CN111755370B - 装载端口 - Google Patents

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Abstract

装载端口包括：第一销，该第一销在对接板上突伸并且设置在对接板上以便被向下推；以及第一检测单元，该第一检测单元被设置在基部上并且被构造成检测对接板位于第一位置。所述第一检测单元包括：能够在所述对接板的运动方向上移位的可动构件；以及被构造成检测所述可动构件的移位的第一传感器。在对接板从第二位置运动到第一位置的过程中，可动构件布置在与处于下推状态的第一销抵靠的位置。

Description

装载端口
技术领域
本发明涉及装载端口。
背景技术
已知一种诸如FOUP的容器，其存储诸如半导体晶片的基板。这样的容器在设置于处理设施中的装载端口中被打开/关闭，以放入或取出容器中的基板。所述装载端口设置有其上放置有容器的对接板(dock plate)，以及被构造成使对接板运动的机构。将其上放置有容器的对接板运动到预定位置，从而打开/关闭容器。
装载端口连接并附接到基板输送设备，该基板输送设备包括被构造成输送基板的基板输送机器人。装载端口包括在基板输送设备的工作空间与外部之间分隔的端口板。形成在端口板中的开口部分可以通过端口门自由地打开/关闭。如果在FOUP未与端口板的开口部分对接的状态下意外地打开开口部分，则工作空间暴露于外部。在这种情况下，在端口门的运动期间，异物可能不期望地被夹在端口板和端口门之间。还需要避免基板输送机器人的一部分在其操作时从开口部分突伸。
日本特开2002-110756号公报公开了一种装载端口，在该装载端口中采用双重结构，该双重结构包括被构造成打开/关闭端口板的开口部分的门和另一扇门，并且防止了这些门同时打开。另外，日本专利No.3954714公开了一种装载端口，其在检测到匣(cassette)被放置在装载端口上的情况下打开端口板的开口部分。
因此，有必要可靠地防止装载端口和基板输送机器人(基板输送设备)的意外驱动，以确保外围的安全性。为了确保外围的安全性，考虑使用其中通过多个传感器来检测装载端口的各部分的状态并且仅在检测结果满足预定条件的情况下才允许驱动端口门和基板输送机器人的方法。然而，传感器数量的增加导致成本的增加。
发明内容
本发明的目的是提供一种装载端口，所述装载端口包括被构造成检测容器存在于对接板上并且该对接板位于对接位置的机构。
根据本发明的一个方面，提供了一种装载端口，其包括：包括开口部分的端口板，通过开口部分可以放入和取出基板；放置台，存储基板的容器放置在所述放置台上；端口门，所述端口门能够打开/关闭开口部分并保持容器的门部分；和驱动机构，所述驱动机构构造成执行所述端口门的打开/关闭操作，其中，所述放置台包括：基部部分；对接板，容器放置在所述对接板上；运动机构，所述运动机构设置在基部部分上，并被构造成支撑对接板并使对接板在第一位置和第二位置之间运动，所述第一位置靠近端口板的其中端口门可保持门部分的侧，所述第二位置远离端口板；第一销，其在对接板上突伸并设置在对接板上以便被向下推；和第一检测单元，设置基部部分上并构造成检测对接板在第一位置处的定位，所述第一检测单元包括：可动构件，所述可动构件能够在对接板借助运动机构运动的运动方向上相对于所述基部部分移位；和第一传感器，其被构造成检测可动构件的移位，并且在对接板从第二位置运动到第一位置的过程中，所述可动构件布置在抵靠处于被推下状态的第一销的位置处。
根据本发明的另一个方面，提供了一种装载端口，其包括：包括开口部分的端口板，通过开口部分可以取出和放入基板；放置台，存储基板的容器放置在放置台上；端口门，能够打开/关闭开口部分并保持容器的门部分；和驱动机构，其构造成执行所述门的打开/关闭操作，其中所述放置台包括：基部部分；其上放置所述容器的对接板；运动机构，所述运动机构设置在基部部分上，并被构造成支撑对接板并使对接板在第一位置和第二位置之间运动，所述第一位置靠近端口板的其中端口门可保持门部分的一侧，所述第二位置远离端口板；第一销，所述第一销在对接板上突伸并设置在对接板上以便被推下；和第一检测单元，所述第一检测单元设置在基部部分上并被构造成检测对接板位于第一位置，并且第一检测单元包括非接触式传感器，该非接触式传感器在对接板从第二位置运动到第一位置的过程中检测第一销处于被推下状态。
通过以下示例性实施例的描述(参考附图)，本发明的其他特征将变得显而易见。
附图说明
图1是表示根据本发明的实施方式的装载端口的外观的视图；
图2是表示图1所示的装载端口的内部机构和使用例的视图；
图3A和图3B是示出对接板的移位模式的视图；
图4是对接板上的销装置的说明性视图；
图5是对接板的运动机构及类似物的说明性视图；
图6是对接板的运动机构及类似物的说明性视图；
图7A是检测单元的说明性视图；
图7B是沿图7A的线A-A截面图；
图7C是检测单元的操作的说明性视图；
图8A是检测单元的透视图；
图8B是销支撑部分的截面图；
图9A至图9D是图8A所示的检测单元的操作的说明性视图；
图10A和图10B是示出控制单元的处理示例的流程图；
图11A至图11D是另一使用例中的图8A所示的检测单元的操作的说明性视图；
图12A至图12D是另一示例的检测单元的操作的说明性视图；
图13是表示以倾斜状态放置容器的示例的视图；
图14是表示以倾斜状态放置容器情况下的检测单元的检测的示例的视图；
图15是位置调整支架的透视图；
图16是检测单元的另一示例的说明性视图；和
图17是检测单元的又一示例的说明性视图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图详细描述实施例。注意，以下实施例并非旨在限制要求保护的本发明的范围，并且本发明并不限于需要实施例中描述的特征的所有组合的发明。实施例中描述的多个特征中的两个或更多个可以适当地组合。此外，将相同的附图标记赋予相同或相似的配置，并且省略其冗余描述。
<第一实施例>
<设备概述>
图1是示出根据本发明的实施例的装载端口1的外观的视图。图2是示出装载端口1的内部机构和使用示例的视图。在附图中，箭头X和Y表示彼此正交的水平方向，箭头Z表示竖直方向。另外，PP表示端口板2在X方向上的侧部。这些箭头的含义也适用于其他附图。
装载端口1是打开/关闭诸如FOUP的容器5的设备。容器5包括：盒状的容器主体50，在容器主体的侧部部分中具有用于放入或取出诸如半导体晶片的基板W的开口部分50a；和盖(门)51，其可拆卸地附接于开口部分50a并关闭开口部分50a。注意，图2示出了盖51被装载端口1移除并且基板输送机器人6可以接近容器5中的基板W的状态(打开状态)。
装载端口1包括端口板2、其上放置容器5的放置台3、以及支撑放置台3的支撑部分4。端口板2是沿Z方向延伸的板状体。端口板2包括开口部分2a，移除的盖51可以在X方向上穿过该开口部分2a。至少一个装载端口1附接到包括输送基板W的基板输送机器人6的基板输送设备PA。基板输送机器人6执行将基板W从装载端口1上的容器5卸载或者将基板W装载到所述容器中。基板输送机器人6包括：保持基板W的端部执行器60；铰接臂61，该铰接臂保持端部执行器60以使其能够至少自由地向前和向后运动；以及驱动单元62，所述驱动单元使铰接臂61向前/向后运动、旋转以及向上/向下运动。在上述打开状态中，当使基板输送机器人6进入与基板输送设备(基板输送模块)PA连通的容器主体50时，执行基板W的卸载和装载。
放置台3包括其上放置有容器5的对接板30。对接板30设置有多个定位销31，所述定位销在定位容器5的同时支撑该容器5；以及多个检测销32F、32L和32R，所述多个检测销被构造成检测容器5的存在。放置台3包括使对接板30在X方向上移位的驱动机构34。另外，放置台3在其前表面上具有操作面板33。操作员可以通过操作面板33设置装载端口1和操作说明。
支撑部分4是具有长方体形状的中空体。支撑部分4设置有驱动机构40。驱动机构40执行端口门41的打开/关闭操作。端口门41打开/关闭开口部分2a，并且还保持容器5的盖51并执行容器5的打开/关闭操作。驱动机构40包括构造成用于使保持盖51的端口门41在关闭位置、撤退位置、和打开位置(图2所示的打开状态中的位置)之间运动的机构，在所述关闭位置中，盖51关闭开口部分50a，在所述撤退位置中，盖51穿过开口部分2a撤退，在所述打开位置中，盖51撤退到开口部分2a的下边缘的下侧。端口门41包括例如夹持机构，并且端口门41因此可以夹持并保持盖51。另外，端口门41设置有操作机构(闩锁钥匙),该操作机构操作在盖51中包括的锁定机构的打开/关闭。这可以将盖51从容器主体50拆卸和附接到容器主体50。
驱动机构40具有以下布置。即，端口门41由在Z方向上延伸的连接构件42支撑。连接构件42由工作台构件43支撑以在X方向上可滑动，并且通过诸如滚珠丝杠或电动缸的致动器44在X方向上运动。另外，与沿竖直方向延伸的滚珠丝杠轴45接合的滚珠螺母48固定到工作台构件43。当滚珠丝杠轴45通过马达47旋转时，端口门41、连接构件42、和工作台构件43整体地向上或向下运动。
利用上述结构，驱动机构40可以使端口门41在X方向和Z方向上运动。因此，盖51在关闭位置、撤退位置和打开位置之间运动。注意，使端口门41运动的机构不限于此，并且可以采用各种机构。
装载端口1设置有控制单元1a。控制单元1a包括例如以CPU为代表的处理单元、诸如RAM和ROM的存储单元、外部设备与处理单元之间的输入/输出接口、以及经由通信线路1b与诸如主机的计算机或外围设备(基板输送设备PA、基板输送机器人6或类似物)进行通信的通信接口。驱动机构34、致动器44和马达47由控制单元1a控制。另外，包括在传感器组1c中的每个传感器的检测结果或操作者经由操作面板33的操作由控制单元1a识别。传感器组1c包括传感器10a、11a和90等，将在后面描述。
<对接板的移位模式>
图3A和图3B是示出对接板30的移位模式的视图，并且是装载端口1的平面图。在该实施例中，驱动机构34可以使对接板30在X方向上运动。
图3A示出了对接板30位于相对于端口板2在X方向上最靠近PP侧的位置(以下也称为对接位置)的状态。容器5的打开/关闭在对接位置执行。图3B示出了其中对接板30位于离端口板2最远的位置(以下也称为传送位置)的状态。将容器5装载到对接板30上以及将容器5从对接板30卸载在传送位置处执行。
<运动机构的结构>
将描述驱动机构34的结构。图4是对接板30和驱动机构34的平面图。图5是穿过对接板30看的驱动机构34的平面图。图6是驱动机构34的右侧视图。所有附图均示出了其中对接板30位于对接位置处的状态。
驱动机构34包括基部部分7和运动机构8。基部部分7是用于整个驱动机构34的支撑体，并且在本实施方式中为板状构件。
运动机构8布置在基部部分7和对接板30之间。运动机构8包括导轨构件80和在导轨构件80上运动的滑动件81。在Y方向上基部部分7的中心处，导轨构件80沿X方向延伸并固定到基部部分7。滑动件81经由多个立柱81b支撑对接板30，并且与对接板30一起运动。滑动件81的运动范围对应于对接位置和传送位置之间的范围，该范围是对接板30在X方向上的运动范围。滑动件81与导轨构件80接合，并且固定在沿着导轨构件80滑动的多个接合构件81a上。
运动机构8包括驱动机构82。驱动机构82是使滑动件81在X方向上运动的机构。驱动机构82包括驱动单元820。驱动单元820包括作为驱动源的马达820a，并且马达820a的驱动力经由驱动单元820中的传动机构(齿轮机构、带传动机构以及类似物)传递到输出轴820b。输出轴820b绕沿Z方向的轴线旋转。臂构件821的一个端部部分固定至输出轴820b。凸轮从动件822设置在臂构件821的另一个端部部分处。随着输出轴820b旋转，臂构件821在X-Y平面上枢转。
运动机构8包括凸轮板823。凸轮板823固定在接合构件823a上，该接合构件823a与导轨构件80接合并且沿着导轨构件80滑动。凸轮板823包括凸轮槽823b。凸轮槽823b是在Y方向上延伸的通孔。凸轮从动件822与凸轮槽823b接合。当凸轮从动件822根据臂构件821的枢转运动而相对于作为中心的输出轴820b以弧形轨迹运动时，凸轮板823沿X方向运动。
凸轮板823包括连接部分823c，滑动件81包括连接部分81c。连接部分823c和81c是连接凸轮板823和滑动件81的部分。凸轮板823和滑动件81可以刚性地连接。然而，在该实施例中，弹性构件826介于凸轮板823和滑动件81之间，并且弹性构件826缓冲了它们之间的驱动力传递。即，凸轮板823和滑动件81可以在X方向上相对于彼此移位。因此，例如，即使当将凸轮板823运动到对接位置时异物被夹在端口板2和容器5之间，弹性构件也会弹性变形，使得仅产生不会伤害操作员的预定值或更小的载荷。另外，此时，容器5、凸轮板823和滑动件81不再能够在靠近端口板2运动的方向上移位。结果，可以确保操作安全。
弹性构件826可以是橡胶或类似物，并且在该实施例中是螺旋弹簧。杆824插入到连接部分823c和81c以及弹性构件826中。每个连接部分823c和81c是沿Z方向竖立的竖直壁，并且包括孔，杆824插入所述孔中。在杆824的每个端部部分处设置有止动件825。弹性构件826在连接部分823c和81c分离的方向上产生偏压力，并且连接部分823c和81c可在两个止动件825的范围内彼此靠近或远离地运动。也就是说，凸轮板823和滑动件81可在两个止动件825的范围内彼此靠近或远离地运动。通常，由于弹性构件826的偏压力，它们由两个止动件825之间的距离彼此分开，并且仅当某些外部载荷作用时，它们才能彼此靠近运动。
对接板30设置有三个检测销32F、32L和32R。检测销32F、32L和32R是被构造成检测容器5是否存在(放置)于对接板30上的存在传感器。当将容器5适当地放置在对接板30上时，所有检测销32F、32L和32R被向下推。检测销32F、32L和32R布置成在对接板30的平面图中位于锐角三角形的顶点处(图4)。如果容器5不适当地以倾斜状态放置或放置在偏离位置处，则检测销32F、32L和32R中的至少一个不被向下推到其中将由随后待描述的传感器检测到检测销的位置。
在对接板30的下表面上设置有检测所述检测销32F被推下的传感器10a。检测销32F和传感器10a形成检测单元10，该检测单元10构造成检测容器5是否被放置。检测单元10的细节将在后面参考图7A至7C进行描述。在对接板30的下表面上设置有检测所述检测销32L被推下的传感器11a。检测销32L和传感器11a形成检测单元11，该检测单元11构造成检测容器5是否被放置。检测单元11的布置与检测单元10相同。检测销32R的下推由检测单元9检测。检测单元9通过支架9a固定至基部部分7。将参考9A至10D描述检测单元9的细节。
将参考图7A至7C描述检测单元10的布置。图7A是检测销32F附近的对接板30的仰视图，图7B是沿图7A中的线A-A截取的截面图。L形凹部部分36形成在对接板30的下表面中，并且检测销32F在凹部部分36中延伸穿过对接板30。L形板簧37布置在凹部部分36中，而且板簧37的仅一端通过螺栓38固定至对接板30。即，板簧37是悬臂支撑的。检测销32F的下端抵靠板簧37的中部部分(在本实施方式中为板簧37的弯曲部分)。板簧37用作使检测销32F向上偏压的复位弹簧。
板簧37的另一个端部部分弯曲，形成传感器卡爪(sensor dog)37a。传感器10a是光遮断器并且检测在光接收元件与发光元件之间存在传感器卡爪37a。注意，作为传感器10a，还可以采用除光遮断器之外的传感器(例如，包括杠杆形致动器的微动开关传感器)。另外，也可以采用不使用板簧37的结构，并且可以将光遮断器和微动开关传感器一起使用。
图7C示出了检测销32F被推下的状态。当将容器5适当地放置在对接板30上时，如图7C所示，检测销32F被容器5的重量向下推。因此，板簧37也被向下推，传感器卡爪37a进入光接收元件和发光元件之间，并且传感器10a对此进行检测。当容器5从对接板30上卸载时，检测销32F通过板簧37的弹性偏压力返回到图7B所示的位置。
将参考图8A描述检测单元9。检测单元9包括传感器90和可动构件91，并且用作被构造成防止装载端口1或基板输送机器人6的意外操作的安全机构或安全部件。
在该实施例中，传感器90是旋转限位开关。传感器90包括微动开关，并且通过微动开关的开关机构来打开/关闭电路(电触点接通/断开)。当外力施加到可动构件91上并且输入轴90a绕平行于预定Y方向的旋转中心线Y1旋转预定角度时，微动开关由形成在输入轴90a上的凸轮机构和抵靠凸轮机构并且可沿X方向运动的柱塞偏压并接通。传感器90包括弹性构件，该弹性构件经由柱塞将输入轴90a偏压到OFF位置。因此，当施加在可动构件91上的外力被除去时，输入轴90a返回到初始位置的OFF位置。
可动构件91是杆构件，所述杆构件的一个端部部分固定至输入轴90a，并且能够绕旋转中心线Y1枢转。可动构件91包括可旋转地设置在另一端部部分处的辊部分91a。当外力施加到可动构件91上并且可动构件91在X方向上向PP侧移位(倾斜)预定量或更多时，传感器90打开。检测单元9附接至基部部分7等，使得辊部分91a在Y方向的位置与检测销32R在Y方向的位置相同。注意，作为可动构件91，也可以采用不包括辊部分91a的结构。
图8B是示出检测销32R的支撑结构的截面图。与其余的检测销32F和32L不同，检测销32R是轴向长度长的销。支撑检测销32R的管状支撑部分35固定到对接板30。弹性构件35b布置在支撑部分35的内部空间35a中。在该实施例中，弹性构件35b是安装在检测销32R上的螺旋弹簧。检测销32R延伸穿过对接板30和支撑部分35。此外，止动件32a固定到检测销32R。止动件32a始终被弹性构件35b向上偏压。
图9A至图9D是检测销32R和检测单元9的操作的说明性视图。如图9D所示，辊部分91a布置成抵靠被向下推的检测销32R。在该实施方式中，如图9B所示，辊部分91a被布置成甚至抵靠未被向下推的检测销32R。但是，由于抵接部分不同，所以可动构件91的移位量(倾斜角)不同。
图9A示出了对接板30位于传送位置处的状态。容器5不存在(未放置)在对接板30上，并且通过上述弹性构件35b的偏压，检测销32R位于初始位置处。可动构件91位于初始位置处。图9B示出了对接板30已经从图9A中的状态运动到对接位置的状态。容器5未放置在对接板30上，并且通过上述弹性构件35b的偏压，检测销32R仍位于初始位置处。当检测销32R抵靠辊部分91a时，可动构件91从初始位置沿X方向朝端口板2的侧部稍微倾斜。由于检测销32R的下端轻微地抵靠辊部分91a的中央的上侧，因此可动构件91不会大幅倾斜，倾斜角θ1较小。此时，可动构件91的传感器90未打开并且保持关闭。
图9C示出了其中对接板30位于传送位置的状态。图9C呈现容器5适当地存在于对接板30上的状态。检测销32R由于容器5的重量而被向下推，并且从支撑部分35向下的突伸量较大。图9D示出了对接板30已经从图9C中的状态运动到对接位置的状态。当检测销32R抵靠在辊部分91a上时，可动构件91从初始位置沿X方向朝端口板2的侧部倾斜。由于检测销32R以与辊部分91a的中心相同的高度深深地抵靠在辊部分91a上，因此可动构件91的倾斜角θ2(＞θ1)较大。此时，可动构件91的传感器90被打开。
如上所述，根据本实施例的检测单元9，不仅可以检测容器5是否存在(适当地放置)于对接板30上，而且可以检测容器5是否存在于对接板30上并且对接板30是否位于对接位置。由于可以通过一个检测单元9检测到两种状态，因此可以以相对较低的成本检测容器5在对接板30上的放置以及对接板30的位置。
检测单元9与检测销32R相对应地布置。检测销32R是三个检测销32F、32L和32R中布置在端口板2侧并且在与对接板30运动方向相交的Y方向上间隔开的两个检测销32L和32R之一。检测销32R布置在容易检测以倾斜状态放置在对接板30上的容器的位置处。因此，当由检测单元9检测所述检测销32R时，容器5放置检测的可靠性增加。
另外，由于检测单元9检测布置于在Y方向上靠近对接板30的一个端侧的位置处的检测销32R，因此检测单元9可以布置在沿Y方向靠近基部部分7上的一个端侧的位置处。基部部分7在Y方向的一个端侧上，形成有其他机构存在的相对较少的自由空间，检测单元9可以布置在该自由空间内。当然，检测单元9可以对应于检测销32L布置，或者可以对应于检测销32F布置。
注意，在该实施例中，传感器90在图9B所示的状态下不打开。作为传感器90，可以使用包括多个ON触点并且在图9B所示的状态和图9D所示的状态之间选择性地打开的传感器。在图9B所示的状态下，在未将容器5放置在对接板30上的状态下，控制单元1a可以识别出对接板30已经运动到对接位置。
<控制单元的处理示例>
将描述控制单元1a的处理示例。如果端口板2的开口部分2a不必要地打开，则工作空间S暴露于外部，并且例如，基板输送机器人6的端部执行器60不期望地突伸到外部。同样对于端口门41，如果在端口门41的运动期间端口门41暴露于外部，则异物不期望地被夹在端口板2和端口门41之间。
在该实施例中，至少在容器5适当地存在于对接板30上并且对接板30位于对接位置处的条件下，端口门41运动。因此，即使打开开口部分2a，容器5也存在于开口部分2a的前面并关闭开口部分。这可以防止端口门41和工作空间S暴露于外部。图10A和10B是示出控制单元1a的处理示例的流程图。
当例如在将容器5放置在对接板30上的状态执行端口门41的打开操作时，执行图10A所示的处理示例。打开操作的指令例如从主机经由通信线路1b发送到控制单元1a。
在步骤S1中，获取传感器组1c中的预定传感器的检测结果。预定传感器至少包括传感器10a、11a和90。在步骤S2中，确定在步骤S1中获取的检测结果是否是预定检测结果。这里，检测结果是预定的检测结果是指至少所有传感器10a、11a和90都打开的状况，即，容器5适当地存在于对接板30上并且对接板30已经从传送位置运动到对接位置。如果在步骤S2中检测结果是预定的检测结果，则处理进入步骤S3。如果检测结果不是预定的检测结果，则处理进入步骤S4。
在步骤S4中，执行错误处理。这里，例如，经由通信线路1b将表示不满足操作条件的通知发送到主机。可替代地，通过语音或显示器将警告通知给操作员。
在步骤S3中，将端口门41的操作许可信号发送到控制单元1a。因此，使端口门41保持盖51并运动到打开位置。由于在步骤S2中确认容器5适当地存在于对接板30上，并且开口部分2a在对接位置处被关闭，因此操作期间的端口门41和工作空间S不暴露于外部。即，由于开口部分2a被容器5封闭，因此工作空间S不会经由开口部分2a暴露于外部。
在步骤S5中，获取传感器组1c中的预定传感器的检测结果。这主要旨在操作确认。预定传感器至少包括检测端口门41是否已经运动到打开位置的传感器。传感器10a、11a和90的检测结果可以再次包括，尽管它们被包括在步骤S1中的检测结果获取目标中。
当在将容器5放置在对接板30上的状态中执行端口门41的关闭操作时，也应用图10A所示的处理示例。关闭操作的指令例如从主机通过通信线路1b传送到控制单元1a。
在步骤S1中，获取传感器组1c中的预定传感器的检测结果。预定传感器至少包括传感器10a、11a和90。在步骤S2中，确定在步骤S1中获取的检测结果是否是预定检测结果。这里，检测结果是预定的检测结果是指至少所有传感器10a、11a和90都打开的状况，即，容器5适当地存在于对接板30上并且对接板30已经从传送位置运动到对接位置。如果在步骤S2中检测结果是预定的检测结果，则处理进入步骤S3。如果检测结果不是预定的检测结果，则处理进入步骤S4。
在步骤S3中，将端口门41的操作许可信号发送到控制单元1a。因此，端口门41运动到关闭位置。由于在步骤S2中确认容器5适当地存在于对接板30上，并且开口部分2a在对接位置处被关闭，因此操作期间的端口门41和工作空间S不暴露于外部。即，由于开口部分2a被容器5关闭，因此能够防止口门41卡住异物。
在步骤S5中，获取传感器组1c中的预定传感器的检测结果。预定传感器至少包括检测端口门41是否已经运动到关闭位置的传感器。传感器10a、11a和90的检测结果可以再次被包括，尽管它们被包括在步骤S1中的检测结果获取目标中。
例如，当在将容器5放置在对接板30上的状态中执行基板输送机器人6的操作时，执行图10B所示的处理示例。操作指令例如从主机传送到基板输送机器人6的控制单元。
在步骤S6中，获取传感器组1c中的预定传感器的检测结果。预定传感器至少包括传感器10a、11a和90。在步骤S7中，确定在步骤S6中获取的检测结果是否是预定的检测结果。如果检测结果是预定的检测结果，则处理进入步骤S8。如果检测结果不是预定的检测结果，则处理进入步骤S9。在步骤S9中，执行错误处理。这与步骤S4中的处理相同。
在步骤S8中，基板输送机器人6的操作许可信号经由通信线路1b发送到基板输送机器人6的控制单元或主机。因此，开始基板输送机器人6的操作。由于基板输送机器人6的操作至少仅在开口部分2a被容器5封闭的状态才被允许，因此能够确保外围的安全性。
注意，即使没有放置容器5，如果端口门41位于关闭位置处，也可以发送基板输送机器人6的操作许可信号。在该实施例中，如果由于某种原因检测到在其中端口门41位于打开位置的状态下未放置容器5，则可以执行错误处理以禁止基板输送机器人6的操作。
<第二实施例>
在第一实施例中，在图9B所示的状态中，检测单元9被布置为使得未被向下推的检测销32R抵靠辊部分91a。然而，检测单元9可以布置成使得检测销32R不抵接。图11A至图11D是示出示例的检测销32R和检测单元9的操作的说明性视图。
图11A示出了对接板30位于传送位置的状态。容器5未放置在对接板30上，并且检测销32R通过上述弹性构件35b的偏压而位于初始位置处。可动构件91位于初始位置处。图11B示出了对接板30已经从图11A中的状态运动到对接位置的状态。容器5未放置在对接板30上，并且通过上述弹性构件35b的偏压，检测销32R仍位于初始位置处。检测销32R不抵靠辊部分91a，可动构件91仍位于初始位置处。此时，传感器90没有打开而是保持关闭。
图11C示出了对接板30位于传送位置的状态。图11C呈现容器5被放置在对接板30上的状态。检测销32R由于容器5的重量而被向下推，并且从支撑部分35向下的突伸量较大。图11D示出了对接板30已经从图11C中的状态运动到对接位置的状态。当检测销32R深深地抵靠在辊部分91a上时，可动构件91从初始位置沿X方向朝PP侧倾斜一倾斜角θ3(≈θ2)。此时，可动构件91的传感器90被打开。
<第三实施方式>
在第一实施例中，旋转限位开关用作传感器90。然而，可以使用线性运动限位开关。图12A至图12D是示出示例的操作的说明性视图。在图12A至图12D所示的示例中，代替传感器90而使用传感器12。传感器12是线性运动限位开关，其被构造成检测作为可动构件的柱塞12a的X方向移位。
图12A示出了对接板30位于传送位置的状态。容器5未放置在对接板30上，并且通过上述弹性构件35b的偏压，检测销32R位于初始位置处。柱塞12a位于初始位置处。图12B示出了对接板30已经从图12A中的状态运动到对接位置的状态。容器5未放置在对接板30上，并且通过上述弹性构件35b的偏压，检测销32R仍位于初始位置处。由于在Z方向上的偏移，检测销32R不抵靠柱塞12a，并且柱塞12a仍然位于初始位置处。传感器12未打开。
图12C示出了对接板30位于传送位置的状态。图12C呈现容器5被放置在对接板30上的状态。检测销32R由于容器5的重量而被向下推，并且从支撑部分35向下的突伸量较大。图12D示出了对接板30已经从图12C中的状态运动到对接位置的状态。当检测销32R抵靠柱塞12a时，柱塞12a从初始位置沿X方向朝向端口板2的侧部移位。传感器12被打开以检测容器5被放置在对接板30上以及对接板30位于对接位置处。
<第四实施方式>
如第一实施例中所述，如果容器5以倾斜状态放置在对接板30上，则检测销32F、32L和32R中的至少一个不被向下推。因此，这种不合适的放置状态被检测到。然而，例如，如果容器5的倾斜小，则检测销32R可能被向下推某一程度。图13示出了一个示例。参照图13，用双点划线表示的容器5示出了适当地放置在对接板30上的容器5的示例，并且用实线表示的容器5示出了被放置同时在Y方向倾斜(在图13中，左侧朝下，右侧朝上)的容器5的示例。
图14示出了在沿Y方向倾斜地放置容器5(如在图13中所示)并且检测销32R被向下推的情况下检测单元9的行为。双点划线L1表示在将容器5适当地放置在对接板30上的情况下检测销32R的下端的位置的轨迹。
状态ST1表示对接板30位于传送位置处的状态。容器5(未示出)以倾斜状态放置在对接板30上，并且销32R的下端没有到达下端位置L1。
状态ST2示出了对接板30已经从状态ST1运动到对接位置的状态。当检测销32R抵靠辊部分91a时，可动构件91从初始位置沿X方向朝向端口板2的侧部仅倾斜一倾斜角θ4。
当容器5的倾斜在允许范围内时，基板W的传送没有问题。但是，如果容器5的倾斜超过允许范围，则可能产生的问题是，基板输送机器人6的端部执行器60不能充分地传送基板W。因此，优选区分容器5的允许基板W的传送的倾斜。例如，如果可动构件91的倾斜角度为θ4(＜θ2)，则传感器90不产生ON信号。然而，根据检测单元9的个体差异或安装误差，对于每个装载端口1，检测销32R的下推量和传感器90被打开所处的可动构件91的倾斜角在某些情况下没有预定的关系。
因此，可以提供用于检测单元9的位置调节机构。当可以对每个装载端口1调整检测单元9的位置时，可以将检测销32R的下推量和打开传感器90所处的可动构件91的倾斜角度调整为预定值，并且可以可靠地检测到处于不允许的倾斜范围上的姿势的容器5被放置在对接板30上。
位置调节机构可以是任何机构。例如，其中支架9a具有附接位置调节功能的结构是简单的。图15是具有位置调整功能的支架9a的透视图。
支架9a是L形的金属配件，并且包括用于将检测单元9附接到支架9a的附接孔H1以及用于将支架9a附接到基部部分7的附接孔H2。在检测单元9中，在传感器90的情况下，形成有螺纹孔(未示出)。在将螺钉插入附接孔H1内并固定至螺纹孔时，将检测单元9固定至支架9a。螺纹孔(未示出)也形成在基部部分7中。当螺钉通过附接孔H2紧固至螺钉孔时，支架9a固定至基部部分7。
附接孔H1是沿Z方向延伸的长孔。因此，能够调整检测单元9相对于支架9a在Z方向上的附接位置。附接孔H2是在X方向上延伸的长孔。因此，能够调整支架9a相对于基部部分7在X方向上的附接位置。因此，可以相对于检测销32R在Z方向和X方向上调整检测单元9的位置。
当调节检测单元9的位置时，检测单元9通过支架9a临时固定至基部部分7。作为测试，有意地将处于不允许的倾斜范围的姿势的容器5放置在对接板30上，并且当对接板30从传送位置运动到对接位置时，传感器90的输出被监控。如果传感器90输出ON信号，则检测单元9的位置不合适。因此，例如，将检测单元9在X方向上的位置朝PP侧调整。可替代地，降低检测单元9在Z方向上的位置。
另外，作为测试，将处于允许倾斜范围内的正常姿势的容器5放置在对接板30上，并且当对接板30从传送位置运动到对接位置时传感器90的输出被监控。如果传感器90没有输出ON信号，则检测单元9的位置不合适。因此，例如，将检测单元9在X方向上的位置朝与PP侧相反的一侧调整。可替代地，检测单元9在Z方向上的位置升高。因此，可以适当地调整检测单元9的位置，并且可以更可靠地检测容器5以不合适的姿势放置的状态。
<第五实施方式>
在上述实施例中，作为检测单元9，采用了与检测销32R接触的接触式检测单元。但是，也可以采用非接触式检测单元。图16示出了代替检测单元9的非接触式检测单元13。
检测单元13是诸如对检测目标13a的接近度进行检测的接近传感器的非接触式传感器，并且是例如磁式接近传感器、静电电容式接近传感器或电磁感应式接近传感器。尽管检测目标13a整体地设置在检测销32R的下端部分处，但是优选地，检测目标13a与检测销32R整体地设置并且与检测销32R由相同的金属制成，例如铁或铝，或者根据如下的接近传感器的类型，仅检测目标13a由磁铁制成。
磁式接近传感器由簧片开关、霍尔元件或磁阻元件构成。当使用由簧片开关构成的磁式接近传感器时，检测目标13a由磁铁制成，并且由于磁引力通过簧片开关的物理操作来检测所述检测目标13a的接近。当由霍尔元件或磁阻元件构造磁式接近传感器时，基于磁场或磁通量的变化来检测磁铁的检测目标13a的接近。
静电电容式接近传感器包括检测电极和作为检测所述检测电极的电容变化的电路的振荡电路。振荡电路可以通过检测电极的电容的变化来检测金属的检测目标13a的接近，因为当检测目标13a靠近电路时，检测电极的电容改变。
电磁感应式接近传感器包括产生交变磁场的检测线圈。当金属导体的检测目标13a接近交变磁场时，在金属导体中产生涡电流，以衰减或停止传感器中的振荡电路的振荡，从而使接近电磁感应式接近传感器的检测目标13a被检测到。
状态ST11示出了在没有将容器5放置在对接板30上的状态(检测销32R未被向下推的状态)中对接板30已经运动到对接位置的情况。由于检测目标13a和检测单元13在Z方向上分开，因此检测目标13a未被检测单元13检测到。因此，确定容器5没有被适当地放置。
状态ST12示出了在容器5被适当地放置在对接板30上的状态(检测销32R被向下推的状态)中对接板30已经运动到对接位置的情况。由于检测目标13a和检测单元13邻近，因此检测目标13a被检测单元13检测到。因此，确定容器5被适当地放置。
如果检测单元13是根据检测目标13a的接近程度输出检测信号的传感器，则在第四实施例中描述的在容器5沿Y方向倾斜放置以及检测销32R没有被充分向下推的状态也可以被检测到。
图17示出了代替检测单元9的另一非接触式检测单元14。图17是与图16不同的视线方向的视图。图17示出了从在X方向上的视线观察的检测销32R的外围。检测单元14是包括发光元件14a和光接收元件14b的光学传感器，并且是例如光遮断器。双点划线L2表示来自发光元件14a的光的区域(orbit)。
状态ST21示出了在容器5未放置在对接板30上的状态下(检测销32R未被向下推的状态)对接板30已经运动到对接位置的情况。由于检测销32R没有遮挡光L2的区域，因此检测单元14未检测到检测销32R。因此，确定容器5没有被适当地放置。
状态ST22示出了在容器5被适当地放置在对接板30上的状态(检测销32R被向下推的状态)中对接板30已经运动到对接位置的情况。由于检测销32R遮挡光L2的区域，因此检测单元14检测到检测销32R。因此，确定容器5被适当地放置。
如果检测单元14是根据检测销32R对光L2的区域的遮挡程度(光接收元件14b的光接收量的程度)而输出检测信号的传感器，则在第四实施例中描述的其中在沿Y方向倾斜放置容器5以及检测销32R没有被充分向下推的情况也可以被检测到。
本发明不限于前述实施例，并且在本发明的精神内可以进行各种变化/改变。

Claims (14)

1.一种装载端口，包括：
包括开口部分的端口板，通过所述开口部分能够放入和取出基板；
放置台，存储所述基板的容器放置在所述放置台上；
端口门，所述端口门能够打开/关闭所述开口部分并保持所述容器的门部分；和
驱动机构，所述驱动机构被构造成执行所述端口门的打开/关闭操作，
其中，所述放置台包括：
基部部分；
对接板，所述容器放置在所述对接板上；
运动机构，所述运动机构设置在所述基部部分上，并且被构造成支撑所述对接板并使所述对接板在第一位置和第二位置之间运动，所述第一位置靠近所述端口板的其中所述端口门能保持所述门部分的一侧，所述第二位置远离所述端口板；
第一销，所述第一销在所述对接板上突伸并设置在所述对接板上以便被推下；和
第一检测单元，所述第一检测单元设置在所述基部部分上并且被构造成检测所述对接板在所述第一位置处定位，
所述第一检测单元包括：可动构件，所述可动构件能够借助所述运动机构在所述对接板的运动方向上相对于所述基部部分移位；和第一传感器，所述第一传感器被构造成检测所述可动构件的移位，以及
在所述对接板从所述第二位置运动到所述第一位置的过程中，所述可动构件布置在抵靠处于被推下状态的所述第一销的位置处。
2.根据权利要求1所述的装载端口，还包括控制单元，所述控制单元被构造成：基于所述第一传感器的检测结果来确定所述对接板是否已经到达所述第一位置，并且作为一个条件当确定所述对接板已经到达所述第一位置时驱动所述驱动机构。
3.根据权利要求1所述的装载端口，还包括：
被构造成检测所述容器是否放置在所述对接板上的第二检测单元；和
被构造成检测所述容器是否放置在所述对接板上的第三检测单元；
其中，所述第二检测单元包括：
第二销，所述第二销在所述对接板上突伸并设置在所述对接板上以便被推下；和
第二传感器，所述第二传感器支撑在所述对接板上并被构造成检测所述第二销已经被推下，并且
所述第三检测单元包括：
第三销，所述第三销在所述对接板上突伸并设置在所述对接板上以便被推下；和
第三传感器，所述第三传感器支撑在所述对接板上并被构造成检测所述第三销已经被推压。
4.根据权利要求3所述的装载端口，其中，
所述第一销、所述第二销和所述第三销中的两个销在所述运动方向上布置在所述端口板的一侧，同时在与所述运动方向交叉的方向上分开，
除所述两个销之外的其余的销相比所述两个销在所述运动方向上布置在距所述端口板更远的位置处，并且
在所述对接板的平面视图中，所述第一销、所述第二销和所述第三销布置成位于一锐角三角形的顶点处。
5.根据权利要求4所述的装载端口，其中，所述第一销是所述两个销中的一个。
6.根据权利要求3所述的装载端口，还包括控制单元，所述控制单元被构造成：基于所述第一传感器的检测结果来确定所述对接板是否已经到达所述第一位置，并且至少在确定所述对接板已到达所述第一位置的条件下驱动所述驱动机构，
其中，当所述第二传感器检测到所述第二销被推下、所述第三传感器检测到所述第三销被推下、并且所述第一传感器检测到所述对接板位于所述第一位置处时，所述控制单元通过所述驱动机构来启动所述端口门的打开/关闭操作。
7.根据权利要求3所述的装载端口，还包括控制单元，所述控制单元被构造成：基于所述第一传感器的检测结果来确定所述对接板是否已经到达所述第一位置，并且至少在确定所述对接板已经到达所述第一位置的条件下驱动所述驱动机构，
其中，在所述端口板的侧部设有基板输送模块，并且在所述基板输送模块中设有基板输送机器人，所述基板输送机器人被构造成经由所述开口部分在所述基板输送模块和所述容器之间放入或取出基板，并且
当所述第二传感器检测到所述第二销被推下、所述第三传感器检测到所述第三销被推下、并且所述第一传感器检测到所述对接板位于所述第一位置处时，所述控制单元发送用于允许所述基板输送机器人操作的信号。
8.一种装载端口，包括：
包括开口部分的端口板，通过所述开口部分能够放入和取出基板；
放置台，存储所述基板的容器放置在所述放置台上；
端口门，所述端口门能够打开/关闭所述开口部分并保持所述容器的门部分；和
驱动机构，所述驱动机构被构造成执行所述端口门的打开/关闭操作，
其中，所述放置台包括：
基部部分；
对接板，所述容器放置在所述对接板上；
运动机构，所述运动机构设置在所述基部部分上，并且被构造成支撑所述对接板并使所述对接板在第一位置和第二位置之间运动，所述第一位置靠近所述端口板的其中所述端口门能保持所述门部分的一侧，所述第二位置远离所述端口板；
第一销，所述第一销在所述对接板上突伸并设置在所述对接板上以便被推下；和
第一检测单元，所述第一检测单元设置在所述基部部分上并被构造成检测所述对接板在所述第一位置处定位，并且所述第一检测单元包括非接触式传感器，在所述对接板从所述第二位置运动到所述第一位置的过程中，所述非接触式传感器检测处于被推下状态的所述第一销。
9.根据权利要求8所述的装载端口，还包括控制单元，所述控制单元被构造成：基于所述非接触式传感器的检测结果来确定所述对接板是否已经到达所述第一位置，并且作为一个条件当确定所述对接板已经到达所述第一位置时驱动所述驱动机构。
10.根据权利要求8所述的装载端口，还包括：
被构造成检测所述容器是否放置在所述对接板上的第二检测单元；和
被构造成检测所述容器是否放置在所述对接板上的第三检测单元；
其中，所述第二检测单元包括：
第二销，所述第二销在所述对接板上突伸并设置在所述对接板上以便被推下；和
第二传感器，所述第二传感器支撑在所述对接板上并被构造成检测所述第二销已经被推下，并且
所述第三检测单元包括：
第三销，所述第三销在所述对接板上突伸并设置在所述对接板上以便被推下；和
第三传感器，所述第三传感器支撑在所述对接板上并被构造成检测所述第三销已经被推压。
11.根据权利要求10所述的装载端口，其中，
所述第一销、所述第二销和所述第三销中的两个销在所述对接板的运动方向上布置在所述端口板的一侧，同时在与所述运动方向交叉的方向上分开，
除所述两个销之外的其余的销相比所述两个销在所述运动方向上布置在距所述端口板更远的位置处，并且
在所述对接板的平面视图中，所述第一销、所述第二销和所述第三销布置成位于一锐角三角形的顶点处。
12.根据权利要求11所述的装载端口，其中，所述第一销是所述两个销中的一个。
13.根据权利要求10所述的装载端口，还包括控制单元，所述控制单元被构造成：基于所述非接触式传感器的检测结果来确定所述对接板是否已经到达所述第一位置，并且至少在确定所述对接板已经到达所述第一位置的条件下驱动所述驱动机构，
其中，当所述第二传感器检测到所述第二销被推下、所述第三传感器检测到所述第三销被推下、并且所述非接触式传感器检测到所述对接板位于所述第一位置处时，所述控制单元通过所述驱动机构来启动所述端口门的打开/关闭操作。
14.根据权利要求10所述的装载端口，还包括控制单元，所述控制单元被构造成：基于所述非接触式传感器的检测结果来确定所述对接板是否已经到达所述第一位置，并且至少在确定所述对接板已经到达所述第一位置的条件下驱动所述驱动机构，
其中，在所述端口板的侧部设有基板输送模块，并且在所述基板输送模块中设有基板输送机器人，所述基板输送机器人被构造成经由所述开口部分在所述基板输送模块和所述容器之间放入或取出基板，并且
当所述第二传感器检测到所述第二销被推下、所述第三传感器检测到所述第三销被推下、并且所述非接触式传感器检测到所述对接板位于所述第一位置处时，所述控制单元发送用于允许所述基板输送机器人操作的信号。
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