KR102205503B1 - 보관 시스템 및 보관 방법 - Google Patents

Abstract

보관 시스템은, 수납부와 반출입부가 설치된 보관고와, 보관 환경을 수납부마다 조절하는 환경 조절부와, 보관 환경에 관한 정보를 수집하여 환경 조절부의 작동을 제어하는 환경 관리부와, 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치와, 물품 유지체가 수납되어 있는 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 식별 정보와 대응시켜 관리하여, 주관리 장치로부터의 출고 또는 입고 요구에 따라 보관고 반송 장치의 반송 작업을 제어하는 입출고 관리 장치를 구비한다. 입출고 관리 장치는, 환경 관리부가 생성하는 수납부마다의 환경 관리 정보와, 수납부의 각각에 수납되어 있는 물품 유지체의 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보를 생성하여 주관리 장치에 출력한다.

Description

보관 시스템 및 보관 방법{Storage System and Storage Method}

본 발명은, 물품 반송용(搬送用)의 물품 유지체를 수납하는 수납부가 복수 설치되어 있는 동시에 상기 물품 유지체의 입출고용의 반출입부(搬出入部)가 설치된 보관고와, 상기 수납부에 있어서, 상기 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경을, 상기 수납부마다 조절하는 환경 조절부와, 복수의 상기 수납부의 각각에서의 상기 물품의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여 상기 환경 조절부의 작동을 제어하는 환경 관리부와, 상기 수납부로부터 상기 반출입부에 상기 물품 유지체를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 상기 반출입부로부터 상기 수납부에 상기 물품 유지체를 반송하는 입고용 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치와, 상기 물품 유지체의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 상기 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고에 입고하기 위한 입고 요구를 출력하는 주관리(主管理) 장치와, 상기 물품 유지체가 수납되어 있는 상기 수납부의 장소를 상기 물품 유지체의 상기 식별 정보와 대응시켜 관리하여, 상기 출고 요구 또는 상기 입고 요구에 따라 상기 보관고 반송 장치의 상기 출고용 반송 작업 또는 상기 입고용 반송 작업을 제어하는 입출고 관리 장치를 구비한 보관 시스템, 및 그와 같은 보관 시스템을 이용한 보관 방법에 관한 것이다.

상기한 보관 시스템과 같이, 수납부에 있어서, 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경을, 수납부마다 조절하는 환경 조절부를 구비한 보관 시스템의 일례가, 일본 공개특허 1999―168135호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있다. 특허 문헌 1의 보관 시스템은, 불활성 기체(氣體) 분위기 하에서 보관될 반도체 기판을 복수 개 유지하는 물품 반송용 용기를 보관하는 시스템이다.

특허 문헌 1의 보관 시스템은, 환경 조절부로서, 수납부에 수납되어 있는 반송 용기에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 수납부마다 가지고, 환경 관리부[특허 문헌 1에서는 제어부(20)]가, 공급 배관에서의 밸브의 개폐 정보, 불활성 기체의 공급압 정보나 공급 유량 정보라는, 반도체 기판의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여, 수납부마다 이들 복수의 불활성 기체 공급 장치의 작동을 제어하고 있다.

환경 조절부를 구비한 보관 시스템의 다른 예가 일본 공개특허 제2009―48588호 공보(특허 문헌 2) 및 일본 공개특허 제2012―25557호 공보(특허 문헌 3)에 기재되어 있다. 특허 문헌 2 및 3의 보관 시스템은, 2차 전지 셀을 복수 개 유지하는 물품 반송용 매거진을 보관하는 시스템이다(특허 문헌 2에 있어서는 단락 [0013] 참조).

특허 문헌 2 및 3과 같은 2차 전지 셀의 매거진을 보관하는 보관 시스템의 경우, 환경 조절부로서, 수납부에 수납되어 있는 매거진에 전류를 공급하는 충전 장치를 수납부마다 가지고, 환경 관리부가, 충전 장치의 동작 상태에 대한 정보, 수납부에서의 기온, 수납부에서의 연기의 유무라는, 2차 전지 셀의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여, 수납부마다 이들 복수의 충전 장치의 작동을 제어한다.

특허 문헌 1∼3의 보관 시스템이 가지는 보관고 반송 장치는, 보관고에서의 수납부로부터 반출입부에 물품 유지체를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 반출입부로부터 수납부에 물품 유지체를 반송하는 입고용 반송 작업을 행한다. 보관고 반송 장치의 출고용 반송 작업 및 입고용 반송 작업은, 입출고 관리 장치에 의해 제어된다. 특허 문헌 1∼3에는 자세한 것은 기재되어 있지 않지만, 입출고 관리 장치는, 어느 수납부에 어느 물품 유지체가 보관되어 있는지를 관리하기 위해, 물품 유지체가 수납되어 있는 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 식별 정보와 대응시켜 관리한다.

입출고 관리 장치는, 물품 유지체를 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구나, 물품 유지체를 보관고에 입고하기 위한 입고 요구에 따라 보관고 반송 장치의 출고용 반송 작업 및 입고용 반송 작업을 제어한다. 이들의 출고 요구나 입고 요구는, 예를 들면, 일본 공개특허 제2005―19911호 공보(특허 문헌 4)에 기재되어 있는 바와 같이, 상위의 주관리 장치가 출력한다. 즉, 주관리 장치가, 물품 유지체의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 물품 유지체를 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 식별 정보에 의해 지정된 물품 유지체를 보관고에 입고하기 위한 입고 요구를 입출고 관리 장치에 출력함으로써, 지정한 물품 유지체가 보관고에 입고되거나 지정한 물품 유지체가 보관고로부터 출고되거나 한다.

상기와 같은 보관 시스템에 있어서는, 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경에, 물품의 품질 관리 상 유의할 만한 변화가 있었을 경우에는, 입출고 관리 장치가, 환경 관리부로부터 취득한 보관 환경에 관한 정보에 기초하여 입출고 반송 장치의 작동을 제어한다. 예를 들면, 특허 문헌 2의 보관 시스템에서는, 수납부에 있어서 보관 환경에 이상(異常)이 발생한 경우, 해당 수납부에 수납되어 있는 물품 유지체를 보관고 반송 장치에 의해 소정의 장소로 퇴피시킨다. 그리고, 특허 문헌 2에서는, 입출고 관리 장치가 환경 관리부의 기능을 구비하고 있는 예가 나타나 있다.

일본 공개특허 제1999―168135호 공보 일본 공개특허 제2009―48588호 공보 일본 공개특허 제2012―25557호 공보 일본 공개특허 제2005―19911호 공보

상기와 같은 보관 시스템이면, 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경에, 물품의 품질 관리 상 유의할 만한 변화가 있었을 경우에는, 입출고 관리 장치는, 환경 관리부로부터 취득한 보관 환경에 관한 정보에 기초하여 입출고 반송 장치의 작동을 제어할 수 있을뿐, 상위의 주관리 장치에는, 수납부에서의 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경의 정보가 전달되지 않는다. 그러므로, 상기와 같은 보관 시스템이면, 보관고에서의 물품의 보관 환경에 이변이 발생한 경우에, 주관리 장치는 그 사실을 파악할 수 없어, 주관리 장치에 의한 물품의 품질 관리에 유효한 대응을 취하기 어렵다.

그래서, 주관리 장치에 의한 물품의 보관 환경에 기초한 물품 유지체의 관리를 행하기 용이한 보관 시스템이 요구되고 있다.

본 발명에 관한 보관 시스템은,

물품 반송용의 물품 유지체를 수납하는 수납부가 복수 설치되어 있는 동시에 상기 물품 유지체의 입출고용의 반출입부가 설치된 보관고;

상기 수납부에 있어서, 상기 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경을, 상기 수납부마다 조절하는 환경 조절부;

복수의 상기 수납부의 각각에서의 상기 물품의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여 상기 환경 조절부의 작동을 제어하는 환경 관리부;

상기 수납부로부터 상기 반출입부에 상기 물품 유지체를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 상기 반출입부로부터 상기 수납부에 상기 물품 유지체를 반송하는 입고용 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치;

상기 물품 유지체의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 상기 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고에 입고하기 위한 입고 요구를 출력하는 주관리 장치;

상기 물품 유지체가 수납되어 있는 상기 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 상기 식별 정보와 대응시켜 관리하여, 상기 출고 요구 또는 상기 입고 요구에 따라 상기 보관고 반송 장치의 상기 출고용 반송 작업 또는 상기 입고용 반송 작업을 제어하는 입출고 관리 장치;

를 포함하고,

여기서, 상기 환경 관리부는, 상기 수납부마다의 상기 물품의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보를 생성하여 상기 입출고 관리 장치에 출력하도록 구성되며,

상기 입출고 관리 장치는, 상기 환경 관리부가 출력한 상기 수납부마다의 상기 환경 관리 정보와, 상기 수납부의 각각에 수납되어 있는 상기 물품 유지체의 상기 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하도록 구성되어 있다.

상기한 구성에 의하면, 입출고 관리부는, 수납부마다의 물품의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보를, 환경 관리부로부터 취득한다. 입출고 관리부는, 물품 유지체가 수납되어 있는 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 식별 정보와 대응시켜 관리하고 있으므로, 수납부마다의 물품의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보로부터, 상기 수납부에 수납되어 있는 물품 유지체에 대한 상위 환경 관리 정보를, 그 물품 유지체의 식별 정보와 대응시켜 생성할 수 있다. 그리고, 입출고 관리부가, 상위 환경 관리 정보를 주관리 장치에 출력하므로, 주관리 장치는, 수납부에 수납되어 있는 물품 유지체에 대한 상위 환경 관리 정보를 취득할 수 있다.

따라서, 주관리 장치는, 예를 들면, 환경 조절부에 이상이 발생한 경우에, 발생한 이상의 영향을 받는 수납부에 수납되어 있는 물품 유지체를 가능한 한 신속하게 다른 보관고로 이동시키기 위해 상기 보관고로부터 물품 유지체를 출고시키는 출고 요구를 출력하거나, 상기 환경 조절부의 이상이 복구할 때까지는, 상기 보관고에 대해서는 물품 유지체를 입고시키지 않도록 입고 요구의 출력을 제한하거나 하는 등의 대응을 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 상기한 구성에 의하면, 주관리 장치에 있어서, 물품의 보관 환경에 기초한 물품 유지체의 관리를 행하기 용이한 보관 시스템을 실현할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 시스템의 기술적 특징은, 보관 방법에도 적용 가능하며, 본 발명은 그와 같은 방법도 권리의 대상으로 할 수 있다. 이 보관 방법에 있어서도, 전술한 보관 시스템에 관한 작용 효과를 얻을 수 있다.

즉, 본 발명에 관한 보관 방법은,

물품 반송용의 물품 유지체를 수납하는 수납부가 복수 설치되어 있는 동시에 상기 물품 유지체의 입출고용의 반출입부가 설치된 보관고;

상기 수납부에 있어서, 상기 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경을, 상기 수납부마다 조절하는 환경 조절부;

복수의 상기 수납부의 각각에서의 상기 물품의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여 상기 환경 조절부의 작동을 제어하는 환경 관리부;,

상기 수납부로부터 상기 반출입부에 상기 물품 유지체를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 상기 반출입부로부터 상기 수납부에 상기 물품 유지체를 반송하는 입고용 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치;

상기 물품 유지체의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 상기 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고에 입고하기 위한 입고 요구를 출력하는 주관리 장치; 및

상기 물품 유지체가 수납되어 있는 상기 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 상기 식별 정보와 대응시켜 관리하여, 상기 출고 요구 또는 상기 입고 요구에 따라 상기 보관고 반송 장치의 상기 출고용 반송 작업 또는 상기 입고용 반송 작업을 제어하는 입출고 관리 장치;

를 포함하는 보관 시스템을 이용한 방법이며,

상기 환경 관리부는, 상기 수납부마다의 상기 물품의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보를 생성하여 상기 입출고 관리 장치에 출력하도록 구성되며,

상기 보관 방법은, 상기 입출고 관리 장치에 의해 실행되는,

상기 환경 관리부가 출력한 상기 수납부마다의 상기 환경 관리 정보와, 상기 수납부의 각각에 수납되어 있는 상기 물품 유지체의 상기 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하는 정보 출력 단계를 포함한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 보관 시스템 실시형태에 있어서는, 상기 입출고 관리 장치는, 또한 상기 입고용 반송 작업 및 상기 출고용 반송 작업에 관한 정보인 반송 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하도록 구성되며, 상기 반송 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고, 상기 상위 환경 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고, 상기 입출고 관리 장치는, 상기 반송 관리 정보의 종별 및 상기 상위 환경 관리 정보의 종별을 각각 식별 가능한 정보 식별자(識別子)를 부여한 상태에서, 상기 반송 관리 정보 및 상기 상위 환경 관리 정보를 상기 주관리 장치에 출력하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 주관리 장치는, 복수의 상위 환경 관리 정보를 얻을 수 있으므로, 물품의 보관 환경에 생기고 있는 현상을 복수 개로 분류하여 취득할 수 있다. 이로써, 주관리 장치는, 물품의 구체적인 보관 환경에 근거한 물품 유지체의 관리를 행하기 용이해진다.

또한, 주관리 장치는, 정보 식별자에 의해 반송 관리 정보의 종별 및 상위 환경 관리 정보의 종별을 식별 가능하므로, 주관리 장치는, 입출고 관리 장치와의 사이에서 통신하는 반송 관리 정보의 통신 방법과 동일한 통신 방법에 의해 상위 환경 관리 정보를 통신할 수 있다. 따라서, 주관리 장치가 입출고 관리 장치로부터 상위 환경 관리 정보를 취득할 수 있는 구성을, 별도의 통신 방법을 이용하는 등의 통신 환경의 복잡화를 방지하면서 실현할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 시스템 실시형태에 있어서는, 상기 환경 관리 정보는, 상기 물품의 보관 환경이 미리 정해진 복수 종류의 상태 중 어느 것으로 되었는지를 나타내는 정보인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 보관고에서의 물품의 보관 환경이 미리 정해진 상태 중 어느 하나로 된 경우에, 주관리 장치는, 환경 관리 정보에 의해 그 사상을 인식할 수 있다. 이로써, 보관고에 보관되어 있는 물품 유지체의 출고나 입고에 관하여 발생한 사상에 따른 적절한 대책을 강구하는 것이 가능해진다.

본 발명에 관한 보관 시스템 실시형태에 있어서는, 상기 환경 관리 정보가, 상기 환경 조절부에 이상이 발생한 것을 나타내는 정보를 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 환경 조절부에 이상이 발생하여 보관고에서의 물품의 보관 환경에 문제가 발생하고 있는 상태로 된 경우에, 주관리 장치는, 환경 관리 정보에 의해 그 사상을 인식할 수 있다. 이로써, 주관리 장치는, 발생한 이상의 영향을 받는 수납부에 수납되어 있는 물품 유지체를 가능한 한 신속하게 다른 보관고로 이동시키기 위해 상기 보관고로부터 물품 유지체를 출고시키는 출고 요구를 출력하거나, 상기 환경 조절부의 이상이 복구할 때까지는, 상기 보관고에 대해서는 물품 유지체를 입고시키지 않도록 입고 요구의 출력을 제한하거나 하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 관한 보관 시스템 실시형태에 있어서는, 상기 물품 유지체는, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 물품을 수용 가능한 기밀성의 용기이며, 상기 환경 조절부는, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기에 대하여 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 가지고, 상기 환경 관리 정보가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 의한 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 개시된 것 또는 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 완료된 것을 나타내는 정보를 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 물품을 수용 가능한 용기를 수납부에 수납함으로써, 불활성 기체 공급 장치에 의해 용기에 대하여 불활성 기체를 공급할 수 있다. 그리고, 주관리 장치는, 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 개시된 것 또는 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 완료된 것을 나타내는 정보를 환경 관리 정보로서 취득 가능하므로, 불활성 기체의 공급이 개시되어 아직도 완료되어 있지 않은 용기를 인식할 수 있다. 그러므로, 그와 같은 불활성 기체의 공급이 완료되어 있지 않은 용기에 대한 출고 요구를 가능한 한 출력하지 않도록 한 운용을 행함으로써, 불활성 기체의 공급이 충분하지 않은 용기가 보관고로부터 출고되는 현상을 최대한 방지할 수 있다. 따라서, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 물품의 품질 유지에 유리한 보관 시스템을 실현할 수 있다.

본 발명에 관한 보관 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 정보 출력 단계에서는, 또한 상기 입고용 반송 작업 및 상기 출고용 반송 작업에 관한 정보인 반송 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하고, 상기 반송 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고, 상기 상위 환경 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고, 상기 정보 출력 단계에서는, 상기 반송 관리 정보의 종별 및 상기 상위 환경 관리 정보의 종별을 각각 식별 가능한 정보 식별자를 부여한 상태에서, 상기 반송 관리 정보 및 상기 상위 환경 관리 정보를 상기 주관리 장치에 출력하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 보관 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 환경 관리 정보는, 상기 물품의 보관 환경이 미리 정해진 복수 종류의 상태 중 어느 것으로 되었는지를 나타내는 정보인 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 보관 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 환경 관리 정보가, 상기 환경 조절부에 이상이 발생한 것을 나타내는 정보를 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 보관 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 물품 유지체는, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 물품을 수용하는 기밀성의 용기이며, 상기 환경 조절부는, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기에 대하여 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 가지고, 상기 환경 관리 정보가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 의한 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 개시된 것 또는 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 완료된 것을 나타내는 정보를 포함하는 것이 바람직하다.

도 1은, 보관고의 종단 정면도이며,
도 2는, 통신 블록도이며,
도 3은, 관리 정보의 일례이며,
도 4는, 질소 가스의 퍼지(purge) 패턴을 모식적으로 나타낸 도면이며,
도 5는, 용기 입고 시의 통신예이며,
도 6은, 용기 입고 시의 통신예이며,
도 7은, 퍼지 선반 고장 시의 통신예이며,
도 8은, 퍼지 선반 고장 시의 통신예이다.

본 발명에 관한 보관 시스템 및 보관 방법의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 수납부(10S)가 상하 방향 및 좌우 방향(수평 방향)으로 배열된 상태로 복수 설치되어 있는 동시에, 용기(50)의 입출고용의 반출입부가 설치된 보관고(10)가, 청정 공기의 다운플로가 형성되는 청정실의 바닥면 상에 설치되어 있다. 수납부(10S)는, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 반도체 기판을 밀폐 상태로 수용하는 기판 반송용 용기(50)를 수납한다. 용기(50)가 본 발명의 물품 유지체를 구성한다. 보관고(10)는, 벽체(K)에 의해 외주부가 덮혀 있고, 입출고 컨베이어(CV)가, 벽체(K)를 관통하는 상태로 설치되고, 스태커 크레인(20)이, 설치 공간 내[보관고(10)의 내부]에 설치되어 있다. 입출고 컨베이어(CV)의 외부측 단부(端部)가 반출입부(D)에 설정되어 있다.

반출입부(D)에 탑재된 용기(50)는, 입출고 컨베이어(CV)에 의해 벽체(K)의 외부로부터 내부를 향해 반송된 후, 입출고 컨베이어(CV)의 내부측 단부에 의해 스태커 크레인(20)이 구비하는 이송탑재(transfer) 장치(25)에 의해 떠올려져 스태커 크레인(20)의 주행 작동 및 승강 작동 및 이송탑재 장치(25)의 이송탑재 작동에 의해 수납부(10S)에 입고된다. 또한, 수납부(10S)에 보관되어 있는 용기(50)는, 스태커 크레인(20)에 의해 수납부(10S)로부터 인출되고, 입출고 컨베이어(CV)의 내부측 단부에 내려진 후, 입출고 컨베이어(CV)에 의해 벽체(K)의 내부로부터 외부를 향해 입출고 컨베이어(CV)의 외부측 단부까지 반송되어 보관고(10)로부터 출고된다. 즉, 본 실시형태에서는, 스태커 크레인(20) 및 입출고 컨베이어(CV)가, 수납부(10S)로부터 반출입부(D)에 용기(50)(물품 유지체)를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 반출입부(D)로부터 수납부(10S)에 용기(50)(물품 유지체)를 반송하는 입고용 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치를 구성하고 있다.

그리고, 본 실시형태에서는, 입출고 컨베이어(CV)로서, 입고용과 출고용을 겸용하는 1개의 컨베이어를 설치하여, 반출입부가 1개소에 설정되어 있지만, 입고용과 출고용 각각의 다른 컨베이어를 설치하고, 각각의 외부측 단부에 설정되는 반입부 및 반출부에 의해 반출입부를 구성해도 된다. 또한, 입출고 컨베이어(CV)를 구비하지 않고 보관고(10)의 내부에 하수대(荷受臺; loading platform)를 설치하고, 그것을 반출입부(D)로 설정해도 된다. 이 경우, 천정 반송차(搬送車)(30)는 호이스트부(hoist member)(33)를 수평 이동시키는 수평 이동 기구(機構)를 구비한다. 또한, 반출입부(D)로서는, 천정 반송차(30)가 용기(50)를 수수(授受)(이송탑재)하는 것에 한정되지 않고, 예를 들면, 보관고(10)의 내부에 작업자의 키에 따른 바닥면 측의 소정의 높이에 설치되는 하수대와 같이, 작업자가 용기(50)를 수수하는 개소라도 된다.

본 실시형태의 보관 시스템에서는, 보관고(10)에 대한 용기(50)의 반입이나, 보관고(10)로부터의 용기(50)의 반출은, 외부 반송 장치로서의 복수의 천정 반송차(30)에 의해 행해진다. 천정 반송차(30)는, 청정실의 천정에 장착된 가이드 레일(31)에 현수 지지되어 이 가이드 레일을 따라 주행 가능한 주행 차체(32)와, 이 주행 차체(32)의 바로 아래에서 승강 가능하고, 또한 용기(50)의 탑 플랜지(52)를 파지(把持) 가능한 호이스트부(33)를 구비하고 있다. 이로써, 천정 반송차(30)는, 보관고(10)의 반출입부(D)에 대하여 용기(50)를 수수 가능하게 되어 있다.

그리고, 천정 반송차(30)의 가이드 레일(31)은, 용기(50)에 수용된 반도체 기판을 가공하는 도시하지 않은 가공 장치의 스테이션을 따라 설치되어 있고, 천정 반송차(30)는 스테이션의 바로 위에 정지한 상태로 호이스트부(33)를 승강시킴으로써, 스테이션과의 사이에서 용기(50)를 수수한다. 그리고, 천정 반송차(30)는, 복수의 가공 장치의 스테이션 사이나, 스테이션과 보관고(10)의 반출입부(D)와의 사이에서 용기(50)를 반송한다.

용기(50)는, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 따른 합성 수지제의 기밀 용기이며, 기판으로서의 반도체 웨이퍼를 수납하기 위해 사용되고, FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 하고 있다. 그리고, 상세한 설명은 생략하지만, 용기(50)의 전면(前面)에는, 착탈 가능한 커버체(51)에 의해 개폐되는 기판 출입용의 개구가 형성되고, 커버체(51)를 장착한 상태에 있어서 내부 공간이 기밀(氣密) 상태로 밀폐되도록 구성되어 있다. 용기(50)의 상면에는, 천정 반송차(30)의 호이스트부(33)에 의해 파지되는 탑 플랜지(52)가 형성되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 용기(50)에는 서로 식별 가능한 식별 정보가 부여된 용기 식별자로서의 ID 태그가 설치되어 있다.

또한, 도시는 생략하지만, 용기(50)의 바닥부에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 주입하기 위해, 급기구, 및 배기구가 설치되고, 이들은 모두 폐쇄측으로 가압된 개폐 밸브를 가지고 있다. 그리고, 이들 밸브는, 용기(50)가 수납부(10S)에서의 탑재 지지부(10a)의 소정의 위치에 탑재 지지된 상태에 있어서, 탑재 지지부(10a)에 구비된 토출(吐出) 노즐로부터 질소 가스가 공급되는 것에 의해, 그 토출 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다. 이로써, 용기(50)의 급기구로부터 용기(50)의 내부에 질소 가스가 공급되는 동시에 용기 내부의 공기가 배기구로부터 배출되어, 용기(50) 내의 공기가 질소 가스로 치환된다.

스태커 크레인(20)은, 수납부(10S)의 전면측의 바닥부에 설치된 주행 레일(R1)을 따라 주행 이동 가능한 주행 대차(carriage)(21)와, 그 주행 대차(21)에 세워 설치된 마스트(mast)(22)와, 마스트(22)에 안내되는 상태로 승강 이동 가능한 승강대(24)를 구비하고 있다. 또한, 마스트(22)의 상단에 설치된 상부 프레임(23)이, 벽체(K)에 의해 외주부가 덮힌 설치 공간의 천정측에 설치한 상부 가이드 레일(도시하지 않음)에 걸어맞추어져 이동하도록 구성되어 있다.

승강대(24)에는, 수납부(10S)에 대하여 용기(50)를 이송탑재하는 이송탑재 장치(25)가 장비되어 있다. 이송탑재 장치(25)는, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지체(26)를, 수납부(10S)의 내부로 돌출하는 돌출 위치와 승강대(24) 측으로 퇴피한 퇴피 위치로 출퇴(出退) 가능하게 구비하고 있다. 이송탑재 장치(25)를 구비한 스태커 크레인(20)은, 탑재 지지체(26)의 출퇴 작동 및 승강대(24)의 승강 작동에 의해, 탑재 지지체(26)에 탑재한 용기(50)를 수납부(10S)에 내려놓는 처리, 및 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 인출하는 들어올리는 처리를 행하도록 구성되어 있다.

이송탑재 장치(25)의 탑재 지지체(26)의 선단부에는, 용기(50)가 구비하는 ID 태그를 판독하는 용기 식별 정보 판독부로서의 ID 리더(27)(도 2 참조)가 설치되어 있다. 마찬가지로, 입출고 컨베이어(CV)의 외부측 단부[반출입부(D)] 및 내부측 단부에도, 용기(50)의 ID 태그를 판독하는 ID 리더(27)가 설치되어 있다(도 2 참조).

스태커 크레인(20)에는, 주행 경로 상의 주행 위치를 검출하는 주행 위치 검출 장치, 및 승강대(24)의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출 장치가 장비되어 있고, 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 스토커(stocker) 컨트롤러(H2)가, 주행 위치 검출 장치 및 승강 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

복수의 수납부(10S)의 각각은, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지부(10a)를 구비하고 있다. 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)가 탑재되어 되어 있으면 검출 작용하여, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는지의 여부를 검출하는 2개의 재고 센서(10z)가 설치되어 있다. 재고 센서(10z)의 검출 정보는, 매스플로우(mass flow) 컨트롤러(40)의 작동을 제어하는 퍼지 컨트롤러(H1)에, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)를 통하여 입력되도록 구성되어 있다(도 2 참조).

탑재 지지부(10a)에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 용기(50)의 내부에 공급하는 토출 노즐과, 용기(50)의 내부로부터 배출되는 기체를 통류하는 배출용 통기체가 설치되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 각각의 수납부(10S)의 선반 안쪽[즉, 용기(50)가 출입되는 개구에 대향하는 단부측]으로, 또한 선반 좌우 방향에 있어서 용기(50)의 단부 근방으로 되는 위치에, 질소 가스의 공급을 제어하는 매스플로우 컨트롤러(40)가 장비되어 있다.

매스플로우 컨트롤러(40)는, 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치되어 있다. 그리고, 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 퍼지 컨트롤러(H1)가 매스플로우 컨트롤러(40)에 유량 지령을 지령함으로써, 매스플로우 컨트롤러(40)가 토출 노즐로부터 대기압보다 설정값 이상 높은 압력의 질소 가스를 토출시킨다. 이로써, 용기(50)의 배기구로부터 용기 내의 기체를 외부로 배출시키는 상태로, 용기(50)의 급기구로부터 질소 가스를 용기(50)의 내부로 주입 가능하도록 구성되어 있다. 그리고, 매스플로우 컨트롤러(40)의 상류측에는, 전자(電磁) 개폐식의 제어 밸브(V)가 설치되어 있다. 제어 밸브(V)는, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)를 통하여 퍼지 컨트롤러(H1)에 전기적으로 접속되어 있고, 퍼지 컨트롤러(H1)가 제어 밸브(V)의 개폐를 제어하도록 구성되어 있다.

매스플로우 컨트롤러(40)는, 유입측 포트와 토출측 포트를 구비하고 있다. 토출측 포트에는, 전술한 공급 배관이 접속되고, 유입측 포트에는, 질소 가스의 공급원에 접속된 주공급 배관으로부터 분기하여 질소 가스를 안내하는 공급 배관이 접속되어 있다. 매스플로우 컨트롤러(40)에는, 유입측 포트로부터 토출측 포트를 향하는 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 변경 조절하는 유량 조절 밸브, 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 계측하는 유량 센서, 및 유량 조절 밸브의 작동을 제어하는 내부 제어부가 장비되어 있다.

또한, 매스플로우 컨트롤러(40)의 내부 제어부는, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자기 고장 진단 기능을 구비하고 있다. 그리고, 질소 가스 공급원에는, 질소 가스의 압력을 대기압보다 설정값 이상 높은 설정 압력으로 조정하는 거버너(governor) 등이 장비된다.

이와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 매스플로우 컨트롤러(40)를 중심으로 하여, 토출 노즐, 제어 밸브(V), 이들을 접속하는 공급 배관 등에 의해, 수납부(10S)에서의 불활성 기체 공급 장치(4)가 구성된다. 그리고, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대한 불활성 기체 공급 장치(4)에 의해 환경 조절부(F)가 구성된다. 그리고, 보관 선반(10)의 일부의 수납부(10S)에는, 불활성 기체 공급 장치(4)가 설치되어 있지 않고, 단지 탑재 지지부(10a)에 의해 용기(50)를 보관하는 비(非)퍼지 선반으로 되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 보관 시스템은, 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 유량 지령을 출력하는 퍼지 컨트롤러(H1)와, 스태커 크레인(20)의 출고용 반송 작업 또는 입고용 반송 작업을 제어하는 스토커 컨트롤러(H2)와, 용기(50)를 보관고(10)로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 용기(50)를 보관고(10)에 입고하기 위한 입고 요구를 출력하는 설비 관리 장치(H3)를 구비하고 있다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 복수의 수납부(10S)의 각각에서의 반도체 기판의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여, 환경 조절부(F)의 작동을 제어한다. 따라서, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 본 발명의 환경 관리부로서 기능한다. 그리고, 보관 환경에 관한 정보에는, 예를 들면, 제어 밸브(V)의 개폐 상태의 정보나, 매스플로우 컨트롤러(40)의 동작 상태(질소 가스의 공급압, 공급 유량, 공급 시간 등)의 정보가 포함된다.

스토커 컨트롤러(H2)는, 용기(50)가 수납되어 있는 수납부(10S)의 장소와 상기 용기(50)의 식별 정보를 대응시켜 기억시킨 재고 관리 데이터에 의해 용기(50)가 수납되어 있는 수납부(10S)의 장소를 관리하여, 출고 요구 또는 입고 요구에 따라 스태커 크레인(20)의 출고용 반송 작업 또는 입고용 반송 작업을 제어한다. 따라서, 스토커 컨트롤러(H2)는, 본 발명의 입출고 관리 장치로서 기능한다.

설비 관리 장치(H3)는, 용기(50)의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 용기(50)를 보관고(10)로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 식별 정보에 의해 지정된 용기(50)를 보관고(10)에 입고하기 위한 입고 요구를 출력한다. 따라서, 설비 관리 장치(H3)는, 본 발명의 주관리 장치로서 기능한다.

퍼지 컨트롤러(H1), 스토커 컨트롤러(H2), 및 설비 관리 장치(H3)는, 예를 들면, 축적 프로그램 방식으로 정보를 처리 가능한 컴퓨터로 구성되며, 서로 TCP/IP에 의한 LAN의 네트워크(C1)와 접속되어 있다. 또한, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)가, 상기 퍼지 컨트롤러(H1)와 RS·232C 등에 의해 통신 가능하게 네트워크(C2)에 접속되어 있다. 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에는, 제어 버스(C3)를 경유하여 각각의 매스플로우 컨트롤러(40), 제어 밸브(V), 및 재고 센서(10z)가 접속되어 있다.

네트워크(C1)에는, 외부 반송 컨트롤러(H4)도 접속되어 있고, 설비 관리 장치(H3)는, 외부 반송 컨트롤러(H4)와도 통신 가능하다. 이로써, 설비 관리 장치(H3)는, 외부 반송 컨트롤러(H4)에 대하여, 용기(50)의 반송원(搬送元) 정보 및 반송처(搬送處) 정보를 포함한 반송 요구 정보를 송신한다. 외부 반송 컨트롤러(H4)는, 수취한 반송 요구에 따라 천정 반송차(30)의 작동을 제어하여, 반송 요구에 관한 반송 작업의 진척 정보를 설비 관리 장치(H3)에 송신한다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에 대하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치된 매스플로우 컨트롤러(40)에 대한 목표 유량을 지령한다. 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)는, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터, 매스플로우 컨트롤러(40)의 식별 정보와 그 매스플로우 컨트롤러(40)에 대한 목표 유량의 지령을 수신하면, 상기 식별 정보에 대응하는 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 목표 유량의 지령을 출력하도록 구성되어 있다.

퍼지 컨트롤러(H1)가 출력하는 목표 유량으로서는, 보관용의 목표 유량, 노즐 정화용의 목표 유량, 및 클리닝용의 목표 유량이 있다. 보관용의 목표 유량은, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는 상태에 있어서, 용기(50)의 내부에 질소 가스를 주입하기 위해, 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 지령되는 목표 유량이다. 노즐 정화용의 목표 유량은, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되기 직전에 있어서, 토출 노즐을 청정화하기 위해 지령되는 목표 유량이다. 클리닝용의 목표 유량은, 보관고(10)의 설치 시 등에 있어서, 토출 노즐이나 공급 배관 등 질소 가스의 공급로를 청정화하기 위해 지령되는 목표 유량이다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 목표 유량과 공급 시간을 정한 복수의 퍼지 패턴으로서, 노즐 퍼지 패턴(P1), 클리닝 패턴(P2), 및 보관용 퍼지 패턴(P3)을 기억하고 있다.

그리고, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 보관고(10)의 설치 시 등에 있어서, 도시하지 않은 조작 테이블에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되면, 질소 가스의 공급 형태를 청소용 공급 형태로 하기 위해, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어하는 유량 지령을 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력한다. 그리고, 청소용 공급 형태는, 클리닝 패턴(P2)에 따라, 불활성 기체 공급 장치(4)를 청소하는 형태이며, 목표 유량이 클리닝용의 청소용 유량에 설정되고, 또한 공급 시간이 청소용 시간으로 조정된다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 용기(50)가 입출고 컨베이어(CV)에 반입되면 노즐 퍼지 패턴(P1)에 따른 노즐 정화용의 목표 유량의 질소 가스를 공급하기 위해, 상기 용기(50)가 입고되는 수납부(10S)의 매스플로우 컨트롤러(40)에 대한 유량 지령을 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력한다. 그리고, 본 실시형태에 있어서는, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 외부 반송 컨트롤러(H4)가 반송 작업의 진척 정보로서 이송탑재 완료 정보를 설비 관리 장치(H3) 및 스토커 컨트롤러(H2)에 송신함으로써, 용기(50)가 반출입부(D)[입출고 컨베이어(CV)]에 반입된 것을 판별하고, 이 판별 결과가 퍼지 컨트롤러(H1)에 송신된다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 2개의 재고 센서(10z)가 용기(50)를 검출하고 있을 때에는, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 기초하여 보관용의 목표 유량을 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하도록 구성되어 있다.

노즐 퍼지 패턴(P1)은, 입출고 컨베이어(CV)의 반출입부(D)에 탑재된 용기(50)의 수납처로서 적용할 수 있는(지정되어 있는) 수납부(10S)에 대하여, 수납 전 공급 시간으로서 설정된 공급 시간 t1(예를 들면, 5초) 동안, 노즐 정화용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량 L1(예를 들면, 30리터/분)에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.

클리닝 패턴(P2)은, 작업자가 조작 테이블에 의해 클리닝 개시 지령을 지령하고나서 설치 초기 공급 시간으로서 설정된 공급 시간 t2(예를 들면, 1800초) 동안, 클리닝용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량 L2(예를 들면, 20리터/분)에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.

보관용 퍼지 패턴(P3)은, 보관용의 목표 유량으로서, 초기 목표 유량값(L31)(예를 들면, 50리터/분)과, 그 초기 목표 유량보다 적은 정상 목표 유량값(L32)(예를 들면, 5리터/분)이 설정되어 있다. 보관용 퍼지 패턴(P3)은, 용기(50)에 질소 가스를 공급할 때는, 먼저, 보관용의 목표 유량값을 비교적 대유량(大流量)의 초기 목표 유량값(L31)에 의해 설정 초기 시간 t3(예를 들면, 5초) 동안, 질소 가스를 공급하고, 그 후, 보관용의 목표 유량값을 비교적 소유량(小流量)의 정상 목표 유량값(L32)으로 변경하는 패턴이다. 퍼지의 초기에 비교적 대유량의 초기 목표 유량값(L31)에 의한 퍼지를 행함으로써, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납된 후에, 가능한 한 신속하게 용기(50) 내의 공기를 질소 가스에 의해 치환 가능하도록 하고 있다. 또한, 정상 목표 유량값(L32)에 의한 질소 가스의 공급이 설정 계속 시간(t4)(예를 들면, 300초) 동안 계속된 후, 다시 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 공급이 설정 초기 시간 t3만큼 행해진다. 또한, 작업자가 조작 테이블에 의해 미리 복수 종류의 퍼지 패턴[초기 목표 유량값(L31) 및 정상 목표 유량값(L32)의 각각의 값 및 계속 시간]을 설정 등록하고, 그 중에서 선택된 패턴이 보관용 퍼지 패턴(P3)으로서 등록되어 있다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 수납부(10S)마다 반도체 기판의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보를 생성하여 스토커 컨트롤러(H2)에 출력한다. 환경 관리 정보는, 예를 들면, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 규정되는 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 퍼지가 개시된 것을 나타내는 정보, 상기 보관용 퍼지 패턴(P3)에 규정되는 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 퍼지가 완료된 것을 나타내는 정보, 매스플로우 컨트롤러(40)의 고장 등의 어떠한 이유에 의해 불활성 기체 공급 장치(4)가 구비된 수납부(10S)에 있어서 질소 가스의 퍼지가 행해지지 않는 수납부(10S)가 발생한 것을 나타내는 정보, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 의한 질소 가스의 퍼지가 중단된 것을 나타내는 정보 등이다. 그리고, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 규정되는 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 퍼지는, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납된 경우에 개시된다.

스토커 컨트롤러(H2)는, 보관고(10)에서의 용기(50)의 입고용 반송 작업 및 출고용 반송 작업에서의 각 작업의 진척 정보를 반송 관리 정보로서 생성하여, 설비 관리 장치(H3)에 출력한다. 또한, 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 컨트롤러(H1)가 출력한 수납부(10S)마다 환경 관리 정보와, 수납부(10S)의 각각에 수납되어 있는 용기(50)의 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보를 생성하여, 설비 관리 장치(H3)에 출력한다. 스토커 컨트롤러(H2)가 설비 관리 장치(H3)에 정보를 출력하는 단계가, 본 발명에서의 「정보 출력 단계」에 상당한다.

본 실시형태에 있어서의 스토커 컨트롤러(H2)가 생성하여 출력하는 반송 관리 정보와 상위 환경 관리 정보와의 일례를 도 3의 표에 나타낸다. 식별 번호 01의 「스태커 크레인 시동(始動」∼식별 번호 09의 「용기 반출 완료」가, 반송 관리 정보이다. 식별 번호 11의 「퍼지 중단」∼식별 번호 14의 「퍼지 상황 변화」 중, 식별 번호 11의 「퍼지 중단」, 식별 번호 12의 「퍼지 개시」, 식별 번호 13의 「퍼지 완료」가, 불활성 기체 공급 장치(4)가 구비된 수납부(10S)[이하, 「퍼지 선반(10S)」라고 함]의 환경 관리 정보와 상기 퍼지 선반(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보이다. 식별 번호 14의 「퍼지 상황 변화」는, 보관고(10)에서의 퍼지 선반(10S) 중 어느 하나에 있어서 무효로 되는 퍼지 선반(10S)이 발생한 경우에 출력되는 환경 관리 정보이며, 특정한 용기(50)와 대응시켜 생성되는 것이 아니고, 보관 선반(10) 전체에 대한 상위 환경 관리 정보이다.

도 3에 기재되어 있는 바와 같이, 반송 관리 정보와 상위 환경 관리 정보 모두, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고, 이들은 같은 체계의 정보 식별자에 의해 식별 가능하게 되어 있다. 스토커 컨트롤러(H2)는, 반송 관리 정보의 종별 및 상위 환경 관리 정보의 종별을 각각 식별 가능한 정보 식별자로서 도 3에 나타낸 식별 번호를 부여한 상태에서, 반송 관리 정보 및 상위 환경 관리 정보를 주관리 장치에 출력한다. 그리고, 스토커 컨트롤러(H2)가 출력하는 반송 관리 정보와 상위 환경 관리 정보는, 식별 번호와 그 식별 번호에 대응하는 관리 정보의 명칭을 텍스트 데이터로서 부가하여 출력하고 있지만, 관리 정보의 내용은 식별 번호 또는 텍스트 데이터에 의해 일의적(一義的)으로 특정할 수 있으므로, 관리 정보의 명칭을 나타내는 텍스트 데이터나 식별 번호의 데이터 중 어느 한쪽을 생략해도 된다. 또한, 스토커 컨트롤러(H2)는, 상위 환경 관리 정보를 출력하는 경우에는, 상위 환경 관리 정보에 대응한 용기(50)를 특정하는 식별 정보에 의해 구성되는 대응 용기 리스트[해당하는 용기(50)가 1개의 경우도 있음)를 상기 상위 환경 관리 정보와 합하여 출력한다. 마찬가지로, 스토커 컨트롤러(H2)는, 식별 번호 05∼09의 반송 관리 정보를 출력하는 경우에는, 상기 반송 관리 정보에 대응한 용기(50)를 특정하는 식별 정보를, 상기 반송 관리 정보와 합하여 설비 관리 장치(H3)에 출력한다.

상위 환경 관리 정보 중, 식별 번호 11의 「퍼지 중단」은, 예를 들면, 퍼지 패턴(P3)에 의해 용기(50)에 질소를 퍼지하고 있었던 수납부(10S)에 있어서, 매스플로우 컨트롤러(40)의 자체 진단 기능 등에 의해 불활성 기체 공급 장치(4)의 이상이 매스플로우 컨트롤러(40)로부터 통지되어 퍼지 컨트롤러(H1)가 상기 수납부(10S)에서의 퍼지 상태에 이상이 발생한 것으로 판단한 경우에 출력된다. 즉, 환경 관리 정보는, 환경 조절부(F)[불활성 기체 공급 장치(4)]에 이상이 발생한 것을 나타내는 정보를 포함하고 있다.

식별 번호 14의 「퍼지 상황 변화」는, 퍼지 선반(10S)에서의 불활성 기체 공급 장치(4)가 고장난 것 등의 원인으로, 퍼지 선반(10S) 속에 질소 퍼지가 행해지지 않게 된 수납부(10S)가 발생한 경우에 스토커 컨트롤러(H2)로부터 출력된다.

식별 번호 12의 「퍼지 개시」는, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 규정되는 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 퍼지가 개시된 것을 나타내는 정보이다. 또한, 식별 번호 13의 「퍼지 완료」는, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 규정되는 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 퍼지가 완료된 것을 나타내는 정보이다. 즉, 본 실시형태에서는, 환경 관리 정보가, 불활성 기체 공급 장치(4)에 의한 용기(50) 내로의 불활성 기체의 공급이 개시된 것 또는 용기(50) 내로의 불활성 기체의 공급이 완료된 것을 나타내는 정보를 포함하고 있다. 그리고, 보관용 퍼지 패턴(P3)에 규정되는 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 가스의 퍼지는, 용기(50)가 퍼지 선반(10S)에 수납된 경우에 개시된다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 환경 관리 정보로서, 식별 번호 11의 「퍼지 중단」, 식별 번호 12의 「퍼지 개시」, 식별 번호 13의 「퍼지 완료」가 존재하고, 이들은, 반도체 기판의 보관 환경이 미리 정해진 복수 종류의 상태 중 어느 것으로 되었는지를 나타내는 정보로 되어 있다.

다음에 도 5 내지 도 8을 참조하면서, 보관고(10)의 퍼지 선반(10S)에 용기(50)를 입고하는 경우와, 퍼지 선반(10S)에 이상이 발생한 경우를 예로 들어, 퍼지 컨트롤러(H1), 스토커 컨트롤러(H2), 설비 관리 장치(H3)의 통신 동작에 대하여 설명한다.

먼저, 도 5 및 도 6을 참조하면서 보관고(10)의 퍼지 선반(10S)에 용기(50)를 입고하는 경우의 통신 동작에 대하여 설명한다. 천정 반송차(30)에 의해 반입 부[본 실시형태에서는, 반출입부(D)]에 용기(50)가 탑재되면, 반출입부(D)에서의 ID 리더(27)에 의해, 반입된 용기(50)의 ID 태그에 유지된 상기 용기(50)의 식별 정보가 판독된다. 스토커 컨트롤러(H2)는, 식별 번호 05의 「용기 ID 판독」의 관리 정보를, 용기(50)의 식별 정보와 관련시켜 설비 관리 장치(H3)에 송신한다(#1). 스토커 컨트롤러(H2)는 설비 관리 장치(H3)로부터의 입고 요구가 있을 때까지는, 입고용 반송 작업을 실행하지 않고, 식별 번호 06의 「용기 대기 중」의 관리 정보를 상기 용기의 식별 정보와 관련시켜 설비 관리 장치(H3)에 송신한다(#2).

설비 관리 장치(H3)로부터 입고 요구가 송신되면(#3), 스토커 컨트롤러(H2)는, 입고 요구에 따라, 용기(50)의 입고처로 되는 빈 퍼지 선반(10S)을 선택하는 동시에, 입출고 컨베이어(CV) 및 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하여 입고용 반송 작업을 실행시켜, 반출입부(D)로부터 선택된 퍼지 선반(10S)까지 용기(50)를 반송한다. 이 때, 스토커 컨트롤러(H2)는, 식별 번호 01의 「스태커 크레인 시동」, 식별 번호 02의 「스태커 크레인 작동 중」, 식별 번호 07의 「용기 반송 중」의 반송 관리 정보를 순차적으로, 설비 관리 장치(H3)에 대하여 송신한다(#4∼#6). 또한, 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 컨트롤러(H1)에 대하여, 퍼지 대상의 용기(50)가 입고 예정의 퍼지 선반(10S)으로의 이동을 개시한 취지를 송신한다(#7). 이것을 받아 퍼지 컨트롤러(H1)는 해당하는 퍼지 선반(10S)의 불활성 기체 공급 장치(4)의 작동을 제어하여, 노즐 퍼지 패턴(P1)에 의한 질소 퍼지를 개시한다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 노즐 퍼지 패턴(P1)에 의한 질소 퍼지가 완료되면, 스토커 컨트롤러(H2)에 대하여, 퍼지 대상의 용기(50)의 입고 허가를 부여한다(#8). 스토커 컨트롤러(H2)는, 입고 허가가 나오기 전에 해당하는 퍼지 선반(10S)의 앞으로 용기(50)를 반송한 경우에는, 이송탑재 장치(25)에 의한 내려놓는 동작의 개시는 보류되어 입고 허가 대기로 된다. 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터의 입고 허가에 기초하여, 스태커 크레인(20)에 이송탑재 개시를 허가하고, 이송탑재 장치(25)에 의한 내려놓는 동작을 진행시킨다. 이로써, 상기 용기(50)가 입고 예정의 퍼지 선반(10S)에 입고된다. 용기(50)의 이송탑재가 완료되면, 스토커 컨트롤러(H2)는, 식별 번호 03의 「이송탑재 완료」, 식별 번호 08의 「용기 입고 완료」, 식별 번호 04의 「스태커 크레인 대기 중」의 반송 관리 정보를 설비 관리 장치(H3)에 순차적으로 송신한다(#9∼#11). 또한 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 컨트롤러(H1)에 퍼지 대상의 용기(50)의 입고가 완료된 취지를 송신한다(#12).

퍼지 컨트롤러(H1)는, 용기(50)의 입고 완료 정보를 스토커 컨트롤러(H2)로부터 수신하면, 보관용 퍼지 패턴(P3)의 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 퍼지(이니셜 퍼지)를 개시하고, 그 취지를 스토커 컨트롤러(H2)에 송신한다(#13). 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터 보관용 퍼지 패턴(P3)에 의한 질소 퍼지가 개시된 취지를 수신하면, 상기 퍼지 선반(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 식별 정보를 재고 관리 데이터로부터 추출하고, 식별 번호 12의 「퍼지 개시」의 상위 환경 관리 정보를, 용기(50)의 식별 정보와 관련시켜, 설비 관리 장치(H3)에 송신한다(#14).

퍼지 컨트롤러(H1)는, 보관용 퍼지 패턴(P3)의 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 퍼지가 완료되면, 그 취지를 스토커 컨트롤러(H2)에 송신한다(#15). 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터 보관용 퍼지 패턴(P3)의 초기 목표 유량값(L31)에 의한 질소 퍼지가 완료된 취지를 수신하면, 상기 퍼지 선반(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 식별 정보를 재고 관리 데이터로부터 추출하고, 식별 번호 13의 「퍼지 완료」의 상위 환경 관리 정보를, 용기(50)의 식별 정보와 관련시켜, 설비 관리 장치(H3)에 송신한다(#16). 설비 관리 장치(H3)는, 입고된 용기(50)의 이니셜 퍼지가 개시된 것 및 완료된 것을, 스토커 컨트롤러(H2)로부터 수신하므로, 용기(50)의 이니셜 퍼지가 행해지고 있는 동안에는, 상기 퍼지 선반(10S)에 수납되어 있는 용기(50)가 출고되지 않도록, 출고 요구의 출력을 제한할 수 있다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 이니셜 퍼지가 완료되면, 보관용 퍼지 패턴(P3)의 정상 목표 유량값(L32)에 의한 질소 퍼지(유지보수 퍼지)를 설정 계속 시간(t4) 동안 계속한다. 유지보수 퍼지가 완료되면, 다시, 이니셜 퍼지를 개시한다. 이 경우의 퍼지 컨트롤러(H1), 스토커 컨트롤러(H2), 설비 관리 장치(H3) 간의 통신은, 전술한 최초의 이니셜 퍼지의 개시 및 완료의 경우와 같다.

다음에 도 7 및 도 8을 참조하면서 퍼지 선반(10S)의 불활성 기체 공급 장치(4)에 이상이 발생한 경우의 통신 동작에 대하여 설명한다. 퍼지 선반(10S)에 이상이 발생하면, 퍼지 컨트롤러(H1)는 스토커 컨트롤러(H2)에 대하여, 이상 정보[예를 들면, 매스플로우 컨트롤러(40)의 자체 진단 기능에 의해 판별하는 매스플로우 컨트롤러(40)의 이상, 재고 센서(10z)의 검출 상태의 부정합, 및 프로그래머블 로직 컨트롤러(P)의 이상 등]와, 질소 가스의 공급압 등의 불활성 기체 공급 장치(4)의 동작 정보를 포함한 퍼지 선반 상태를 통지한다(#1). 스토커 컨트롤러(H2)는, 퍼지 선반 상태를 수신하면, 퍼지 선반 상태에서 이상이 나타나 있는 퍼지 선반(10S)을 사용 금지의 수납부(10S)(이하, 금지 선반이라고 함)로 설정하고, 퍼지 컨트롤러(H1)에 그 취지 송신한다(#2). 이로써, 금지 선반에 설정된 퍼지 선반(10S)은, 퍼지 컨트롤러(H1)에 있어서도, 금지 선반으로서 관리된다.

스토커 컨트롤러(H2)는, 금지 선반을 설정하면, 식별 번호 14의 「퍼지 상황 변화」를 설비 관리 장치(H3)에 송신하고(#3), 계속하여, 금지 선반에 수납되어 있는 용기(50)의 식별 정보를 재고 관리 데이터로부터 추출하고, 식별 번호 11의 「퍼지 중단」의 상위 환경 관리 정보를, 용기(50)의 식별 정보와 관련시켜, 설비 관리 장치(H3)에 송신한다(#4). 설비 관리 장치(H3)는, 스토커 컨트롤러(H2)로부터의 「퍼지 중단」을 수신하면, 상기 상위 환경 관리 정보로 나타내는 용기(50)의 식별 정보에 기초하여, 상기 식별 정보에 의해 지정되는 용기(50)를 보관 선반(10)으로부터 출고하기 위해, 스토커 컨트롤러(H2)에 출고 요구를 송신한다(#5).

스토커 컨트롤러(H2)는, 출고 요구를 받으면, 출고 요구에 관한 용기(50)의 식별 정보에 기초하여 재고 관리 데이터로부터 상기 출고 대상의 용기(50)가 수납되어 있는 수납부(10S)를 검색하고, 스태커 크레인(20)을 작동시킨다. 이 때, 스토커 컨트롤러(H2)는, 식별 번호 01의 「스태커 크레인 시동」, 식별 번호 02의 「스태커 크레인 작동 중」의 반송 관리 정보를 설비 관리 장치(H3)에 순차적으로 송신한다(#6 및 #7).

스토커 컨트롤러(H2)는, 스태커 크레인(20)이 상기 퍼지 선반(10S)에서의 출고 대상의 용기(50)를 들어올리면 식별 번호 07의 「용기 반송 중」의 반송 관리 정보를 설비 관리 장치(H3)에 송신하는(#8) 동시에, 퍼지 컨트롤러(H1)에 대하여, 출고 대상의 용기(50)가 퍼지 선반(10S)으로부터 출고된 취지를 송신한다(#9). 금지 선반에 있어서 매스플로우 컨트롤러(40)가 자체 진단 기능에 의해 공급 정지 상태로 되어 있어도, 질소 퍼지가 관리 상은 계속하고 있으므로, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 스토커 컨트롤러(H2)로부터의 출고 완료 보고를 받아, 금지 선반에서의 질소 퍼지를 완료시킨다.

스태커 크레인(20)에 의해 용기(50)가 반출부[본 실시형태에서는, 반출입부(D)]로 이동하면, 스토커 컨트롤러(H2)는, 식별 번호 03)의 「이송탑재 완료」, 식별 번호 06의 「용기 대기 중」, 식별 번호 04의 「스태커 크레인 대기 중」의 반송 관리 정보를 설비 관리 장치(H3)에 순차적으로 송신한다(#10∼#12).

천정 반송차(30)에 의해 용기(50)가 반출부[반출입부(D)]로부터 반출되면 스토커 컨트롤러(H2)는, 출고 대상의 용기(50)가 반출된 취지를 설비 관리 장치(H3)에 보고하기 위해, 식별 번호 09)의 「용기 반출이 끝난 상태」의 반송 관리 정보를 상기 용기(50)의 식별 정보와 관련시켜 설비 관리 장치(H3)에 송신한다(#13).

[다른 실시형태]

마지막으로, 본 발명에 관한 보관 시스템 및 보관 방법의, 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하의 각각의 실시형태에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다.

(1) 상기 실시형태에서는, 물품 유지체가, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 물품을 수용 가능한 기밀성의 용기인 경우를 예시했지만, 물품 유지체로서는, 예를 들면, 2차 전지 셀을 복수 개 유지하는 물품 반송용 매거진이나, 적정한 온도 환경 하에서 보관되는 식품이나 음료 또는 이들 원료를 탑재 지지하는 물류 팰릿(pallet) 등이라도 된다.

(2) 상기 실시형태에서는, 환경 조절부가, 수납부의 각각에 설치된 불활성 기체 공급 장치인 경우를 예시했지만, 환경 조절부가, 복수의 수납부에 겸용되는 구성으로 해도 된다.

(3) 상기 실시형태에서는, 보관고는, 벽체에 의해 외주부가 덮힌 것을 예시했지만, 벽체를 설치하지 않는 구성으로 해도 된다.

(4) 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시로서, 본 발명의 범위는 이들에 의해 한정되지 않는 것으로 이해되어야 한다. 당업자이면, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서, 적절히 개변(改變)이 가능한 것을 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 개변된 다른 실시형태도, 당연히, 본 발명의 범위에 포함된다.

H1 퍼지 컨트롤러(환경 관리부)
H2 스토커 컨트롤러(입출고 관리 장치)
H3 설비 관리 장치(주관리 장치)
CV 입출고 컨베이어(보관고 반송 장치)
D 반출입부
F 환경 조절부
4 불활성 기체 공급 장치(환경 조절부)
10 보관고
10S 수납부
20 스태커 크레인(보관고 반송 장치)
50 용기(물품 유지체)

Claims (10)

1. 물품 반송용(搬送用)의 물품 유지체를 수납하는 수납부가 복수 설치되어 있는 동시에 상기 물품 유지체의 입출고용의 반출입부(搬出入部)가 설치된 보관고;
   상기 수납부에 있어서, 상기 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경을, 상기 수납부마다 조절하는 환경 조절부;
   복수의 상기 수납부의 각각에서의 상기 물품의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여 상기 환경 조절부의 작동을 제어하는 환경 관리부;
   상기 수납부로부터 상기 반출입부에 상기 물품 유지체를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 상기 반출입부로부터 상기 수납부에 상기 물품 유지체를 반송하는 입고용 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치;
   상기 물품 유지체의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 상기 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고에 입고하기 위한 입고 요구를 출력하는 주관리(主管理) 장치; 및
   상기 물품 유지체가 수납되어 있는 상기 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 상기 식별 정보와 대응시켜 관리하여, 상기 출고 요구 또는 상기 입고 요구에 따라 상기 보관고 반송 장치의 상기 출고용 반송 작업 또는 상기 입고용 반송 작업을 제어하는 입출고 관리 장치;
   를 포함하는 보관 시스템으로서,
   상기 환경 관리부는, 상기 수납부마다의 상기 물품의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보를 생성하여 상기 입출고 관리 장치에 출력하도록 구성되며,
   상기 입출고 관리 장치는, 상기 환경 관리부가 출력한 상기 수납부마다의 상기 환경 관리 정보와, 상기 수납부의 각각에 수납되어 있는 상기 물품 유지체의 상기 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하도록 구성되고,
   상기 입출고 관리 장치는, 또한, 상기 입고용 반송 작업 및 상기 출고용 반송 작업에 관한 정보인 반송 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하도록 구성되며,
   상기 반송 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고,
   상기 상위 환경 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고,
   상기 입출고 관리 장치는, 상기 반송 관리 정보의 종별 및 상기 상위 환경 관리 정보의 종별을 각각 식별 가능한 같은 체계의 정보 식별자(識別子)를 부여한 상태에서, 상기 반송 관리 정보 및 상기 상위 환경 관리 정보를 상기 주관리 장치에 출력하도록 구성되어 있는,
   보관 시스템.
2. 제1항에 있어서,
   상기 환경 관리 정보는, 상기 물품의 보관 환경이 미리 정해진 복수 종류의 상태 중 어느 것으로 되었는지를 나타내는 정보인, 보관 시스템.
3. 제1항에 있어서,
   상기 환경 관리 정보가, 상기 환경 조절부에 이상(異常)이 발생한 것을 나타내는 정보를 포함하는, 보관 시스템.
4. 제1항에 있어서,
   상기 물품 유지체는, 불활성 기체(氣體) 분위기 하에서 보관될 물품을 수용하는 기밀성의 용기이며,
   상기 환경 조절부는, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기에 대하여 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 가지고,
   상기 환경 관리 정보가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 의한 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 개시된 것 또는 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 완료된 것을 나타내는 정보를 포함하는, 보관 시스템.
5. 보관 시스템을 이용한 보관 방법으로서,
   상기 보관 시스템은,
   물품 반송용의 물품 유지체를 수납하는 수납부가 복수 설치되어 있는 동시에 상기 물품 유지체의 입출고용의 반출입부가 설치된 보관고;
   상기 수납부에 있어서, 상기 물품 유지체에 유지된 물품의 보관 환경을, 상기 수납부마다 조절하는 환경 조절부;
   복수의 상기 수납부의 각각에서의 상기 물품의 보관 환경에 관한 정보를 수집하여 상기 환경 조절부의 작동을 제어하는 환경 관리부;,
   상기 수납부로부터 상기 반출입부에 상기 물품 유지체를 반송하는 출고용 반송 작업, 및 상기 반출입부로부터 상기 수납부에 상기 물품 유지체를 반송하는 입고용 반송 작업을 행하는 보관고 반송 장치;
   상기 물품 유지체의 각각에 부여된 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고로부터 출고하기 위한 출고 요구, 및 상기 식별 정보에 의해 지정된 상기 물품 유지체를 상기 보관고에 입고하기 위한 입고 요구를 출력하는 주관리 장치; 및
   상기 물품 유지체가 수납되어 있는 상기 수납부의 장소를 해당 물품 유지체의 상기 식별 정보와 대응시켜 관리하여, 상기 출고 요구 또는 상기 입고 요구에 따라 상기 보관고 반송 장치의 상기 출고용 반송 작업 또는 상기 입고용 반송 작업을 제어하는 입출고 관리 장치;
   를 포함하고,
   상기 환경 관리부는, 상기 수납부마다의 상기 물품의 보관 환경을 나타내는 환경 관리 정보를 생성하여 상기 입출고 관리 장치에 출력하도록 구성되며,
   상기 입출고 관리 장치에 의해 실행되는 단계로서,
   상기 환경 관리부가 출력한 상기 수납부마다의 상기 환경 관리 정보와, 상기 수납부의 각각에 수납되어 있는 상기 물품 유지체의 상기 식별 정보를 대응시킨 상위 환경 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하는 정보 출력 단계를 포함하고,
   상기 정보 출력 단계에서는, 또한, 상기 입고용 반송 작업 및 상기 출고용 반송 작업에 관한 정보인 반송 관리 정보를 생성하여 상기 주관리 장치에 출력하고,
   상기 반송 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고,
   상기 상위 환경 관리 정보는, 종별이 상이한 복수의 정보가 존재하고,
   상기 정보 출력 단계에서는, 상기 반송 관리 정보의 종별 및 상기 상위 환경 관리 정보의 종별을 각각 식별 가능한 같은 체계의 정보 식별자를 부여한 상태에서, 상기 반송 관리 정보 및 상기 상위 환경 관리 정보를 상기 주관리 장치에 출력하는,
   보관 방법.
6. 제5항에 있어서,
   상기 환경 관리 정보는, 상기 물품의 보관 환경이 미리 정해진 복수 종류의 상태 중 어느 것으로 되었는지를 나타내는 정보인, 보관 방법.
7. 제5항에 있어서,
   상기 환경 관리 정보가, 상기 환경 조절부에 이상이 발생한 것을 나타내는 정보를 포함하는, 보관 방법.
8. 제5항에 있어서,
   상기 물품 유지체는, 불활성 기체 분위기 하에서 보관될 물품을 수용하는 기밀성의 용기이며,
   상기 환경 조절부는, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기에 대하여 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급 장치를 가지고,
   상기 환경 관리 정보가, 상기 불활성 기체 공급 장치에 의한 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 개시된 것 또는 상기 용기 내로의 불활성 기체의 공급이 완료된 것을 나타내는 정보를 포함하는, 보관 방법.
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