WO2006051577A1

WO2006051577A1 - ロードポート及びアダプタ

Info

Publication number: WO2006051577A1
Application number: PCT/JP2004/016560
Authority: WO
Inventors: Hiroshi Itou; Takehiko Yoshimura; Masaru Seki; Makoto Maejima
Original assignee: Right Mfg, Co., Ltd.
Priority date: 2004-11-09
Filing date: 2004-11-09
Publication date: 2006-05-18
Also published as: US20110303125A1; CN101138079A; JPWO2006051577A1

Abstract

大きさの異なるウエハキャリアを載置台に選択的に載置できると共に、載置台に載置されたウエハキャリアに収容された大きさの異なるウエハをマッピングすることができるロードポート及びウエハキャリアを載置台に間接的に取付けることができるアダプタを提供する。ロードポート１００は、テーブル１０１に移動可能に設けられ、ウエハ２００Ａを収納するウエハキャリア２００をアダプタ１０を介して間接的に載置し、又は、ウエハ３００Ａを収納するウエハキャリア３００を直接載置する載置台１１０と、ウエハキャリア２００，３００のどちらが載置台１１０に載置されたかを検出し、載置されたウエハキャリア２００，３００に応じた検出信号を出力するキャリア判定部１６１と、キャリア判定部１６１からの検出信号に基づいて、ウエハ２００Ａ，３００Ａをマッピングするマッピング判定部１６２とを備えている。　

Description

ロードポート及びアダプタ

技術分野

[0001] 本発明は、シリコンウェハ等の各種基板 (以下、ウェハという）が搬送される基板処理装置に設けられ、ウェハを所定間隔で収納する基板収納容器 (以下、ウェハキヤリァという）を載置するロードポート及びウェハキャリアに取付けられるアダプタに関するものである。

背景技術

[0002] 従来、この種のロードポートは、通常、ウェハ上に回路のパターンを焼き付ける等の処理を行う、いわゆる前工程で用いられる。

特許文献 1は、内部が高クリーン度に保たれたウェハキャリアの開口部のキャリアドァを、高クリーン度に保たれた基板処理装置の開口部のロードポートドアに係合させて、この両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、キャリアドアを着脱するものであって、キャリアドアの位置決めをする位置決めピンの位置を微調整する微調整機構と、位置決めピンによって係合したキャリアドアの位置を保持する位置保持機構とを備えたロードポートを開示している。

[0003] 特許文献 1のロードポートは、高クリーン度を要求される前工程で用いることを前提にしており、前工程を経たウェハをチップィ匕し、ボンディングし、榭脂成形等のモールデイングを行う、いわゆる後工程で用いることを主な目的としていない。

[0004] 後工程を行う工場等では、前工程を行う工場等に比べて高クリーン度を要求されないので、キャリアドアが予め取り外された FOSB (Front Ooening Shipping Box )と、キャリアドアがないオープンカセットとを使用している場合がある。このため、後ェ程で用いられるロードポートには、特許文献 1に開示されたロードポートドアとキャリアドアとを係合して、キャリアドアを着脱する機構が不要となる。

[0005] ところで、ロードポートは、 FOSBとオープンカセットとの両方に使用できないので、 FOSBとオープンカセットとの両方に対応する基板処理装置は、その前面に、 FOSB 用のロードポートと、オープンカセット用のロードポートとを取付けなければならず、コストが高くなること、作業スペースが小さくなつてしまうこと等の問題があった。

[0006] また、 200mm用のオープンカセットは、将来的には 300mm用に仕様変更されることも考えられ、その場合には、たとえ、基板処理装置に、 200mm用のオープンカセットに使用できる SMIF (Standard Mechanical Interface)が取付けられていても、顧客の要望に応じて、 300mm用のオープンカセットに使用できるロードポートに取り替えなければならない。

[0007] さらに、 FOSBに収容された 300mmのウェハやオープンカセットに収容された 200 mmのウェハを、同一機構を用いて検出して、マッピングすることは、非常に困難であつた。この理由としては、ウェハの大きさや厚さが異なるだけでなぐいわゆる SEMI 規格に準拠した FOSBやオープンカセットでは、ウェハを保持するスロットのピッチが異なる点が挙げられる（例えば、 FOSBでは 10mm、オープンカセットでは 6. 35mm である)。

[0008] また、ウェハ上に形成された膜種力 Nitrideや Oxide系の膜である場合には、反射型センサではウェハを検出し難、ことが知られて、る。

そのため、 300mmのウェハをマッピングするときには、透過型センサが主に用いられている。しかし、透過型センサは、ウェハの先端部を検出する必要があり、大きさの異なるウェハを同一機構で検出することは困難であった。

[0009] 特許文献 1 :特開 2002-68362号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0010] 本発明の課題は、大きさの異なるウェハキャリアを載置台に選択的に載置できると共に、載置台に載置されたウェハキャリアに収容された大きさの異なるウェハをマツピングすることができるロードポート及びウェハキャリアを載置台に間接的に取付けることができるアダプタを提供することである。

課題を解決するための手段

[0011] 本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。

請求項 1の発明は、基板が搬送される基板処理装置のドア開口部の前面に設けられ、その内部に所定間隔で前記基板を収納するキャリアを載置し、前記ドア開口部のロードポートドアを開閉するロードポートであって、載置台と、前記載置台に直接載置され第 1基板を収納する第 1キャリアと、前記第 1キャリアと大きさが異なり、前記載置台にアダプタを介して載置され前記第 1基板と大きさが異なる第 2基板を収納する第 2キャリアと、のどちらが前記載置台に載置されたかを検出する検出部と、を含む口ードポートである。

[0012] 請求項 2の発明は、請求項 1に記載のロードポートにおいて、前記検出部は、前記載置台に載置された前記第 1キャリア又は前記第 2キャリアに応じた検出信号を出力し、前記検出信号に基づいて、前記第 1基板又は前記第 2基板をマッピングするマツビング部をさらに含むこと、を特徴とするロードポートである。

[0013] 請求項 3の発明は、請求項 2に記載のロードポートにおいて、前記マッピング部は、前記検出信号に基づいて、前記マッピングを行うときの初期設定値を変更すること、を特徴とするロードポートである。

[0014] 請求項 4の発明は、請求項 3に記載のロードポートにおいて、前記初期設定値は、前記第 1基板間又は前記第 2基板間の距離、及び、前記第 1キャリア又は前記第 2キャリアに設けられ、前記第 1基板又は前記第 2基板を保持する最下段又は最上段の保持部と前記載置台との距離であること、を特徴とするロードポートである。

[0015] 請求項 5の発明は、請求項 4に記載のロードポートにおいて、前記マッピング部は、前記保持部の最下段から最上段、又は、最上段から最下段に移動しながら、前記第 1基板又は前記第 2基板の検出を行うマッピングセンサを含むこと、を特徴とするロードポートである。

[0016] 請求項 6の発明は、請求項 5に記載のロードポートにおいて、前記載置台は、前記載置台に載置された前記第 1キャリアに収容された前記第 1基板の前記ロードポートドア側の先端部と、前記載置台に載置された前記第 2キャリアに収容された前記第 2 基板の前記ロードポートドア側の先端部と、が略同位置にあるように、前記ロードポートドア側に移動可能であり、前記マッピング部は、前記ロードポートドアに設けられ、前記第 1基板又は前記第 2基板が前記保持部から前記ロードポートドア側に飛び出したことを検出する飛び出しセンサを含み、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域内に位置しているときに、前記マッピングを中止すること、を特徴とするロードポートである。

[0017] 請求項 7の発明は、請求項 6に記載のロードポートにおいて、前記マッピング部は、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域外に位置しているときに、前記マッピングを開始すること、を特徴とするロードポートである。

[0018] 請求項 8の発明は、請求項 1に記載のロードポートにおいて、前記検出部は、前記第 1キャリアが前記載置台に載置されたときに、前記第 1キャリアの下面との変位量を検出すると共に、前記アダプタが前記載置台に載置されたときに、前記アダプタの下面との変位量を検出する第 1センサと、前記アダプタの下面に設けられ、前記第 2キャリアが前記アダプタを介して前記載置台に載置されたときに、前記載置台側に移動する移動部との変位量を検出する第 2センサと、を含むことを特徴とするロードポートである。

[0019] 請求項 9の発明は、請求項 8に記載のロードポートにおいて、前記アダプタは、その上面に設けられ、前記第 2キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部を含み、前記移動部は、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動すること、を特徴とするロードポートである。

[0020] 請求項 10の発明は、載置台に直接載置され第 1基板を収納する第 1キャリアと、前記第 1キャリアと大きさが異なり、前記載置台に間接的に載置され前記第 1基板と大きさが異なる第 2基板を収納する第 2キャリアと、が選択的に前記載置台に載置可能であり、前記載置台に前記第 2キャリアが載置されたことを示す検出信号を出力する検出部を備えたロードポートシステムに用いられ、前記第 2キャリアと前記載置台との間に配置されるアダプタであって、その上面に設けられ、前記第 2キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部と、その下面に設けられ、前記第 2キヤリァが前記載置台に間接的に載置されたときに、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動し、前記検出部に前記検出信号を出力させる移動部と、を含むアダプタである。

発明の効果

[0021] 本発明によれば、載置台に直接載置され第 1基板を収納する第 1キャリアと、載置台に間接的に載置され第 2基板を収納する第 2キャリアと、を選択的に載置台に載置可能であるので、低コスト化、省スペース化を図ることができる。

また、第 1キャリアと第 2キャリアのどちらが載置台に載置されたかを検出し、第 1キヤリア又は第 2キャリアに応じた検出信号に基づいて、第 1基板又は第 2基板をマツピングするので、大きさの異なる基板を同一機構でマッピングすることができる。

図面の簡単な説明

[0022] [図 1]本発明の実施例によるロードポート及びアダプタを示す斜視図である。

[図 2]本発明の実施例によるロードポートと、載置台にアダプタを介して載置されるゥェハキャリアと、載置台に直接載置されるウェハキャリアとを示す斜視図である。

[図 3]図 1に示すロードポートの載置台の内部及びアダプタを示す拡大図である。

[図 4]本発明の実施例によるアダプタを示す A-A断面図である。

[図 5]本発明の実施例によるアダプタを示す上面図及び側面図である。

[図 6]本発明の実施例によるアダプタを示す下面図である。

[図 7]本発明の実施例によるロードポートに載置される大きさの異なるウェハキャリアと、ロードポートに設けられた透過型センサ及びマッピングセンサとの配置関係を示す上面図及び側面図である。

[図 8]本発明の実施例によるロードポートを示すブロック図である。

[図 9]本発明の実施例によるロードポートの動作を示すフローチャートである。

符号の説明

[0023] 10 アダプタ

11 ベース板

22-1, 22-2 移動体

24-1, 24-2 押下部

100 ロードポート

110 載置台

121a— 121d 第 1センサ

122a, 122b 第 2センサ

141a, 141b 透過型センサ 150 ロードポートドア開閉機構

152a, 152b マッピングセンサ

161 キャリア判定部

162 マッピング判定部

163 初期値設定部

200, 300 ウエノヽキャリア

200A, 300A ウエノ、

200B, 300B スロット

発明を実施するための最良の形態

[0024] 本発明は、大きさの異なるウェハキャリアを載置台に選択的に載置できると共に、載置台に載置されたウェハキャリアに収容された大きさの異なるウェハをマッピングするという目的を、第 1基板を収納する第 1キャリアを直接載置し、又は、第 2基板を収納する第 2キャリアを間接的に載置する載置台と、第 1キャリア又は第 2キャリアに応じた検出信号に基づいて、第 1基板又は第 2基板をマッピングするマッピング部とを含むことによって実現する。

実施例

[0025] 以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。

図 1は、本発明の実施例によるロードポート及びアダプタを示す斜視図である。図 2は、本発明の実施例によるロードポートと、載置台にアダプタを介して載置されるウェハキャリアと、載置台に直接載置されるウェハキャリアとを示す斜視図である。ロードポート 100は、図 1、図 2に示すように、ロードポートドア 140が開閉されるドア開口部 131が形成された壁面 130等を備え、ウェハに後工程の処理 (前工程を経たウェハをチップィ匕し、ボンディングし、榭脂成形等のモールディングを行う処理等）を行う不図示の基板処理装置の壁面に据え付けられている。

ロードポート 100は、キャリア開口部 202, 302により一面が開放された状態のゥェノヽキャリア 200, 300を載置し、ドア開口部 131のロードポートドア 140を開閉する装置であって、テーブル 101と、ロードポート 100を支持する支持台 102と、テーブル 1 01に移動可能に設けられた載置台 110と、テーブル 101の内部に設けられ、載置台 110を駆動する駆動部 120 (図 3参照）と、ロードポートドア 140を開閉するための口ードポートドア開閉機構 150等を備えている。

[0026] 載置台 110は、不図示の自動搬送装置により搬送されてきたウェハキャリア 200, 3 00を選択的に載置する台であって、ウェハキャリア 200はアダプタ 10を介して間接的に載置され、ウェハキャリア 300は直接載置される。

ロードポートドア 140は、上端部付近又は下端部付近に、後述するマッピングを行うときに用いられ、いずれか一方が発光側であり、他方が受光側となる透過型センサ 1 41a, 141bが設けられている。

載置台 110は、その上部に、アダプタ 10又はウェハキャリア 300の位置決めを行うキネマティックピン 11 la— 11 lc等を備えて、る。

[0027] ウェハキャリア 200は、図 2、図 7に示すように、その内部に所定間隔（6. 35mm程度）で 200mmのウェハ 200Aを収納する、いわゆるオープンカセットであって、キヤリァシェル 201と、ウェハ 200Aを保持するスロット 200B等とを備えている。

キャリアシェル 201は、その上部に、自動搬送装置により把持されるためのロボットフランジ 203が設けられ、その下面 210に、アダプタ 10の上面に設けられた押下部 2 4-1, 24— 2を押下げる押下凸部 (不図示）が設けられている。

[0028] ウェハキャリア 300は、図 2、図 7に示すように、その内部に所定間隔（10mm程度）で 300mmのウェハ 300Aを収納する、いわゆる FOSBであって、キャリアシェル 301 と、ウェハ 300Aを保持するスロット 300B等とを備えて!/、る。

キャリアシェル 301は、その上部に、ロボットフランジ 303が設けられ、その下面 310 に、キネマティックピン 11 la— 11 lcと係合する V字溝部（不図示）が形成されて!、る

[0029] 図 3は、図 1に示すロードポートの載置台の内部及びアダプタを示す拡大図である駆動部 120は、図 3に示すように、テーブル 101の内部に設けられ、載置台 110をロードポートドア 140側に移動可能とするスライド部 123と、スライド部 123の周辺に設けられ、スライド部 123と共に移動する第 1センサ 121a— 121d、第 2センサ 122a , 122b等とを備えている。 [0030] スライド部 123は、載置台 110に形成された孔を貫通する突起部を有している。この突起部は、水平移動しながら降下可能であって、図 1、図 2に示すように、載置台 1 10が駆動部 120の上部に配置されたときに、載置台 110を駆動部 120に保持するように載置台 110の上面に当接する。

[0031] 第 1センサ 121a— 121dは、接触型センサであって、載置台 110に形成された孔を貫通する第 1突出部を有しており、ウェハキャリア 300が載置台 110に直接載置されたときに、ウェハキャリア 300の下面 310との変位量を検出すると共に、アダプタ 10が載置台 110に載置されたときに、アダプタ 10の下面との変位量を検出する。

[0032] 第 2センサ 122a, 122bは、接触型センサであって、載置台 110に形成された孔を貫通する第 2突出部を有しており、アダプタ 10の下面に設けられ、ウェハキャリア 20 0がアダプタ 10を介して載置台 110に載置されたときに、載置台 110側に移動する移動体 22-1, 22-2 (図 4参照）との変位量を検出する。

[0033] 図 4は、本発明の実施例によるアダプタを示す A— A断面図である。

図 5は、本発明の実施例によるアダプタを示す上面図及び側面図である。図 6は、本発明の実施例によるアダプタを示す下面図である。

アダプタ 10は、図 2に示すように、ウェハキャリア 200と載置台 110との間に配置され、ウェハキャリア 200を載置台 110に間接的に載置させるためのものであって、図 4 一 6に示すように、ベース板 11と、ベース板 11の側面に取付けられた把持部 12a, 1 2b等とを備えている。

ベース板 11は、載置台 110に載置されたときにロードポートドア 140側となる側面に、切込部 16が形成され、切込部 16の略中央には溝部 15が形成されている。ベース板 11は、その上面に、溝部 15に渡され、その両端部に爪部 14a, 14bを有する複数の渡し板 14と、この渡し板 14と略平行に配置され、ウェハキャリア 200の下面 210 に設けられた凸部 (不図示）と係合する係合孔 13a, 13bが形成された係合板 13と、渡し板 14の長手方向に沿って形成され、保持ねじ部 21 - 1, 21 - 2及び押下部 24 - 1, 24— 2がそれぞれ挿入される挿入孔 11c, l id等とを備えている。

[0034] ベース板 11は、その下面に、キネマティックピン 11 la— 111cに係合する V字溝部 17a— 17cと、移動体 22 - 1, 22 - 2を収納し、保持ねじ部 21 - 1, 21 - 2及び押下部 24-1, 24— 2の位置にそれぞれ対応する溝 1 la及び円形溝 1 lb等とを備えてヽる。

[0035] ここで、押下部 24-1と移動体 22-1との配置関係について説明する。なお、押下部 24—1, 24— 2は、略同一の構造を有しているので、押下部 24— 2と移動体 22— 2との配置関係については省略する。

ベース板 11に形成された挿入孔 l idには、フランジ部を有する保持台 23が取付けられている。保持台 23の上面側は筒状になっており、その内部 23aに押下部 24— 1 が挿入されている。

押下部 24— 1は、その上端がベース板 11の上面力も突出するように、スプリング 25 によって、この上面側に付勢されている。押下部 24— 1の下端は、保持台 23を貫通し、移動体 22— 1に形成された係合孔 22aに固定されている。

[0036] ベース板 11に形成された揷入孔 11cには、保持ねじ部 21—1がねじ止めされており、その下端には、支柱 26が取付けられている。支柱 26は、移動体 22-1に形成された係合孔 22bを貫通し、移動体 22— 1がベース板 11の上下方向に移動可能なように、隙間を隔てて移動体 22— 1を保持している。

[0037] したがって、アダプタ 10は、その上面に、ウェハキャリア 200が取付けられると、ゥェハキャリア 200の下面 210に設けられた押下凸部力スプリング 25に抗して押下部 2 4 1をベース板 11の下面側に押下げる。押下部 24— 1が押下げられることにより、移動体 22-1は、支柱 26に保持された状態で、ベース板 11の下面側に移動する。

[0038] また、ウェハキャリア 200の下面 210は、渡し板 14の爪部 14a, 14bと、係合板 13 の係合孔 13a, 13bとに係合することにより、アダプタ 10の上面に安定した状態で取付けられる。

さらに、アダプタ 10は、その上面にウェハキャリア 200が取付けられた状態で、載置台 110に載置されると、 V字溝部 17a— 17cがキネマティックピン 11 la— 11 lcに係合すると共に、切込部 16の溝部 15がスライド部 123の凹凸部に係合する。これにより、ウェハキャリア 200は、アダプタ 10を介して間接的に載置台 110に安定した状態で載置される。

[0039] 移動体 22— 1は、ウェハキャリア 200がアダプタ 10を介して載置台 110に載置されたときに、載置台 110側に移動しているので、第 2センサ 122a, 122bの第 2突出部の上端と、接触箇所 22Aにおいて接触する。

[0040] アダプタ 10は、第 2センサ 122a, 122bに移動体 22— 1を接触させることにより、ゥェハキャリア 200が間接的に載置台 110に載置されたことを、キャリア判定部 161 (図 8参照）に検出させることができる（詳細は、後述)。

[0041] つぎに、ロードポート 100の載置台 110に、ウェアキャリア 200又はウェハキャリア 3 00が載置された状態について、図 7、図 8を用いて説明する。

図 7は、本発明の実施例によるロードポートに載置される大きさの異なるウェハキヤリアと、ロードポートに設けられた透過型センサ及びマッピングセンサとの配置関係を示す上面図及び側面図である。なお、図 7は、ウェハ 200A, 300Aと透過型センサ 1 41a, 141bとマッピングセンサ 152a, 152bとの配置関係を示すために、ウェハ 200 A, 300Aのロードポートドア 140側の先端部が一致するように、ウェハキャリア 200とウェハキャリア 300とを重ねて示す図である。

図 8は、本発明の実施例によるロードポートを示すブロック図である。

ロードポート 100は、図 8に示すように、制御部 160と、キャリア判定部 161と、マツピング半 IJ定咅と、第 1センサ 121a— 121dと、第 2センサ 122a, 122bと、透過型センサ 141a, 141bと、初期値設定咅と、マッピングセンサ 152a, 152bと、ロードポートドア開閉機構 150等とを備えており、これら各部材は、制御部 160を介して電気的に接続されている。

[0042] キャリア判定部 161は、ウェハキャリア 200, 300のどちらが載置台 110に載置されたかを検出し、載置台 110に載置されたウェハキャリア 200, 300に応じた検出信号を、マッピング判定部 162に出力する装置である。

[0043] マッピング判定部 162は、キャリア判定部 161から出力された検出信号に基づいて、ウェハ 200A, 300Aをマッピングする装置である。ここで、マッピングとは、特定のスロット 200B, 300Bにおけるウエノ、 200A, 300Aの有無を判定し、ウェハキャリア 2 00, 300でのウエノ、 200A, 300Aの有無及び位置を示す情報を生成することをいい、基板処理装置のウェハ搬送ロボットは、このマッピングの判定結果に基づいて、その動きを変化させる。

[0044] 初期値設定部 163は、検出信号に基づいて、マッピングを行うときの初期設定値を変更する装置である。なお、初期設定値は、ウェハ 200A間又はウェハ 300A間の距離、ウェハ 200A又はウェハ 300Aを保持する最上段又は最下段のスロット 200B, 3 00B (図 7 (b)参照）と載置台 110との距離である。

[0045] マッピングセンサ 152a, 152bは、図 7 (b)に示すように、ロードポートドア開閉機構 150の上端部付近に沿って配置された支持軸 151に回転可能に設けられて、る。マッビングセンサ 152a, 152bは、ウェハ 200A又はウェハ 300Aの検出を開始するときに、図 7 (b)中、反時計方向に回転すると共に、支持軸 151の上下方向の移動に伴って、スロット 200B, 300Bの最上段から最下段に移動しながら、ウエノ、 200A又はウェハ 300Aの検出を行う装置である。

[0046] また、マッピングセンサ 152a, 152bは、載置台 110にウェハキャリア 200又はゥェハキャリア 300が載置されたときに、他の部材と干渉することなぐウェハ 200A, 300 Aを検出可能な位置、すなわち、図 7 (a)に示すように、キャリア開口部 202の内壁と透過型センサ 141a, 141bとの間に配置されており、さらに、その端部は、ウェハ 20 OA, 300Aの先端部よりも内側に挿入される。

[0047] 載置台 110は、図 7に示すように、ロードポートドア 140側に移動可能であって、ゥェハキャリア 200又はウェハキャリア 300が載置台 110に載置されたときに、ウェハ 2 00Aのロードポートドア 140側の先端部と、ウェハ 300Bのロードポートドア 140側の先端部とを略同位置とすることができる。

[0048] マッピング判定部 162は、載置台 110がロードポートドア 140側に移動した後であつて、ウエノ、 200A又はウェハ 300Aの先端部が透過型センサ 141a, bのセンサ領域の領域外に位置しているときに、マッピングセンサ 152a, 152bにウエノ、 200A又はウェハ 300Aの検出を開始させる装置である。

[0049] 以下、ロードポート 100がウェハキャリア 200又はウェハキャリア 300のどちらが載置台 110に載置されたかを検出し、ウェハ 200A又はウェハ 300Aをマッピングするときの動作を、図 8、図 9を用いて、キャリア判定部 161とマッピング判定部 162を中心にして説明する。

図 9は、本発明の実施例によるロードポートの動作を示すフローチャートである。まず、キャリア判定部 161は、ウェハキャリア 300又はアダプタ 10が載置台 110に載置されたときに、第 1センサ 121a— 121dから出力される検出信号 A1を検出する（ S101)。この検出信号 A1は、第 1センサ 121a— 121dの第 1突出部がウェハキヤリァ 300の下面 310、又は、アダプタ 10の下面に接触したときに生成される。

[0050] つぎに、キャリア判定部 161は、第 2センサ 122a, 122bから検出信号 A2が出力されたか否か検出する（S 102)。第 2センサ 122a, 122bは、ウェハキャリア 200がァダプタ 10を介して載置台 110に載置されたときに、キャリア判定部 161に検出信号 A2 を出力する。この検出信号 A2は、第 2センサ 122a, 122bの第 2突出部がアダプタ 1 0の移動体 22— 1, 22— 2の接触箇所 22A, 22Bに接触したときに生成される。

[0051] キャリア判定部 161は、第 2センサ 122a, 122bから検出信号 A2が出力された場合には（S 102, YES)、ウェハキャリア 200がアダプタ 10を介して載置台 110に載置されたことを検出すると共に、この検出結果を、マッピング判定部 162に出力する。

[0052] マッピング判定部 162は、ウェハキャリア 200の各スロット 200Bに保持されたウェハ 200Aをマッピングするために、初期値設定部 163から信号 B1を読込む（S103)。信号 B1は、ウェハ 200A間のピッチ（例えば、 6. 35mm)と、マッピングセンサ 152a , 152bがウェハ 200Aの検出を開始する位置を示す最上段のスロット 200Bと載置台 110との距離とを示す情報を有する。なお、信号 B1は、スロット 200Bの数を情報として有してもよく、これにより、マッピング判定部 162は、ウェハ 200Aの検出を終了する位置を算出することができる。

[0053] 一方、キャリア判定部 161は、第 2センサ 122a, 122bから検出信号 A2が出力されなかった場合には（S102, NO)、ウェハキャリア 300が載置台 110に載置されたことを検出すると共に、この検出結果を、マッピング判定部 162に出力する。なお、載置台 110にアダプタ 10のみが載置されたときにも、キャリア判定部 161には検出信号 A 1だけが出力されるが、後工程の処理を行う製造ラインでは、アダプタ 10の上面には必ずウェハキャリア 200が取付けられており、そのため、キャリア判定部 161は、上述のように、ウェハキャリア 300が載置台 110に載置されたことを検出する。

[0054] つぎに、マッピング判定部 162は、ウェハキャリア 300の各スロット 300Bに保持されたウェハ 300Aをマッピングするために、初期値設定部 163から信号 B2を読込む（S 104)。信号 B2は、ウェハ 300A間のピッチ（例えば、 10mm)と、マッピングセンサ 1 52a, 152bがウェハ 300Aの検出を開始する位置を示す最上段のスロット 300Bと載置台 110との距離とを示す情報を有する。なお、信号 B2は、スロット 300Bの数を情報として有してもよぐこれにより、マッピング判定部 162は、ウェハ 300Aの検出を終了する位置を算出することができる。

[0055] マッピング判定部 162は、透過型センサ 141a, 141bから出力された信号 C1を読込んだ後に（S105)、マッピングセンサ 152a, 152bに信号 Dlを出力し、ウエノ、 200 A又はウェハ 300Aの検出を開始させる（S106)。

[0056] 信号 C1は、ウェハ 200A又はウェハ 300Aがマッピングされる好適な位置、すなわち、ウェハ 200A又はウェハ 300Aのロードポートドア 140側の全ての先端部力載置台 110がロードポートドア 140側に移動した後に、透過型センサ 141a, 141bのセンサ領域の領域外に位置していることを示す情報を有する。

[0057] ウェハ 200A又はウェハ 300Aの先端部は、例えば、載置台 110の移動に伴う振動等により、ウエノヽ 200A又 ίまウエノヽ 300A力各スロッ卜 200B, 300Β力らずれてしま!ヽ、ロードポートドア 140側に飛び出す等の不具合が生じた場合には、透過型センサ 1 41a, bのセンサ領域に位置することになる。

このとき、透過型センサ 141a, 141bは、マッピング判定部 162にウェハ 200A又はウェハ 300Aの位置がずれていることを示す信号を出力し、マッピング判定部 162は、マッピングセンサ 152a, 152bにウェハ 200A又はウェハ 300Aの検出を開始させず、マッピングを中止する。

この場合には、載置台 110は、ロードポートドア 140側力も離れるように移動して、再び元の位置に戻る。このとき、マッピング判定部 162は、ウェハ 200A又はウェハ 3 00Aの位置がずれていることを作業者等に警告するために、不図示の音声出力部に警告音を発生させる信号を出力したり、また、適宜の表示部に警告表示を表示させる信号を出力するようにしてもよい。さらに、マッピング判定部 162は、これらの信号を基板処理装置等に出力することもできる。

[0058] そして、マッピング判定部 162は、作業者等により、ウェハ 200A又はウェハ 300A が各スロット 200B, 300Bに適切に保持された後に、再び、信号 C1を読込み、信号 D1を出力して、マッピングセンサ 152a, 152bにウェハ 200A又はウェハ 300Aの検出を開始させる。

[0059] つぎに、制御部 160は、ロードポートドア開閉機構 150に信号 E1を出力する（S10 7)。ロードポートドア開閉機構 150は、制御部 160から信号 E1が出力されると、ドア開口部 131のロードポートドア 140を開く。これにより、ウエノ、キャリア 200, 300のキャリア開口部 202, 302と、基板処理装置内の処理空間とが連続した状態になる。その後、ウェハ 200A, 300Aは、基板処理装置のウェハ搬送ロボットにより、その処理空間に搬送され、後工程の処理が行われる。

[0060] ロードポート 100によれば、ウェハキャリア 300を直接載置台 110に載置し、ウェハキャリア 200をアダプタ 10を介して間接的に載置台 110に載置することができるので、大きさの異なるウェハキャリア 200, 300を載置台 110に選択的に載置することができる。

このため、基板処理装置は、その前面に、ロードポート 100を据え付けるだけで、大きさの異なるウェハキャリアに対応することができ、低コスト化、省スペース化を図ることがでさる。

[0061] また、ロードポート 100は、ウェハキャリア 200, 300のどちらが載置台 110に載置されたかを検出すると共に、大きさの異なるウェハキャリア 200, 300が載置台 110に載置された場合にも、初期値設定部 163で初期値を変更するだけで、大きさの異なるウェハ 200A, 300Aを同一機構でマッピングすることができる。

[0062] アダプタ 10は、ウェハキャリア 200と載置台 110との間に配置されることにより、移動体 22— 1, 22-2が載置台 110側に移動して、第 2センサ 122a, 122bに検出信号 A2を出力させるので、ウェハキャリア 200が載置台 110に間接的に載置されたことを、ロードポート 100に検出させることができる。

[0063] (変形例）

以上説明した実施例に限定されることなぐ種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。

(1)ロードポート 100では、ウェハキャリア 200, 300を選択的に載置台 110に載置可能としたが、これに限られず、 SEMI規格を準拠した適宜のキャリアを載置するために、第 1センサ 121a— 121d、第 2センサ 122a, 122b,押下部 24— 1, 24— 2の位置を変更してもよい。

(2)キャリア判定部 161は、第 1センサ 121a— 121dから検出信号 A1が出力され、第 2センサ 122a, 122bから検出信号 A2が出力されな力つた場合に、ウェハキャリア 300が載置台 110に載置されたことを検出していたが（S101、 S102)、例えば、検出信号 A1が出力されたときにタイマー等を作動させ、所定時間が経過しても検出信号 A2が出力されな力つた場合には、ウェハキャリア 300が載置台 110に載置されたと検出してもよい。

(3)第 1センサ 121a— 121d、第 2センサ 122a, 122bは、接触型センサとした力これに限られず、ウェハキャリア 300の下面 310又はアダプタ 10の下面、移動体 24— 1 , 24— 2の変位量を検出できるのであれば、非接触型のセンサであってもよい。

(4)マッピングセンサ 152a, 152bは、ウェハ 200A又はウェハ 300Aの検出を最上段のスロット 200B, 300Bから開始するようにした力これに限られず、支持軸 151を予め降下させ、さら〖こ、最下段のスロット 200B, 300Bと載置台 110との距離、スロット 200B, 300Bの数を示す情報を信号 Bl, B2に組み込むことにより、最下段のスロッ卜 200B, 300B力ら開始するようにしてもよ! \

(5)ロードポート 100は、後工程で用いることを前提とした力その内部が高クリーン度に保たれたクリーンルームで使用されるのであれば、これに限られず、前工程で用いてもよい。以下、具体的に説明する。

一般的なロードポートは、 300mmのウェハを主に処理する 300mm工場で使用することを前提としている。なお、 300mm工場は、クリーンルーム内部のクリーン度を下げて、局所で高クリーン度を保っている。

300mm工場のうち、高クリーン度が要求される前工程を行う 300mm前工程工場では、キャリアドアを有するウェハキャリアが使用され、 300mmのウェハが処理される。これに対して、 300mm工場のうち、前工程に比べて高クリーン度が要求されない後工程を行う 300mm後工程工場では、一面が開放されたウェハキャリア 200, 300 が使用され、 300mmのウェハだけでなく 200mmのウェハも処理される場合がある。したがって、ロードポート 100は、 300mm後工程工場において、好適に使用することがでさる。一方、 200mmのウェハを処理する 200mm工場は、クリーンルーム内部が高タリーン度に保たれて、るので、 200mm後工程工場に限らず 200mm前工程工場でも、一面が開放されたウェハキャリア 200が使用され、 200mmのウェハが処理される場合がある。このため、ロードポート 100は、 200mm後工程工場だけでなぐ 200mm 前工程工場でも使用することができる。

また、 300mm工場であっても、実験等を行う最小限の生産ラインが構築されたミニフアブ等では、クリーンルーム内部が高クリーン度に保たれているので、一面が開放されたウェハキャリア 200, 300を使用でき、その結果、ロードポート 100を前工程で用!/、ることができる。

さらに、上述した各工場に限らず、その内部が高クリーン度に保たれたクリーンルームを有する研究所においても、ロードポート 100を前工程で用いることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 基板が搬送される基板処理装置のドア開口部の前面に設けられ、その内部に所定間隔で前記基板を収納するキャリアを載置し、前記ドア開口部のロードポートドアを開閉するロードポートであって、

載置台と、

前記載置台に直接載置され第 1基板を収納する第 1キャリアと、前記第 1キャリアと大きさが異なり、前記載置台にアダプタを介して載置され前記第 1基板と大きさが異なる第 2基板を収納する第 2キャリアと、のどちらが前記載置台に載置されたかを検出する検出部と、

を含むロードポート。

[2] 請求項 1に記載のロードポートにおいて、

前記検出部は、前記載置台に載置された前記第 1キャリア又は前記第 2キャリアに応じた検出信号を出力し、

前記検出信号に基づいて、前記第 1基板又は前記第 2基板をマッピングするマツピング部をさらに含むこと、

を特徴とするロードポート。

[3] 請求項 2に記載のロードポートにおいて、

前記マッピング部は、前記検出信号に基づいて、前記マッピングを行うときの初期設定値を変更すること、

を特徴とするロードポート。

[4] 請求項 3に記載のロードポートにおいて、

前記初期設定値は、前記第 1基板間又は前記第 2基板間の距離、及び、前記第 1 キャリア又は前記第 2キャリアに設けられ、前記第 1基板又は前記第 2基板を保持する最下段又は最上段の保持部と前記載置台との距離であること、

を特徴とするロードポート。

[5] 請求項 4に記載のロードポートにおいて、

前記マッピング部は、前記保持部の最下段から最上段、又は、最上段から最下段に移動しながら、前記第 1基板又は前記第 2基板の検出を行うマッピングセンサを含むこと、

を特徴とするロードポート。

[6] 請求項 5に記載のロードポートにおいて、

前記載置台は、前記載置台に載置された前記第 1キャリアに収容された前記第 1基板の前記ロードポートドア側の先端部と、前記載置台に載置された前記第 2キャリアに収容された前記第 2基板の前記ロードポートドア側の先端部と、が略同位置にあるように、前記ロードポートドア側に移動可能であり、

前記マッピング部は、前記ロードポートドアに設けられ、前記第 1基板又は前記第 2 基板が前記保持部力前記ロードポートドア側に飛び出したことを検出する飛び出しセンサを含み、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域内に位置しているときに、前記マッピングを中止すること、

を特徴とするロードポート。

[7] 請求項 6に記載のロードポートにおいて、

前記マッピング部は、前記載置台が前記ロードポートドア側に移動した後であって、前記先端部が前記飛び出しセンサのセンサ領域外に位置しているときに、前記マッビングを開始すること、

を特徴とするロードポート。

[8] 請求項 1に記載のロードポートにおいて、

前記検出部は、

前記第 1キャリアが前記載置台に載置されたときに、前記第 1キャリアの下面との変位量を検出すると共に、前記アダプタが前記載置台に載置されたときに、前記ァダプタの下面との変位量を検出する第 1センサと、

前記アダプタの下面に設けられ、前記第 2キャリアが前記アダプタを介して前記載置台に載置されたときに、前記載置台側に移動する移動部との変位量を検出する第 2センサと、

を含むことを特徴とするロードポート。

[9] 請求項 8に記載のロードポートにおいて、前記アダプタは、その上面に設けられ、前記第 2キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部を含み、

前記移動部は、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動すること、

を特徴とするロードポート。

載置台に直接載置され第 1基板を収納する第 1キャリアと、前記第 1キャリアと大きさが異なり、前記載置台に間接的に載置され前記第 1基板と大きさが異なる第 2基板を収納する第 2キャリアと、が選択的に前記載置台に載置可能であり、前記載置台に前記第 2キャリアが載置されたことを示す検出信号を出力する検出部を備えたロードポ一トシステムに用いられ、前記第 2キャリアと前記載置台との間に配置されるアダプタであって、

その上面に設けられ、前記第 2キャリアの下面に設けられた突起部により押し下げられる押下部と、

その下面に設けられ、前記第 2キャリアが前記載置台に間接的に載置されたときに、前記押下部が押下げられることにより、前記載置台側に移動し、前記検出部に前記検出信号を出力させる移動部と、

を含むアダプタ。