JP5001354B2 - 基板処理システム - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態に係る基板処理システムAの平面視図、基板処理システムAの右側面視図である。基板処理システムAは、複数(ここでは3台)の開閉装置100と、一つの処理装置200と、複数の開閉装置100と処理装置200との間に配設された移載装置300と、を備える。以下、正面、背面、左、右、上、下というときは図1及び図2の表記に従う。
開閉装置100は容器10の蓋部12を開閉する装置である。容器10は容器本体11と蓋部12とを備えた密閉型の容器であり、例えば、SMIFポッドである。蓋部12は容器10の底部をなしており、容器本体11に蓋部12を着脱自在に取り付けるための着脱機構(不図示)を内蔵する。容器本体11は透明の部材から構成され、その内部が外部から見えるようになっている。
図1及び図2を参照して、処理装置300は、カセット13が載置される載置部301を有する。載置部301は、各カセット13が載置される個別の領域301aを有し、本実施形態の場合、最大4つのカセット13が載置可能となっている。処理装置300内には、載置部301に載置されたカセット13が支持する基板Wをカセット13から取り出し、処理装置300内の処理部(不図示)に搬送するロボット(不図示)を備え、処理部において基板Wに対して各種の処理が施される。処理済みの基板Wは再び載置部301上のカセット13に戻される。処理装置300は、収容体302に囲包されている。収容体302は、移載装置200側の面は開放している。
図1、図2及び図5を参照して、移載装置200について説明する。図5は移載装置200の構造説明図である。移載装置200は、収容体400に収容されている。収容体400は枠体に壁板を設けて直方体形状に構成されている。収容体400は、左右方向に延びる梁部材401a、401bを備える。梁部材401a、401bは互いに正面−背面方向に離間して設けられている。また、梁部材401a、401bは、それぞれ上下方向に離間して一対設けられている。
図11は基板処理システムAの制御系のブロック図である。基板処理システムAの制御システムは、ホストコンピュータ50と、開閉装置100を制御する制御装置60と、移載装置200を制御する制御装置70と、処理装置300を制御する制御装置(不図示)と、を備え、通信回線(例えばLAN)を介して互いに通信可能に接続されている。
次に、移載装置200によるカセット13の移載動作について図12乃至図17を参照して説明する。図12乃至図17は移載装置200の動作説明図である。
Claims (5)
- 開閉可能な蓋部を備え、複数の基板を支持するカセットを収容した容器内の基板を処理する基板処理システムであって、
前記容器の前記蓋部を開閉する、一方向に配列された複数の開閉装置と、
前記カセットが載置される載置部を有し、前記載置部に載置された前記カセットが支持する前記基板を処理する処理装置と、
前記複数の開閉装置と前記処理装置との間に配設され、前記開閉装置により開放された前記容器から前記載置部へ前記カセットを移載する移載装置と、を備え、
前記移載装置は、
前記複数の開閉装置の配列方向と平行な方向に往復移動する移動ユニットと、
前記移動ユニットに設けられ、前記カセットを前記容器から前記載置部へ移載する移載ユニットと、を備え、
前記移載ユニットは、
多関節アームと、
前記カセットを把持する把持ユニットと、
前記多関節アームの先端に設けられ、前記把持ユニットを支持する支持部材と、を備え、
前記支持部材は、
第1上辺部と、
前記第1上辺部の各端部から下方へ延びる第1側部と、を備え、
前記把持ユニットは、
前記第1上辺部の内側に位置する第2上辺部と、
前記第2上辺部の各端部から下方へ延び、前記第1側部の内側に位置する第2側部と、
前記第2上辺部に設けられ、前記カセットのハンドルを挟持する一対の爪部材と、を備え、
前記把持ユニットは、前記第1側部の下端部と前記第2側部の下端部とを連結する軸によって回動可能に前記支持部材に支持されていることを特徴とする基板処理システム。 - 前記移載ユニットは、
前記多関節アームを昇降する昇降手段と、
前記多関節アームを旋回させる旋回手段と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記移載ユニットは、
前記把持ユニットにより前記カセットが把持されたか否かを検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記開閉装置を制御する第1制御手段と、
前記移載装置を制御する第2制御手段と、を備え、
前記第1制御手段と前記第2制御手段とが通信可能であることを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記移載装置を収容する収容体と、
前記収容体内にクリーンエアを供給する供給装置と、
を備え、
前記収容体は、前記移載ユニットが前記開閉装置から前記カセットを取り出すための第1開口部と、前記移載ユニットが前記処理装置へ前記カセットを移載するための第2開口部と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理システム。
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