JP2001068522A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】カセット搬送部の構造を簡潔にしてコストの低
減を図ると共に搬送時間を短縮し、スループットの向上
を図ることができる基板処理装置を提供する。 【解決手段】カセット１０の搬送過程でカセットを傾斜
させるチルト機能を有するカセット搬送部５３を具備す
る基板処理装置である。カセット搬送部は水平移動する
スライド基板６３と、該基板に傾動可能に設けられカセ
ットを保持可能なカセットグリッパ６７と、前記基板に
回転自在に設けられカセットグリッパと連動するカムレ
バー６８と、基板と対向して設けられ、水平面である倣
い面と曲面を具備する倣い面とを有するカムプレート
と、カムレバーを倣い面のいずれか一方に倣わせる切換
え手段７６とを具備している。カムレバーを曲面を具備
する倣い面に倣わせると、搬送途中でカセットが傾斜
し、基板が脱落するのが防止され、切換え手段でカムレ
バーを水平面の倣い面に倣わせ、カセットを水平に維持
して搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ等被処理
基板に薄膜の生成、被処理基板のエッチング、アニール
等の各種処理を施す基板処理装置、特にバッチ処理方式
の基板処理装置で被処理基板がカセットに収納された状
態で搬送される基板処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０に於いて、縦型炉を有する基板処
理装置について説明する。

【０００３】筐体１内部の後部上方に反応管２、ヒータ
ユニット３等から構成される縦型炉４が配設され、該縦
型炉４の下方にボートエレベータ５が設けられ、該ボー
トエレベータ５は立設されるボート６を前記反応管２内
に装入、引出しする。前記ボートエレベータ５に並び基
板移載機７が設けられ、該基板移載機７は基板チャック
プレート８が水平に突設された基板チャック部９を有
し、該基板チャック部９は水平方向に進退し、又垂直軸
を中心に回転し、又昇降可能となっている。

【０００４】該基板移載機７に対向して下段カセットラ
ック１１が設けられ、該下段カセットラック１１の上側
に上段カセットラック１２が設けられている。前記下段
カセットラック１１はカセット１０を収納するカセット
棚を複数列、複数段マトリックス状に有している。

【０００５】前記下段カセットラック１１、上段カセッ
トラック１２に対峙してカセットローダ１３が設けら
れ、該カセットローダ１３を挾み前記上段カセットラッ
ク１２に対向して予備カセットラック１４が設けられ、
該予備カセットラック１４は複数のカセット棚を有して
いる。前記カセットローダ１３はカセットハンドラ１５
を昇降可能且つ横行可能に有し、該カセットハンドラ１
５は水平方向に伸縮可能なロボットアーム２０を具備し
ている。

【０００６】前記カセットローダ１３は前記カセットハ
ンドラ１５により、後述するカセット搬送部１７との間
でカセットの授受を行い、カセットを前記下段カセット
ラック１１、上段カセットラック１２、予備カセットラ
ック１４の所定のカセット棚に移載し、又前記下段カセ
ットラック１１、上段カセットラック１２、予備カセッ
トラック１４から前記カセット搬送部１７にカセットを
払出しする。

【０００７】前記筐体１の前面略中央には、カセット授
受部１６が設けられ、該カセット授受部１６の下方には
前記カセット搬送部１７が設けられている。前記カセッ
ト授受部１６は外部搬送装置（図示せず）と基板処理装
置間でのカセットの授受を行うものであり、前記カセッ
ト搬送部１７は前記カセットローダ１３と前記カセット
授受部１６間でのカセットの受渡しを行うものである。

【０００８】前記上段カセットラック１２の後ろ側、及
び前記カセット授受部１６の上側にはクリーンユニット
１８，１９が設けられ、前記筐体１内部にクリーンエア
の一様流れが形成されている。

【０００９】上記基板処理装置に於いて、外部搬送装置
により、ウェーハ等被処理基板が装填されたカセットが
前記カセット授受部１６に搬入される。図示される基板
処理装置では被処理基板がパーティクルに汚染されるこ
とを防止する為、カセットが密閉式のカセットホルダ２
１に収納された状態で、前記カセット授受部１６に搬入
される。

【００１０】前記カセット授受部１６は該カセット授受
部１６に搬入された前記カセットホルダ２１から下方に
前記カセット１０を引出し、更に前記カセットローダ１
３側に前記カセット１０を移動させる。前記カセットハ
ンドラ１５が前記カセット搬送部１７から前記カセット
１０を受取り、前記下段カセットラック１１、上段カセ
ットラック１２、予備カセットラック１４の所定の位置
に前記カセット１０を移載する。

【００１１】前記基板移載機７は前記基板チャック部９
の進退、回転、昇降の協動により、前記下段カセットラ
ック１１の所定位置の前記カセット１０から被処理基板
を保持し、下降状態の前記ボート６に被処理基板を移載
する。該ボート６に所定枚数の被処理基板が移載される
と、前記ボートエレベータ５が前記ボート６を上昇さ
せ、被処理基板を前記反応管２内に装入する。

【００１２】前記反応管２内は前記ヒータユニット３に
より加熱され、又前記反応管２内に反応ガスが導入され
て、被処理基板に成膜等所要の処理がなされる。

【００１３】処理が完了すると、前記ボートエレベータ
５により、前記ボート６が引出され、前記基板移載機７
により、前記ボート６から所定位置のカセット１０に処
理済の基板が払出される。

【００１４】処理済の基板が装填されたカセット１０は
前記カセットローダ１３により、下段カセットラック１
１から取出され、更に前記カセット搬送部１７により、
前記カセット授受部１６迄搬送される。該カセット授受
部１６から図示しない外部搬送装置により搬出される。

【００１５】図１１〜図１４により前記カセット授受部
１６及び従来のカセット搬送部１７について説明する。

【００１６】前記カセット授受部１６は台車フレーム２
３上に左右２組設けられている。カセット授受部１６に
ついて説明する。

【００１７】枠体２４が前記台車フレーム２３上に立設
され、前記枠体２４の天板の一部がカセット受載台２５
となっている。前記カセットホルダ２１は天板に載置さ
れ、カセット１０は前記カセット受載台２５に載置さ
れ、該カセット受載台２５は前記カセット１０を受載し
た状態で図示しないシリンダにより昇降可能となってい
る。

【００１８】前記カセット授受部１６の側方にカセット
搬送部１７がそれぞれ設けられ、該カセット搬送部１７
は筐体１の内側面に支持される。前記カセット搬送部１
７について説明する。

【００１９】前記筐体１内側面に側壁支持板２７が設け
られ、該側壁支持板２７に基板２８が固着され、該基板
２８には水平ガイド２９が固着され、該水平ガイド２９
にはスライダ３０が摺動自在に設けられている。又、前
記水平ガイド２９にはガイド方向と平行なスクリューロ
ッド３１が回転自在に設けられ、該スクリューロッド３
１は前記水平ガイド２９の一端に設けられた搬送モータ
３２の出力軸と連結されている。前記スライダ３０にカ
セットチルト基板３３が固着され、該カセットチルト基
板３３にカセットチルト機構３４が設けられている。該
カセットチルト機構３４は図示していないがロータリシ
ンリンダ等の回転駆動部を有し、該回転駆動部から水平
に突出するチルト軸３５にカセットグリッパ３６が設け
られている。

【００２０】該カセットグリッパ３６は一対のフック３
７を有し、該フック３７は図示しないシリンダ等の駆動
部により前記チルト軸３５の軸心方向に拡縮する様にな
っていると共に、カセット１０の両側上縁部に形成され
た耳部３８と係合可能となっている。

【００２１】前記カセットローダ１３と前記カセット搬
送部１７との間に２組の受渡しステージ部４１が配設さ
れ、該受渡しステージ部４１は筐体１のベース４２に取
付けられ、前記各受渡しステージ部４１は前記カセット
授受部１６にそれぞれ対向する様に位置し、又前記カセ
ット搬送部１７とは上下方向にずれて干渉しない様にな
っている。前記受渡しステージ部４１について説明す
る。

【００２２】前記ベース４２より前記台車フレーム２３
に向かって水平に延出する張出しベース４３が設けら
れ、該張出しベース４３に縦フレーム４４が立設され、
該縦フレーム４４に鉛直方向に延びるスライドガイド４
５が設けられ、該スライドガイド４５に上下動スライダ
４６が摺動自在に設けられ、該上下動スライダ４６の上
端に受渡しステージ４７が水平に設けられている。前記
張出しベース４３には鉛直方向に上下動シリンダ４８が
設けられ、該上下動シリンダ４８のロッド上端は前記受
渡しステージ４７に固着されている。

【００２３】次に、図１７を参照して前記カセット授受
部１６に搬入されたカセット１０が、カセット授受部１
６と前記カセットローダ１３との間で搬送される作動に
ついて説明する。

【００２４】前記受渡しステージ４７が下降し、前記カ
セットグリッパ３６がカセット授受部１６の直下にある
状態がホーミングポジションとなっている（図１７
（Ａ））。

【００２５】前記搬送モータ３２を駆動し、前記スクリ
ューロッド３１を回転して前記スライダ３０、カセット
チルト基板３３を介して前記カセットチルト機構３４、
カセットグリッパ３６をカセットローダ１３側に移動
し、前記カセット受載台２５を下降させ前記カセットホ
ルダ２１内のカセット１０を下方に引出す（図１７
（Ｂ））。

【００２６】前記搬送モータ３２を駆動し、前記カセッ
トチルト機構３４、カセットグリッパ３６を前記カセッ
ト１０の直上迄移動させる。前記カセット受載台２５を
上昇させ、前記カセット１０を把持位置とし、前記フッ
ク３７によりカセット１０を把持する（図１７
（Ｃ））。

【００２７】前記カセット受載台２５が降下し、前記カ
セット１０が前記カセットグリッパ３６により吊下げら
れ（図１７（Ｄ））、更に前記カセットチルト機構３４
により前記カセットグリッパ３６が数度例えば４°傾斜
される（図１７（Ｅ））。

【００２８】傾斜した状態が維持されたまま、前記搬送
モータ３２の駆動により、前記カセット１０は前記受渡
しステージ４７の上方迄移動される（図１７（Ｆ））。
この時の前記カセット１０の傾斜は該カセット１０移動
時に被処理基板が該カセット１０から飛出さない様にす
る為である。

【００２９】前記カセットチルト機構３４は前記カセッ
トグリッパ３６を介し前記受渡しステージ４７上方で前
記カセット１０を一旦水平にし（図１７（Ｇ））、その
後大きく（例えば３０°）傾斜させ、前記カセット１０
内の被処理基板を整列させる（図１５、図１７
（Ｈ））。

【００３０】前記カセットチルト機構３４が前記カセッ
トグリッパ３６を介して前記カセット１０を水平に戻し
（図１７（Ｉ））、前記カセット受載台２５が上昇し、
前記カセット１０を受載した状態で、前記カセットグリ
ッパ３６が前記フック３７を開放する（図１６、図１７
（Ｊ））。

【００３１】前記搬送モータ３２を駆動して、前記カセ
ットチルト機構３４、カセットグリッパ３６を前記カセ
ットホルダ２１の下方迄移動し、前記受渡しステージ４
７の上方を開放する（図１７（Ｋ））。

【００３２】前記カセットハンドラ１５が横行、昇降
し、更に前記ロボットアーム２０の伸縮の協動で前記カ
セット１０を前記受渡しステージ４７から受取る。前記
ロボットアーム２０が前記カセット１０を受取ると、前
記カセットローダ１３は前記下段カセットラック１１、
上段カセットラック１２、予備カセットラック１４の所
要の位置に前記カセット１０を移載する。

【００３３】前記下段カセットラック１１、上段カセッ
トラック１２、予備カセットラック１４の所要の位置か
ら前記カセット授受部１６にカセット１０が搬送される
場合は、上記作動の逆の作動により行われる。

【００３４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のカセット搬
送部１７は独立して２組設けられている為、搬送モータ
３２、スクリューロッド３１、水平ガイド２９等から構
成される水平移動機構、カセットグリッパ３６を傾斜さ
せる為の回転支持部、回転させる為ロータリシリンダ等
から構成されるカセットチルト機構３４がそれぞれ２組
必要であり、構造が複雑となると共に部品点数が多くな
り、製作コストが高くなっていた。

【００３５】更に、カセット１０の水平移動、傾斜は順
番に行われている為、搬送時間が多くなり、スループッ
トの向上を妨げる要因の一つとなっていた。

【００３６】又、従来の基板処理装置では受渡しステー
ジ部４１が筐体１に取付けられてる為、受渡しステージ
部４１とカセット搬送部１７との位置調整はカセット搬
送部１７を筐体１内に組込んだ後行われることとなり、
作業性が悪く又受渡しステージ部４１とカセット搬送部
１７との位置調整が難しいという問題があった。

【００３７】本発明は斯かる実情に鑑み、カセット搬送
部の構造を簡潔にし、コストの低減を図ると共に搬送時
間を短縮し、スループットの向上を図り、更にカセット
搬送部と受渡しステージ部との組立作業性の向上を図る
ものである。

【００３８】

【課題を解決するための手段】本発明は、カセットを搬
送する過程でカセットを傾斜させるチルト機能を有する
カセット搬送部を具備する基板処理装置に於いて、前記
カセット搬送部が水平移動するスライド基板と、該スラ
イド基板に傾動可能に設けられカセットを保持可能なカ
セットグリッパと、前記スライド基板に回転自在に設け
られ前記カセットグリッパと連動するカムレバーと、前
記スライド基板と対向して設けられ、水平面である倣い
面と曲面を具備する倣い面とを有するカムプレートと、
前記カムレバーがいずれか一方の倣い面に倣って移動
し、前記カムレバーを倣い面のいずれか一方に択一的に
倣わせる切換え手段とを具備した基板処理装置に係り、
又前記スライド基板の左右両側に延出するチルトシャフ
トを回転自在に設け、該チルトシャフトの両端部にカセ
ットグリッパを設け、前記チルトシャフトとカムレバー
とを連動可能とした基板処理装置に係り、又フレームの
基板にスライド基板が水平移動可能に設けられ、該スラ
イド基板の左右両側に延出するチルトシャフトを回転自
在に設け、該チルトシャフトの両端部にカセットグリッ
パを設け、前記チルトシャフトとカムレバーとを連動可
能とし、前記スライド基板を挾み２本のロッドが昇降可
能に設けられ、該ロッド先端にそれぞれ昇降ステージが
設けられると共に前記ロッドの下端側で連結した基板処
理装置に係るものである。

【００３９】前記切換え手段で前記カムレバーを曲面を
具備する倣い面に倣わせると、搬送途中でカセットが傾
斜し、カセットから被処理基板が脱落するのが防止さ
れ、更にカセット内の被処理基板が整列され、前記切換
え手段で前記カムレバーを水平面の倣い面に倣わせる
と、カセットを水平に維持して搬送することができる。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。

【００４１】図１、図２は本発明に係るカセット搬送部
を示しており、図中カセット授受部１６等については前
述したものと同様であるので詳細な説明は省略する。
又、図１１〜図１７中で示したものと同様のものには同
符号を付してある。

【００４２】前記カセット授受部１６は左右に２個のカ
セットホルダ２１を受載可能であり、又２個のカセット
受載台２５がカセット１０を受載した状態で、昇降可能
に設けられている。

【００４３】前記カセット授受部１６の下方に台車フレ
ーム５１が移動可能に設けられ、該台車フレーム５１の
上面に設けられた基板５２の略中央、前後方向にカセッ
ト搬送部５３が設けられ、該カセット搬送部５３を挾み
左右に昇降ステージ５４，５４が設けられている。

【００４４】図３、図４を参照して前記カセット搬送部
５３を説明する。

【００４５】前記基板５２の下面に固定部材５６が固着
され、該固定部材５６に水平ガイド５７が前後方向に延
びる様に固着されている。該水平ガイド５７にはスライ
ダ５８が摺動自在に設けられ、該スライダ５８に螺合す
るスクリューロッド５９が前記スライダ５８と平行に回
転自在に設けられ、前記スクリューロッド５９は搬送モ
ータ６１に連結され、該搬送モータ６１は前記水平ガイ
ド５７の前端に取付けられている。前記基板５２の前記
水平ガイド５７に隣接する部分が前後方向に欠切され、
スリット窓６２が形成されている。

【００４６】前記スライダ５８にスライド基板６３が鉛
直となる様固着され、該スライド基板６３の前端部は前
記基板５２を貫通して上方に突出し、前端部の上端は更
に水平方向に屈曲し、支柱支持部６４を形成している。

【００４７】該支柱支持部６４に支柱６５が立設され、
該支柱６５の上端部に左右方向水平にチルトシャフト６
６が回転自在に設けられ、該チルトシャフト６６の左右
両端部にそれぞれカセットグリッパ６７が取付けられて
いる。

【００４８】前記スライド基板６３にカムレバー６８が
枢着され、前記チルトシャフト６６にチルトレバー６９
が固着され、前記カムレバー６８の後端部に上下方向に
延びるリンクロッド７１の下端が枢着され、上端が前記
チルトレバー６９の後端部に枢着される。

【００４９】前記水平ガイド５７に対向し、該水平ガイ
ド５７と平行なカムプレート７２が前記基板５２の下面
に固着される。該カムプレート７２にはカム溝７３が刻
設されている。該カム溝７３は図３に見られる様に、前
端部７３ａと後端部７３ｄが後述するカムフォロア７４
に嵌合する様になっており、前端部７３ａに連続する前
半部７３ｂが前記カムフォロア７４の直径よりも若干幅
広となっており、前記前半部７３ｂに連続し、前記後端
部７３ｄに至る後半部７３ｃは下方に向って凸レンズ状
に湾曲した曲線となっている。

【００５０】前記カムレバー６８の前端部には前記カム
フォロア７４が回転自在に設けられ、該カムフォロア７
４は前記カム溝７３に転動自在に嵌合する。

【００５１】前記スライド基板６３にはシリンダ取付け
板７５が垂設され、該シリンダ取付け板７５にチルト切
換えシリンダ７６が枢支され、該チルト切換えシリンダ
７６は上下方向に伸縮し、ロッド上端が前記カムレバー
６８の枢着点と前記カムフォロア７４との間に枢着され
ている。

【００５２】図５〜図８により、前記カセットグリッパ
６７を説明する。

【００５３】コの字状のグリッパフレーム７７の底辺部
７７ａが前記チルトシャフト６６の端部に固着され、該
底辺部７７ａにロータリシリンダ７８が取付けられ、該
ロータリシリンダ７８の出力軸の先端には回転板７９が
固着され、該回転板７９には２本の連結ロッド８１の基
端が点対称の位置に枢着され、該連結ロッド８１の先端
は後述する開閉レバー８２に枢着されている。前記回転
板７９と出力軸（図示せず）との回転位置を調整する
為、取付け孔は円周上に６箇所穿設されており、又前記
連結ロッド８１の取付け位置を調整できる様に、該連結
ロッド８１の取付け孔は円周上８箇所に穿設されてい
る。

【００５４】前記グリッパフレーム７７の両側辺部７７
ｂには凹字形の軸支持部材８３が固着され、該軸支持部
材８３にはグリップ軸８４が回転自在に設けられ、該グ
リップ軸８４には板バネ材をＬ字形に屈曲成形したグリ
ップ片８５が固着されている。前記グリップ軸８４の一
端には前記開閉レバー８２が固着され、該開閉レバー８
２に前記側辺部７７ｂを遊貫した前記連結ロッド８１の
先端が固着されている。

【００５５】図５〜図８中、８６はグリッパフレーム７
７の補強部材であり、８７は前記カセットグリッパ６７
のカバーである。

【００５６】図１、図２により受渡しステージ部８８を
説明する。

【００５７】筒状の軸受ハウジング８９が前記カセット
搬送部５３を挾んで左右一対、前記基板５２を鉛直方向
に貫通して取付けられ、該軸受ハウジング８９に昇降軸
９１が摺動自在に設けられ、該昇降軸９１の上端に前記
昇降ステージ５４が水平に固着されている。２本の前記
昇降軸９１の下端は連結基板９２に固着され、前記昇降
軸９１，９１は一体化されている。前記カムプレート７
２と前記昇降軸９１との間に昇降シリンダ９３が垂下さ
れる様に固着され、該昇降シリンダ９３より下方に伸縮
するロッド９４は前記連結基板９２を貫通する。前記ロ
ッド９４の貫通箇所にはスプリングホルダ９５が前記連
結基板９２に固着され、前記スプリングホルダ９５と前
記ロッド９４の先端間には圧縮スプリング９６が挾設さ
れている。又、前記スプリングホルダ９５と前記昇降軸
９１との間にはストッパ９７が設けられ、該ストッパ９
７の上端は上下方向の位置が調整可能となっている。

【００５８】該ストッパ９７の軸心延長上に昇降ステー
ジ位置決めシリンダ９８が前記基板５２に固着され、前
記昇降ステージ位置決めシリンダ９８のロッド９９下端
は前記ストッパ９７に当接可能となっている。

【００５９】図１〜図４に於いて、前記カセット搬送部
５３の作動について説明する。

【００６０】図１中、２点鎖線で示す状態が前記カセッ
ト搬送部５３のホーミングポジションであり、前記カム
フォロア７４は前記カム溝７３の前端部７３ａに嵌合
し、前記カセットグリッパ６７は水平状態にある。前記
搬送モータ６１を駆動し、前記スクリューロッド５９を
回転すると、前記スライダ５８が前記水平ガイド５７に
ガイドされ、図１、図３中左方に移動する。前記スライ
ダ５８の移動により、前記スライド基板６３、該スライ
ド基板６３に取付けられている前記支柱６５、カムレバ
ー６８、カセットグリッパ６７、チルト切換えシリンダ
７６等が一体に移動する。

【００６１】前記スライド基板６３の移動により、前記
カムフォロア７４が前記前端部７３ａを脱し、前記前半
部７３ｂに至る。前記スライダ５８が左方に移動する場
合は、前記チルト切換えシリンダ７６には縮短方向に圧
縮空気が供給されており、前記カムフォロア７４は曲面
を有する前記カム溝７３の下面側の倣い面に当接する。
前記前半部７３ｂでは溝幅が下方に幅広となっており、
又前記カムレバー６８には前記カセットグリッパ６７の
自重が作用している。該カセットグリッパ６７の自重に
より、前記チルトシャフト６６には図１、図３中時計方
向の回転力が作用し、該回転力は前記チルトレバー６
９、リンクロッド７１を介して前記カムレバー６８に時
計方向の回転力を伝達する。前記した様に、前記チルト
切換えシリンダ７６は縮短方向に付勢されているので前
記カムレバー６８は前記カムフォロア７４が前記前半部
７３ｂの下面に当接した状態で位置決めされる。前記チ
ルトシャフト６６の回転角も前記カムレバー６８の姿勢
により決定されるので、前記カセットグリッパ６７は前
記カムフォロア７４が下方に変位した分だけ、時計方向
に回転し若干傾斜する。この傾斜角は、カセット１０を
水平搬送した場合に被処理基板がカセットから脱落しな
い角度、例えば４°とする。

【００６２】前記搬送モータ６１を更に駆動し、前記ス
ライダ５８を介して前記スライド基板６３を左方に移動
すると、前記カムフォロア７４が前半部７３ｂを移動し
ている間は、前記カセットグリッパ６７の前記傾斜角が
維持される。

【００６３】前記カムフォロア７４が前記後半部７３ｃ
に至ると、前記カム溝７３の下面は下方に突出した突曲
面となっているので、前記カムフォロア７４が前記カム
溝７３の下面を転動することで、前記カムレバー６８の
傾斜角が増大し、前記リンクロッド７１、チルトレバー
６９、チルトシャフト６６を介して前記カセットグリッ
パ６７の傾斜角も増大する。該カセットグリッパ６７の
傾斜角は前記後半部７３ｃでの突曲面の変曲点（図３で
は後半部７３ｃの中央）で最大となり、この最大の傾斜
角はカセット１０内で被処理基板が重力で滑る角度、例
えば３０°とする。

【００６４】前記カムフォロア７４が前記後半部７３ｃ
の変曲点を越えると、突曲面に沿って上方に変位し、前
記カムレバー６８、リンクロッド７１、チルトレバー６
９、チルトシャフト６６を介して前記カムレバー６８は
半時計方向に回転され、カセットグリッパ６７の傾斜角
は減少する。

【００６５】前記カムフォロア７４が前記後端部７３ｄ
に嵌合すると、前記カセットグリッパ６７は水平状態と
なる（図１、図３中実線で示す状態）。

【００６６】前記カセットグリッパ６７を図１、図３中
右方に移動させる場合は、前記チルト切換えシリンダ７
６に圧縮空気を供給して伸張させ、前記カムレバー６８
に反時計方向の力を付勢し、前記カムフォロア７４をカ
ム溝７３の上面側の水平な倣い面に当接させる。この状
態で、前記搬送モータ６１を駆動する。搬送モータ６１
は前記スクリューロッド５９を前記回転とは逆の方向に
回転させ、前記スライダ５８を介して前記スライド基板
６３を図１、図３中右方に移動させる。

【００６７】該スライド基板６３の右方への移動中、前
記カムレバー６８には前記チルト切換えシリンダ７６に
より反時計方向に付勢され、前記カムフォロア７４はカ
ム溝７３の上面に当接する。該カム溝７３の上面は水平
であるので、前記カセットグリッパ６７は水平状態が維
持されて、ホーミングポジション迄移動する。

【００６８】即ち、前記チルト切換えシリンダ７６を縮
短状態とした場合、前記カセットグリッパ６７の移動に
は傾斜動が伴い、前記チルト切換えシリンダ７６を伸張
状態（駆動した状態）とした場合は、前記カセットグリ
ッパ６７の移動については水平が維持される。尚、前記
カムフォロア７４が下面側の倣い面を倣動する様にする
には、前記カセットグリッパ６７、カセット１０の自重
を利用し、前記チルト切換えシリンダ７６は自由状態と
し、或は更にスプリングでカムフォロア７４を下面側の
倣い面に当接させる様にしてもよい。

【００６９】図５〜図８により、前記カセットグリッパ
６７の作動について説明する。

【００７０】前記ロータリシリンダ７８の自由状態で
は、前記グリップ片８５が開放された状態であり、左右
の前記グリップ片８５の下端の間隔はカセット１０の幅
より大きくなっている。

【００７１】前記カセットグリッパ６７でカセット１０
を保持する場合は、該カセット１０の上面が前記カセッ
トグリッパ６７の下面に当接し、更に前記ロータリシリ
ンダ７８が前記回転板７９を図６中反時計方向の回転す
る。前記回転板７９の回転は前記連結ロッド８１により
前記グリップ片８５に伝達され、該グリップ片８５を閉
方向に回転する。前記グリップ片８５が前記耳部３８を
挾持し、前記カセット１０はカセットグリッパ６７に保
持される。尚、前記グリップ片８５は弾性材であるの
で、前記耳部３８を挾持した場合の衝撃を干渉し、又挾
持状態で所要量撓む様にしておけば、安定した保持力が
得られる。

【００７２】前記受渡しステージ部８８の作動につい
て、図１、図２により説明する。

【００７３】前記昇降シリンダ９３の伸縮により、前記
ロッド９４を介して前記昇降軸９１が昇降し、前記昇降
ステージ５４が昇降する。前記昇降ステージ５４の上昇
位置は前記ストッパ９７が前記ロッド９９の下端に当接
した状態で決定される。又、前記ロッド９９は前記昇降
ステージ位置決めシリンダ９８の伸縮により、位置が変
更され、前記昇降ステージ５４の上昇位置は前記ロッド
９９の伸張時、短縮時の２位置となる。

【００７４】尚、前記昇降軸９１の短縮動で前記ストッ
パ９７が前記ロッド９９に当接し、前記連結基板９２、
昇降ステージ５４等が停止するが、当接時の衝撃は前記
圧縮スプリング９６が圧縮されることで吸収される。

【００７５】図９を参照して前記カセット授受部１６に
搬入されたカセット１０が、カセット授受部１６と前記
カセットローダ１３との間で搬送される作動について説
明する。

【００７６】前記昇降ステージ５４が降下し、前記カセ
ットグリッパ６７が前記カセット授受部１６の直下に在
る状態が、ホーミングポジションである（図９
（Ａ））。

【００７７】前記チルト切換えシリンダ７６を伸張方向
に駆動した状態で、前記搬送モータ６１を駆動し、前記
カセットグリッパ６７を左方に移動する。前記カセット
受載台２５を降下させ、前記カセット１０を引出す（図
９（Ｂ））。

【００７８】前記チルト切換えシリンダ７６を伸張方向
に駆動し、前記カセットグリッパ６７の水平を維持した
状態で前記搬送モータ６１を駆動して前記カセットグリ
ッパ６７をカセット１０の直上迄移動する（図９
（Ｃ））。

【００７９】前記カセット受載台２５を上昇させ、前記
カセット１０をカセットグリッパ６７の下面に当接さ
せ、前記ロータリシリンダ７８を駆動して前記グリップ
片８５によりカセット１０の耳部３８を挾持する。前記
カセット受載台２５を降下させる（図９（Ｄ）
（Ｅ））。

【００８０】前記チルト切換えシリンダ７６を縮短方向
に駆動し、前記カムフォロア７４が下面側の倣い面に沿
って転動する様にする。前記搬送モータ６１を駆動して
前記カセットグリッパ６７を図中左方に移動させる。前
記カムフォロア７４が前半部７３ｂを移動中は、前記カ
セット１０、カセットグリッパ６７の自重及びカム溝７
３の形状により、前記カセットグリッパ６７、前記カセ
ット１０は若干傾き（図９（Ｆ））、前記カムフォロア
７４が後半部７３ｃを移動中はカセット１０の傾斜角は
漸次増大し、次に漸次減少する。カム溝下面の変曲点で
カセット１０の傾斜角は最大となり、カセット１０内の
被処理基板が整列される（図９（Ｇ））。

【００８１】前記カムフォロア７４が前記後端部７３ｄ
に至ると前記カセット１０が昇降ステージ５４の直上と
なり、又前記カセット１０は水平となる（図９
（Ｈ））。

【００８２】前記昇降シリンダ９３により昇降ステージ
５４を上昇させ、前記カセットグリッパ６７はカセット
１０を開放する（図９（Ｉ））。

【００８３】前記昇降ステージ位置決めシリンダ９８を
伸張させ、前記昇降ステージ５４を受渡し位置迄下降さ
せる（図９（Ｊ））。前記チルト切換えシリンダ７６を
駆動した状態で、前記カセットグリッパ６７を前記カセ
ット授受部１６迄移動させる（図９（Ｋ））。

【００８４】前記カセットローダ１３を動作させ、前記
カセットハンドラ１５によりカセット１０を保持する
（図９（Ｌ））。前記カセットローダ１３により、前記
下段カセットラック１１、上段カセットラック１２、予
備カセットラック１４の所要の収納位置にカセット１０
を移載する。

【００８５】前記下段カセットラック１１、上段カセッ
トラック１２、予備カセットラック１４から前記カセッ
ト授受部１６にカセット１０を搬送する場合は、上記搬
送と逆の作動により行われる。

【００８６】尚、上記実施の形態に於いて、カム溝７３
内をカムフォロア７４が転動する様にしたが、カムプレ
ート７２自体の上面を曲面、下面を水平面とし、カムプ
レート７２を挾む様に上下一対のカムフォロア７４を設
け、前記チルト切換えシリンダ７６により上下のカムフ
ォロア７４を択一的に前記カムプレート７２の上面下面
に当接する様にしてもよい。又、チルト切換えシリンダ
７６はロータリシリンダであってもよい。更に、前記ロ
ータリシリンダ７８はソレノイド或は伸縮シリンダであ
ってもよい。又、カセット１０がカセットホルダ２１に
収納された状態で搬送される基板処理装置について述べ
たが、カセット１０単体で搬送される基板処理装置につ
いても実施可能であることは言う迄もない。

【００８７】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、カセッ
トを搬送する過程でカセットを傾斜させるチルト機能を
有するカセット搬送部を具備する基板処理装置に於い
て、前記カセット搬送部が水平移動するスライド基板
と、該スライド基板に傾動可能に設けられカセットを保
持可能なカセットグリッパと、前記スライド基板に回転
自在に設けられ前記カセットグリッパと連動するカムレ
バーと、前記スライド基板と対向して設けられ、水平面
である倣い面と曲面を具備する倣い面とを有するカムプ
レートと、前記カムレバーがいずれか一方の倣い面に倣
って移動し、前記カムレバーを倣い面のいずれか一方に
択一的に倣わせる切換え手段とを具備しているので、カ
セット搬送過程でチルト機能が発揮され、カセットの搬
送動作とチルト動作とを同時に行うことができ、動作時
間を短縮でき、スループットの向上を図れ、又チルトさ
せる為の駆動機構を独立して設ける必要がないので、構
造が簡潔化しコストの低減が図れる。

【００８８】又、前記スライド基板の左右両側に延出す
るチルトシャフトを回転自在に設け、該チルトシャフト
の両端部にカセットグリッパを設け、前記チルトシャフ
トとカムレバーとを連動可能とした構成であるので、１
組の搬送機構と１組のチルト機構で２組のカセットの搬
送動作と、チルト動作を行わせることができるので、構
造が著しく簡潔化し、コストの低減が図れる。

【００８９】更に又、フレームの基板にスライド基板が
水平移動可能に設けられ、該スライド基板の左右両側に
延出するチルトシャフトを回転自在に設け、該チルトシ
ャフトの両端部にカセットグリッパを設け、前記チルト
シャフトとカムレバーとを連動可能とし前記スライド基
板を挾み２本のロッドが昇降可能に設けられ、該ロッド
先端にそれぞれ昇降ステージが設けられると共に前記ロ
ッドの下端側で連結した構成であるので、受渡しステー
ジ部とカセット搬送部とを一体化でき、受渡しステージ
部とカセット搬送部との相関位置調整が容易となり、又
受渡しステージ部とカセット搬送部とを筐体とは独立し
て組立て調整できると共に関連する電装品をフレーム内
に実装でき、作業性、保守性が格段に向上するという種
々の優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の要部を示す図２のＡ矢視
図である。

【図２】同前本発明の実施の形態の要部を示す立断面図
である。

【図３】本実施の形態に係るカセット搬送部の要部側面
図であり、図４のＢ矢視図である。

【図４】本実施の形態に係るカセット搬送部の要部正面
図である。

【図５】本実施の形態に係るカセットグリッパの平断面
図である。

【図６】図５のＣ−Ｃ矢視図である。

【図７】図５のＤ−Ｄ矢視図である。

【図８】図５のＥ−Ｅ矢視図である。

【図９】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）（Ｆ）（Ｇ）
（Ｈ）（Ｉ）（Ｊ）（Ｋ）（Ｌ）は本発明の実施の形態
の作動の説明図である。

【図１０】基板処理装置の全体の概略を示す側面図であ
る。

【図１１】従来の基板処理装置のカセット搬送部及びそ
の関連を示す側面図である。

【図１２】従来のカセット搬送部の背面図である。

【図１３】従来のカセット搬送部の要部を示す側面図で
ある。

【図１４】従来のカセット搬送部の要部を示す背面図で
ある。

【図１５】従来の基板処理装置のカセット搬送部の作動
状態及びその関連を示す側面図である。

【図１６】従来の基板処理装置のカセット搬送部の作動
状態及びその関連を示す側面図である。

【図１７】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）（Ｆ）
（Ｇ）（Ｈ）（Ｉ）（Ｊ）（Ｋ）（Ｌ）は従来のカセッ
ト搬送部の作動を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 筐体 ４ 縦型炉 ５ ボートエレベータ ７ 基板移載機 １０ カセット １３ カセットローダ １５ カセットハンドラ １６ カセット授受部 １７ カセット搬送部 ５１ 台車フレーム ５２ 基板 ５３ カセット搬送部 ５４ 昇降ステージ ６３ スライド基板 ６６ チルトシャフト ６７ カセットグリッパ ６８ カムレバー ７２ カムプレート ７６ チルト切換えシリンダ ７８ ロータリシリンダ ８８ 受渡しステージ部 ９１ 昇降軸 ９２ 連結基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柳川 秀宏 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 (72)発明者 武内 努 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 DA01 DA09 FA03 FA09 FA11 FA15 FA18 GA19 GA32 GA38 GA46 GA47 GA48 GA50 KA02 KA17 LA12 LA15

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットを搬送する過程でカセットを傾
   斜させるチルト機能を有するカセット搬送部を具備する
   基板処理装置に於いて、前記カセット搬送部が水平移動
   するスライド基板と、該スライド基板に傾動可能に設け
   られカセットを保持可能なカセットグリッパと、前記ス
   ライド基板に回転自在に設けられ前記カセットグリッパ
   と連動するカムレバーと、前記スライド基板と対向して
   設けられ、水平面である倣い面と曲面を具備する倣い面
   とを有するカムプレートと、前記カムレバーがいずれか
   一方の倣い面に倣って移動し、前記カムレバーを倣い面
   のいずれか一方に択一的に倣わせる切換え手段とを具備
   したことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 前記スライド基板の左右両側に延出する
   チルトシャフトを回転自在に設け、該チルトシャフトの
   両端部にカセットグリッパを設け、前記チルトシャフト
   とカムレバーとを連動可能とした請求項１の基板処理装
   置。
3. 【請求項３】 フレームの基板にスライド基板が水平移
   動可能に設けられ、該スライド基板の左右両側に延出す
   るチルトシャフトを回転自在に設け、該チルトシャフト
   の両端部にカセットグリッパを設け、前記チルトシャフ
   トとカムレバーとを連動可能とし、前記スライド基板を
   挾み２本のロッドが昇降可能に設けられ、該ロッド先端
   にそれぞれ昇降ステージが設けられると共に前記ロッド
   の下端側で連結した請求項１の基板処理装置。