웨이퍼를 후속 공정인 보틀 등으로 이송시킴으로써, 웨이퍼 투입 공정을 완료할 수 있고, 풉(12)의 언로딩 과정은 위의 역순으로 진행한다.
이와 같이, 본 발명에서는 청정 환경과 기밀 환경을 조성하면서 풉 내의 웨이퍼를 반도체 가공 장치측으로 투입하는 새로운 FIMS 시스템을 제공함으로써, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 투입의 안정성과 고품질의 수율을 확보할 수 있는 등 전반적으로 반도체 제조 설비와 반도체 제조 공정을 효율적으로 운용할 수 있고, 설비 본체의 도어측에서 N2 퍼지를 실시할 수 있는 새로운 퍼지 방식을 적용하여 풉의 규격이나 사양, N2 포트의 위치 등에 관계없이 모든 풉에 공용으로 사용할 수 있고, 풉의 상부를 눌러서 고정시키는 방식을 적용하여 풉의 안정적이고 긴밀한 고정상태를 확보할 수 있고, 자체적으로 FIMS 설비에 대한 리크 테스트를 실시할 수 있어 리크 테스트에 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
10 : 도어 11 : 설비 본체
12 : 풉 13 : 스테이지 유니트
14 : 풉 도어 15 : 이중 도어 유니트
15a : 내부 도어 15b : 외부 도어
16 : N2 퍼지 유니트 17 : 풉 탑 그립 유니트
18 : N2 유로 19 : N2 디퓨저
20 : N2 가스 배출구 21 : 실린더 브라켓
22 : 업다운 실린더 23 : LM 가이드
24 : LM 플레이트 25 : 핸들링 플레이트
25a : 중심 가압부 25b : 외곽 가압부
26 : 탑 핸들링 플레이트 27 : 내부 도어 구동부
28 : 커버
30 : 인렛 포트 31 : 아웃렛 포트
32 : 컨트롤 박스 33 : 셀프 리크 테스트 유니트
34 : 도어 LM 가이드 35 : 액추에이터
36 : 스테이지 플레이트 37 : 스테이지 실린더
38 : 스테이지 LM 가이드 39 : 진공 패드
40 : 래치 41 : 캠 플레이트
42 : 래치 실린더 43 : 커버
44 : 도어 실린더 45 : 볼 스플라인
46 : 실링용 O-링 47 : N2 배출 덕트
48 : 차압 센서 포트 49 : O2 농도 센서 포트
50 : 이중 도어 프레임 51 : 로드 브라켓

Claims (5)

  1. 상부 일측에 풉과 통하는 도어(10)를 갖춘 설비 본체(11)와, 상기 설비 본체(11)의 전면에서 도어(10)의 하단부에 설치되어 풉(12)을 받쳐줌과 더불어 풉(12)을 전후진시키면서 도어(10)측으로 붙여주고 도어(10)측으로부터 떨어뜨려주는 스테이지 유니트(13)와, 상기 설비 본체(11)의 후면에 좌우 이동이 가능한 구조로 설치되어 풉 도어(14)를 열어주거나 닫아주는 내부 도어(15a) 및 외부 도어(15b)의 조합으로 구성되는 이중 도어 유니트(15)와, 상기 풉(12)의 내부가 열려있는 상태에서 N2 가스를 분사하여 풉 내부를 퍼지하는 N2 퍼지 유니트(16)와, 상기 설비 본체(11)의 전면에 설치되어 풉(12)을 고정시켜주는 풉 탑 그립 유니트(17)를 포함하며,
    상기 N2 퍼지 유니트(16)는 설비 본체(11)의 내부를 따라 형성되는 N2 유로(18)와, 상기 N2 유로(18)와 연결되는 동시에 도어(10)의 한쪽 측면부를 따라 나란하게 수직 설치되어 도어 영역에 N2 커튼을 조성하면서 N2 가스를 분사하는 N2 디퓨저(19)와, 상기 N2 디퓨저(19)가 설치되어 있는 위치의 맞은편에서 도어(10)의 하단부에 형성되어 N2 가스를 배출시키는 N2 가스 배출구(20)로 구성되어, 풉의 규격이나 사양에 관계없이 모든 풉에 대해 N2 퍼지를 실시할 수 있으며,
    상기 풉 탑 그립 유니트(17)는 설비 본체(11)의 전면 상단부에 설치되는 실린더 브라켓(21)과, 상기 실린더 브라켓(21)의 전면에 설치되는 업다운 실린더(22)와, 상기 업다운 실린더(22)의 로드에 결합됨과 더불어 실린더 브라켓(21)에 있는 LM 가이드(23)에 의한 안내를 받으면서 상하 작동하는 LM 플레이트(24)와, 상기 LM 플레이트(24)의 저면에 설치되어 풉(12)의 상면부를 눌러서 고정시켜주는 핸들링 플레이트(25)를 포함하며,
    상기 풉 탑 그립 유니트(17)의 핸들링 플레이트(25)는 풉(12)의 상면부에 있는 탑 핸들링 플레이트(26)의 중앙부에 끼워지면서 눌러주는 원판 형태의 중심 가압부(25a)와 탑 핸들링 플레이트(26)의 외곽부를 눌러주는 직사각판 형태의 외곽 가압부(25b)를 포함하되, 중심 가압부(25a)는 외곽 가압부(25b)의 전단부 길이 중간에서 앞쪽으로 돌출되는 상태로 형성되어, 핸들링 플레이트(25)의 중심 가압부(25a)와 외곽 가압부(25b)가, 중심부 및 외곽부, 2곳을 동시에 눌러주게 됨과 더불어 외곽 가압부(25b)가 풉(12)의 무게중심 앞쪽인 풉(12) 중심에서 도어(10)측으로 치우친 쪽을 잡아주게 됨으로써, 풉(12)은 도어(10)측에 도킹한 상태에서 뒤쪽으로 밀리지 않고 안정적으로 정위치를 고수할 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 FIMS 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 이중 도어 유니트(15)는 내부 도어(15a)의 전후진 작동을 위해 동력을 제공하는 수단으로서, 외부 도어(15b)의 한쪽 측면부에 설치되는 내부 도어 베이스(27a)와, 상기 내부 도어 베이스(27a) 상에 설치되면서 내부 도어(15a)를 움직여주는 내부 도어 실린더(27b)와, 상기 내부 도어 베이스(27a)와 내부 도어(15a)의 측면 사이에 개재되어 내부 도어(15a)의 움직임을 안내하는 내부 도어 LM장치(27c)로 구성되는 내부 도어 구동부(27)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 설비 본체(11)의 후면부를 감싸면서 밀폐시켜주는 동시에 공간을 조성하는 구조로 설치되는 사각 케이스 형태의 커버(28)와, 상기 커버(28)를 설비 본체(11)측에 고정시켜주는 체결 장치와, 상기 커버(28)의 내부에 테스트 가스를 공급 및 배출하기 위하여 커버(28)의 일측과 다른 일측에 각각 설치되는 인렛 포트(30) 및 아웃렛 포트(31)와, 상기 테스트 가스의 공급과 배출을 제어함과 더불어 커버(28)의 내부 압력을 감지한 후에 이를 출력하는 컨트롤 박스(32)로 구성되어, FIMS 설비에 대한 품질 검사를 위해 리크 테스트를 실시할 때, 실제 리크 테스트 환경을 조성하면서 자체적으로 리크 테스트를 실시할 수 있는 셀프 리크 테스트 유니트(33)를 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS 시스템.

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