TW201502045A - 保管系統及保管方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種保管系統及保管方法，該保管系統具有：設有收納部與搬出搬入部之保管庫、將保管環境依每一收納部來調節之環境調節部、收集關於保管環境之資訊並控制環境調節部之動作的環境管理部、進行搬運作業之保管庫搬運裝置、及將收納有物品保持體之收納部的場所與該當物品保持體之識別資訊加以對應並管理並且根據來自主管理裝置之出庫或入庫要求而控制保管庫搬運裝置之搬運作業的出庫入庫管理裝置。出庫入庫管理裝置可生成環境管理部所生成之每一收納部的環境管理資訊、以及與收納於收納部之各收納部之物品保持體之識別資訊加以對應的上位環境管理資訊，並朝主管理裝置輸出。

Description

保管系統及保管方法 發明領域
本發明是有關於一種保管系統、及利用上述保管系統的保管方法，又該保管系統具有：保管庫，設有複數個收納物品搬運用之物品保持體並且設有前述物品保持體之出庫入庫用的搬出搬入部；環境調節部，在前述收納部，將保持於前述物品保持體之物品的保管環境依每一前述收納部來調節；環境管理部，收集關於複數個前述收納部之個收納部之前述物品保管環境之資訊來控制前述環境調節部的動作；保管庫搬運裝置，進行從前述收納部朝前述搬出搬入部搬運前述物品保持體的出庫用搬運作業，及從前述搬出搬入部朝前述收納部搬運前述物品保持體的入庫用搬運作業；主管理裝置，可輸出用以將由附於前述物品保持體之各個保持體之識別資訊所指定之前述物品保持體從前述保管庫出庫之出庫要求，及用以將由前述識別資訊所指定之前述物品保持體朝前述保管庫入庫之入庫要求；出庫入庫管理裝置，將收納有前述物品保持體之前述收納部的場所與該當物品保持體之前述識別資訊加以對應並管理，又根據前述出庫要求或前述入庫要求，來控制前述保 管庫搬運裝置之前述出庫用搬運作業或前述入庫用搬運作業。
發明背景
在日本特開平11-168135號公報(專利文獻1)所記載之保管系統的一例，該保管系統是如上述保管系統，在收納部，具有將保持於物品保持體之物品保管環境依每一收納部來調節的環境調節部。專利文獻1之保管系統是在惰性氣體環境下保管將所應保管之半導體基板副數片保持之物品搬運用容器的系統。
專利文獻1之保管系統在每一收納部具有朝收納於收納部之搬運容器來供給惰性氣體的惰性氣體供給裝置來作為環境調節部，又，環境管理部(專利文獻1中為控制部20)將供給配管之閥的開關資訊、惰性氣體之供給壓資訊或供給流量資訊之類，關於半導體基板之保管環境的資訊加以收集，並依每一收納部控制這些複數個惰性氣體供給裝置的動作。
具有環境調節部之保管系統的其他範例記載於日本特開2009-48588號公報(專利文獻2)及日本特開2012-25557號公報(專利文獻3)。專利文獻2及3之保管系統是保管複數片保持充電電池單元之物品搬運用卡匣的系統(針對專利文獻2，參照段落[0013]。)。
為保管如專利文獻2及3之充電電池單元的卡匣的保管系統時，作為環境調節部，在每一收納部具有朝收納於收 納部之卡匣供給電流之充電裝置，又，環境管理部將針對充電裝置之動作狀態的資訊、收納部之氣溫、收納部之煙的有無之類，關於充電電池單元之保管環境的資訊加以收集，來控制在每一收納部這些複數個充電裝置的動作。
具有專利文獻1~3之保管系統的保管庫搬運裝置會進行從保管庫之收納部朝搬出搬入部將物品保持體搬運之出庫用搬運作業、及從搬出搬入部朝收納部將物品保持體搬運之入庫用搬運作業。保管庫搬運裝置之出庫用搬運作業及入庫用搬運作業是由出庫入庫管理裝置來控制。專利文獻1~3雖未記載細節，但出庫入庫管理裝置為了管理在哪個收納部該保管哪個物品保持體，將收納有物品保持體之收納部的場所與該當物品保持體之識別資訊加以對應並管理。
出庫入庫管理裝置是根據用以將物品保持體從保管庫出庫之出庫要求、或用以將物品保持體朝保管庫入庫之入庫要求，來控制保管庫搬運裝置之出庫用搬運作業與入庫用搬運作業。這些出庫要求或入庫要求例如記載於日本特開2005-19911號公報(專利文獻4)，是上位之主管理裝置所輸出。即，主管理裝置將用以將由附帶於物品保持體之各保持體之識別資訊所指定的物品保持體從保管庫出庫的出庫要求、及用以將由識別資訊所指定之物品保持體朝保管庫入庫的入庫要求，朝出庫入庫管理裝置輸出，藉此已指定之物品保持體便會朝保管庫入庫，或是已指定之物品保持體從保管庫出庫。
如上述保管系統中，在保持於物品保持體之物品的保管環境，物品之品質管理上有顯著變化時，出庫入庫管理裝置便根據已從環境管理部取得之關於保管環境的資訊，來控制出庫入庫搬運裝置的動作。例如，專利文獻2之保管系統中，在收納部於保管環境有異常產生時，使收納於該當收納部之物品保持體利用保管庫搬運裝置朝預定之場所退避。而，專利文獻2中，顯示了出庫入庫管理裝置具有環境管理部之功能的範例。
當為上述保管系統時，就會在保持於物品保持體之物品的保管環境中物品之品質管理上有顯著變化時，出庫入庫管理裝置雖可根據已從環境管理部取得之關於保管環境的來控制出庫入庫搬運裝置的動作，但對於上位之主管理裝置，保持於收納部之物品保持體之物品保管環境資訊卻無法傳達。故，當為如上述保管系統時，就會在保管庫之物品的保管環境有異變產生時，主管理裝置無法掌握該事實，就無法有效對應主管理裝置之物品的品質管理。
因此，尋求一種可容易進行根據主管理裝置之物品保管環境來管理物品保持體保管系統。
本發明之保管系統，具有：保管庫，設有複數個收納物品搬運用之物品保持體並且設有前述物品保持體出庫入庫用的搬出搬入部；環境調節部，在前述收納部，將保持於前述物品保持 體之物品的保管環境依每一前述收納部來調節；環境管理部，收集關於複數個前述收納部之各個收納部中之前述物品之保管環境的資訊來控制前述環境調節部的作動；保管庫搬運裝置，進行從前述收納部朝前述搬出搬入部搬運前述物品保持體的出庫用搬運作業，及從前述搬出搬入部朝前述收納部搬運前述物品保持體的入庫用搬運作業；主管理裝置，可輸出用以將由前述物品保持體之各個保持體附帶之識別資訊所指定的前述物品保持體從前述保管庫出庫的出庫要求，及用以將由前述識別資訊指定之前述物品保持體朝前述保管庫入庫的入庫要求；出庫入庫管理裝置，將收納有前述物品保持體之前述收納部的場所與該物品保持體之前述識別資訊加以對應管理，且根據前述出庫要求或前述入庫要求，來控制前述保管庫搬運裝置之前述出庫用搬運作業或前述入庫用搬運作業；在此，前述環境管理部構造成可生成代表每一前述收納部之前述物品的保管環境的環境管理資訊，並朝前述出庫入庫管理裝置輸出，前述出庫入庫管理裝置構造成可生成將前述環境管理部所輸出之每一前述收納部之前述環境管理資訊、與收納於各個前述收納部之前述物品保持體的前述識別資訊加以對應的上位環境管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出。
根據上述構成，出庫入庫管理部可將代表每一收納部之物品的保管環境的環境管理資訊從環境管理部取得。由於出庫入庫管理部將收納有物品保持體之收納部的場所與該當物品保持體之識別資訊加以對應並管理，因此從代表每一收納部之物品之保管環境的環境管理資訊可將針對收納於該當收納部之物品保持體的上位環境管理資訊與該物品保持體之識別資訊加以對應並生成。且，由於出庫入庫管理部將上位環境管理資訊朝主管理裝置輸出，因此主管理裝置可取得針對收納於收納部之物品保持體的上位環境管理資訊。
因此，主管理裝置可採取以下對應：在例如環境調節部有異常產生時，為了使收納於受到已產生異常之影響之收納部的物品保持體盡快地朝不同保管庫移動，便輸出從該當保管庫使物品保持體出庫的出庫要求，或是直到該當環境調節部之異常回復之前，對該當保管庫限制入庫要求的輸出而使物品保持體不會入庫等。因此，根據上述構成，對於主管理裝置來說，便可實現容易進行根據物品之保管環境來管理物品保持體的保管系統。
本發明之保管系統的技術性特徴亦適用於保管方法，本發明中，該方法亦可為權利主張之對象。該保管方法中，亦可獲得上述保管系統之作用效果。
即，本發明之保管方法是利用前述保管系統的方法，又，前述保管系統具有：保管庫，設有複數個收納物品搬運用之物品保持體之 收納部，並且設有前述物品保持體之出庫入庫用的搬出搬入部；環境調節部，在前述收納部中，將保持於前述物品保持體之物品的保管環境依每一前述收納部來調節；環境管理部，收集關於複數個前述收納部之各個收納部中之前述物品之保管環境的資訊來控制前述環境調節部的動作；保管庫搬運裝置，是進行從前述收納部朝前述搬出搬入部搬運前述物品保持體的出庫用搬運作業，及從前述搬出搬入部朝前述收納部搬運前述物品保持體的入庫用搬運作業；主管理裝置，可輸出用以將由前述物品保持體之各個保持體附帶之識別資訊所指定的前述物品保持體從前述保管庫出庫的出庫要求，及用以將由前述識別資訊所指定之前述物品保持體朝前述保管庫入庫的入庫要求；及出庫入庫管理裝置，將收納有前述物品保持體之前述收納部的場所與該物品保持體之前述識別資訊加以對應管理，且根據前述出庫要求或前述入庫要求，來控制前述保管庫搬運裝置之前述出庫用搬運作業或前述入庫用搬運作業；又，前述環境管理部構造成可生成代表每一前述收納部之前述物品之保管環境的環境管理資訊，並朝前述出庫入庫管理裝置輸出，且，前述保管方法利用前述出庫入庫管理裝置所執行 之以下步驟：資訊輸出步驟，生成前述環境管理部所輸出之每一前述收納部之前述環境管理資訊、及與收納於各個前述收納部之前述物品保持體的前述識別資訊加以對應的上位環境管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出。
以下，針對本發明之適宜之實施形態的範例來說明。
本發明之保管系統的實施形態中，宜為前述出庫入庫管理裝置進而構造成可生成為關於前述入庫搬運作業及前述出庫搬運作業之資訊的搬運管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出，又，前述搬運管理資訊存在有種類不同之複數種，前述上位環境管理資訊有種類不同之複數種存在，且，前述出庫入庫管理裝置構造成使其在已附帶可個別識別前述搬運管理資訊之種類與前述上位環境管理資訊之種類的資訊識別子的狀態下，將前述搬運管理資訊及前述上位環境管理資訊朝前述主管理裝置輸出。
根據該構成，由於主管理裝置可獲得複數個上位環境管理資訊，因此可將在物品之保管環境產生之現象分類成複數種並取得。藉此，主管理裝置可易於進行根據物品之具體保管環境來管理物品保持體。
且，由於主管理裝置根據資訊識別子而可辨識搬運管理資訊之種類與上位環境管理資訊之種類，因此主管理裝置可根據與在出庫入庫管理裝置之間通訊之搬運管理資訊的通訊方法相同的通訊方法來通訊上位環境管理資訊。因 此，可防止使用不同通訊方法等之通訊環境的複雜化並實現主管理裝置可從出庫入庫管理裝置取得上位環境管理資訊的構成。
本發明之保管系統的實施形態中，宜為前述環境管理資訊是顯示已預定前述物品之保管環境之複數種狀態之哪一種的資訊。
根據該構成，保管庫之物品的保管環境成為預定狀態之某一種時，主管理裝置便可根據環境管理資訊來辨識該情形。藉此，便可提出與關於保管於保管庫之物品保持體的出庫或入庫而產生之情形對應的適切對策。
本發明之保管系統的實施形態中，前述環境管理資訊包含顯示前述環境調節部有異常產生之資訊。
根據該構成，變成環境調節部有異常產生且保管庫之物品的保管環境有問題產生之狀態時，主管理裝置便可根據環境管理資訊辨識該情形。藉此，主管理裝置為了使收納於受到已發生異常之影響之收納部之物品保持體盡快地朝不同保管庫移動，可從該當保管庫輸出使物品保持體出庫之出庫要求，或直到該當環境調節部之異常回復之前，對該當保管庫限制入庫要求之輸出而使物品保持體不會入庫。
本發明之保管系統的實施形態中，宜為前述物品保持體是收容應在惰性氣體環境下保管之物品的氣密性容器，又，前述環境調節部具有對收納於前述收納部之前述容器來供給惰性氣體的惰性氣體供給裝置，且，前述環境 管理資訊包含顯示前述惰性氣體供給裝置已開始朝前述容器內供給惰性氣體或是已結束朝前述容器內供給惰性氣體的資訊。
根據該構成，在惰性氣體環境下將自由收納所應保管之物品的容器收納於收納部，藉此便可利用惰性氣體供給裝置對容器來供給惰性氣體。且，由於主管理裝置可將顯示已開始朝容器內供給惰性氣體或是已結束朝容器內供給惰性氣體的資訊作為環境管理資訊而取得，因此便可辨識開始供給惰性氣體而未結束的容器。故，藉由使其為盡可能不輸出針對上述惰性氣體之供給未結束的容器之出庫要求的運用，便可極力防止惰性氣體之供給不充分之容器從保管庫出庫的事態。因此，便可在惰性氣體環境下實現有利於所應保管之物品之品質維持的保管系統。
本發明之保管方法的實施形態中，宜為前述資訊輸出步驟中，進而可生成關於前述入庫搬運作業及前述出庫搬運作業之資訊即搬運管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出，前述搬運管理資訊存在有種類不同之複數種，前述上位環境管理資訊存在有種類不同之複數種，又，前述資訊輸出步驟中，在已附帶可個別識別前述搬運管理資訊之種類與前述上位環境管理資訊之種類的資訊識別子的狀態下，將前述搬運管理資訊與前述上位環境管理資訊朝前述主管理裝置輸出。
本發明之保管方法的實施形態中，宜為前述環境管理資訊是顯示已預定前述物品之保管環境之複數種狀態 之哪一種的資訊。
本發明之保管方法的實施形態中，宜為前述環境管理資訊包含顯示前述環境調節部有異常產生之資訊。
本發明之保管方法的實施形態中，宜為前述物品保持體是收容應在惰性氣體環境下保管之物品的氣密性容器，前述環境調節部具有對收納於前述收納部之前述容器來供給惰性氣體的惰性氣體供給裝置，前述環境管理資訊包含顯示已開始前述惰性氣體供給裝置朝前述容器內供給惰性氣體或是已結束朝前述容器內供給惰性氣體的資訊。
4‧‧‧惰性氣體供給裝置(環境調節部)
10‧‧‧保管庫
10a‧‧‧板狀載置支持部
10S‧‧‧收納部
10z‧‧‧在庫感測器
20‧‧‧堆疊起重機(保管庫搬運裝置)
21‧‧‧行走台車
22‧‧‧桅桿
23‧‧‧桅桿上端之上部框
24‧‧‧昇降台
25‧‧‧移載裝置
26‧‧‧板狀載置支持體
27‧‧‧ID讀取器
30‧‧‧天花板搬運車
31‧‧‧導軌
32‧‧‧行走車體
33‧‧‧吊掛部
40‧‧‧控制質量流量控制器
50‧‧‧容器(物品保持體)
C1、C2‧‧‧網絡
C3‧‧‧控制匯流排
CV‧‧‧出庫入庫運輸器(保管庫搬運裝置)
D‧‧‧搬出搬入部
F‧‧‧環境調節部
H1‧‧‧沖洗控制器(環境管理部)
H2‧‧‧保管庫控制器(出庫入庫管理裝置)
H3‧‧‧設備管理裝置(主管理裝置)
H4‧‧‧外部搬運控制器
L1、L2、L31、L32‧‧‧目標流量
P‧‧‧可程式規劃邏輯控制器
P1‧‧‧噴嘴沖洗模式
P2‧‧‧清潔模式
P3‧‧‧保管用沖洗模式
R1‧‧‧行走軌道
t1、t2‧‧‧供給時間
t3‧‧‧初期時間
t4‧‧‧繼續時間
V‧‧‧控制閥
圖1是保管庫之縱斷正面圖。
圖2是通訊方塊圖。
圖3是管理資訊之一例。
圖4是將氮氣之沖洗模式示意地顯示之圖。
圖5是容器入庫時之通訊例。
圖6是容器入庫時之通訊例。
圖7是沖洗棚故障時之通訊例。
圖8是沖洗棚故障時之通訊例。
將本發明之保管系統及保管方法之實施形態根據圖式來說明。如圖1所示，收納部10S在上下方向與左右方向(水平方向)並排之狀態下設置複數個，並且設有容器50之出庫入庫用搬出搬入部的保管庫10會設置於形成清浄空氣下向流之無塵室地板面上。收納部10S在惰性氣體環境下 收納所應保管之半導體基板以密閉狀態收容的基板搬運用容器50。容器50構成本發明之物品保持體。保管庫10用壁體K包覆外周部，且出庫入庫運輸器CV已貫通壁體K之狀態來配設，堆疊起重機20配設於設置空間內(保管庫10內部)。出庫入庫運輸器CV之外部側端部會設定成搬出搬入部D。
載置於搬出搬入部D之容器50利用出庫入庫運輸器CV從壁體K外部朝向內部來搬運之後，在出庫入庫運輸器CV內部側端部由堆疊起重機20所具備之移載裝置25拉起，與堆疊起重機20之行走動作與昇降動作一起利用移載裝置25的移載動作，朝收納部10S入庫。又，保管於收納部10S之容器50利用堆疊起重機20從收納部10S取出，朝出庫入庫運輸器CV內部側端部卸貨之後，利用出庫入庫運輸器CV從壁體K內部朝向外部搬運直到出庫入庫運輸器CV外部側端部為止，便可從保管庫10出庫。亦即是，本實施形態中，堆疊起重機20與出庫入庫運輸器CV會構成進行從收納部10S朝搬出搬入部D將容器50(物品保持體)搬運之出庫用搬運作業、及從搬出搬入部D朝收納部10S將容器50(物品保持體)搬運之入庫用搬運作業的保管庫搬運裝置。
而，本實施形態中，作為出庫入庫運輸器CV，設置了兼用入庫用與出庫用的一台運送機，且設定一處搬出搬入部，但亦可設置入庫用與出庫用之各別的運送機，並利用設定於各自外部側端部的搬入部與搬出部來構成搬出搬入部。又，亦可在不具有出庫入庫運輸器CV之情形下，將收貨台設於保管庫10內部，並將其設定成搬出搬入 部D。此時，天花板搬運車30具有使吊掛部33水平移動之水平移動機構。進而，作為搬出搬入部D，天花板搬運車30不受限於接收(移載)容器50者，例如亦可像設於在保管庫10內部與作業者之身高相應之地板面側預定高度的收貨台，作業者接收容器50之處。
本實施形態之保管系統中，朝保管庫10之容器50的搬入、或來自保管庫10之容器50的搬出都是由作為外部搬運裝置之複數個天花板搬運車30來進行。天花板搬運車30具有：吊掛支持於無塵室天花板之導軌31且沿著該導軌可自由之行走車體32、與在該行走車體32正下方自由昇降且自由把持容器50之頂凸緣52的吊掛部33。藉此，天花板搬運車30變得在保管庫10之搬出搬入部D可自由接收容器50。
而，天花板搬運車30之導軌31是沿著將收容於容器50之半導體基板加工之圖外的加工裝置工作站來配設，天花板搬運車30以停止於工作站正上方之狀態來使吊掛部33昇降，藉此在與工作站之間接收容器50。且，天花板搬運車30在複數個加工裝置工作站間、或工作站與保管庫10之搬出搬入部D之間來搬運容器50。
容器50是以SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)規格為準則之合成樹脂製氣密容器，並為了收納作為基板之半導體晶圓而使用，稱之為FOUP(Front Opening Unified Pod：前開式晶圓傳送盒)。且，詳細之說明雖省略，但會構造成在容器50前面，用自由裝 脫之蓋體51來形成可開關之基板出入用的開口，並以安裝好蓋體51之狀態將內部空間密閉成氣密狀態。容器50上面形成有由天花板搬運車30之吊掛部33所把持之頂凸緣52。又，圖示雖省略，但容器50設有作為附帶有彼此可識別之識別資訊之容器識別符的ID標籤。
又，圖示雖省略，但為了注入作為惰性氣體之氮氣，容器50底部設有給氣口、及排氣口，這些均具有朝關閉側賦予勢能之開關閥。且，這些閥構造成使其在容器50載置支持於收納部10S之載置支持部10a的預定位置的狀態下，由載置支持部10a所具備吐出噴嘴來供給氮氣，藉此利用其吐出壓力來開啟操作。藉此，從容器50之給氣口朝容器50內部供給氮氣並且容器內部之空氣從排氣口排出，便將容器50內之空氣置換成氮氣。
堆疊起重機20具有：沿著設於收納部10S前面側地板部之行走軌道R1而可自由行走移動的行走台車21、設立於該行走台車21之桅桿22、在由桅桿22所引導之狀態下可自由昇降移動的昇降台24。又，設於桅桿22上端之上部框23會構造成使其與設於用壁體K包覆外周部之設置空間天花板側的上部導軌(省略圖示)卡合並移動。
昇降台24裝備有在收納部10S將容器50移載之移載裝置25。移載裝置25具有載置支持容器50之板狀載置支持體26，該板狀載置支持體26可在突出於收納部10S內部之突出位置與朝昇降台24側引退之引退位置可自由進退。具有移載裝置25之堆疊起重機20會構造成使其利用載置支持 體26之進退動作與昇降台24之昇降動作，進行將載置於載置支持體26之容器50朝收納部10S卸除之卸貨處理、及將收納於收納部10S之容器50取出之拉起處理。
移載裝置25之載置支持體26前端部設有ID讀取器27來作為讀取容器50所具備之ID標籤之容器識別資訊讀取部(參照圖2)。同樣地，出庫入庫運輸器CV之外部側端部(搬出搬入部D)及內部側端部亦設有讀取容器50之ID標籤之ID讀取器27(參照圖2)。
堆疊起重機20裝備有將行走經路上之行走位置檢測之行走位置檢測裝置、及將昇降台24之昇降位置檢測之昇降位置檢測裝置，且控制堆疊起重機20之動作的保管庫控制器H2會構造成使其根據行走位置檢測裝置與昇降位置檢測裝置之檢測資訊，控制堆疊起重機20之動作。
複數個收納部10S之各部具有載置支持容器50之板狀載置支持部10a。載置支持部10a設有：當容器50載置時就會檢測作用而檢測是否容器50收納於收納部10S的2個在庫感測器10z。在庫感測器10z之檢測資訊會構造成使其朝控制質量流量控制器40之動作的沖洗控制器H1，透過可程式規劃邏輯控制器P來輸入(參照圖2)。
載置支持部10a設有：將作為惰性氣體之氮氣朝容器50內部供給之吐出噴嘴、與將從容器50內部排出之氣體流通之排出用通氣體。如圖1所示，在各收納部10S之棚後方側(亦即是，與容器50可出入之開口相對向之端部側)，且在棚左右方向成為容器50端部附近之位置，裝備有控制 氮氣之供給的質量流量控制器40。
質量流量控制器40與收納部10S之各個收納部對應地來設置。且，容器50在載置支持於載置支持部10a之狀態下，沖洗控制器H1會對質量流量控制器40指派流量指令，藉此質量流量控制器40從吐出噴嘴使比大氣壓且設定值以上更高壓之氮氣吐出。藉此，構造成使其在從容器50之排氣口使容器內氣體朝外部排出之狀態下，可從容器50之給氣口將氮氣朝容器50內部注入。而，質量流量控制器40上游側設有電磁開關式之控制閥V。控制閥V構造成使其透過可程式規劃邏輯控制器P，與沖洗控制器H1電性地連接，沖洗控制器H1便可控制控制閥V的開關。
質量流量控制器40具有：流入側埠與吐出側埠。吐出側埠連接有上述之供給配管，流入側埠則連接有從與氮氣供給源連接之主供給配管分岐且引導氮氣之供給配管。質量流量控制器40裝備有：將流動於從流入側埠朝向吐出側埠之內部流路之氮氣流量加以變更調節的流量調節閥、將流動於內部流路之氮氣流量加以計測的流量感測器、及控制流量調節閥之動作的內部控制部。
又，質量流量控制器40之內部控制部具有判別是否自身故障之自己故障診斷功能。又，氮氣供給源裝備有：將氮氣供給壓力調整成比大氣壓且設定值以上更高之設定壓力的調節器等。
如上所述，本實施形態中，以質量流量控制器40為中心，由吐出噴嘴、控制閥V、連接這些之供給配管等， 來構成收納部10S之惰性氣體供給裝置4。且，利用針對複數個收納部10S之各收納部之惰性氣體供給裝置4來構成環境調節部F。而，保管棚10之一部分的收納部10S並未設有惰性氣體供給裝置4，而是單純利用載置支持部10a來成為保管容器50的非沖洗棚。
如圖2所示，本實施形態之保管系統具有：對質量流量控制器40輸出流量指令之沖洗控制器H1、控制堆疊起重機20之出庫搬運作業或入庫搬運作業之保管庫控制器H2、及輸出用以將容器50從保管庫10出庫之出庫要求與用以將容器50朝保管庫10入庫之入庫要求的設備管理裝置H3。
沖洗控制器H1將複數個收納部10S之各收納部之關於半導體基板保管環境的資訊加以收集，來控制環境調節部F之動作。因此，沖洗控制器H1具有作為本發明之環境管理部的功能。而，關於保管環境之資訊例如包含有：控制閥V之開關狀態的資訊、或質量流量控制器40之動作狀態(氮氣之供給壓、供給流量、供給時間等)的資訊。
保管庫控制器H2會管理：收納有容器50之收納部10S的場所、與以與該當容器50之識別資訊加以對應並記憶之在庫管理資料而收納有容器50之收納部10S的場所，並根據出庫要求或入庫要求來控制堆疊起重機20之出庫搬運作業或入庫搬運作業。因此，保管庫控制器H2具有作為本發明之出庫入庫管理裝置的功能。
設備管理裝置H3會輸出：用以將由容器50之各 容器所附帶之識別資訊所指定之容器50從保管庫10出庫的出庫要求、與用以將由識別資訊所指定之容器50朝保管庫10入庫的入庫要求。因此，設備管理裝置H3具有作為本發明之主管理裝置的功能。
沖洗控制器H1、保管庫控制器H2、及設備管理裝置H3例如由以內儲程式方式來自由處理資訊的電腦來構成，並相互地用TCP/IP之LAN的網絡C1來連接。又，可程式規劃邏輯控制器P利用上述沖洗控制器H1與RS-232C等與網絡C2連接成可自由通訊。可程式規劃邏輯控制器P經由控制匯流排C3，連接有各質量流量控制器40、控制閥V、及在庫感測器10z。
網絡C1亦與外部搬運控制器H4連接，設備管理裝置H3亦與外部搬運控制器H4可自由通訊。藉此，設備管理裝置H3對外部搬運控制器H4，傳送已包含容器50之搬運起點資訊及搬運目標資訊的搬運要求資訊。外部搬運控制器H4根據已接收之搬運要求，控制天花板搬運車30之動作，並將搬運要求之搬運作業的進展資訊朝設備管理裝置H3傳送。
沖洗控制器H1對於可程式規劃邏輯控制器P，指派針對與複數個收納部10S之各個收納部對應而設置之質量流量控制器40的目標流量。可程式規劃邏輯控制器P構造成使其當從沖洗控制器H1接收質量流量控制器40之識別資訊與針對該質量流量控制器40之目標流量的指令時，就對與該當識別資訊對應之質量流量控制器40輸出目標流量的 指令。
作為沖洗控制器H1所輸出之目標流量，有：保管用之目標流量、噴嘴浄化用之目標流量、及清潔用之目標流量。保管用之目標流量是在容器50收納於收納部10S之狀態下，為了朝容器50內部注入氮氣而對質量流量控制器40所指派的目標流量。噴嘴浄化用之目標流量是在容器50收納於收納部10S之當前，為了淨化吐出噴嘴所指派的目標流量。清潔用之目標流量是在保管庫10之設置時等，為了淨化吐出噴嘴或供給配管等氮氣之供給通路所指派的目標流量。
如圖4所示，沖洗控制器H1作為訂定目標流量與供給時間之複數個沖洗模式，記憶了噴嘴沖洗模式P1、清潔模式P2、及保管用沖洗模式P3。
且，沖洗控制器H1在保管庫10之設置時等，當用圖外之操作台指派清潔開始指令時，為了使氮氣之供給形態為清掃用供給形態，就會將控制質量流量控制器40之動作的流量指令朝可程式規劃邏輯控制器P來輸出。而，清掃用供給形態是與清潔模式P2對應且清掃惰性氣體供給裝置4的形態，目標流量會設定為清潔用之清掃用流量，並且供給時間會設定為清掃用時間。
沖洗控制器H1當將容器50朝出庫入庫運輸器CV搬入時，為了供給與噴嘴沖洗模式P1對應之噴嘴浄化用之目標流量的氮氣，就將入庫有該當容器50之收納部10S之質量流量控制器40之流量指令朝可程式規劃邏輯控制器P來 輸出。而，本實施形態中，作為搬運作業之進展資訊，沖洗控制器H1藉由外部搬運控制器H4將移載結束資訊朝設備管理裝置H3與保管庫控制器H2傳送，判別已將容器50朝搬出搬入部D(出庫入庫運輸器CV)搬入，並將該判別結果朝沖洗控制器H1傳送。
沖洗控制器H1構造成使其在2個在庫感測器10z檢測容器50時，根據保管用沖洗模式P3，將保管用之目標流量朝可程式規劃邏輯控制器P輸出。
噴嘴沖洗模式P1是作為以下模式來制定：對於作為載置於出庫入庫運輸器CV之搬出搬入部D之容器50收納目標而選擇(所指定)之收納部10S，在設定為收納前供給時間之供給時間t1(例如5秒)之期間，用作為噴嘴浄化用之目標流量而設定的目標流量L1(例如30公升/分)來供給氮氣。
清潔模式P2是作為以下模式來制定：在從作業者用操作台指派清潔開始指令開始，作為設置初期供給時間而設定之供給時間t2(例如1800秒)之期間，用作為清潔用之目標流量而設定之目標流量L2(例如20公升/分)來供給氮氣。
保管用沖洗模式P3設定有初期目標流量值L31(例如50公升/分)、與比該初期目標流量更少之常規目標流量值L32(例如5公升/分)來作為保管用之目標流量。保管用沖洗模式P3為以下之模式：在對容器50供給氮氣時，首先，將保管用之目標流量值用較大流量之初期目標流量值L31，在設定初期時間t3(例如5秒)之期間供給氮氣，之後， 則將保管用之目標流量值變更成較小流量之常規目標流量值L32。藉由在沖洗初期進行較大流量之初期目標流量值L31的沖洗，可使容器50收納於收納部10S之後盡快地將容器50內之空氣利用氮氣來置換。又，常規目標流量值L32之氮氣的供給繼續設定繼續時間t4(例如300秒)之期間後，再度只在設定初期時間t3進行初期目標流量值L31之氮氣的供給。順帶一提，作業者用操作台預先將複數種沖洗模式(初期目標流量值L31及常規目標流量值L32之各個值與繼續時間)加以設定登錄，並將從其中所選擇之模式來登錄作為保管用沖洗模式P3。
沖洗控制器H1會生成代表每一收納部10S之半導體基板保管環境之環境管理資訊，並朝保管庫控制器H2輸出。環境管理資訊例如有：顯示已開始保管用沖洗模式P3所規定之初期目標流量值L31之氮氣沖洗的資訊、顯示已結束該當保管用沖洗模式P3所規定之初期目標流量值L31之氮氣沖洗的資訊、顯示因質量流量控制器40之故障等某種理由而在具有惰性氣體供給裝置4之收納部10S有無法沖洗氮氣之收納部10S產生的資訊、及顯示保管用沖洗模式P3之氮氣的沖洗已中斷的資訊等。而，可在容器50收納於收納部10S時開始保管用沖洗模式P3所規定之初期目標流量值L31之氮氣的沖洗。
保管庫控制器H2將保管庫10之容器50之入庫用搬運作業與出庫用搬運作業之各作業之進展資訊生成來作為搬運管理資訊，並朝設備管理裝置H3輸出。又，保管庫 控制器H2生成沖洗控制器H1所輸出之每一收納部10S的環境管理資訊、以及與收納於收納部10S之各收納部之容器50的識別資訊加以對應的上位環境管理資訊，並朝設備管理裝置H3輸出。保管庫控制器H2朝設備管理裝置H3輸出資訊的步驟會與本發明之「資訊輸出步驟」相當。
將本實施形態之保管庫控制器H2所生成並輸出之搬運管理資訊與上位環境管理資訊之一例顯示於圖3的表。識別編號01之「堆疊起重機啟動」~識別編號09之「容器搬出完成」是搬運管理資訊。識別編號11之「沖洗中斷」~識別編號14之「沖洗狀況變化」中，識別編號11之「沖洗中斷」、識別編號12之「沖洗開始」、識別編號13之「沖洗結束」則是將具備有惰性氣體供給裝置4之收納部10S(以下稱為「沖洗棚10S」。)之環境管理資訊與收納於該當沖洗棚10S之容器50的識別資訊加以對應的上位環境管理資訊。識別編號14之「沖洗狀況變化」是在保管庫10之沖洗棚10S某一處有無效之沖洗棚10S產生時所輸出的環境管理資訊，並非與特定之容器50加以對應而生成者，而是針對保管棚10全體之上位環境管理資訊。
如圖3所記載，搬運管理資訊與上位環境管理資訊均有種類不同之複數種存在，利用這些相同體系之資訊識別子而可識別。保管庫控制器H2在將搬運管理資訊之種類與上位環境管理資訊之種類作為可個別識別之資訊識別子附加上圖3所示之識別編號的狀態下，將搬運管理資訊與上位環境管理資訊朝主管理裝置輸出。而，保管庫控制器 H2所輸出之搬運管理資訊與上位環境管理資訊將識別編號以及與該識別編號對應之管理資訊的名稱附加為文字資料來輸出，但由於管理資訊之要旨可利用識別編號或是文字資料來明確地特定，因此可省略顯示管理資訊之名稱的文字資料或識別編號之資料的任一方。又，保管庫控制器H2在輸出上位環境管理資訊時，將以特定附帶有與上位環境管理資訊加以對應之容器50的識別資訊所構成之對應容器列表(亦有該當容器50為一個之情形。)與該當上位環境管理資訊配合並輸出。同樣地，保管庫控制器H2在輸出識別編號05~09之搬運管理資訊時，將特定附帶有與該當搬運管理資訊加以對應之容器50的識別資訊與該當搬運管理資訊配合，並朝設備管理裝置H3輸出。
上位環境管理資訊中，識別編號11之「沖洗中斷」是在例如根據沖洗模式P3朝容器50沖洗氮氣之收納部10S時，利用質量流量控制器40之自我診斷功能等從質量流量控制器40通知惰性氣體供給體裝置4之異常，且沖洗控制器H1判斷該當收納部10S之沖洗狀態有異常產生時，便會輸出。亦即是，環境管理資訊包含有顯示環境調節部F(惰性氣體供給裝置4)有異常產生之資訊。
識別編號14之「沖洗狀況變化」是因沖洗棚10S之惰性氣體供給裝置4故障等之原因，在沖洗棚10S裡有無法氮氣沖洗之收納部10S產生時，便會從保管庫控制器H2輸出。
識別編號12之「沖洗開始」是顯示已開始保管用 沖洗模式P3所規定之初期目標流量值L31之氮氣沖洗的資訊。又，識別編號13之「沖洗結束」是顯示已結束保管用沖洗模式P3所規定之初期目標流量值L31之氮氣沖洗的資訊。亦即是，本實施形態中，環境管理資訊包含有已開始惰性氣體供給裝置4之朝容器50內供給惰性氣體或是已結束朝容器50內供給惰性氣體的資訊。而，在容器50收納於沖洗棚10S時會開始保管用沖洗模式P3所規定之初期目標流量值L31之氮氣沖洗。
如上所述，本實施形態中，作為環境管理資訊，有識別編號11之「沖洗中斷」、識別編號12之「沖洗開始」、識別編號13之「沖洗結束」存在，這些是顯示半導體基板之保管環境成為預定之複數種狀態的哪一種的資訊。
接著，參照圖5至圖8，並且當朝保管庫10之沖洗棚10S將容器50入庫時，以沖洗棚10S有異常產生時為例，針對沖洗控制器H1、保管庫控制器H2、設備管理裝置H3之通訊動作來說明。
首先，參照圖5與圖6並且針對朝保管庫10之沖洗棚10S將容器50入庫時之通訊動作來說明。當利用天花板搬運車30將容器50載置於搬入部(本實施形態中為搬出搬入部D)時，就利用搬出搬入部D之ID讀取器27，來讀取保持於所搬入之容器50之ID標籤的該當容器50的識別資訊。保管庫控制器H2將識別編號05之「讀取容器ID」之管理資訊與容器50之識別資訊加以連結且朝設備管理裝置H3傳送(#1)。保管庫控制器H2在直到有來自設備管理裝置H3之入 庫要求之前，不執行入庫用搬運作業，並將識別編號06之「容器待機中」的管理資訊與該當容器之識別資訊加以連結，並朝設備管理裝置H3傳送(#2)。
當從設備管理裝置H3傳送入庫要求時(#3)，保管庫控制器H2就會根據入庫要求，選擇成為容器50之入庫目標的空沖洗棚10S，並且控制出庫入庫運輸器CV與堆疊起重機20之動作來使入庫用搬運作業執行，並從搬出搬入部D來搬運容器50到所選擇之沖洗棚10S。此時，保管庫控制器H2將識別編號01之「堆疊起重機啟動」、識別編號02之「堆疊起重機動作中」、識別編號07之「容器搬運中」的搬運管理資訊依序地朝設備管理裝置H3傳送(#4~#6)。進而，保管庫控制器H2朝沖洗控制器H1，來傳送將沖洗對象之容器50朝入庫預定之沖洗棚10S開始移動的要旨(#7)。接收此要旨且沖洗控制器H1控制該當之沖洗棚10S之惰性氣體供給裝置4的動作，便開始噴嘴沖洗模式P1之氮氣沖洗。
沖洗控制器H1當噴嘴沖洗模式P1之氮氣沖洗結束時，就對保管庫控制器H2，給予沖洗對象之容器50的入庫許可(#8)。保管庫控制器H2在入庫許可出現前搬運容器50到朝該當沖洗棚10S前方時，會保留移載裝置25之卸貨動作的開始，等待入庫許可。保管庫控制器H2根據來自沖洗控制器H1之入庫許可，對堆疊起重機20許可移載開始，並使移載裝置25之卸貨動作進行。藉此，該當容器50便可入庫於入庫預定的沖洗棚10S。當容器50之移載結束時，保管庫控制器H2就將識別編號03之「移載結束」、識別編號08 之「容器入庫結束」、識別編號04之「堆疊起重機待機中」的搬運管理資訊朝設備管理裝置H3依序傳送(#9~#11)。進而保管庫控制器H2朝沖洗控制器H1傳送沖洗對象之容器50入庫已結束的要旨(#12)。
當沖洗控制器H1從保管庫控制器H2接收容器50之入庫結束資訊時，就開始保管用沖洗模式P3之初期目標流量值L31之氮氣沖洗(起初沖洗)，並將該要旨朝保管庫控制器H2傳送(#13)。保管庫控制器H2當從沖洗控制器H1接收開始保管用沖洗模式P3之氮氣沖洗的要旨時，就將收納於該當沖洗棚10S之容器50的識別資訊從在庫管理資料抽出，並將識別編號12之「沖洗開始」的上位環境管理資訊與容器50之識別資訊加以連結，朝設備管理裝置H3傳送(#14)。
當保管用沖洗模式P3之初期目標流量值L31之氮氣沖洗結束時，沖洗控制器H1就將該要旨朝保管庫控制器H2傳送(#15)。當從沖洗控制器H1接收保管用沖洗模式P3之初期目標流量值L31之氮氣沖洗已結束之要旨時，保管庫控制器H2就將收納於該當沖洗棚10S之容器50的識別資訊從在庫管理資料抽出，並將識別編號13之「沖洗結束」的上位環境管理資訊與容器50之識別資訊加以連結，朝設備管理裝置H3傳送(#16)。由於設備管理裝置H3從保管庫控制器H2接收已開始所入庫之容器50之起初沖洗的情形與已結束的情形，因此進行容器50之起初沖洗的期間可限制出庫要求的輸出而使收納於該當沖洗棚10S之容器50不會出庫。
當起初沖洗結束時，沖洗控制器H1就使保管用沖洗模式P3之常規目標流量值L32之氮氣沖洗(保養沖洗)繼續設定繼續時間t4的期間。當保養沖洗結束時，就再度開始起初沖洗。此時之沖洗控制器H1、保管庫控制器H2、設備管理裝置H3之間的通訊與上述最初之起初沖洗的開始與結束之情形相同。
接著，參照圖7與圖8並且針對沖洗棚10S之惰性氣體供給裝置4有異常產生時之通訊動作來說明。當沖洗棚10S有異常產生時，沖洗控制器H1就對保管庫控制器H2通知沖洗棚狀態，而該沖洗棚狀態包含：異常資訊(例如：利用質量流量控制器40之自我診斷機功能來判別之質量流量控制器40的異常、在庫感測器10z之檢測狀態的不一致、及可程式規劃邏輯控制器P之異常等)、與氮氣供給壓等之惰性氣體供給裝置4的動作資訊(#1)。當接收沖洗棚狀態時，保管庫控制器H2就將沖洗棚狀態下顯示異常之沖洗棚10S設定成使用禁止之收納部10S(以下稱為禁止棚)，並朝沖洗控制器H1傳送該要旨(#2)。藉此，設定於禁止棚之沖洗棚10S亦在沖洗控制器H1作為禁止棚來管理。
當設定禁止棚時，保管庫控制器H2就將識別編號14之「沖洗狀況變化」朝設備管理裝置H3傳送(#3)，接著，將收納於禁止棚之容器50的識別資訊從在庫管理資料抽出，並將識別編號11之「沖洗中斷」的上位環境管理資訊與容器50之識別資訊加以連結，朝設備管理裝置H3傳送(#4)。設備管理裝置H3當接收來自保管庫控制器H2之「沖 洗中斷」時，就根據該當上位環境管理資訊所示之容器50的識別資訊，為了將用該當識別資訊所指定之容器50從保管棚10出庫，朝保管庫控制器H2傳送出庫要求(#5)。
保管庫控制器H2當接收出庫要求時，就根據出庫要求之容器50的識別資訊，從在庫管理資料將收納有該當出庫目標之容器50的收納部10S加以搜尋，使堆疊起重機20動作。此時，保管庫控制器H2將識別編號01之「堆疊起重機啟動」、識別編號02之「堆疊起重機動作中」的搬運管理資訊朝設備管理裝置H3依序地傳送(#6與#7)。
當堆疊起重機20將該當沖洗棚10S之出庫目標的容器50拉取時，保管庫控制器H2就將識別編號07之「容器搬運中」的搬運管理資訊朝設備管理裝置H3傳送(#8)，並且對沖洗控制器H1，傳送出庫目標之容器50已從沖洗棚10S出庫的要旨(#9)。即使在禁止棚中質量流量控制器40利用自我診斷功能而成為供給停止狀態，氮氣沖洗亦可在管理上繼續，故，沖洗控制器H1接收來自保管庫控制器H2之出庫結束報告，便使在禁止棚之氮氣沖洗結束。
當利用堆疊起重機20，容器20朝搬出部(本實施形態中為搬出搬入部D)移動時，保管庫控制器H2就將識別編號03之「移載結束」、識別編號06之「容器待機中」、識別編號04之「堆疊起重機待機中」的搬運管理資訊朝設備管理裝置H3依序傳送(#10~#12)。
當利用天花板搬運車30將容器50從搬出部(搬出搬入部D)搬出時，保管庫控制器H2為了將出庫目標之容器 50已搬出之要旨對設備管理裝置H3來報告，就將識別編號09之「容器搬出完成」之搬運管理資訊與該當容器50之識別資訊加以連結並朝設備管理裝置H3傳送(#13)。
〔不同實施形態〕
最後，針對本發明之保管系統與保管方法之其他實施形態來說明。而，以下之各個實施形態所揭示之構成只要沒有矛盾產生，亦可與用其他實施形態所揭示之構成組合來適用。
(1)上述實施形態中，已例示物品保持體是在惰性氣體環境下自由收容所應保管之物品的氣密性容器的情形，但作為物品保持體，亦可為例如保持複數片充電電池單元之物品搬運用的卡匣、或將適切之溫度環境下所保管之食品或飲料或這些原料加以載置支持的物流棧板等。
(2)上述實施形態中，已例示環境調節部是設於收納部之各收納部之惰性氣體供給裝置的情形，但亦可為環境調節部是由複數個收納部來兼用的構成。
(3)上述實施形態中，已例示保管庫是用壁體包覆外周部之情形，但亦可為不設置壁體之構成。
(4)即使是關於其他構成，本說明書中所揭示之實施形態亦例示全部要點，但應理解本發明之範圍並不因這些而限定。如為該業者，在不脫離本發明之宗旨的範圍，可容易地理解可適宜改變。因此，在不脫離本發明之趣旨的範圍所改變之不同實施形態亦理所當然地包含於本發明的範圍。

Claims (10)

  1. 一種保管系統，具有：保管庫，設有複數個收納物品搬運用之物品保持體並且設有前述物品保持體出庫入庫用的搬出搬入部；環境調節部，在前述收納部，將保持於前述物品保持體之物品的保管環境依每一前述收納部來調節；環境管理部，收集關於複數個前述收納部之各個收納部中之前述物品之保管環境的資訊來控制前述環境調節部的作動；保管庫搬運裝置，進行從前述收納部朝前述搬出搬入部搬運前述物品保持體的出庫用搬運作業，及從前述搬出搬入部朝前述收納部搬運前述物品保持體的入庫用搬運作業；主管理裝置，可輸出用以將由前述物品保持體之各個保持體附帶之識別資訊所指定的前述物品保持體從前述保管庫出庫的出庫要求，及用以將由前述識別資訊指定之前述物品保持體朝前述保管庫入庫的入庫要求；出庫入庫管理裝置，將收納有前述物品保持體之前述收納部的場所與該物品保持體之前述識別資訊加以對應管理，且根據前述出庫要求或前述入庫要求，來控制前述保管庫搬運裝置之前述出庫用搬運作業或前述入庫用搬運作業；又，該保管系統之特徵在於： 前述環境管理部構造成可生成代表每一前述收納部之前述物品的保管環境的環境管理資訊，並朝前述出庫入庫管理裝置輸出，前述出庫入庫管理裝置構造成可生成將前述環境管理部所輸出之每一前述收納部之前述環境管理資訊、與收納於各個前述收納部之前述物品保持體的前述識別資訊加以對應的上位環境管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出。
  2. 如請求項1之保管系統，其中前述出庫入庫管理裝置進而構造成可生成為關於前述入庫搬運作業及前述出庫搬運作業之資訊的搬運管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出，又，前述搬運管理資訊存在有種類不同之複數種，前述上位環境管理資訊存在有種類不同之複數種，且，前述出庫入庫管理裝置構造成在附帶有可個別識別前述搬運管理資訊之種類與前述上位環境管理資訊之種類的資訊識別子的狀態下，將前述搬運管理資訊及前述上位環境管理資訊朝前述主管理裝置輸出。
  3. 如請求項1或2之保管系統，其中前述環境管理資訊是顯示已預定前述物品之保管環境之複數種狀態之哪一種的資訊。
  4. 如請求項1或2之保管系統，其中前述環境管理資訊包含顯示前述環境調節部有異常產生之資訊。
  5. 如請求項1或2之保管系統，其中前述物品保持體是收容 應在惰性氣體環境下保管之物品的氣密性容器，又，前述環境調節部具有對收納於前述收納部之前述容器來供給惰性氣體的惰性氣體供給裝置，且，前述環境管理資訊包含顯示前述惰性氣體供給裝置已開始朝前述容器內供給惰性氣體或是已結束朝前述容器內供給惰性氣體的資訊。
  6. 一種保管方法，其是利用前述保管系統，又，前述保管系統具有：保管庫，設有複數個收納物品搬運用之物品保持體之收納部，並且設有前述物品保持體之出庫入庫用的搬出搬入部；環境調節部，在前述收納部中，將保持於前述物品保持體之物品的保管環境依每一前述收納部來調節；環境管理部，收集關於複數個前述收納部之各個收納部中之前述物品之保管環境的資訊來控制前述環境調節部的動作；保管庫搬運裝置，是進行從前述收納部朝前述搬出搬入部搬運前述物品保持體的出庫用搬運作業，及從前述搬出搬入部朝前述收納部搬運前述物品保持體的入庫用搬運作業；主管理裝置，可輸出用以將由前述物品保持體之各個保持體附帶之識別資訊所指定的前述物品保持體從前述保管庫出庫的出庫要求，及用以將由前述識別資訊所指定之前述物品保持體朝前述保管庫入庫的入庫要 求；及出庫入庫管理裝置，將收納有前述物品保持體之前述收納部的場所與該物品保持體之前述識別資訊加以對應管理，且根據前述出庫要求或前述入庫要求，來控制前述保管庫搬運裝置之前述出庫用搬運作業或前述入庫用搬運作業；又，前述環境管理部構造成可生成代表每一前述收納部之前述物品之保管環境的環境管理資訊，並朝前述出庫入庫管理裝置輸出，且，前述保管方法利用前述出庫入庫管理裝置所執行之以下步驟：資訊輸出步驟，生成前述環境管理部所輸出之每一前述收納部之前述環境管理資訊、及與收納於各個前述收納部之前述物品保持體的前述識別資訊加以對應的上位環境管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出。
  7. 如請求項6之保管方法，其中前述資訊輸出步驟中，進而可生成為關於前述入庫搬運作業及前述出庫搬運作業之資訊的搬運管理資訊，並朝前述主管理裝置輸出，前述搬運管理資訊存在種類不同之複數種，前述上位環境管理資訊存在有種類不同之複數種，又，前述資訊輸出步驟中，在已附帶可個別識別前述搬運管理資訊之種類與前述上位環境管理資訊之種類的資訊識別子的狀態下，將前述搬運管理資訊與前述上位環境管理資訊朝前述主管理裝置輸出。
  8. 如請求項6或7之保管方法，其中前述環境管理資訊是顯示已預定前述物品之保管環境之複數種狀態之哪一種的資訊。
  9. 如請求項6或7之保管方法，其中前述環境管理資訊包含顯示前述環境調節部有異常產生之資訊。
  10. 如請求項6或7之保管方法，其中前述物品保持體是收容應在惰性氣體環境下保管之物品的氣密性容器，前述環境調節部具有對收納於前述收納部之前述容器來供給惰性氣體的惰性氣體供給裝置，前述環境管理資訊包含顯示已開始前述惰性氣體供給裝置朝前述容器內供給惰性氣體或是已結束朝前述容器內供給惰性氣體的資訊。
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