TWI505391B - Loading port device, conveying system and container carrying method - Google Patents

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TWI505391B
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Tadamasa Tominaga
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Murata Machinery Ltd
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Description

裝載埠裝置、搬送系統及容器搬出方法
本發明係關於一種用以將具有內部空間及氣體埠之容器自處理裝置搬出之裝載埠裝置、使用該裝載埠裝置之搬送系統、及容器搬出方法。
裝載埠裝置係例如自半導體處理裝置或自動倉庫將收納有基板之密閉容器入庫或出庫之裝置。密閉容器係藉由搬送車自裝載埠裝置搬送至其他裝置(例如，參照專利文獻1)。
密閉容器為例如前開式晶圓盒(FOUP；Front Opening Unified Pod)、進入料介面(SMIF；Standard Mechanical Interface)。於搬送或保管基板時，密閉容器成為密閉狀態，因此可防止塵埃侵入至內部。又，密閉容器之內部環境係藉由以氮氣等惰性氣體進行置換，可防止因半導體基板之自然氧化所導致之氧化膜之成長。
密閉容器內之氮氣濃度於搬送待機中或保管中有時會降低至規定值以下。於該情形時，氮氣之濃度降低之密閉容器係再淨化。以下，說明密閉容器之淨化動作。於可搬式密閉容器形成有使內部與外部相連通之供氣埠及排氣埠。氣體供給裝置具備有與供氣埠氣密地連接之供氣噴嘴、及與排氣埠氣密地連接之排氣噴嘴。供氣噴嘴係經由供氣管而與供給淨化氣體(purge gas)之氣體供給源連接。氣體排出噴嘴係與進 行排氣之處理裝置連接。淨化氣體係自氣體供給源經由供氣管、供氣噴嘴及供氣埠而供給至可搬式密閉容器內。又，若淨化氣體充滿密閉容器內而使密閉容器內成為特定壓力以上，則淨化氣體就會經由排氣埠、排氣噴嘴及排氣管排出。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2010-64806號公報
於設置在保管庫之裝載埠裝置中，密閉容器係藉由搬送輸送機自保管庫內部搬送至待機位置。密閉容器係位於待機位置直至裝載至搬送車為止。然而，於搬送車到達為止之時間，密閉容器內之氮氣濃度亦會逐漸降低。
本發明之課題在於防止裝載於搬送車之密閉容器之內部氣體之濃度降低。
以下，作為用以解決問題之手段，說明複數個態樣。此等態樣視需要可任意地組合。
本發明一態樣之裝載埠裝置係用以將具有氣體埠之容器藉由搬送車搬送至裝載位置之裝載埠裝置，且具備有搬送輸送機、噴嘴機構、及控制器。搬送輸送機係延伸至裝載位置。噴嘴機構具有配置於裝載位置附近且藉由與氣體埠連接而 用以對容器中供給淨化氣體之噴嘴、及使噴嘴接近/離開氣體埠之移動機構。控制器係控制由噴嘴機構對容器中供給淨化氣體者，且根據搬送車到達裝載位置而停止由噴嘴機構對容器供給淨化氣體。
於此裝置中，若藉由搬送輸送機將容器搬送至裝載位置，則其次會藉由移動機構使噴嘴與氣體埠連接，於該狀態下噴嘴機構會將淨化氣體供給至容器。然後，若藉由控制器掌握搬送車已到達裝載位置之情況，就會停止自噴嘴機構對容器供給淨化氣體。此結果，可不浪費等待時間而將淨化氣體供給至容器，並進一步利用搬送車如習知般快速地執行裝載。又，亦可防止於將容器裝載至搬送車為止之等待時間使容器內之淨化氣體濃度降低。
再者，所謂「搬送車到達裝載位置」，係指搬送車非常接近於裝載位置，包含停止於裝載位置或即將停止之近前之狀態。
裝載埠裝置亦可進一步具備有判別部與對位機構。判別部係判別配置於裝載位置附近之容器之氣體埠之位置。對位機構係根據判別結果將噴嘴對準於氣體埠之位置。
於此裝置中，由於對位機構係使噴嘴對準於容器之氣體埠之位置，因此即便於使用氣體埠之位置不同之複數種容器之情形時，亦可將噴嘴與氣體埠連接。再者，氣體埠之位置之判別既可藉由感測器之檢測而進行，亦可藉由取得容器之種 類之資訊而進行。
對位機構亦可具有水平移動機構，且水平移動機構係根據氣體埠之位置使噴嘴水平移動。
此水平移動機構可使噴嘴朝例如水平面內之一方向或所有方向移動。由此，可根據容器之氣體埠之位置使噴嘴之位置移動自如，裝載埠裝置亦可靈活地根據氣體埠位置不同之容器而將氣體埠與噴嘴對位。
裝載埠裝置亦可進一步具備記憶部，該記憶部使識別各容器之識別器與各容器之氣體埠之位置建立對應關係，且判別部自記憶部判別與搬送對象之容器之識別器建立有對應關係之氣體埠之位置。即便不藉由感測器等檢測出氣體埠之位置，判別部亦可根據容器之識別器而掌握氣體埠之位置。
裝載埠裝置亦可進一步具備有檢測各容器之氣體埠之位置之感測器，且判別部係根據感測器所檢測出之位置判別氣體埠之位置。由於藉由感測器檢測出氣體埠之位置，因此無需針對每一個容器預先記憶氣體埠之位置。
噴嘴機構亦可進一步具有：第2噴嘴，其係形狀與噴嘴不同且藉由移動機構接近/離開氣體埠；及對位機構，其使噴嘴與第2噴嘴對位於氣體埠。
於此裝置中，若藉由搬送輸送機將容器搬送至裝載位置，則其次會藉由移動機構將噴嘴與氣體埠連接，於該狀態下噴嘴機構會將淨化氣體供給至容器。然後，若藉由控制器掌握 搬送車已到達裝載位置之情況，就會停止自噴嘴機構對容器供給淨化氣體。此結果，可不浪費等待時間而將淨化氣體供給至容器，並進一步利用搬送車如習知般快速地執行裝載。
於此裝置中，由於定位機構係使形狀不同之複數個噴嘴對準於容器之氣體埠之位置，因此即便於使用氣體埠之形狀不同之複數種容器之情形時，亦可將噴嘴與氣體埠連接。
本發明之另一態樣之搬送系統具備有：上述裝載埠裝置；及搬送車，其可自裝載位置裝載容器。
本發明之又一態樣之容器搬出方法係使用一種裝載埠裝置，其係用以將具有氣體埠之容器搬送至利用搬送車進行裝載之裝載位置之裝置。裝載埠裝置具備有搬送輸送機與噴嘴機構。搬送輸送機係延伸至裝載位置。噴嘴機構具有配置於裝載位置附近且藉由與氣體埠連接而用以對容器中供給淨化氣體之噴嘴、及使噴嘴接近/離開氣體埠之移動機構。容器搬出方法具備有以下步驟。
◎藉由搬送輸送機將容器搬送至裝載位置。
◎將噴嘴與位於裝載位置之容器之氣體埠連接，其次將淨化氣體供給至容器中。
◎掌握搬送車到達裝載位置之情況。
◎根據掌握停止將淨化氣體供給至容器中。
於此方法中，若藉由搬送輸送機將容器搬送至裝載位置，則其次會藉由移動機構將噴嘴與氣體埠連接，於該狀態下噴 嘴機構會將淨化氣體供給至容器。然後，若掌握搬送車已到達裝載位置之情況，就會停止自噴嘴機構對容器供給淨化氣體。此結果，可不浪費等待時間而將淨化氣體供給至容器，並進一步，利用搬送車如習知般快速地執行裝載。
於本發明之裝載埠裝置中，可防止裝載至搬送車之密閉容器之內部氣體之濃度降低。
(1)整體之構成
以下，一面參照圖式一面對保管庫裝置之實施形態進行說明。
於生產半導體積體電路、液晶顯示裝置等之製程中，在使步驟自某一製程前進至下一製程之階段中，製造中之基板係收納於容器中。保管庫裝置1係配置於無塵室內且為暫時保管容器(於本實施形態中為FOUP)之裝置。
使用圖1說明保管庫裝置1之構造。圖1係保管庫裝置之側視剖面圖。保管庫裝置1係配置於形成無塵室之建築物3內部。建築物3具有一樓地基5、一樓地板7、二樓地板9、及建築物天花板11。
如圖1所示，保管庫裝置1具有本體部21、支架23、及堆高起重機(stacker crane)25。保管庫裝置1更具有1樓用埠41與2樓用埠43(於後敍述)。
本體部21係自一樓地基5貫通一樓地板7，進一步亦貫通二樓地板9，而延伸至建築物天花板11附近。本體部21係成為與外部阻隔之密閉構造之箱體。
支架23係由對向排列之2列之左右支架23a、23b所構成。左右支架23a、23b具有複數個貨架23A。於貨架23A上，如圖示般載置有容器27。於左右支架23a、23b間之中央空間，移動自如地配置有堆高起重機25。
堆高起重機25具有堆高支柱31、車輪33、驅動車輪33之移動機構(未圖示)、及使堆高支柱31升降自如之堆高機器手臂35。堆高機器手臂35係自下方撈起並保持容器27之手裝置。堆高起重機25可於特定之貨架23A、與1樓用埠41及2樓用埠43之內側輸送機單元51(於後敍述)之間移載容器27。
(2)埠之構造
使用圖2說明埠之構造。圖2係表示保管庫裝置之埠之構造之立體圖。1樓用埠41係設置於一樓側，2樓用埠43係設置於二樓側。經由此等埠41、43而可進行容器27之入庫與出庫。
1樓用埠41與2樓用埠43具有於本體部21之外側面開口之開口部45、及設置於開口部45之內外兩側之搬送輸送機47。搬送輸送機47係由設置於本體部21外側之外側輸送機單元49、與設置於本體部21內側之內側輸送機單元51 所構成。
1樓用埠41與2樓用埠43個別之外側輸送機單元49係由來自天花板之吊掛構件55所支撐。於此外側輸送機單元49上方之天花板設置有沿軌道57移動自如之高架搬送車59。高架搬送車59可自外側輸送機單元49搬運容器27，或可朝外側輸送機單元49搬運容器27。高架搬送車59係由搬送車控制器113所控制(於後敍述)。
輸送機單元49、51係構成為於四角框之框架之左右側面安裝驅動輥61與從動輥63。驅動輥61係由輥驅動機構103(圖5)所驅動。
於外側輸送機單元49設置有用以檢測出是否搭載有容器27之搭載感測器107(圖5)。
再者，於外側輸送機單元49既可設置容器27之定位用銷，亦可不設置。
(3)載體
使用圖3說明容器27。圖3係容器之俯視圖。
容器27係用以於密閉狀態下收納基板之容器，且藉由其他裝置搬送。容器27具有框體與蓋。
於容器27之底面設置有適合運動(kinematic)銷之溝槽即定位構造(未圖示)。
於容器27之底部形成有貫通上下表面之供氣埠65及排氣埠67。於供氣埠65及排氣埠67配置有未圖示之止回閥或 過濾器，使外部之污濁空氣難以進入至內部。
(4)淨化裝置
使用圖4說明淨化裝置73。圖4係淨化裝置之示意圖。
淨化裝置73係以特定之氣體(例如，乾淨乾燥空氣或N2 等惰性氣體)將容器27內淨化之裝置。淨化裝置73係配置於外側輸送機單元49之下方，將放置於外側輸送機單元49之容器27淨化。
淨化裝置73具有空氣供給槽75、供氣管77、及供氣噴嘴79。空氣供給槽75之內部具有例如乾淨乾燥空氣。供氣管77係自空氣供給槽75延伸。供氣噴嘴79係固定於供氣管77之前端。而且，於供氣管77之中途設置有流量調整閥81、與開閉閥83。
淨化裝置73更具有排氣管84、與排氣噴嘴85。排氣噴嘴85係固定於排氣管84之前端。排氣管84之另一端係藉由排氣裝置而導引至特殊之處理裝置(未圖示)。
再者，雖於圖中未記載，但於各構件彼此之接觸部分設置有密封件。
淨化裝置73具有用以使供氣噴嘴79升降之第1升降機構87。第1升降機構87為氣壓缸機構，且具有桿89、與驅動桿89之氣缸驅動部91。藉由第1升降機構87，供氣噴嘴79可於連接在供氣埠65之位置與自供氣埠65解除連接之位置之間移動。
淨化裝置73具有用以使排氣噴嘴85升降之第2升降機構93。第2升降機構93為氣缸機構，且具有桿95、與驅動桿95之氣缸驅動部97。藉由第2升降機構93，排氣噴嘴85可於連接在排氣埠67之位置與自排氣埠67解除連接之位置之間移動。
(5)控制構成
使用圖5說明保管庫裝置1之控制構成。圖5係表示保管庫裝置1之控制構成之方塊圖。
保管庫控制器101為電腦，其具有中央處理單元(CPU；Central Processing Unit)、隨機存取記憶體(RAM；Random Access Memory)、唯讀記憶體(ROM；Read Only Memory)等硬體，且藉由執行程式之命令進行各種控制動作。
保管庫控制器101係連接於堆高起重機25、輥驅動機構103、流量調整閥81、開閉閥83、第1升降機構87、及第2升降機構93，且可對此等構件發送控制信號。
而且，保管庫控制器101係連接於搭載感測器107、及識別器(ID，Identification)讀取器109，且可接收來自此等構件之檢測信號。
保管庫控制器101可通信地連接於物流控制器111。物流控制器111係保管庫控制器101及搬送車控制器113之上位之控制器。物流控制器111於若自製造控制器(未圖示)接收搬送請求，就會伴隨在保管庫裝置1之出庫之情形時，以特 定之時序將出庫指令發送至保管庫控制器101。又，物流控制器111係將所接收之搬送請求轉換為搬送指令，將其分配至高架搬送車59。
保管庫控制器101可通信地連接於搬送車控制器113。搬送車控制器113係管理複數個高架搬送車59，且具有對此等高架搬送車59分配搬送指令之分配功能。搬送指令包含與移動相關之指令、與取貨位置及卸貨位置相關之指令。
例如，若物流控制器111將出庫指令發送至保管庫控制器101，則保管庫控制器101就會藉由控制堆高起重機25、及輥驅動機構103進行出庫動作。又，物流控制器111係將搬送指令發送至搬送車控制器113。其結果，搬送車控制器113係將搬送指令分配至高架搬送車59。
(6)搬出動作之控制
使用圖6對將容器27自保管庫裝置1搬出之控制動作進行說明。圖6係表示保管庫裝置之控制動作之流程圖。
於步驟S1中，保管庫控制器101係等待自物流控制器111發送來出庫指令。
於步驟S2中，保管庫控制器101係藉由驅動堆高起重機25，使容器27移動至搬送輸送機47。具體而言，堆高起重機25自特定之貨架23A搬運出容器27，進一步將容器27載置於埠41、43之內側輸送機單元51上。
於步驟S3中，保管庫控制器101係藉由驅動輥驅動機構 103，而藉由搬送輸送機47將容器27自本體部21搬出。具體而言，朝搬出方向驅動輸送機單元49、51，容器27係移動至外側輸送機單元49上。
於步驟S4中，保管庫控制器101係等待容器27移動至位於外側輸送機單元49。再者，容器27是否已配置於外側輸送機單元49之判斷係根據來自搭載感測器107之檢測信號所進行。
於步驟S5中，保管庫控制器101係藉由驅動第1升降機構87及第2升降機構93，而使供氣噴嘴79及排氣噴嘴85上升，並且分別連接於供氣埠65及排氣埠67。又，此時，藉由使設置於外側輸送機單元49下方之運動銷(未圖示)亦同時上升，而進行容器27之定位。再者，亦可藉由在供氣噴嘴79及排氣噴嘴85上升之前先使運動銷上升而進行容器27之定位。
於步驟S6中，保管庫控制器101打開開閉閥83。藉此，將乾淨乾燥空氣自空氣供給槽75供給至容器27內。
於步驟S7中，保管庫控制器101係等待自搬送車控制器113發送來用以通知高架搬送車59已到達外側輸送機單元49之信號。
於步驟S8中，保管庫控制器101關閉開閉閥83。藉此，停止將來自空氣供給槽75之乾淨乾燥空氣供給至容器27內。再者，此動作即便僅經過較正常之淨化時間短之時間亦 可執行。
於步驟S9中，保管庫控制器101係藉由驅動第1升降機構87及第2升降機構93，而使供氣噴嘴79及排氣噴嘴85下降，從而自供氣埠65及排氣埠67分離。如此，由於當高架搬送車59到達時立即停止淨化氣體之供給，而且由於可搬出容器27，因此於利用高架搬送車59搬出容器27時不會花費多餘之時間。
此後，容器27係藉由高架搬送車59搬送至下一步驟之處理裝置。
於此裝置中，若藉由搬送輸送機47將容器27搬送至外側輸送機單元49，則其次會藉由第1升降機構87及第2升降機構93使供氣噴嘴79及排氣噴嘴85分別連接於供氣埠65及排氣埠67，於該狀態下，淨化裝置73會將淨化氣體供給至容器。然後，若藉由保管庫控制器101掌握高架搬送車59已到達外側輸送機單元49之情況，就會停止自淨化裝置73對容器27供給淨化氣體。此結果，可不浪費等待時間而將淨化氣體供給至容器27，而且利用高架搬送車59亦如習知般快速地執行裝載。又，亦可防止於將容器27裝載至高架搬送車59為止之等待時間，容器27內之淨化氣體濃度降低。
(7)第2實施形態
使用圖7~圖11說明第2實施形態。圖7及圖8係容器 之俯視圖，圖9係淨化裝置之示意圖。圖10係表示保管庫裝置之控制構成之方塊圖。圖11係表示保管庫裝置之控制動作之流程圖。
於圖7所示之容器27'中，供氣埠65'及排氣埠67'之位置係自上述實施形態中所示之容器27之供氣埠65及排氣埠67之位置發生偏移。又，於圖8所示之容器27"中，供氣埠65"及排氣埠67"之位置與上述實施形態中所示之容器27之供氣埠65及排氣埠67之位置互相調換。
如上所述，有時會將供氣埠及排氣埠之位置不同之容器混合使用。為應對該情況，於本實施形態中採用如下述之構造。
使用圖9說明淨化裝置73'。
由於淨化裝置73'之基本構造與上述實施形態相同，因此此處僅對不同處進行說明。
淨化裝置73'具有第1平台121及第2平台123。第1平台121係以上表面支撐第1升降機構87。
第2平台123係以上表面支撐第2升降機構93。
第1平台121及第2平台123係朝水平面內之一方向或所有方向上移動自如。第1平台121係由第1水平移動機構125(圖10)所驅動。第2平台123係由第2水平移動機構127(圖10)所驅動。第1水平移動機構125及第2水平移動機構127只要可使第1平台121及第2平台123於水平方向上移動，則無論為任何構成均可。例如，亦可為螺線管、 X-Y平台、滾珠螺桿機構。
使用圖10說明保管庫裝置1'之控制構成。保管庫控制器101'除具有上述實施形態之構成以外，亦具有第1水平移動機構125與第2水平移動機構127。
使用圖11對將容器27自保管庫裝置1'搬出之控制動作進行說明。圖11係表示保管庫裝置之控制動作之流程圖。
由於步驟S1~步驟S9之動作與上述實施形態相同，因此於此處省略說明。於本實施形態中，於步驟S4與步驟S5之間執行步驟S11及步驟S12。
於步驟S11中，保管庫控制器101'係根據來自ID讀取器109之檢測信號掌握容器27之種類，接著，根據容器27之種類掌握供氣埠及排氣埠之位置。
或者，亦可由感測器確定供氣埠及排氣埠之位置，並發送信號至保管庫控制器101'。
於步驟S12中，保管庫控制器101'係藉由驅動第1水平移動機構125及第2水平移動機構127，而使供氣噴嘴79對位於供氣埠65，進一步使排氣噴嘴85對位於排氣埠67。
於此裝置中，由於上述對位機構使噴嘴對準於容器之埠之位置，因此即便於使用埠之位置不同之複數種容器之情形時，亦可將噴嘴連接於埠。
(8)第3實施形態
使用圖12說明第3實施形態。圖12係容器之俯視圖。
於圖12所示之容器27'''中，供氣埠65'''及排氣埠67'''之形狀係與上述實施形態所示之容器27之供氣埠65及排氣埠67之形狀不同。
如上所述，有時會將供氣埠及排氣埠之形狀不同之容器混合使用。為應對該情況，而於本實施形態中採用如下述之構造。
如圖12所示，對於供氣埠65'''係準備第1供氣噴嘴79A及第2供氣噴嘴79B，對於排氣埠67'''係準備第1排氣噴嘴85A及第2排氣噴嘴85B。第1供氣噴嘴79A及第2供氣噴嘴79B之形狀不同，而應對不同種類之供氣埠。第1排氣噴嘴85A及第2排氣噴嘴85B之形狀不同，而應對不同種類之排氣埠。
使各噴嘴升降之機構及水平移動之機構係與上述實施形態相同。
藉由以上構成，根據供氣埠之形狀將第1供氣噴嘴79A及第2供氣噴嘴79B之一者連接於供氣埠。又，根據排氣埠之形狀將第1排氣噴嘴85A及第2排氣噴嘴85B之一者連接於排氣埠。
於此裝置中，由於使上述定位機構使形狀不同之複數個噴嘴對準於容器之埠之位置，因此即便於使用埠之形狀不同之複數種容器之情形時，亦可將噴嘴連接於埠。
(9)實施形態之作用效果
上述實施形態可如下述般表現。
裝載埠裝置係用以將具有氣體埠之容器27搬送至高架搬送車59之裝載位置之裝置，且具備有搬送輸送機47、淨化裝置73、及保管庫控制器101。搬送輸送機47係延伸至外側輸送機單元49(裝載位置)。淨化裝置73具有配置於外側輸送機單元49附近且藉由與氣體埠連接而用以對容器27中供給淨化氣體之供氣噴嘴79(噴嘴)；及使供氣噴嘴79接近/離開氣體埠之第1升降機構87(移動機構)。保管庫控制器101係控制由淨化裝置73對容器27中供給淨化氣體者，且根據高架搬送車59到達外側輸送機單元49而停止由淨化裝置73對容器27供給淨化氣體。
於此裝置中，若藉由搬送輸送機47將容器27搬送至外側輸送機單元49，則其次會藉由第1升降機構87使供氣噴嘴79與供氣埠65連接，於該狀態下，淨化裝置73會將淨化氣體供給至容器27。然後，若藉由保管庫控制器101掌握高架搬送車59已到達外側輸送機單元49之情況，就會停止自淨化裝置73對容器27供給淨化氣體。此結果，可不浪費等待時間而將淨化氣體供給至容器27，並進一步利用高架搬送車59如習知般快速地執行裝載。
(10)其他實施形態
以上，雖然已對本發明之一實施形態進行說明，但本發明並不限定於上述實施形態，可於不脫離發明之主旨之範圍內 進行各種變更。尤其，本說明書中所記載之複數個實施形態及變形例視需要可任意地組合。
(a)裝載埠裝置之構造並不限定於上述實施形態。裝載埠裝置亦可為與半導體處理裝置連接者。裝載埠裝置既可為與利用輸送機於長區間進行搬送之輸送機搬送裝置之端連接者，或者，亦可為與立式輸送機(vertical conveyor)之出口側連接者。
(b)保管庫裝置之構造並不限定於上述實施形態。
(c)輸送機單元並不限定為輥式輸送機。亦可為帶式輸送機。
(d)亦可將排氣用泵連接至排氣管，而積極地進行排氣。
(e)關於容器之定位，亦可不利用運動銷進行定位。於該情形時，可藉由噴嘴與埠之嵌合將容器定位。
(f)於上述實施形態中，雖然保管庫控制器具有將容器之ID與種類建立關聯之資料庫，但此資料庫亦可由物流控制器保持，且保管庫控制器可根據ID對物流控制器查詢容器之種類。
作為另一實施例，自物流控制器所發送而來之出庫指令亦可包含容器之種類。而且作為又一實施例，容器之ID資訊亦可包含容器之種類資訊。
(g)為得知容器之埠位置，亦可藉由感測器進行位置測定。感測器之種類並無特別限定，例如為光學式感測器。
(h)作為使噴嘴升降之機構，亦可為由馬達與凸輪之組合所構成之機構。
(i)保管庫控制器101亦可根據高架搬送車59之移動位置與容器27之位置之關係，而停止對容器27供給淨化氣體，從而使各噴嘴79及85與埠65及67分離。例如，保管庫控制器101係自搬送車控制器113取得高架搬送車59之移動位置。保管庫控制器101將為進行搬送而配置於外側輸送機單元49之容器27之位置及高架搬送車59之移動位置、與特定之閾值進行比較。若容器27之位置與移動位置成為特定閾值以下，則保管庫控制器101會停止淨化氣體之供給，使噴嘴與埠分離。於高架搬送車59到達容器27之待機位置時，容器27係成為可立刻搬送之狀態。亦即，高架搬送車59亦可不必等待淨化氣體之供給停止、噴嘴、埠間之分離等處理，而立刻搬送容器27。
(產業上之可利用性)
本發明可廣泛應用於用以將具有內部空間及氣體埠之容器自處理裝置搬出之裝載埠裝置、使用該裝載埠裝置之搬送系統、及容器搬出方法。
1、1'‧‧‧保管庫裝置
3‧‧‧建築物
5‧‧‧一樓地基
7‧‧‧一樓地板
9‧‧‧二樓地板
11‧‧‧建築物天花板
21‧‧‧本體部
23、23a、23b‧‧‧支架
23A‧‧‧貨架
25‧‧‧堆高起重機
27、27'、27"、27'''‧‧‧容器
31‧‧‧堆高支柱
33‧‧‧車輪
35‧‧‧堆高機器手臂
41‧‧‧1樓用埠(裝載埠裝置)
43‧‧‧2樓用埠(裝載埠裝置)
45‧‧‧開口部
47‧‧‧搬送輸送機
49‧‧‧外側輸送機單元(裝載位置)
51‧‧‧內側輸送機單元
55‧‧‧吊掛構件
57‧‧‧軌道
59‧‧‧高架搬送車
61‧‧‧驅動輥
63‧‧‧從動輥
65、65'、65"、65'''‧‧‧供氣埠(氣體埠)
67、67、67"、67'''‧‧‧排氣埠
73、73'‧‧‧淨化裝置
75‧‧‧空氣供給槽
77‧‧‧供氣管
79‧‧‧供氣噴嘴(噴嘴)
79A‧‧‧第1供氣噴嘴
79B‧‧‧第2供氣噴嘴
81‧‧‧流量調整閥
83‧‧‧開閉閥
84‧‧‧排氣管
85‧‧‧排氣噴嘴
85A‧‧‧第1排氣噴嘴
85B‧‧‧第2排氣噴嘴
87‧‧‧第1升降機構
89、95‧‧‧桿
91、97‧‧‧氣缸驅動部
93‧‧‧第2升降機構
101、101'‧‧‧保管庫控制器
103‧‧‧輥驅動機構
107‧‧‧搭載感測器
109‧‧‧ID讀取器
111‧‧‧物流控制器
113‧‧‧搬送車控制器
121‧‧‧第1平台
123‧‧‧第2平台
125‧‧‧第1水平移動機構
127‧‧‧第2水平移動機構
圖1係保管庫裝置之側視剖面圖。
圖2係表示保管庫裝置之埠之構成之立體圖。
圖3係容器之俯視圖。
圖4係淨化裝置之示意圖。
圖5係表示保管庫裝置之控制構成之方塊圖。
圖6係表示保管庫裝置之控制動作之流程圖。
圖7係容器之俯視圖。
圖8係容器之俯視圖。
圖9係淨化裝置之示意圖。
圖10係表示保管庫裝置之控制構成之方塊圖。
圖11係表示保管庫裝置之控制動作之流程圖。
圖12係容器之俯視圖。
1‧‧‧保管庫裝置
3‧‧‧建築物
5‧‧‧一樓地基
7‧‧‧一樓地板
9‧‧‧二樓地板
11‧‧‧建築物天花板
21‧‧‧本體部
23‧‧‧支架
23A‧‧‧貨架
23a‧‧‧支架
23b‧‧‧支架
25‧‧‧堆高起重機
27‧‧‧容器
31‧‧‧堆高支柱
33‧‧‧車輪
35‧‧‧堆高機器手臂
41‧‧‧1樓用埠(裝載埠裝置)
43‧‧‧2樓用埠(裝載埠裝置)
45‧‧‧開口部
47‧‧‧搬送輸送機
49‧‧‧外側輸送機單元(裝載位置)
51‧‧‧內側輸送機單元
55‧‧‧吊掛構件
57‧‧‧軌道
59‧‧‧高架搬送車

Claims (8)

  1. 一種裝載埠裝置，其係用以將具有氣體埠之容器搬送至利用搬送車進行裝載之裝載位置者，且具備有：搬送輸送機，其延伸至上述裝載位置；噴嘴機構，其具有配置於上述裝載位置附近且藉由與上述氣體埠連接而用以對上述容器中供給淨化氣體之噴嘴、及使上述噴嘴接近/離開上述氣體埠之移動機構；以及控制器，其係控制由上述噴嘴機構對上述容器中供給淨化氣體者，且根據上述搬送車到達上述裝載位置而停止由上述噴嘴機構對上述容器供給淨化氣體。
  2. 如申請專利範圍第1項之裝載埠裝置，其更具備有：判別部，其判別配置於上述裝載位置附近之容器之上述氣體埠之位置；以及對位機構，其根據上述判別結果，將上述噴嘴對準於上述氣體埠之位置。
  3. 如申請專利範圍第2項之裝載埠裝置，其中，上述對位機構具有水平移動機構，上述水平移動機構係根據上述氣體埠之位置使上述噴嘴水平移動。
  4. 如申請專利範圍第2項之裝載埠裝置，其更具備有：記憶部，其使識別各容器之識別器與各容器之氣體埠之位置建立對應關係；上述判別部自上述記憶部判別與搬送對象之容器之識別 器建立有對應關係之氣體埠之位置。
  5. 如申請專利範圍第2項之裝載埠裝置，其更具備有：感測器，其檢測各容器之氣體埠之位置；上述判別部係根據上述感測器所檢測出之位置，判別氣體埠之位置。
  6. 如申請專利範圍第1項之裝載埠裝置，其中，上述噴嘴機構更具有：第2噴嘴，其係形狀與上述噴嘴不同且藉由上述移動機構接近/離開上述氣體埠；及對位機構，其使適合於上述氣體埠之形狀之上述噴嘴或上述第2噴嘴之任一者對位於上述氣體埠。
  7. 一種搬送系統，其具備有：申請專利範圍第1項所記載之裝載埠裝置；以及搬送車，其可自上述裝載位置裝載上述容器。
  8. 一種容器搬出方法，其使用裝載埠裝置，該裝載埠裝置係用以將具有氣體埠之容器搬送至利用搬送車進行裝載之裝載位置者，且具備有：搬送輸送機，其延伸至上述裝載位置；以及噴嘴機構，其具有配置於上述裝載位置附近且藉由與上述氣體埠連接而用以對上述容器中供給淨化氣體之噴嘴、及使上述噴嘴接近/離開上述氣體埠之移動機構；且藉由上述搬送輸送機將上述容器搬送至上述裝載位置；將上述噴嘴與位於上述裝載位置之上述容器之上述氣體埠連接，其次將淨化氣體供給至上述容器中； 掌握上述搬送車到達上述裝載位置之情況；根據上述掌握停止將上述淨化氣體供給至上述容器中。
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