KR101291626B1 - 반송차 시스템 - Google Patents

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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

(과제) 물품의 오염이 확대되는 것을 방지하는 것이 가능한 반송차 시스템을 제공한다.
(해결 수단) 스태커 크레인(1)을 이용하여 물품(8)을 반송하는 반송차 시스템으로서, FFU(4)마다 상기 FFU(4)에 의해 클린 에어가 공급되는 물품(8)을 보관하는 선반을 관련시킨 관련 테이블(40)이 저장된 기억부(39)와, FFU(4)에 이상이 발생한 경우에 관련 테이블(40)에 있어서 이상이 발생한 FFU(4)와 관련된 선반의 오염이 확대되지 않도록 스태커 크레인(1)을 제어하는 제어부(31), 반송 조건 결정부(35) 및 피난 지령 생성부(36)를 구비한다.
반송차 시스템

Description

반송차 시스템{TRANSPORT VEHICLE SYSTEM }
본 발명은 반송차를 이용하여 물품을 반송하는 반송차 시스템에 관한 것으로, 특히 팬필터 유닛을 구비한 창고에 대응하는 반송차 시스템에 관한 것이다.
종래, 천정 주행차, 유궤도 대차, 스태커 크레인 및 무인 반송차 등의 반송차를 사용한 물품을 반송하기 위한 시스템으로서 반송차 시스템이 있다. 이 반송차 시스템에 있어서는 반송차의 반송 경로를 따라 물품을 일시 보관하는 보관부가 설치된다.
이러한 반송차 시스템으로서, 예를 들면 반송차로서의 스태커 크레인을 구비한 자동창고가 있다. 이 자동창고에 있어서는, 물품을 수납하는 다수의 물품 수납 선반을 갖는 랙이 보관부로서 설치되고, 랙으로부터 스태커 크레인과는 별도의 반송차에 물품을 이송하는 물품 이송 개소로서의 스테이션이 복수개 설치되어 있다. 스태커 크레인은 랙의 소정 선반, 또는 스테이션까지 레일을 주행하고, 물품이 적재되는 승강대를 승강시키고, 슬라이드 포크를 출퇴시킴으로써 승강대와 랙 및 스테이션 사이에서 물품을 이송한다. 스테이션간의 물품의 반송은 스태커 크레인과는 별도의 반송차에 의해 행해진다.
자동창고에 관한 기술로서는, 예를 들면 특허문헌1에 기재된 클린룸용의 자동창고가 있다. 이 기술에 있어서는, 자동창고의 랙에 팬필터 유닛(이하, FFU라고 함)이라고 불리는 클린 에어를 공급하는 장치가 복수개 설치되어 자동창고의 클린도(청정도)가 유지되어 있다.
(특허문헌1)일본 특허 공개 2005-231774호 공보
그러나, 특허문헌1에 기재된 자동창고는 다음과 같은 문제를 갖는다.
즉, 이 자동창고에서는 선반 1열에 대하여 1개의 FFU가 설치되지만, 일부의 FFU가 이상으로 되어서 정상적으로 동작하지 않게 되면, 그 고장이 생긴 FFU가 설치된 선반의 열에 대해서 청정도가 유지되지 않게 된다. 그 결과, 청정도를 유지할 수 없게 된 선반의 물품이 오염되므로, 오염된 물품이 다른 선반으로 이동된 경우에는 청정도를 유지할 수 있는 선반까지 오염된다는 사태가 발생한다. 즉, 오염된 물품에 의해 청정도를 유지할 수 있는 선반까지 오염되게 되어 물품이 매체로 된 오염의 확대라는 사태가 발생한다.
또한 동시에, 특허문헌1의 클린룸용의 자동창고에 있어서는, 스태커 크레인은 청정도를 유지할 수 없게 된 선반을 청정도를 유지할 수 있는 다른 선반과 구별하지 않고 물품의 반송을 행한다. 그 결과, 스태커 크레인(승강대)이 통상의 반송 속도로 청정도를 유지할 수 없게 된 선반 전방을 통과하여 다른 선반으로 이동하는 경우에는 스태커 크레인 자체가 오염되므로, 이 오염된 스태커 크레인에 의해 반송되는 물품은 모두 오염된다는 사태가 발생한다. 즉, 오염된 스태커 크레인에 의해 청정한 물품까지 오염되게 되어 스태커 크레인이 매체로 된 오염의 확대라는 사태도 발생한다.
그래서, 본 발명은 이러한 문제점을 감안하여, 오염이 확대되는 것을 방지하는 것이 가능한 반송차 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 반송차 시스템은, 반송차를 이용하 여 물품을 반송하는 반송차 시스템으로서, 팬필터 유닛마다 상기 팬필터 유닛에 의해 클린 에어가 공급되는 물품을 보관하는 영역을 관련시킨 관련 테이블이 저장된 기억부와, 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역의 오염이 확대되지 않도록 반송차를 제어하는 반송 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 반송 제어부는 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에, 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역을 통과하지 않도록 반송차의 반송 경로를 결정해도 좋다.
또한 상기 반송 제어부는 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에, 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역을 통과할 때의 속도가 다른 영역을 통과할 때의 속도보다 낮아지도록 반송차의 반송 속도를 결정해도 좋다.
이것에 의해, FFU의 일부가 이상으로 된 경우, 그것에 의해 청정을 유지할 수 없게 된 영역을 통과하지 않고, 또한 통과할 때에는 속도를 낮춰서 통과하도록 반송차가 제어된다. 따라서, 반송차가 오염되는 일이 없게 되므로, 반송차가 매체로 되어 청정한 물품에 오염이 확대되는 것을 고확률로 방지할 수 있다.
또한 상기 반송 제어부는 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에, 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역에 보관된 물품을 다른 영역으로 피난시켜도 좋다.
이것에 의해, FFU의 일부가 이상으로 된 경우, 그것에 의해 청정을 유지할 수 없게 된 영역의 물품을 피난시키도록 반송차가 제어된다. 따라서, 청정을 유지할 수 없게 된 영역의 물품이 오염되지 않게 되므로, 물품이 매체로 되어 청정한 선반에 오염이 확대되는 것을 고확률로 방지할 수 있다.
또한 상기 반송차 시스템은, 물품을 보관하는 복수의 선반을 갖는 랙, 상기 선반에 클린 에어를 공급하는 팬필터 유닛, 및 물품을 반송하는 스태커 크레인을 구비하는 자동창고이며, 상기 반송 제어부는 상기 영역으로서의 선반의 오염이 다른 선반 및 물품으로 확대되지 않도록 스태커 크레인을 제어해도 좋다.
이것에 의해, 자동창고내의 오염 확대를 방지할 수 있다.
또한 상기 반송차 시스템은, 물품을 보관하는 복수의 클린룸, 상기 클린룸에 클린 에어를 공급하는 팬필터 유닛, 및 물품을 반송하는 반송차를 구비하고, 상기 반송 제어부는 상기 영역으로서의 클린룸의 오염이 다른 클린룸 및 물품으로 확대되지 않도록 반송차를 제어해도 좋다.
이것에 의해, 클린룸을 복수개 구비한 반송차 시스템에 있어서의 오염 확대를 방지할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 오염이 확대되는 것을 방지하는 것이 가능한 반송차 시스템을 실현할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 반송차 시스템에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
(제 1 실시 형태)
도 1은 본 실시 형태에 있어서의 클린룸용의 자동창고의 단면도(FFU 직상부에서의 수평방향 단면도)이다. 도 2는 동 자동창고의 단면도(연직방향 단면도)이다.
이 자동창고는 본 발명의 반송차 시스템의 일례이며, 스태커 크레인(1), 랙(2) 및 FFU(4)로 구성된다.
스태커 크레인(1)은 본 발명의 반송차의 일례이며, 입고되는 물품(8)을 스테이션(도시 생략)으로부터 인수해서 그것을 랙(2)에 반송하고, 또 출고되는 물품(8)을 랙(2)으로부터 인출해서 그것을 스테이션으로 반송한다는 기능을 갖는다. 구체적으로는 스태커 크레인(1)은 랙(2) 전방의 통로(5)에 부설된 주행 레일(6) 위를 주행하고, 물품(8)이 적재되는 승강대를 승강시키고, 슬라이드 포크를 출퇴시킴으로써 물품(8)을 반송한다.
랙(2)은 스태커 크레인(1)의 통로(5)를 따라 설치되어 있고, 랙(2)에는 물품(8)을 보관하는 복수의 물품 보관 선반이 종횡으로 설치되어 있다. 이 선반 및 스태커 크레인(1)(승강대)이 통과하는 선반의 전방이 본 발명의 영역의 일례이며, 다른 선반 및 상기 선반 전방은 다른 영역이다. 랙(2)의 배면, 즉 통로(5)와는 반대측에는 덕트(14)가 설치되어 있고, 그 외측은 통기성이 없는 외벽(16)으로 덮여져 있다. 랙(2)에 있어서의 FFU(4) 배면의 지주(22) 부근의 부분, 즉 FFU(4) 배면의 수평방향에서 양단 부분에는 한쌍의 분출구(20 및 21)가 설치되어 있다.
FFU(4)는 랙(2)의 저부에 설치되고, 랙(2)에 클린 에어를 공급한다. FFU(4) 1대당 1쌍의 분출구(20 및 21)가 설치되어 있고, 분출구(20 및 21)로부터 클린 에어가 분출되어 가로방향으로 퍼지면서 랙(2)의 하부로부터 상부를 향해서 흐른다. 또, 도 2에 있어서, 백색의 화살표는 클린 에어의 흐름을 나타내고 있다.
도 3은 본 실시 형태의 자동창고의 기능적인 구성을 나타내는 블럭도이다.
이 자동창고는 기구부(30), 제어부(31), 표시부(32), 입력부(33), 통신 I/F부(34), 반송 조건 결정부(35), 피난 지령 생성부(36), 선반 데이터 갱신부(37), 기억부(39) 및 FFU상태 확인부(42)로 구성된다. 또한, 제어부(31), 반송 조건 결정부(35) 및 피난 지령 생성부(36)는 본 발명의 반송 제어부의 일례이다.
기구부(30)는 스태커 크레인(1) 및 FFU(4) 등의 기구부품의 집합이다.
제어부(31)는 반송 지령 및 피난 지령 등에 따라서 기구부(30)를 제어한다.
표시부(32)는 CRT(Cathode-Ray Tube) 또는 LCD(Liquid Crystal Display) 등이며, 입력부(33)는 키보드 또는 마우스 등이며, 이들은 본 자동창고와 조작자가 대화하거나 하기 위해서 이용된다.
통신 I/F부(34)는 스태커 크레인(1) 및 FFU(4)와의 통신 등에 이용된다.
반송 조건 결정부(35)는 반송 지령에 기초하여 물품(8)의 반송 경로 및 반송 속도 등의 반송 조건을 결정한다. 반송 조건의 결정은 선반 데이터(41)를 참조해서 행해지고, FFU(4)에 이상이 발생된 경우에, 이상으로 된 FFU(4)에 의해 클린 에어가 공급되고 있는 선반의 오염이 이 선반 이외의 다른 선반 및 물품으로 확대되지 않도록 스태커 크레인(1)이 제어된다. 반송 경로란 스태커 크레인(1)(승강대)이 전방을 통과하는 선반의 순서이며, 반송 속도란 선반 전방을 통과할 때의 속도이다.
피난 지령 생성부(36)는 FFU(4) 중 어느 하나가 고장, 팬의 이상 또는 필터 막힘 등에 의해 이상해졌다라는 보고를 받은 경우, 이상으로 된 FFU(4)에 의해 클린 에어가 공급되고 있는 선반의 오염이 다른 선반 및 물품으로 확대되지 않도록 스태커 크레인(1)을 제어하는 피난 지령을 생성한다. 피난 지령은 클린 에어가 공급되지 않게 된 비청정한 선반의 물품(8)을 클린 에어가 공급되고 있는 청정한 선반으로 이동시키는 지령이다.
선반 데이터 갱신부(37)는 이상의 보고를 받은 경우, 선반 데이터(41)를 갱신한다. 선반 데이터(41)의 갱신은 관련 테이블(40)에 있어서 이상으로 된 FFU(4)에 관련된 선반을 비청정한 선반인 것으로 해서 선반 데이터(41)에 등록함으로써 행해진다.
기억부(39)는 하드 디스크 또는 메모리 등이며, 관련 테이블(40) 및 선반 데이터(41) 등을 유지한다.
도 4 및 도 5는 관련 테이블(40) 및 선반 데이터(41)의 예를 나타내는 도면이다. 또, 도 4 및 도 5에 있어서 FFU 및 선반의 문자 옆에 붙여진 번호는 각 선반 및 FFU(4)를 특정하기 위해서 미리 모든 선반 및 FFU(4)에 붙여진 번호이다.
관련 테이블(40)에서는 FFU(4)마다 상기 FFU(4)에 의해 클린 에어가 공급되고 있는 선반이 관련되어져 있다. 예를 들면 1번의 FFU(4)에는 1∼8번의 선반이 관련되어져 있다. 도 1 및 도 2의 구성을 갖는 자동창고에 있어서는, 예를 들면 같은 열의 선반은 그 열에 있는 FFU(4)에 관련된다.
선반 데이터(41)에서는 랙(2)의 모든 선반에 대해서 그 상태가 나타내어져 있다. 도 5에 있어서, 「에어 상태」는 청정한 선반인지의 여부를 나타내고, 「○」는 청정한 선반인 것을, 「×」는 비청정한 선반인 것을 나타내고 있다. 또한 「빈 상태」는 물품(8)이 입고되어 있는 선반인지의 여부를 나타내고, 「○」는 물품(8)이 입고되어 있지 않은 선반인 것을, 「×」는 물품(8)이 입고되어 있는 선반인 것을 나타내고 있다. 예를 들면 1번의 선반은 청정하며 또한 물품(8)이 입고되어 있지 않은 선반인 것이 나타내어져 있다.
FFU상태 확인부(42)는 미리 정해진 기간을 두고 FFU(4)에 이상이 발생되어 있는지의 여부를 확인한다.
도 6은, 상기 구성을 갖는 자동창고에 있어서의 물품(8)의 반송 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
우선, 반송 조건 결정부(35)는 입력부(33) 또는 통신 I/F부(34)를 통해 반송 지령을 받아 반송 경로를 결정한다(스텝 S60). 구체적으로, 반송 조건 결정부(35)는 반송 지령에 나타내어진 반송처의 선반에 선반 데이터(41)에 나타내어진 비청정한 선반 전방을 가능한 한 지나지 않고, 또한 반송 시간이 가능한 한 짧아지도록 물품(8)을 반송하는 경로를 결정한다. 이 때, 반송 지령에 반송처로서 비청정한 선반이 나타내어져 있는 경우에는, 반송처를 비청정한 선반 이외의 다른 선반으로 하거나, 유저에게 반송처가 비청정한 선반인 것을 알리거나, 또는 반송을 행하지 않는 것을 결정하여 동작을 종료시킨다.
예를 들면 반송 지령에 반송처의 선반으로서 4번의 선반이 나타내어지고, 선반 데이터(41)에 비청정한 선반으로서 29∼32번의 선반이 나타내어져 있었다고 한 다. 이 경우에는, 도 7에 나타내는 29∼32번의 선반 전방을 피해서 4번의 선반에 겨우 도착하는 경로가 반송 경로로서 결정된다.
한편, 반송 지령에 반송처의 선반으로서 4번의 선반이 나타내어지고, 선반 데이터(41)에 비청정한 선반으로서 25∼32번의 선반이 나타내어져 있었다고 한다. 이 경우에는, 25∼32번의 선반 전방을 피해서 4번의 선반에 겨우 도착하는 경로는 없다. 따라서, 비청정한 선반 전방을 지나는 횟수가 가장 적은 경로, 즉 25∼32번의 선반 중 어느 하나의 전방만을 통과하는 경로가 반송 경로로서 결정된다. 예를 들면 도 8에 나타내는 32번의 선반 전방만을 통과하는 경로가 반송 경로로서 결정된다.
이어서, 반송 조건 결정부(35)는 반송 속도를 결정한다(스텝 S61). 구체적으로, 반송 조건 결정부(35)는 결정된 반송 경로를 전제로 해서 비청정한 선반 전방을 통과하는 반송 경로인지를 판정한다. 그리고, 비청정한 선반 전방을 통과하는 반송 경로인 경우에는, 비청정한 선반 전방을 지날 때의 스태커 크레인(1)의 속도가 청정한 다른 선반 전방을 지날 때의 속도보다 낮아지도록 물품(8)의 반송 속도를 결정한다. 한편, 비청정한 선반 전방을 통과하는 반송 경로가 아닌 경우에는 물품(8)의 반송 속도를 일정 속도로 결정한다.
예를 들면 도 7에 나타내어지는 반송 경로의 경우에는, 비청정한 29∼32번의 선반 전방을 한번도 지나지 않고 목적으로 하는 4번의 선반에 도달할 수 있다. 따라서, 스테이션으로부터 4번의 선반까지 일정 속도로 물품(8)을 반송하는 것이 결정된다.
한편, 도 8에 나타내어지는 반송 경로의 경우에는 비청정한 32번의 선반 전방을 지나지 않으면 목적으로 하는 4번의 선반에 도달할 수 없다. 따라서, 32번의 선반 전방을 지날 때에 스태커 크레인(1)(승강대)의 속도를 낮춰서 빨리 물품(8)을 반송하고, 그 이외에는 일정 속도로 물품(8)을 반송하는 것이 결정된다.
마지막으로, 제어부(31)는 반송 조건 결정부(35)에 의해 결정된 반송 조건에 의해 스테이션의 물품(8)이 반송 지령에 나타내어진 반송처의 선반에 반송되도록 기구부(30)를 제어한다(스텝 S62).
도 9는 상기 구성을 갖는 자동창고에 있어서의 물품(8)의 피난 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
우선, FFU상태 확인부(42)는 소정의 FFU(4)에 이상이 발생한 것을 확인한다.(스텝 S71). 구체적으로, FFU상태 확인부(42)는 이상에 의해 소정의 FFU(4)가 클린 에어를 공급할 수 없게 된 것을 확인하고, 이상 발생을 피난 지령 생성부(36)에 보고한다.
이어서, 피난 지령 생성부(36)는 이상의 보고를 받아 소정의 FFU(4)의 이상에 의해 비청정으로 된 선반을 특정한다(스텝 S72). 구체적으로, 피난 지령 생성부(36)는 관련 테이블(40)에 있어서 이상의 보고를 받은 FFU(4)에 관련된 선반을 특정한다.
예를 들면 피난 지령 생성부(36)가 2번의 FFU(4)에 이상이 발생했다라는 보고를 받은 경우, 도 4의 관련 테이블(40)에서는 2번의 FFU(4)에 9∼16번의 선반이 관련되어 있으므로 9∼16번의 선반이 특정된다.
이어서, 선반 데이터 갱신부(37)는 특정된 선반을 비청정한 선반으로서 등록하고, 선반 데이터(41)를 갱신한다(스텝 S73). 구체적으로, 피난 지령 생성부(36)는 선반 데이터(41)의 특정된 선반의 「에어 상태」의 란을 「×」로 한다.
이어서, 피난 지령 생성부(36)는 특정된 선반에 물품(8)이 입고되어 있는지를 확인하고, 입고되어 있는 경우에는 그 물품(8)을 청정한 선반으로 피난시키는 피난 지령을 생성한다(스텝 S74). 구체적으로, 피난 지령 생성부(36)는 선반 데이터(41)에 있어서 「에어 상태」의 란이 「×」이며 「빈 상태」의 란이 「×」로 되어 있는 경우, 그 선반의 물품(8)을 선반 데이터(41)에 있어서 「에어 상태」의 란이 「○」이며 「빈 상태」의 란이 「○」로 되어 있는 선반으로 피난시키는 지령을 생성한다. 또, 특정된 선반에 물품(8)이 입고되어 있지 않은 경우, 피난 지령 생성부(36)는 피난 지령을 생성하지 않고 동작을 종료시킨다.
마지막으로, 제어부(31)는 피난 지령 생성부(36)에 의해 생성된 피난 지령에 나타내어지는 내용으로 물품(8)의 반송이 행해지도록 기구부(30)를 제어한다(스텝 S75). 구체적으로, 제어부(31)는 비청정한 선반의 물품(8)이 청정하며 비어 있는 선반으로 반송되도록 기구부(30)를 제어한다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 자동창고에 의하면, FFU(4)가 이상으로 되어 정상적으로 동작하지 않게 된 경우, 그것에 의해 청정을 유지할 수 없게 된 선반 전방을 지나지 않고, 또 지날 때에는 속도를 낮춰서 지나도록 물품(8)의 반송이 제어된다. 따라서, 스태커 크레인이 오염되는 일이 없어지므로, 스태커 크레인이 매체로 되어서 청정한 물품으로 오염이 확대하는 것을 고확률로 방지할 수 있다.
또한 본 실시 형태의 자동창고에 의하면, FFU(4)가 이상으로 되어서 정상적으로 동작하지 않게 된 경우, 그것에 의해 청정을 유지할 수 없게 된 선반의 물품(8)을 다른 선반으로 이동시킨다. 따라서, 청정을 유지할 수 없게 된 선반의 물품이 오염되는 일이 없어지므로, 물품이 매체로 되어서 청정한 선반으로 오염이 확대되는 것을 고확률로 방지할 수 있다.
(제 2 실시 형태)
도 10은 본 실시 형태에 있어서의 반송차 시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
이 반송차 시스템은 컨트롤러(50), 복수의 클린룸(53), 반송차(51) 및 복수의 FFU(54)로 구성된다.
클린룸(53)은 통로를 통해 이어져 있다. 스태커 크레인(1)이 통과하는 클린룸(53)은 본 발명의 영역의 일례이며, 다른 클린룸(53)은 다른 영역이다. 각 클린룸(53)에는 물품(8)을 일시 보관하는 보관부와, 반송차(51)와 보관부 사이에서의 물품(8)의 이송 개소로서의 스테이션이 설치되어 있다.
컨트롤러(50)는 네트워크를 통해 반송차(51) 및 FFU(54)와 전기적으로 접속되어, 클린룸(53) 사이의 물품(8)의 반송을 관리하고 있다. 구체적으로, 컨트롤러(50)는 반송차(51)와의 사이에서 반송 지령 및 피난 지령의 통신을 행함으로써 물품(8)의 반송을 관리하고 있다. 컨트롤러(50)와 반송차(51) 및 FFU(54) 사이에서의 통신은, 예를 들면 물품(8)의 반송 경로를 따라 부설된 통신선(통신을 위한 전송매체)을 통해 행해진다. 상기 통신선은 컨트롤러(50)에 접속됨과 아울러, 반송 차(51)에는 상기 통신선과의 사이에서 지령의 송수신이 가능한 통신장치가 탑재된다.
반송차(51)는 주행 레일 위를 주행하는 천정 주행차 및 유궤도 대차 등이며, 물품(8)을 탑재해서 클린룸(53) 사이의 물품(8)의 반송을 행한다.
FFU(54)는 클린룸(53)마다 설치되어 있고, 예를 들면 클린룸(53)의 천정에 설치되어 자신이 설치된 클린룸(53)에 클린 에어를 공급한다.
도 11은, 컨트롤러(50) 및 반송차(51)의 기능적인 구성을 나타내는 블럭도이다.
이 컨트롤러(50)는 표시부(62), 입력부(63), 통신 I/F부(64), 반송 조건 결정부(65), 피난 지령 생성부(66), 룸 데이터 갱신부(67), 기억부(69) 및 FFU상태 확인부(72)로 구성된다.
표시부(62)는 CRT(Cathode-Ray Tube) 또는 LCD(Liquid Crystal Display) 등이며, 입력부(63)는 키보드 또는 마우스 등이며, 이들은 본 컨트롤러(50)와 조작자가 대화하거나 하기 위해서 이용된다.
통신 I/F부(64)는 컨트롤러(50)와 반송차(51) 및 FFU(54)의 통신 등에 이용된다.
반송 조건 결정부(65)는 반송 지령에 기초해서 물품(8)의 반송 경로 및 반송 속도 등의 반송 조건을 결정한다. 반송 조건의 결정은 룸 데이터(71)를 참조해서 행해지고, FFU(54)에 이상이 발생한 경우에, 이상으로 된 FFU(54)에 의해 클린 에어가 공급되고 있는 클린룸(53)의 오염이 이 클린룸(53) 이외의 다른 클린룸(53) 및 물품(8)으로 확대되지 않도록 반송차(51)가 제어된다. 반송 경로란 반송차(51)가 통과하는 클린룸(53)의 순서이며, 반송 속도란 클린룸(53)을 통과할 때의 반송차(51)의 속도이다.
피난 지령 생성부(66)는 FFU(54) 중 어느 하나가 이상으로 되었다라는 보고를 받은 경우, 이상으로 된 FFU(54)에 의해 클린 에어가 공급되고 있는 클린룸(53)의 오염이 다른 클린룸(53) 및 물품(8)으로 확대되지 않도록 반송차(51)를 제어하는 피난 지령을 생성한다. 피난 지령은 클린 에어가 공급되지 않게 된 비청정한 클린룸(53)의 물품(8)을 클린 에어가 공급되고 있는 청정한 클린룸(53)으로 이동시키는 지령이다.
룸 데이터 갱신부(67)는 이상의 보고를 받은 경우, 룸 데이터(71)를 갱신한다. 룸 데이터(71)의 갱신은 관련 테이블(70)에 있어서 이상으로 된 FFU(54)에 관련된 클린룸(53)을 비청정한 클린룸(53)인 것으로 해서 룸 데이터(71)에 등록함으로써 행해진다.
기억부(69)는 하드 디스크 또는 메모리 등이며, 관련 테이블(70) 및 룸 데이터(71) 등을 유지한다.
도 12 및 도 13은 관련 테이블(70) 및 룸 데이터(71)의 예를 나타내는 도면이다. 또, 도 12 및 도 13에 있어서 FFU 및 클린룸의 문자 옆에 붙여진 번호는 각 클린룸(53) 및 FFU(54)를 특정하기 위해서 미리 모든 클린룸(53) 및 FFU(54)에 붙여진 번호이다.
관련 테이블(70)에서는 FFU(54)마다 상기 FFU(54)에 의해 클린 에어가 공급 되고 있는 클린룸(53)이 관련되어져 있다. 예를 들면 1번의 FFU(54)에는 1번의 클린룸(53)이 관련되어져 있다.
룸 데이터(71)에서는 모든 클린룸(53)에 대해서 그 상태가 나타내어져 있다. 도 13에 있어서, 「에어 상태」는 청정한 클린룸(53)인지의 여부를 나타내고, 「○」는 청정한 클린룸(53)인 것을, 「×」는 비청정한 클린룸(53)인 것을 나타내고 있다. 또한 「빈 상태」는 물품(8)의 입고에 대하여 빈 공간이 있어 새로운 물품(8)을 보관할 수 있는 클린룸(53)인지의 여부를 나타내고, 「○」는 새로운 물품(8)을 보관할 수 있는 클린룸(53)인 것을, 「×」는 새로운 물품(8)을 보관할 수 없는 클린룸(53)인 것을 나타내고 있다. 「입고 상태」는 물품(8)이 입고되어 있는 클린룸(53)인지의 여부를 나타내고, 「○」는 물품(8)이 입고되어 있는 클린룸(53)인 것을, 「×」는 물품(8)이 입고되어 있지 않은 클린룸(53)인 것을 나타내고 있다. 예를 들면 1번의 클린룸(53)은 청정하며 물품(8)이 입고되어 있고, 또한 새로운 물품(8)을 보관할 수 있는 클린룸(53)인 것이 나타내어져 있다.
FFU상태 확인부(72)는 미리 정해진 기간을 두고 FFU(54)에 이상이 발생되어 있는지의 여부를 확인한다.
반송차(51)는 기구부(60), 제어부(61) 및 통신 I/F부(68)로 구성된다. 또, 제어부(61), 반송 조건 결정부(65) 및 피난 지령 생성부(66)는 본 발명의 반송 제어부의 일례이다.
기구부(60)는 차륜 및 그것을 구동하는 모터 등의 기구부품의 집합이다. 제어부(61)는 반송 지령 및 피난 지령 등에 따라서 기구부(60)를 제어한다. 통신 I/F 부(68)는 반송차(51)와 컨트롤러(50)의 통신 등에 이용된다.
도 14는 상기 구성을 갖는 반송차 시스템에 있어서의 물품(8)의 반송 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
우선, 반송 조건 결정부(65)는 입력부(63) 또는 통신 I/F(64)를 통해 반송 지령을 받아 반송 경로를 결정한다(스텝 S80). 구체적으로, 반송 조건 결정부(65)는 반송 지령에 나타내어진 반송원으로부터 반송처로 룸 데이터(71)에 나타내어진 비청정한 클린룸(53)을 가능한 한 지나지 않고, 또한 반송 시간이 가능한 한 짧아지도록 물품(8)을 반송하는 경로를 결정한다. 이 때, 반송 지령에 반송처로서 비청정한 클린룸(53)이 나타내어져 있는 경우에는 반송처를 비청정한 클린룸(53) 이외의 다른 클린룸(53)으로 하거나, 유저에게 반송처가 비청정한 선반인 것을 알리거나, 또는 반송을 행하지 않는 것을 결정하여 동작을 종료시킨다.
예를 들면 반송처의 클린룸(53)으로서의 4번의 클린룸(53)과, 반송원의 클린룸(53)으로서의 9번의 클린룸(53)이 반송 지령에 나타내어져 있었다고 한다. 또한, 룸 데이터(71)에 비청정한 클린룸(53)으로서 1, 3 및 5번의 클린룸(53)이 나타내어져 있었다고 한다. 이 경우에는, 도 15에 나타내어지는 1, 3 및 5번의 클린룸(53)을 피해서 4번의 클린룸(53)에 겨우 도착하는 경로가 반송 경로로서 결정된다.
한편, 반송처의 클린룸(53)으로서의 1번의 클린룸(53)과, 반송원의 클린룸(53)으로서의 9번의 클린룸(53)이 반송 지령에 나타내어져 있었다고 한다. 또한, 룸 데이터(71)에 비청정한 클린룸(53)으로서 4, 5 및 6번의 클린룸(53)이 나타내어져 있었다고 한다. 이 경우에는, 4, 5 및 6번의 클린룸(53)을 피해서 1번의 클린 룸(53)에 겨우 도착하는 경로는 없다. 따라서, 비청정한 클린룸(53)을 지나는 횟수가 가장 적은 경로, 즉 4, 5 및 6번의 클린룸(53) 중 어느 하나만을 통과하는 경로가 반송 경로로서 결정된다. 예를 들면 도 16에 나타내는 6번의 클린룸(53)만을 통과하는 경로가 반송 경로로서 결정된다.
이어서, 반송 조건 결정부(65)는 반송 속도를 결정한다(스텝 S81). 구체적으로, 반송 조건 결정부(65)는 결정된 반송 경로를 전제로 하고, 비청정한 클린룸(53)을 통과하는 반송 경로인지를 판정한다. 그리고, 비청정한 클린룸(53)을 통과하는 반송 경로인 경우에는 비청정한 클린룸(53)을 지날 때의 반송차(51)의 속도가 청정한 다른 클린룸(53)을 통과할 때의 속도보다 낮아지도록 물품(8)의 반송 속도를 결정한다. 한편, 비청정한 클린룸(53)을 통과하는 반송 경로가 아닌 경우에는 물품(8)의 반송 속도를 일정 속도로 결정한다.
예를 들면 도 15에 나타내어지는 반송 경로의 경우에는 비청정한 1, 3 및 5번의 클린룸(53)을 한번도 지나가지 않고 목적으로 하는 4번의 클린룸(53)에 도달할 수 있다. 따라서, 9번의 클린룸(53)부터 4번의 클린룸(53)까지 일정 속도로 물품(8)을 반송하는 것이 결정된다.
한편, 도 16에 나타내어지는 반송 경로의 경우에는, 비청정한 6번의 클린룸(53)을 통과해야만 목적으로 하는 1번의 클린룸(53)에 도달할 수 있다. 따라서, 6번의 클린룸(53)을 지날 때에 반송차(51)의 속도를 낮춰서 물품(8)을 반송하고, 그 이외에는 일정 속도로 물품(8)을 반송하는 것이 결정된다.
이어서, 반송 조건 결정부(65)는 결정된 반송 조건에 의해 물품(8)을 반송하 는 것, 및 반송처 및 반송원으로서의 클린룸(53)이 나타내어진 반송 지령을 통신 I/F부(64)를 통해 반송차(51)에 송신한다(스텝 S82).
마지막으로, 제어부(61)는 통신 I/F부(68)를 통해 수신한 반송 지령에 따라 결정된 반송 조건으로 반송원의 클린룸(53)의 물품(8)이 반송처의 클린룸(53)에 반송되도록 기구부(30)를 제어한다(스텝 S83).
도 17은 상기 구성을 갖는 반송차 시스템에 있어서의 물품(8)의 피난 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
우선, 소정의 FFU(54)에 이상이 발생한 경우(스텝 S90), FFU상태 확인부(72)는 소정의 FFU(54)에 이상이 발생한 것을 확인한다(스텝 S91). 구체적으로, FFU상태 확인부(72)는 이상에 의해 소정의 FFU(54)가 클린 에어를 공급할 수 없게 된 것을 확인하고, 이상 발생을 피난 지령 생성부(66)에 보고한다.
이어서, 피난 지령 생성부(66)는 이상의 보고를 받아 소정의 FFU(54)의 이상에 의해 비청정으로 되는 클린룸(53)을 특정한다(스텝 S92). 구체적으로, 피난 지령 생성부(66)는 관련 테이블(70)에 있어서 이상으로 된 FFU(54)에 관련된 클린룸(53)을 특정한다.
예를 들면 피난 지령 생성부(66)가 2번의 FFU(54)에 이상이 발생되었다라는 보고를 받은 경우, 도 12의 관련 테이블(70)에서는 2번의 FFU(54)에 2번의 클린룸(53)이 관련되어져 있으므로, 2번의 클린룸(53)이 특정된다.
이어서, 룸 데이터 갱신부(67)는 특정된 클린룸(53)을 비청정한 클린룸(53)으로서 등록하고, 룸 데이터(71)를 갱신한다(스텝 S93). 구체적으로, 피난 지령 생 성부(66)는 룸 데이터(71)에 있어서의 특정된 클린룸(53)의 「에어 상태」의 란을 「×」로 한다.
이어서, 피난 지령 생성부(66)는 특정된 클린룸(53)에 물품(8)이 입고되어 있는지를 확인하고, 입고되어 있는 경우에는 그 물품(8)을 청정한 클린룸(53)으로 피난시키는 피난 지령을 생성한다(스텝 S94). 구체적으로, 피난 지령 생성부(66)는 룸 데이터(71)에 있어서 「에어 상태」의 란이 「×」이며 「입고 상태」의 란이 「○」로 되어 있는 경우, 그 클린룸(53)의 물품(8)을 룸 데이터(71)에 있어서 「에어 상태」의 란이 「○」이며 「빈 상태」의 란이 「○」로 되어 있는 클린룸(53)으로 피난시키는 지령을 생성한다. 또, 특정된 클린룸(53)에 물품(8)이 입고되어 있지 않은 경우, 피난 지령 생성부(66)는 피난 지령을 생성하지 않고 동작을 종료시킨다.
이어서, 피난 지령 생성부(66)는 생성된 피난 지령을 통신 I/F부(64)를 통해 반송차(51)에 송신한다(스텝 S95).
마지막으로, 제어부(61)는 통신 I/F부(68)를 통해 수신한 반송 지령에 따라 물품(8)의 반송이 행해지도록 기구부(60)를 제어한다(스텝 S96). 구체적으로, 제어부(61)는 비청정한 클린룸(53)의 물품(8)이 청정하며 또한 새로운 물품(8)을 보관 가능한 클린룸(53)에 반송되도록 기구부(60)를 제어한다.
이상과 같이 본 실시 형태의 반송차 시스템에 의하면, FFU(54)가 이상으로 되어 정상적으로 동작하지 않게 된 경우, 그것에 의해 청정을 유지할 수 없게 된 클린룸(53)을 통과하지 않고, 또 통과할 때에는 속도를 낮춰서 지나도록 물품(8)의 반송이 제어된다. 따라서, 반송차(51)이 오염되는 일이 없어지므로, 반송차가 매체로 되어서 청정한 물품으로 오염이 확대되는 것을 고확률로 방지할 수 있다.
또한 본 실시 형태의 반송차 시스템에 의하면, FFU(54)가 이상으로 되어서 정상적으로 동작하지 않게 된 경우, 그것에 의해 청정을 유지할 수 없게 된 클린룸(53)의 물품(8)을 다른 클린룸(53)으로 이동시킨다. 따라서, 청정을 유지할 수 없게 된 클린룸(53)의 물품(8)이 오염되는 일이 없어지므로, 물품이 매체로 되어서 청정한 클린룸으로 오염이 확대되는 것을 고확률로 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 반송차 시스템에 대해서, 실시 형태에 기초하여 설명했지만, 본 발명은 이 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위내에서 당업자가 생각해낸 각종 변형을 실시한 것도 본 발명의 범위내에 포함된다.
상기 실시 형태에서는 FFU는 클린룸마다 설치되고, 관련 테이블에 있어서 1개의 FFU에 1개의 클린룸이 관련된다로 했다. 그러나, FFU는 복수의 클린룸에 대하여 1개 설치되고, 관련 테이블에 있어서 1개의 FFU에 복수의 클린룸이 관련되어도 좋다. 이 경우, 1개의 FFU에 관련된 복수의 클린룸이 본 발명의 1개의 영역으로 된다. 또한 1개의 클린룸에 복수의 FFU가 설치되고, 관련 테이블에 있어서 복수의 FFU에 1개의 클린룸이 관련되어도 좋다. 또한, 청정도는 정상·이상의 2종류 뿐만 아니라, 몇단계로 나뉘어진 것이어도 좋다.
이러한 구성을 실현하기 위해서, 예를 들면 컨트롤러에 테이블 최적화부를 설치하고, 클린룸에 클린룸의 청정도를 측정하는 파티클 카운터 등을 설치한다. 테 이블 최적화부는 청정도의 측정 결과에 기초해서 관련 테이블에 있어서 FFU에 관련되는 클린룸의 수를 증감시킨다. 즉, 테이블 최적화부는 어느 하나의 클린룸에 있어서 청정도가 임계값보다 낮을 때에, 관련 테이블에 있어서, 청정도가 임계값보다 낮은 클린룸에 클린 에어를 공급하는 FFU와 관련되어 있는 클린룸의 수를 줄인다. 한편, 어느 하나의 클린룸에 있어서 청정도가 임계값보다 높을 때에, 관련 테이블에 있어서 청정도가 임계값보다 높은 클린룸에 클린 에어를 공급하는 FFU와 관련되어 있는 클린룸의 수를 늘린다.
본 발명은 반송차 시스템에 이용할 수 있고, 특히 FFU를 구비한 반송차 시스템 등에 이용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태의 클린룸용의 자동창고의 단면도(FFU 직상부에서의 수평방향 단면도)이다.
도 2는 동 실시 형태의 자동창고의 단면도(연직방향 단면도)이다.
도 3은 동 실시 형태의 자동창고의 기능적인 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 4는 관련 테이블의 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 선반 데이터의 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 동 실시 형태의 자동창고에 있어서의 물품의 반송 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
도 7은 반송 경로 및 반송 속도의 결정 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 반송 경로 및 반송 속도의 결정 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 동 실시 형태의 자동창고에 있어서의 물품의 피난 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시 형태의 반송차 시스템의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 11은 동 실시 형태의 반송차 시스템에 있어서의 컨트롤러 및 반송차의 기능적인 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 12는 관련 테이블의 예를 나타내는 도면이다.
도 13은 룸 데이터의 예를 나타내는 도면이다.
도 14는 동 실시 형태의 반송차 시스템에 있어서의 물품의 반송 동작을 설명 하기 위한 플로우챠트이다.
도 15는 반송 경로 및 반송 속도의 결정 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 반송 경로 및 반송 속도의 결정 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 동 실시 형태의 반송차 시스템에 있어서의 물품의 피난 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
(부호의 설명)
1:스태커 크레인 2:랙
4, 54:FFU 5:통로
6:주행 레일 8:물품
14:덕트 16:외벽
20, 21:분출구 22:지주
30, 60:기구부 31, 61:제어부
32, 62:표시부 33, 63:입력부
34, 64, 68:통신 I/F부 35, 65:반송 조건 결정부
36, 66:피난 지령 생성부 37:선반 데이터 갱신부
39, 69:기억부 40, 70:관련 테이블
41:선반 데이터 42, 72:FFU상태 확인부
50:컨트롤러 51:반송차
53:클린룸 67:룸 데이터 갱신부
71:룸 데이터

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 반송차를 이용하여 물품을 반송하는 반송차 시스템으로서,
    팬필터 유닛마다 상기 팬필터 유닛에 의해 클린 에어가 공급되는 물품을 보관하는 영역을 관련시킨 관련 테이블이 저장된 기억부와,
    어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역의 오염이 확대되지 않도록 반송차를 제어하는 반송 제어부를 구비하고,
    상기 반송 제어부는 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역을 통과하지 않도록 반송차의 반송 경로를 결정하는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  3. 반송차를 이용하여 물품을 반송하는 반송차 시스템으로서,
    팬필터 유닛마다 상기 팬필터 유닛에 의해 클린 에어가 공급되는 물품을 보관하는 영역을 관련시킨 관련 테이블이 저장된 기억부와,
    어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역의 오염이 확대되지 않도록 반송차를 제어하는 반송 제어부를 구비하고,
    상기 반송 제어부는 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역을 통과할 때의 속도가 다른 영역을 통과할 때의 속도보다 낮아지도록 반송차의 반송 속도를 결정하는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  4. 반송차를 이용하여 물품을 반송하는 반송차 시스템으로서,
    팬필터 유닛마다 상기 팬필터 유닛에 의해 클린 에어가 공급되는 물품을 보관하는 영역을 관련시킨 관련 테이블이 저장된 기억부와,
    어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역의 오염이 확대되지 않도록 반송차를 제어하는 반송 제어부를 구비하고,
    상기 반송 제어부는 어느 하나의 팬필터 유닛에 이상이 발생한 경우에 상기 관련 테이블에 있어서 이상이 발생한 팬필터 유닛과 관련된 영역에 보관된 물품을 다른 영역으로 피난시키는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  5. 삭제
  6. 삭제
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