KR20070114348A - 로드 포트 및 로드 포트의 제어 방법 - Google Patents

로드 포트 및 로드 포트의 제어 방법 Download PDF

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Abstract

기판 수납 용기의 재치 방향에 제약이 없고, 로드 포트가 접속되는 장치의 형태에 따라 유연하게 대응할 수 있음과 아울러 컴팩트한 로드 포트를 제공한다. 또한, 동작 효율이 높은 로드 포트를 제공한다.
기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지(12)와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트에 있어서, 상기 스테이지(12)를 회전시키는 회전 기구와, 상기 스테이지를 승강시키는 승강 기구를 구비한다.
로드 포트, 스테이지, 이동 기구, 회전 기구, 승강 기구

Description

로드 포트 및 로드 포트의 제어 방법{LOAD PORT AND LOAD PORT CONTROL METHOD}
본 발명은 반도체 기판을 수납한 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트(load port)에 관한 것으로, 특히 재치된 기판 수납 용기의 방향에 관계없이 개폐 가능한 반전식 로드 포트 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
종래, 재치된 FOUP의 방향에 관계없이 개폐 가능한 반전식 로드 포트는 도 4에 나타나듯이 되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
도에 있어서, 41은 FOUP를 재치하는 탑재판이다. 42 및 43은 탑재판(41)을 회전시키는 회전·승강 수단이다. 44는 스테이지(stage)로 탑재판(41)으로부터 FOUP가 건네받아진 후, 테이블(45) 상을 화살표 D방향으로 이동한다. 47은 FOUP의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트(load port) 도어(door)이다. 도에 있어서, FOUP가 탑재판(41)에 재치되면, 그 후 회전·승강 수단(42, 43)에 의해 탑재판(41)이 회전하게 되고, 탑재판(41) 상의 FOUP의 취출구가 로드 포트 도어(47)에 바로 대하게 된다. FOUP의 취출구가 로드 포트 도어(47)에 바로 대하게 되면, 회전·승강 수단(42, 43)에 의해 탑재판이 하강된다. 탑재판(41)이 하강해 가면 FOUP의 일부가 스테이지(44)에 접촉하고, 계속해서 탑재판(41)이 하강해 가면 FOUP는 탑재판(41) 상으로 부터 멀어져 완전하게 스테이지(44) 상에 재치된다. 그 후 스테이지(44)가 테이블(45) 상을 화살표 D방향으로 이동함과 아울러 FOUP가 로드 포트 도어(47)에 도킹하고, FOUP 도어가 열리고, FOUP 내부의 기판이 반도체 제조 장치에 인도된다.
이와 같이, 종래의 로드 포트에 의하면, FOUP를 탑재판(41)으로부터 스테이지(44)에 인도하기 위한 인도 수단을 별도 설치할 필요가 없고, 탑재판(41)을 하강시키는 것으로 FOUP를 스테이지(44)에 인도할 수가 있다.
<특허 문헌 1> 일본국 특허공개 2004-140011호 공보(제4-8 페이지, 도 1)
<발명이 해결하고자 하는 과제>
종래의 로드 포트는, 회전·승강 수단(42, 43)의 제어부를 수납한 지지편(46)이 크고 로드 포트 전방으로 튀어나오는 구조로 되고 있어, 로드 포트 전방측에 접속되는 스톡커(stocker) 등은 구조상의 제약을 받는다고 하는 문제가 있었다. 또, 로드 포트 설치시나 유지 보수시에 장해가 된다고 하는 문제가 있었다. 또한, FOUP를 최초로 재치하는 탑재판(41)과 스테이지(44)가 독립하고 있기 때문에, 탑재판(41)으로부터 스테이지(44)로 FOUP를 건네받아야 할 때에는, 스테이지(44)를 소정의 위치에 위치 결정할 필요가 있고, 단순한 구조가 아니기 때문에 비용이나 신뢰성의 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 반전식인 것임에도 불구하고, 지지편이 튀어나오는 일이 없는 컴팩트(compact)한 반전식 로드 포트를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 동작 효율이 높은 반전식 로드 포트를 제공한다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
상기 문제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.
청구항 1에 기재의 발명은, 기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구와, 상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와, 상기 스테이지를 승강시키는 승강 기구를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 2에 기재의 발명은, 기판 수납 용기를 재치하기 위한 제1 스테이지와 제2 스테이지를 적어도 가지는 스테이지와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구와, 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 함께 회전시키는 회전 기구와, 상기 회전 기구에 고정되어 상기 제1 스테이지만을 승강시키는 승강 기구와, 상기 제2 스테이지에 설치된 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 3에 기재의 발명은, 상기 제1 스테이지에 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 4에 기재의 발명은, 상기 이동 기구, 상기 회전 기구, 상기 승강 기구, 또는 상기 클램프의 어느 것이 소정의 위치에 도달한 것을 검출하는 위치 센서를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 5에 기재의 발명은, 상기 이동 기구, 상기 회전 기구, 상기 승강 기구, 또는 상기 클램프의 어느 것의 동작 개시부터의 시간 경과를 감시하는 타이머(timer)를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 6에 기재의 발명은, 상기 스테이지는, 상기 회전 기구에 의해 편심 회전하는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 7에 기재의 발명은, 상기 회전 기구는, 로터리 실린더와, 벨트·풀리 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 8에 기재의 발명은, 상기 로터리 실린더에 대신하여 전기 모터로 한 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 9에 기재의 발명은, 상기 승강 기구는, 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 10에 기재의 발명은, 기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트로서, 상기 스테이지는 제1 스테이지와 제2 스테이지로 이루어지고, 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 함께 회전시키는 회전 기구와, 상기 회전 기구에 고정되어 상기 제1 스테이지만을 승강시키는 승강 기구와, 상기 제2 스테이지에 설치된 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비한 로드 포트에 있어서, 상기 기판 수납 용기가 상기 스테이지에 재치되는 단계와, 상기 스테이지가 하강 동작하는 단계와, 상기 제2 스테이지에 설치된 클램프가 클램프 동작하는 단계와, 상기 스테이지가 회전 동작하는 단계와, 상기 스테이지가 도킹 동작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 11에 기재의 발명은, 기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트로서, 상기 스테이지는 제1 스테이지와 제2 스테이지로 이루어지고, 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 함께 회전시키는 회전 기구와, 상기 회전 기구에 고정되어 상기 제1 스테이지만을 승강시키는 승강 기구와, 상기 제2 스테이지에 설치된 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비한 로드 포트에 있어서, 상기 기판 수납 용기가 상기 스테이지에 재치되는 단계와, 상기 제1 스테이지에 설치된 클램프(clamp)가 클램프 동작하는 단계와, 상기 스테이지가 하강 동작하는 단계와, 상기 스테이지가 회전 동작하는 단계와, 상기 스테이지가 도킹(docking) 동작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 12에 기재의 발명은, 상기 임의의 단계에 있어서의 동작이 소정의 인터락(interlock) 조건을 만족한 후, 다른 단계가 실행되는 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 13에 기재의 발명은, 상기 소정의 인터락(interlock) 조건은, 상기 동작이 소정의 위치에 도달한 것을 검출하는 위치 검출 센서의 검출 신호 출력인 것을 특징으로 하는 것이다.
청구항 14에 기재의 발명은, 상기 소정의 인터락(interlock) 조건은, 타이머에 의한 소정의 시간 경과인 것을 특징으로 하는 것이다.
<발명의 효과>
청구항 1 또는 2에 기재의 발명에 의하면, 스테이지가 회전하기 때문에, 기판 수납 용기의 재치 방향에 제약이 없고, 로드 포트가 접속되는 장치의 형태에 따라 유연하게 대응할 수 있다. 또, 스테이지 자체가 승강, 회전 동작을 행하기 때문에 컴팩트(compact) 하다.
또, 청구항 3, 4, 5, 9, 10, 11, 12, 13에 기재의 발명에 의하면, 로드 포트의 각 축의 동작을 동시에 행할 수가 있으므로 동작 효율이 높고, 스루풋(throughput)이 향상된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 로드 포트의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 로드 포트(load port)의 승강 동작을 나타내는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 로드 포트(load port)의 승강 회전 기구를 나타내는 설명도이다.
도 4는 종래의 로드 포트를 나타내는 사시도이다.
<부호의 설명>
11　도어(door) 12　스테이지
13　클램프(clamp) 15a, 15b　흡착 수단
16a, 16b　랫치(latch)
31　로터리 실린더(rotary cylinder)
32　풀리(pulley)
33　벨트(belt) 34　풀리(pulley)
35　부재(member)
36　리프트 스테이지(lift stage)
37a, 37b, 37c　카이네메틱 핀(Kinematic pin)
38　도크 스테이지(dock stage)
39　에어 실린더(air cylinder)
이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도를 참조하여 설명한다.
<실시예 1>
도 1은 본 발명의 로드 포트의 사시도이다. 도에 있어서, 12는 FOUP등의 기판 수납 용기를 재치하는 스테이지이다. 13은 재치된 기판 수납 용기를 고정하기 위한 클램프이다. 15a, 15b는 기판 수납 용기의 뚜껑을 흡착하기 위한 흡착 수단이다. 16a, 16b는 기판 수납 용기의 뚜껑의 키(key)를 개폐하기 위한 랫치(latch)이다. 11은 스테이지(12)에 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하기 위한 로드 포트 도어(door)이다.
도 2는 본 발명의 로드 포트의 측면도이다. 이 로드 포트의 스테이지(12)는 승강 수단(리프트(lift) 축(shaft))을 구비하고 있고, 스테이지(12)가 승강 가능한 구성으로 되어 있다. 도에 있어서, (a)는 리프트 축이 강하한 상태를 나타내고, (b)는 상승한 상태를 나타내고 있다. 또, 도시하지 않지만 스테이지(12)는 회전축을 구비하고 있고, 스테이지(12)가 회전 가능한 구성으로 되어 있다. 스테이지(12)의 내부는 후술하는 리프트 스테이지(36)와 도크 스테이지(38)로 구성되어 있다.
여기서, 본 발명이 특허 문헌 1과 다른 점은 스테이지(12) 자체가 승강과 회 전을 하고, 탑재판과 탑재판의 회전·승강 수단의 제어부를 수납한 지지편을 불필요로 한 점이다.
도 3은 본 발명의 로드 포트의 승강·회전을 행하기 위한 내부 기구를 나타내는 설명도이다. 또, 파선은 커버(cover)를 나타내고 있다. 도에 있어서, 36은 제1 스테이지로서 본 실시예에 있어서는 리프트 스테이지(lift stage)이다. 리프트 스테이지(36)는 에어 실린더(39)의 본체 측에 고정되어 있고, 에어 실린더(39)의 구동에 수반하여 리프트 스테이지(36)는 승강한다. 37은 카이네메틱 핀(Kinematic pin)으로 리프트 스테이지(36)에 고정되어 있다. 카이네메틱 핀(Kinematic pin)(37a, 37c)은 재치된 기판 수납 용기의 위치 결정을 행하기 위한 것으로 종래의 것과 동일하다. 31은 로터리 실린더로 압공(壓空)에 의해 회전 구동된다. 한편, 로터리 실린더(31)는 풀리(32), 벨트(33), 및 풀리(34)로 구성되는 벨트·풀리 기구를 구동한다. 35는 풀리(34)에 고정된 부재로 에어 실린더(39)의 샤프트(shaft)가 고정되어 있다. 38은 제2 스테이지로서 본 실시예에 있어서는 도크(dock) 스테이지이다. 도크 스테이지(38)는 프레임(frame)(도시하지 않음)을 통해 부재(35)에 고정되어 있다. 로터리 실린더(31)는 리니어 가이드(도시하지 않음)에 장착되고, 부재(35)는 베어링을 통해 동일한 리니어 가이드(linear guide)에 장착되어 있다. 즉, 에어 실린더(39), 부재(35), 리프트 스테이지(36), 및 도크 스테이지(38)는 일체적으로 지면 좌우 방향으로 이동한다. 또, 클램프(도시하지 않음) 및 정상 재치 센서(도시하지 않음)는 도크 스테이지(38)에 설치되어 있다. 따라서, 클램프 및 정상 재치 센서는 리프트 스테이지(36)가 상승한 상태에 있어서는 스테이지(12) 내에 매몰된 상태로 되어 외부로부터는 보아서 확인할 수 없다.　
다음에, 스테이지의 승강·회전 동작에 대해서 설명한다. 에어 실린더(39)가 구동되어 샤프트가 밀어내어지면, 에어 실린더(39)의 본체가 상승함과 아울러 에어 실린더(39)의 본체에 고정된 리프트 스테이지(36)가 상승한다. 반대로 에어 실린더(39)가 구동되어 샤프트를 끌어들이면, 리프트 스테이지(36)는 강하한다. 즉, 에어 실린더(39)의 구동에 수반하여 리프트 스테이지(36)는 승강한다.
한편, 로터리 실린더(31)가 회전 구동되면 풀리(32), 벨트(33) 및 풀리(34)로 구성되는 벨트·풀리 기구를 구동하여 풀리(34)에 고정된 부재(35)를 회전시킨다. 부재(35)의 회전과 함께 에어 실린더(39)에 고정된 리프트 스테이지(36)가 회전한다. 여기서, 부재(35)의 회전 중심은 스테이지(12)의 중심에 대해 오프셋(offset) 하고 있기 때문에 스테이지(12)는 편심하여 회전한다. 스테이지(12)를 편심 회전시키는 것은 인접하여 설치된 로드 포트에 재치된 기판 수납 용기가 서로 간섭하지 않게 하기 위해서 이고, 본 실시예에 있어서는, 스테이지(12)에 재치된 기판 수납 용기 자체의 선회(회전) 영역을 직경 505mm 이내로 억제하고 있다.
또, 스테이지(12)의 승강·회전 동작을 별개로 설명하였지만 승강·회전 동작은 동시에 행하는 것도 가능하다.
다음에, 기판 수납 용기의 뚜껑이 로드 포트 도어(11)에 대향하지 않고 재치되었을 때의 로드 포트 전체의 동작, 특히 기판 수납 용기의 오픈(open) 동작에 대해서 설명한다. 기판 수납 용기의 오픈 동작은 스테이지(12)(리프트 스테이지(lift stage)(36))가 상승한 상태를 초기 상태로서 이하의 순서로 행해진다.
(1) 기판 수납 용기가 스테이지(12)에 재치된다.
(2) 스테이지(12)(리프트 스테이지(36))가 하강한다.
(3) 클램프가 기판 수납 용기를 클램프 한다(클램프 동작).
(4) 기판 수납 용기를 재치한 상태로 스테이지(12)가 회전하여 기판 수납 용기의 취출구 측이 로드 포트 도어(11)에 대향한다(회전 동작).
(5) 스테이지(12)가 도 3의 지면 우방향으로 이동하여 기판 수납 용기의 뚜껑이 로드 포트 도어(11)에 도킹한다(도킹(docking) 동작).
(6) 흡착 수단(15a, 15b)이 기판 수납 용기의 뚜껑을 흡착한다.
(7) 랫치(latch)(16a, 16b)가 기판 수납 용기의 키(key)를 돌려 도어의 락(lock)을 해제한다.
이후의 동작은 종래의 로드 포트와 동일하므로 생략한다. 또, 상기 순서(4) 및 (5)은 동시에 행하여도 좋다.
여기서, 기판 수납 용기의 뚜껑이 로드 포트 도어에 대향하여 재치되는 경우는 상기 순서(4)의 동작은 불필요하다. 또, 운영자(operator)가 수동(manual)으로 순서(1)를 실행하는 경우는, 초기 상태로서 스테이지(12)(리프트 스테이지(36))를 상승시키는 것 및 순서(2)도 불필요하게 된다. 즉, 기판 수납 용기의 재치 방법에 따라 상기 순서를 취사선택 함으로써 유연하게 대응할 수가 있어 반전 기능이 없는 종래의 로드 포트와 마찬가지로 취급하는 것도 할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시예에 있어서의 로드 포트는 스테이지가 회전하기 때문에 기판 수납 용기의 재치 방향에 제약이 없고 로드 포트가 접속되는 장치의 형태 에 따라 유연하게 대응할 수 있다. 또, 스테이지 자체가 승강, 회전 동작을 하기 때문에 컴팩트(compact)하고 범위(footprint)를 작게 할 수 있다.
<실시예 2>
다음에, 본 발명의 제2 실시예가 되는 로드 포트에 대해서 설명한다. 본 실시예에 있어서의 로드 포트는 클램프가 리프트 스테이지에 설치되어 있다. 그 이외의 구성은 제1 실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
그리고, 기판 수납 용기의 오픈 동작은 이하의 순서로 행해진다.
(1) 기판 수납 용기가 스테이지(12)에 재치된다.
(2) 클램프가 기판 수납 용기를 클램프 한다(클램프 동작).
(3) 스테이지(12)(리프트 스테이지(36))가 하강한다.
(4) 기판 수납 용기를 재치한 상태로 스테이지(12)가 회전하여 기판 수납 용기의 취출구 측이 로드 포트 도어(11)에 대향한다(회전 동작).
(5) 스테이지(12)가 도 3의 지면 우방향으로 이동하여 기판 수납 용기의 뚜껑이 로드 포트 도어(11)에 도킹한다(도킹(docking) 동작).
이후는 제1 실시예와 마찬가지이므로 생략한다. 또, 상기 순서(2)∼(5)의 동작은 동시에 행하여도 좋다. 또, 순서(3)∼(5)의 임의의 동작을 선택하여 동시에 행하여도 좋다. 다만, 도킹 동작이 다른 동작보다 단시간에 완료하는 경우에는, 기판 수납 용기가 로드 포트 본체에 간섭하는 것을 피하기 위해서, 순서(5)에 있어서 도킹 동작 완료전에 순서(3), (4)의 모든 동작을 완료해 둘 필요가 있다.　
상기 순서의 동작을 동시에 행하는 일례로서 회전 동작(순서(4))과 도킹 동 작(순서(5))만을 동시에 행하는 경우에 대해서 설명한다. 여기서, 도킹 동작은 회전 동작보다 단시간에 완료하는 것으로 하고, 인터락(interlock)으로서 스테이지가 소정의 회전 위치에 도달한 것을 검출하는 검출 수단이 설치되어 있는 것으로 한다.
우선, 순서(3) 실행 완료 후, 로드 포트의 콘트롤러(controller)는 회전 동작 지령을 내려 스테이지(12)를 회전시킨다. 다음에, 스테이지가 소정의 회전 위치에 도달하면, 검출 수단은 콘트롤러에 대해서 신호(인터락 신호)를 출력한다. 다음에, 콘트롤러는 출력된 신호를 받아 도킹 지령을 내린다. 그 후는 회전 동작과 함께 도킹 동작이 동시에 행해진다.
이와 같이 회전 동작중에 도킹 동작을 개시함으로써 회전 동작과 도킹 동작을 개별적으로 행하는 것보다도 동작 시간이 짧아져 동작 효율이 향상된다.　
또, 상기 검출 수단은 소정의 위치에 도달한 것을 검출하는 위치 센서이어도 좋다. 또, 상기 각 동작의 개시 지령으로부터의 시간을 타이머(timer) 감시하여 소정의 시간 경과를 가가지고 검출로 간주하여도 좋다. 어느 것으로 하여도 회전 동작중에 도킹이 먼저 완료하여 기판 수납 용기가 로드 포트에 간섭하는 것이 없는 위치를 검출 할 수 있는 것이면 임의이어도 좋다.
또, 동시 동작은 상기 회전 동작과 도킹 동작에 한정되는 것은 아니고 임의의 이외의 축의 조합이어도 좋다. 또, 2축의 동시 동작에 한정되는 것은 아니고 복수의 축을 동시 동작시켜도 좋다.　
이상과 같이, 본 실시예에 있어서의 로드 포트는 클램프가 리스트 스테이지 에 설치되어 있기 때문에, 기판 수납 용기를 클램프 후, 도킹까지 동작을 동시에 실행할 수 있으므로 동작 효율이 좋고 스루풋(throughput)이 향상된다.　
또, 상기 2개의 실시예에 있어서 본 발명의 로드 포트는 에어 실린더를 구동 수단으로 하고 있지만 전기 모터를 구동 수단으로 하여도 좋다.
또, 스테이지(12)를 회전시키는 기구는 벨트·풀리 기구로 하고 있지만 이 기구에 의하지 않고 로터리 실린더에 의한 다이렉트 드라이브(direct drive)로 하여도 좋다.

Claims (14)

  1. 기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지와,
    상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구와,
    상기 스테이지를 회전시키는 회전 기구와,
    상기 스테이지를 승강시키는 승강 기구를 구비하고,
    상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  2. 기판 수납 용기를 재치하기 위한 제1 스테이지와 제2 스테이지를 적어도 가지는 스테이지와,
    상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구와,
    상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 함께 회전시키는 회전 기구와,
    상기 회전 기구에 고정되어 상기 제1 스테이지만을 승강시키는 승강 기구와,
    상기 제2 스테이지에 설치된 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 스테이지에 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비한 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 이동 기구, 상기 회전 기구, 상기 승강 기구, 또는 상기 클램프의 어느 것이 소정의 위치에 도달한 것을 검출하는 위치 센서를 구비한 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 이동 기구, 상기 회전 기구, 상기 승강 기구, 또는 상기 클램프의 어느 것의 동작 개시부터의 시간 경과를 감시하는 타이머를 구비한 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스테이지는, 상기 회전 기구에 의해 편심 회전하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 회전 기구는,
    로터리 실린더와, 벨트·풀리 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 로터리 실린더에 대신하여 전기 모터로 한 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 승강 기구는, 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 로드 포트.
  10. 기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트로서, 상기 스테이지는 제1 스테이지와 제2 스테이지로 이루어지고, 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 함께 회전시키는 회전 기구와, 상기 회전 기구에 고정되어 상기 제1 스테이지만을 승강시키는 승강 기구와, 상기 제2 스테이지에 설치된 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비한 로드 포트에 있어서,
    상기 기판 수납 용기가 상기 스테이지에 재치되는 단계와,
    상기 스테이지가 하강 동작하는 단계와,
    상기 제2 스테이지에 설치된 클램프가 클램프 동작하는 단계와,
    상기 스테이지가 회전 동작하는 단계와,
    상기 스테이지가 도킹 동작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트의 제어 방법.
  11. 기판 수납 용기를 재치하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지를 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 상기 재치된 기판 수납 용기의 뚜껑을 개폐하는 로드 포트로서, 상기 스테이지는 제1 스테이지와 제2 스테이지로 이루어지고, 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지를 함께 회전시키는 회전 기구와, 상기 회전 기구에 고정되어 상기 제1 스테이지만을 승강시키는 승강 기구와, 상기 제2 스테이지에 설치된 상기 기판 수납 용기를 고정하는 클램프를 구비한 로드 포트에 있어서,
    상기 기판 수납 용기가 상기 스테이지에 재치되는 단계와,
    상기 제1 스테이지에 설치된 클램프가 클램프 동작하는 단계와,
    상기 스테이지가 하강 동작하는 단계와,
    상기 스테이지가 회전 동작하는 단계와,
    상기 스테이지가 도킹 동작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드 포트의 제어 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 임의의 단계에 있어서의 동작이 소정의 인터락 조건을 만족한 후, 다른 단계가 실행되는 것을 특징으로 하는 로드 포트의 제어 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 소정의 인터락 조건은, 상기 동작이 소정의 위치에 도달한 것을 검출하 는 위치 검출 센서의 검출 신호 출력인 것을 특징으로 하는 로드 포트의 제어 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 소정의 인터락 조건은, 타이머에 의한 소정의 시간 경과인 것을 특징으로 하는 로드 포트의 제어 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101039584B1 (ko) * 2009-09-02 2011-06-09 주식회사 싸이맥스 스테이지 이동 장치
CN111755370A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 平田机工株式会社 装载端口
KR102484437B1 (ko) * 2022-10-11 2023-01-05 주식회사 테크엑스 엘피엠용 노즐장치

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6038476B2 (ja) * 2012-04-07 2016-12-07 平田機工株式会社 基板収納用の容器の搬入出装置及び搬入出方法
JP6052209B2 (ja) * 2014-03-11 2016-12-27 株式会社ダイフク 容器搬送設備
KR101608831B1 (ko) 2014-06-13 2016-04-05 우범제 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트
KR101606082B1 (ko) 2014-07-17 2016-03-24 권병철 로드 포트용 노즐 조립체 및 그것을 구비한 로드 포트
WO2016035675A1 (ja) * 2014-09-05 2016-03-10 ローツェ株式会社 ロードポート及びロードポートの雰囲気置換方法
JP6882656B2 (ja) * 2016-07-08 2021-06-02 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート及びロードポートを備える基板搬送システム
TWI605209B (zh) * 2016-08-08 2017-11-11 銀泰科技股份有限公司 應用於線性模組之訊息回饋系統及其訊息回饋方法
JP6856692B2 (ja) * 2019-03-28 2021-04-07 平田機工株式会社 ロードポート
CN115196359B (zh) * 2022-07-27 2024-08-27 许昌市靖贤供应链管理有限公司 一种物流货箱锁定装置及锁定方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2852856B2 (ja) * 1993-09-29 1999-02-03 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
KR970054461U (ko) * 1996-03-26 1997-10-13 Lcd 글래스 운반용 수동 대차
JPH11176908A (ja) 1997-12-15 1999-07-02 Tokyo Electron Ltd 容器の搬入出装置
US6427096B1 (en) * 1999-02-12 2002-07-30 Honeywell International Inc. Processing tool interface apparatus for use in manufacturing environment
US6135698A (en) * 1999-04-30 2000-10-24 Asyst Technologies, Inc. Universal tool interface and/or workpiece transfer apparatus for SMIF and open pod applications
TW460035U (en) * 2000-09-08 2001-10-11 Ind Tech Res Inst Automatic front-opening load-in device for wafer box
JP2002093877A (ja) 2000-09-12 2002-03-29 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
US6530736B2 (en) * 2001-07-13 2003-03-11 Asyst Technologies, Inc. SMIF load port interface including smart port door
JP4168724B2 (ja) * 2002-10-15 2008-10-22 神鋼電機株式会社 ロードポート
US7621714B2 (en) * 2003-10-23 2009-11-24 Tdk Corporation Pod clamping unit in pod opener, pod corresponding to pod clamping unit, and clamping mechanism and clamping method using pod clamping unit
US7410340B2 (en) * 2005-02-24 2008-08-12 Asyst Technologies, Inc. Direct tool loading
US7771151B2 (en) * 2005-05-16 2010-08-10 Muratec Automation Co., Ltd. Interface between conveyor and semiconductor process tool load port

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101039584B1 (ko) * 2009-09-02 2011-06-09 주식회사 싸이맥스 스테이지 이동 장치
CN111755370A (zh) * 2019-03-29 2020-10-09 平田机工株式会社 装载端口
CN111755370B (zh) * 2019-03-29 2023-05-30 平田机工株式会社 装载端口
KR102484437B1 (ko) * 2022-10-11 2023-01-05 주식회사 테크엑스 엘피엠용 노즐장치

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Publication number Publication date
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