JPH05201506A

JPH05201506A - クリーンルーム用保管庫

Info

Publication number: JPH05201506A
Application number: JP4012311A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Kono; 等河野; Atsushi Okuno; 敦奥野; Masanori Tsuda; 正徳津田; Michihiro Hayashi; 満弘林; Teppei Yamashita; 哲平山下; Masanao Murata; 正直村田; Miki Tanaka; 幹田中; Nichiya Morita; 日也森田; Akio Nakamura; 昭生中村
Original assignee: Shinko Electric Co Ltd
Current assignee: Shinko Electric Co Ltd
Priority date: 1992-01-27
Filing date: 1992-01-27
Publication date: 1993-08-10
Anticipated expiration: 2015-08-28
Also published as: KR930016317A; KR100236273B1; TW227545B; JP3082389B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ウエハ等を気密性のコンテナに収納して保管
するものにおいて、コンテナの汚染に起因するウエハ等
のパーティクル汚染等を防ぐことのできるクリーンルー
ム用保管庫を提供することを目的とする。【構成】１もしくは複数の保管ユニット１０、この保
管ユニットの各保管セクションＳに対して保管物を出し
入れする移載機構を搭載した自動移載装置とを備え、ク
リーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し
入れされる保管物はパーティクル汚染もしくはおよび化
学汚染を嫌う物品Ｗを気密に収納可能で蓋施錠機構を有
するコンテナ４０であり、当該コンテナに対して上記物
品を自動的に出し入れする装置３０を備えるとともにコ
ンテナ自動洗浄部５０を備えていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はクリーンルーム内におい
て、半導体ウエハ、液晶表示基板、ディスク等を一時的
に保管するクリーンルーム用保管設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルーム内の物品保管設備として
は、従来、特開平１―４１５６１号公報に記載されたも
のがある。ここに開示されている物品保管設備は、物品
保管室内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納
空間を有する物品保管棚と、両側に並ぶ物品保管棚間の
中央通路に沿って敷設された一定経路上を走行自在に且
つ昇降ならびに横方向進退自在な荷出入れ機構を有する
搬入出装置を備えている。この種の物品保管設備で
は、物品保管棚の下部側にエア供給装置を設け、このエ
ア供給装置からのエアをフイルタを通し清浄空気（クリ
ーンエア）にして、物品保管棚の背部から搬入出装置側
へ吹き出されるようにして、塵埃が物品保管棚側へ浮遊
し、滞留するのを防止している。

【０００３】更に、搬入出装置は、自走台車上に、荷出
入れ機構を案内する昇降案内装置や昇降駆動装置を搭載
しているので、磨耗による塵埃が発生し、そのままで
は、この塵埃が床下側に吸引除去されることなく物品保
管棚側へ移行して半導体ウエハ等に付着することになる
ので、搬入出装置の自走台車上に搭載している昇降案内
装置や昇降駆動装置等の全体にカバーを被せるとともに
自走台車下面側にエア吸引装置を設けて、カバー内で発
生した上記塵埃をエア吸引装置で下に吸引して、床下側
へ吸引除去するようにしている。

【０００４】このように、クリーンルーム内の従来の物
品保管設備では、物品保管棚の背部から上記中央通路側
に向かうクリーンエアの気流を形成せしめて、浮遊塵埃
が物品保管棚の物品（ウエハカセットに収納されている
半導体ウエハ）に付着するのを防止するようにしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この種の従来
のウエハ保管庫は、内部全体を高清浄雰囲気に維持する
構成であるので、高性能フィルタを用いた大掛かりな清
浄空気供給システムあるいは循環システムが必要であ
り、内部も、その全体を、清浄度を保つための構造、形
状に、また部品材料もこれを考慮して使用しなくてはな
らず、大形で、高価になる他、メンテナンス性が悪いと
いう問題があった。

【０００６】また、停電が起こると、清浄空気供給シス
テムあるいは循環システムが停止し、ウエハ保管庫内全
体の清浄度が低下してしまうという問題があり、搬送装
置やその他の構成要素が故障したとき、その故障やメン
テナンスに起因する汚染はウエハ保管庫内全体に広がる
ので、メンテナンスも勝手にはできないという問題もあ
る。

【０００７】近年、更に、半導体ＩＣの高集積化が進む
に伴い、保管中の自然酸化による酸化膜の形成がが問題
となってきた。

【０００８】図１１及び図１２は「超ＬＳＩウルトラク
リーンテクノロジーシンポジュウム」（１９９０年１
１月１９日）で発表された論文中に記載されているもの
で、図１１はシリコン半導体ウエハの自然酸化による酸
化膜の形成と時間との関係を示し、図１２はウエハを大
気中に曝して自然酸化膜を付け、エピタキシャル成長さ
せた場合のウエハの抵抗率と時間との関係を示してい
る。この論文によれは、シリコン半導体ウエハを大気さ
らしておくと、図１１に示されるように、１００〜２０
０分後には酸化膜の成長率が高くなり、図１２に示され
るように、抵抗率はクリーニング無しの場合にはほぼ５
０分後から急激に高くなっている。

【０００９】この自然酸化膜の成長を防止するため、ウ
エハの移動、搬送等を不活性ガス（例えばＮ₂ガス）雰
囲気中で行なう必要が生じ、現在では、Ｏ₂の濃度が１
０ｐｐｍ以下、Ｈ₂Ｏの濃度が１００ｐｐｂ以下である
Ｎ₂ガス雰囲気が要求されるようになっている。

【００１０】このため、従来、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれてきた半導体処理を、当該クリーン
ルーム内に、例えば特開昭６０−１４６２３号公報に開
示されているような機械的インターフェース装置を設置
して、この機械的インターフェース装置内を上記Ｎ₂ガ
ス雰囲気とし、当該装置内で行なうようになった。

【００１１】しかし、物品保管庫は、通常、半導体ウエ
ハを数時間〜数日間にわたり保管するので、物品保管庫
内での自然酸化膜の形成が問題となる。

【００１２】本出願人は、このような問題を解消するた
めに、ウエハカセットを裸の状態で保管するのではな
く、気密性のコンテナに収納して保管可能な保管庫、さ
らに気密性のコンテナに収納して保管可能であり、かつ
不活性ガスパージ機能を持つ保管庫を提案した。

【００１３】以下に、この気密性のコンテナに収納して
保管可能なクリーンルーム用保管庫の具体例を説明す
る。

【００１４】図６〜図１０において、１はウエハ保管庫
全体を示す。ウエハ保管庫１は２台のウエハ保管ユニッ
ト１０、１０を収納している。両ウエハ保管ユニット１
０、１０は、左右方向に所定間隔を隔てて対向配置さ
れ、両者間に自走式移載装置２０が走行するウエハ移載
作業空間を区画している。

【００１５】ウエハ保管ユニット１０は、図８に示すよ
うに、多段の棚１１を有する棚式の保管ユニットである
が、ウエハカセットＷを気密コンテナ４０（図１０に示
す）に収納したかたちで保管する。棚１１には長手方向
所定間隔を隔てて保管セクションＳが設けられている。

【００１６】このため、ウエハ保管庫１の保管物搬入出
部２には保管ユニット１０の棚１１から空の上記コンテ
ナ４０が移載される空コンテナ移載部３と、上記保管物
搬入出部２に搬入されたウエハカセットＷをコンテナ４
０内に搬入する保管物自動受渡しユニット３０（図９に
示す）を備えている。

【００１７】ウエハ保管庫１の保管物搬入出部２は上記
ウエハ移載作業空間の一方端部側に位置するので、自走
式移載装置２０のハンドリング部２５はリンク機構とな
っている。移載装置２０は床の保管ユニット１０、１０
の前面に敷設されたレール２１上を前後に走行する本体
部２２とこの本体部２２から上に伸びるマスト２３とか
のマスト２３にガイドされて昇降する昇降部２４とこの
昇降部２４に支持された上記ハンドリング部を有するス
タッカークレンであって、本体部２２は図示しない制御
装置を内蔵している。

【００１８】図９において、保管物自動受渡しユニット
３０は蓋昇降台３１を備えるエレベータであって、昇降
機構は、この例では、ギヤユニット３２とモータ３３お
よびガイド筒３４に収納されたねじ軸３５からなり、こ
のねじ軸３５に昇降台３１の支持軸３６の下端部が螺合
している。蓋昇降台３１は保管物搬入出部２の１つの構
成要素であって、搬入台を兼ねている。空コンテナ移載
部３の移載台はカセット搬入用ポート４を有する環状の
プレート５であって、支持台６に固定支持されている。
また、保管物搬入出部２を区画する台７に孔８が形成さ
れている。昇降台３１は上面高さが台７面と面一になる
高さまでこの孔８内へ下降し（搬入位置）、またポート
４内へ上昇する。９は仕切り壁である。

【００１９】コンテナ４０の把手４１Ａ付の容器４１は
シール部材４３を介しコンテナ蓋４２で気密に閉鎖され
るが、このコンテナ蓋４２は中空体であって、図１０に
示すような錠機構を内蔵している。図において、４４は
カムである。４５板状のロックアームであって、転動子
４５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち
支持されている。４６は支点部材、４７はばねであ
る。、カム軸４４は蓋昇降台３１の上壁中央からコンテ
ナ蓋４２内へ伸び、蓋昇降台３１上にコンテナ蓋４２が
同心に載置された時カム４４とスプライン係合する。蓋
昇降台３１は中空体であって、カム軸４８を所定角度だ
け回動するカム軸駆動機構４９を内蔵している。このカ
ム軸駆動機構４９とカム軸４８とは錠開閉機構を構成し
ている。

【００２０】そして、カム４４は特殊なカム面を有し、
当該カム４４が回転すると、ロックアーム４５は嵌合凹
部４１Ｃに向かって図示矢印方向に変位し、先端部が嵌
合凹部４１Ｃに係合する。この係合状態では、容器４１
の開口４１ｐとコンテナ蓋４２との間はシール材４３で
気密にシールされている。４３は容器４１のフランジ４
１Ｂの下面に固着されたシール材である。

【００２１】この構成において、保管物自動受渡しユニ
ット３０の蓋昇降台３１が図９に示すようにプレート５
のポート４内に位置しているとする（受渡し位置）。こ
の状態で、空コンテナ４０がいずれかの棚１１から空コ
ンテナ移載部３へスタッカークレーン２０により移載さ
れてプレート５上に載置されると、カム軸４８がコンテ
ナ蓋４２内へ突出してカム４４とスプライン係合する。
空コンテナ４０のプレート５上への移載が完了すると、
カム軸駆動機構４９が作動し、カム４４が回動してロッ
クアーム４５がコンテナ蓋中心側へ変位し、嵌合凹部４
１Ｃとの係合が解かれ、解錠される。容器４１とコンテ
ナ蓋４２とのロックが解除されると、蓋昇降台３１が前
記した搬入位置まで下降する。この時、コンテナ蓋４２
は蓋昇降台３１とともに下降する。蓋昇降台３１が上記
搬入位置に位置決めされると、保管物搬入部２のエプロ
ン２Ａ上へ移載されていたウエハカセットＷが図示しな
い移載ロボット等により蓋昇降台３１に載っているコン
テナ蓋４２上へ移載される。ウエハカセットＷがコンテ
ナ蓋４２上へ移載されると、蓋昇降台３１が上記受渡し
位置まで上昇する。蓋昇降台３１が上記受渡し位置まで
上昇してコンテナ蓋４２が容器４１の開口４１ｐを閉鎖
すると、カム軸駆動機構４９が作動してカム軸４８が前
記とは逆に回動し、ロックアーム４５が嵌合凹部４１Ｃ
に向かって図示矢印方向に変位し、先端部が嵌合凹部４
１Ｃに係合する。これにより、コンテナ蓋４２がシール
材４３を介して容器４１の開口４１ｐを気密にシールす
る。

【００２２】このようにして、ウエハカセットＷがウエ
ハ保管庫１内のコンテナ４０に気密に収納され、ウエハ
カセットＷを収納したコンテナ４０はスタッカークレー
ン２０により指定された棚の指定された位置へ移載さ
れ、ここに一時的に保管されるこのように、本例では、
ウエハカセットＷを気密コンテナ４０に収納して保管す
るので、ウエハ保管庫１内全体を高清浄雰囲気に維持す
る必要がない。

【００２３】ところで、気密性のコンテナに収納して保
管するタイプのものは、コンテナの容器内や蓋の内面が
清浄な間は被保管物のパーティクル汚染は起こらない
が、ウエハ等を繰り返し保管している間には、ウエハ保
管庫の雰囲気中に浮遊するパーティクルによるコンテナ
内の雰囲気の汚染やウエハ等からの薬品等によるコンテ
ナ汚染が起こり、気密性のコンテナに収納して保管する
メリットが低減する。

【００２４】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、ウエハ等を気密性のコンテナに収納して保管
するものにおいて、コンテナの汚染に起因するウエハ等
のパーティクル汚染等を防ぐことのできるクリーンルー
ム用保管庫を提供することを目的とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】請求項１は、１もしくは
複数の保管ユニットと、この保管ユニットの各保管セク
ションに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載し
た自動移載装置とを備え、クリーンルーム内に設けられ
る保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーテ
ィクル汚染もしくはおよび化学汚染を嫌う物品を気密に
収納可能で蓋施錠機構を有するコンテナであり、当該コ
ンテナに対して上記物品を自動的に出し入れする装置を
備えるとともにコンテナ自動洗浄部を備えていることを
特徴とする。

【００２６】請求項２は、コンテナ自動洗浄部は、コン
テナに対して物品を出し入れする物品出し入れ機構を備
えたコンテナ洗浄準備ステーションと、当該コンテナ洗
浄準備ステーションまたは保管セクションから移載され
た空コンテナを洗浄気体に曝す洗浄室を備えたコンテナ
洗浄ステーションとからなり、自動移載装置が上記移載
を司ることを特徴とする。

【００２７】請求項３は、コンテナ洗浄準備ステーショ
ンはコンテナ移載エリアと物品仮置きエリアを有するこ
とを特徴とする。

【００２８】請求項４は、コンテナ洗浄準備ステーショ
ンの物品仮置きエリアは高清浄雰囲気もしくは不活性雰
囲気であることを特徴とする。

【００２９】請求項５は、コンテナ洗浄準備ステーショ
ンのコンテナ移載エリアの１もしくは複数のコンテナ載
置台はポートを有し、物品自動取り出し機構は、施錠機
構を有するコンテナの底蓋に対応する上記ポート内で係
合して錠を開閉する錠開閉機構を備えた蓋昇降台を備え
ることを特徴とする。

【００３０】請求項６は、複数のコンテナ載置台のうち
のいずれかが洗浄済みコンテナが移載されるコンテナ移
載台であり、当該コンテナ移載台へ他のコンテナ載置台
上の未洗浄コンテナからから取り出された物品が移しか
えられることを特徴とする。請求項７は、コンテナ洗浄
ステーションの洗浄室は、洗浄液噴射系統と乾燥気体噴
射系統とを有していることを特徴とする。

【００３１】請求項８は、コンテナのコンテナ蓋はコン
テナ洗浄準備ステーションの物品仮置きエリアで気体洗
浄されることを特徴とする。

【００３２】請求項９は、コンテナにはＩＤコードが設
けられており、当該ＩＤコードを利用して洗浄履歴が管
理されることを特徴とする。

【００３３】

【作用】本発明では、保管物搬入出部へ外部から搬入さ
れたウエハカセットは、当該保管物搬入出部にある保管
物自動受渡しユニットによりコンテナへ収納され、移載
装置により保管ユニットの棚の保管セクションへ移載さ
れ、ここで保管される。そして、コンテナを洗浄する必
要がある時は、コンテナをコンテナ自動洗浄部へ移載す
るだけで、コンテナからの物品の取り出し、コンテナの
洗浄ステーションへの移載、コンテナ洗浄、洗浄したコ
ンテナへの上記物品の収納等がシーケンシャルに自動的
に実行される。

【００３４】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。

【００３５】図１〜図４において、５０はコンテナ洗浄
部でって、一方のウエハ保管ユニットの一部に設けら
れ、コンテナ洗浄準備ステーション６０とコンテナ洗浄
室７０からなる。

【００３６】コンテナ洗浄準備ステーション６０は、コ
ンテナ４０を移載されるコンテナ載置台６１と６２とを
有するコンテナ移載エリアＳ１を有し、このエリアＳ１
の下に当該エリアと仕切り台６３で仕切られたカセット
仮置きエリアＳ２が設けられており、コンテナ載置台６
１と６２の下には図５に示した保管物自動受渡しユニッ
ト３０と同形の保管物自動出し入れユニット３００Ａと
３００Ｂがそれぞれ配設されている。

【００３７】コンテナ移載台６１と６２は図９に示した
カセット通過可能なポート４と同じポートを有し、カセ
ット仮置きエリアＳ２の仕切り台６５に設けた仮置き部
６６の左右には、蓋昇降台３１が退避可能な孔６４が形
成されている。蓋昇降台３１は上面高さが仮置き台面と
面一になる高さまでこの孔６４内へ下降し、またポート
４内へ上昇する。

【００３８】コンテナ洗浄準備ステーション６０のカセ
ット仮置きエリアＳ２は図３に示すように保管ユニット
１０の後壁からスタッカークレーン２０側へ、高純度清
浄空気供給ユニット１００を通した超高純度気体が流れ
ている。１０１は通常のフィルタ、１０２は高性能フィ
ルタ、１０３はファンである。

【００３９】コンテナ洗浄ステーション７０は図４に示
す洗浄室８０を有している。図４において、８１は密閉
式の自動扉である。８２は網棚式あるいはパイプ棚式の
コンテナ載置台、８３は洗浄室８０の天井近傍に設けら
れ下向きの多数の噴射ノズルを有する上部乾燥気体噴射
部、８４はコンテナ載置台８２の下方に設けられ上向き
の多数の噴射ノズルを有する下部乾燥気体噴射部であ
り、噴射部は配管８５を通してウエハ保管ユニット外に
ある給気装置に接続されている。乾燥気体としてはフィ
ルタを通した高純度の空気または窒素ガス等が用いられ
る。８６は排気装置である。８７は洗浄室８０の天井近
傍に設けられ下向きの複数のノズルを有する上部洗浄液
体噴射部、８８はコンテナ載置台８２の下方に設けられ
上向きの複数のノズルを有する下部洗浄液体噴射部で、
両噴射部は配管８９を通して洗浄室８０の下に設けられ
た機械室の給液装置９０に接続されている。給液装置９
０はフィルタ９０Ａと循環用ポンプ９０Ｂを備え、開閉
弁９０Ｃ、９０Ｄを介してウエハ保管ユニット外にある
図示しない洗浄液体タンクと純水タンクに接続されてい
る。９１は漏斗形の集液体であり、ここに落下した洗浄
液は開閉弁９２を介し給液装置９０に流れる。洗浄液と
しては、洗剤または純水、洗剤と純水の混合液が用いら
れる。

【００４０】他の構成は前記図６〜図１０に示した保管
庫１と同じであるので、同一または相当部分には同じ符
号を付してある。

【００４１】この構成において、洗浄を必要とするコン
テナ４０は保管セクションＳからスタッカークレーン２
０によりコンテナ洗浄準備ステーション６０のコンテナ
載置台６１ヘ移載される。

【００４２】（１）洗浄を必要とするコンテナ４０が例
えばコンテナ載置台６１ヘ移載されると、保管物自動出
し入れユニット３００Ａが作動して、前記したコンテナ
４０の解錠動作、蓋昇降台３１の下降動作が行なわれ、
コンテナ４０内に有ったウエハカセットＷがカセット仮
置きエリアＳ２へ取り出される。このとき、コンテナ蓋
４２は高純度清浄空気供給ユニット１００を通した超高
純度気体に曝される位置にある。

【００４３】（２）カセット仮置きエリアＳ２へ取り出
されたウエハカセットＷは孔６４の隣りにあるカセット
仮置き部６６へスタッカークレーン２０により移載され
る。

【００４４】（３）次いで、洗浄室８０の自動扉８１が
開かれ、空になったコンテナ４０の容器４１はスタッカ
ークレーン２０により洗浄室８０のコンテナ載置台８２
へ移載され、上記自動扉８１が閉められる。

【００４５】（４）洗浄室８０は、洗浄液を所定時間に
わたり容器４１外面と容器４１内面へ吹きつけ容器４１
を洗浄し、この洗浄が終わると、乾燥気体を、所定時間
にわたり容器４１外面と容器４１内面へ吹きつけ容器４
１を乾燥する。

【００４６】（５）乾燥を終えた容器４１はスタッカー
クレーン２０により洗浄室８０から運び出され、コンテ
ナ載置台６１ヘ移載される。

【００４７】（６）カセット仮置きエリアＳ２へ下降し
たままであったコンテナ蓋４２上へ、カセット仮置き部
６６にあったウエハカセットＷがスタッカークレーン２
０により移載される。

【００４８】（７）この移載が終わると、保管物自動出
し入れユニット３００Ａの蓋昇降台３１がコンテナ蓋４
２およびウエハカセットＷを載せたまま上昇し、コンテ
ナ蓋４２を容器４２の開口内へ位置決めして、コンテナ
４０を施錠する。

【００４９】（８）コンテナ４０の施錠が終わると、ス
タッカークレーン２０によりコンテナは元の保管セクシ
ョンＳへ移載される。

【００５０】なお、コンテナ蓋４２は、容器４１が洗浄
室８０で洗浄・乾燥される間に、カセット仮置きエリア
Ｓ２に流れる超高純度気体流により気体洗浄される。ま
た、コンテナ蓋４２は、清浄室８０の乾燥工程の高圧空
気もしくは窒素を利用して気体洗浄するようにしてもよ
い。

【００５１】コンテナ４０は、その容器４１に設けられ
たＩＤコードを利用して、ストッカー２０の図示しない
制御装置で、空であるか否か、どの保管セクションに保
管されているか等が管理されるが、本実施例では、洗浄
履歴も管理される。勿論、コンテナが保管庫内でのみ利
用される閉じたシステムである場合や、コンテナが上位
コンピュータで管理される場合は、ＩＤコードがなくて
も洗浄履歴の管理は可能である。

【００５２】また、上記した洗浄手順では、コンテナ４
０の容器洗浄が終わるまで、ウエハカセツトＷがカセッ
ト仮置きエリアＳ２に置かれたままとなるので、この間
に、当該ウエハカセットに対する出庫指令が出された場
合、出庫することができないことになる。これを防ぐた
めに、本実施例では、コンテナ移載台６２と保管物自動
出し入れユニット３００Ｂを設けてある。

【００５３】この場合、コンテナ移載台６２には、洗浄
済みの空コンテナが移載され、コンテナ載置台６１上の
コンテナからカセット仮置きエリアＳ２へ取り出された
ウエハカセツトＷはスタッカークレーン２０で保管物自
動出し入れユニット３００Ｂの蓋昇降台３１上にあるコ
ンテナ蓋へ移載され、蓋昇降台３１により、上記洗浄済
みのコンテナへ収納される。

【００５４】上記実施例では、洗浄室８０とコンテナ載
置台６１、６２との間のコンテナの移載をスタッカーク
レーン２０で行なっているが、専用の移載ロボットを設
ける場合もある。

【００５５】上記実施例では、洗浄室８０で、コンテナ
４０の容器４１の内外面を洗浄しているが、洗浄室８０
に代えて容器内面４１だけを洗浄する簡易洗浄ユニット
を設けてもよい。

【００５６】図５はこの簡易洗浄ユニットを設けた例を
示したもので、図２に示した洗浄準備ステーション６０
の一部を洗浄部８０Ａとして利用する。簡易洗浄ユニッ
ト９３はコンテナ載置台６２の下に気密に取着されてい
る。簡易洗浄ユニット９３の容器９４は上に開口し下部
が錐形に縮径した筒体であり、底中央から配液管９５が
伸びている。この配管９５は図４に示した給液装置９０
と同じ構成の給液装置に接続される。容器９４内の下方
には、上向きの複数のノズルを有する洗浄液体噴射部８
８Ａと乾燥気体噴射部８４Ａとが配設されている。洗浄
液体噴射部８８Ａはウエハ保管ユニット外にある上記給
液装置から洗浄液を供給される。乾燥気体噴射部８４Ａ
は配管を通してウエハ保管ユニット外にある給気装置に
接続される。

【００５７】この構成においては、前記（２）のステッ
プの後、空になったコンテナ４０の容器４１はスタッカ
ークレーン２０により洗浄室８０Ａのコンテナ載置台６
２へ移載され、固定具９６で当該コンテナ載置台６２へ
気密に固定され、簡易洗浄ユニット９３により容器内面
を洗浄される。

【００５８】なお、上記各実施例で、コンテナとして、
不活性ガスパージするコンテナを用いる場合は、カセッ
ト仮置きエリアＳ２を不活性ガスパージする構成とす
る。

【００５９】

【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ウエハカセ
ットを裸の状態で保管するのではなく、気密性のコンテ
ナに収納して保管するものにおいて、コンテナを自動洗
浄することができるコンテナ洗浄部を設けたので、コン
テナ汚染に起因するウエハ等の汚染を防止することがで
き、気密性のコンテナに収納して保管する保管庫が持つ
効果を充分に発揮させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の保管ユニットを示す正面図で
ある。

【図２】上記実施例の要部拡大図である。

【図３】上記実施例におけるカセット仮置きエリアを示
す図である。

【図４】上記実施例におけコンテナ洗浄ステーションを
示す図である。

【図５】上記実施例における簡易コンテナ洗浄ユニット
を示す図である。

【図６】クリーンルーム用保管庫の具体例を示す斜視図
である。

【図７】上記具体例の正面図である。

【図８】上記具体例におけるウエハ保管ユニットの正面
図である。

【図９】上記具体例における保管物自動受渡しユニット
を示す図である。

【図１０】上記具体例におけるコンテナの構造を示す図
である。

【図１１】シリコン半導体ウエハの自然酸化膜の形成と
時間の関係を示す図である。

【図１２】シリコン半導体ウエハの自然酸化膜の形成と
時間の関係を示す図である。

【符号の説明】

１ウエハ保管庫２保管物搬入部３コンテナ移載部３Ａコンテナ入出庫口１０ウエハ保管ユニット２０移載装置３０保管物自動受渡しユニット４０コンテナ４１容器４２コンテナ蓋４４〜４７錠機構４８〜４９錠開閉機構５０コンテナ自動洗浄部６０コンテナ洗浄準備ステーション７０コンテナ洗浄ステーション８０洗浄室８０Ａ洗浄部９６簡易コンテナ洗浄ユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｆ２４Ｆ 7/06 Ｃ 6925−3ＬＦ２６Ｂ 9/00 Ｅ 9140−3Ｌ (72)発明者林満弘三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者山下哲平三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者村田正直三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者田中幹三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者森田日也三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者中村昭生三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地神鋼電機株式会社伊勢製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１もしくは複数の保管ユニットと、この
保管ユニットの各保管セクションに対して保管物を出し
入れする移載機構を搭載した自動移載装置とを備え、ク
リーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーティクル汚染もしくは
／および化学汚染を嫌う物品を気密に収納可能で蓋施錠
機構を有するコンテナであり、当該コンテナに対して上
記物品を自動的に出し入れする装置を備えるとともにコ
ンテナ自動洗浄部を備えていることを特徴とするクリー
ンルーム用保管庫。
【請求項２】コンテナ自動洗浄部は、コンテナに対し
て物品を出し入れする物品出し入れ機構を備えたコンテ
ナ洗浄準備ステーションと、当該コンテナ洗浄準備ステ
ーションまたは保管セクションから移載された空コンテ
ナを洗浄液体に曝す洗浄室を備えたコンテナ洗浄ステー
ションとからなり、自動移載装置が上記移載を司ること
を特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用保管庫。
【請求項３】コンテナ洗浄準備ステーションはコンテ
ナ移載エリアと物品仮置きエリアを有することを特徴と
する請求項１または２記載のクリーンルーム用保管庫。
【請求項４】コンテナ洗浄準備ステーションの物品仮
置きエリアは高清浄雰囲気もしくは不活性ガス雰囲気で
あることを特徴とする請求項１〜３記載のクリーンルー
ム用保管庫。
【請求項５】コンテナ洗浄準備ステーションのコンテ
ナ移載エリアの１もしくは複数のコンテナ載置台はポー
トを有し、物品自動取り出し機構は、施錠機構を有する
コンテナの底蓋に対応する上記ポート内で係合して錠を
開閉する錠開閉機構を備えた蓋昇降台を備えることを特
徴とする請求項１〜４記載のクリーンルーム用保管庫。
【請求項６】複数のコンテナ載置台のうちのいずれか
が洗浄済みコンテナが移載されるコンテナ移載台であ
り、当該コンテナ移載台へ他のコンテナ載置台上の未洗
浄コンテナから取り出された物品が移しかえられること
を特徴とする請求項１〜５記載のクリーンルーム用保管
庫。
【請求項７】コンテナ洗浄ステーションの洗浄室は、
洗浄液噴射系統と乾燥気体噴射系統とを有していること
を特徴とする請求項１〜６記載のクリーンルーム用保管
庫。
【請求項８】コンテナのコンテナ蓋はコンテナ洗浄準
備ステーションの物品仮置きエリアで気体洗浄されるこ
とを特徴とする請求項６記載のクリーンルーム用保管
庫。
【請求項９】コンテナにはＩＤコードが設けられてお
り、当該ＩＤコードを利用して洗浄履歴が管理されるこ
とを特徴とする請求項１〜８記載のクリーンルーム用保
管庫。