JP6313957B2 - 基板ケース分離合体装置及び基板ケース洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、RSP-150型レチクル用のSMIF（Standard of Mechanical Interface）ポッドのように、基板（レチクル）を保持するベース（ポッドベース）と該ベースを覆うように当該ベースと結合するカバー（ポッドカバー）とロック機構とを有する基板ケースにおける前記ベースと前記カバーとを分離及び合体させる基板ケース分離合体装置、及びそのような基板ケース分離合体装置を用いた基板ケース洗浄装置に関する。

RSP-150型レチクル用のSMIFポッド（基板ケース）は、例えば、図１Ａ〜図１Ｄに示す構造のベース１０（ポッドベース）と、図２Ａ〜図２Ｄに示す構造のカバー２０（ポッドカバー）とによって構成される。なお、図１Ａはベース１０の表側の構造を示す平面図であり、図１Ｂはベース１０の図１Ａにおける方向Ａから見た構造を示す図であり、図１Ｃはベース１０の図１Ａにおける方向Ｂから見た構造を示す図であり、図１Ｄはベース１０の裏側の構造を示す平面図である。また、図２Ａはカバー２０の表側の構造を示す平面図であり、図２Ｂはカバー２０の図２Ａにおける方向Ａから見た構造を示す図であり、図２Ｃはカバー２０の図２Ａにおける方向Ｂから見た構造を示す図であり、図２Ｄはカバー２０の裏側の構造を示す平面図である。

図１Ａ〜図１Ｄにおいて、プラスチック製のベース１０は、矩形板状のベース本体１１を有している。ベース本体１１には、その一辺に沿って２つの基板支持部材１２ａ、１２ｂが所定の間隔にて設けられ、前記一辺に対向する辺に沿って他の２つの基板支持部材１２ｃ、１２ｄが設けられている。また、ベース本体１１の４つの基板支持部材１２ａ〜１２ｄが沿う２つの辺に挟まれた１辺に沿って２つのストッパ片１３ａ、１３ｂが設けられている。矩形状の基板Ｒ（レチクル：フォトマスク）は、１つの縁端が２つのストッパ片１３ａ、１３ｂに突き当たった状態で４つの基板支持部材１２ａ〜１２ｄによって支持されるようにしてベース１０に保持される。

ベース本体１１の前記２つのストッパ片１３ａ、１３ｂが沿う辺の端面に当該端面側と裏面側との双方に開放する２つの弓形状の係止凹部１４ａ、１４ｃ（係止部）が形成されるとともに、ベース本体１１の前記辺と対向する辺の端面に当該端面側と裏面側との双方に開放する２つの弓形状の係止凹部１４ｂ、１４ｄ（係止部）が形成されている。また、ベース本体１１の３つの所定部に係合孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃが形成されている。

図２Ａ〜図２Ｄにおいて、プラスチック製のカバー２０は、矩形椀状のカバー本体２１を有している。カバー本体２１の裏側において、矩形状に囲む外壁２１ａと矩形状に囲む内壁２１ｂとの間に溝２８が形成されており（図２Ｄ参照）、内壁２１ｂの内方に収容空間が形成されている。カバー本体２１（外壁２１ａ）の上部のそれぞれ対向する部位には、側方に突出する鍔部２２ａ、２２ｂが形成されている。なお、カバー本体２１（外壁２１ａ）の上面中央部位には、持ち運び等に利用されるハンドル２７が設けられている。このハンドル２７は、実際には構造体によってカバー本体２１（外壁２１ａ）と一体化されているが、図面ではその構造体は省略されている（以下、同様）。

また、カバー本体２１の裏側において、特に図２Ｄに示すように、カバー本体２１の周縁部の外壁２１ａと内壁２１ｂとの間に形成された矩形状の溝２８の所定辺部分の略中央に基端部２３ａが形成されるとともに、その溝２８の前記所定辺部に対向する辺部分の略中央にも基端部２３ｂが形成されている。一方の基端部２３ａから両側に板バネ機能を有する板状腕部２４ａ、２４ｃが延びており、他方の基端部２３ｂからも両側に板バネ機能を有する板状腕部２４ｂ、２４ｄが延びている。各板状腕部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの先端に動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ（動作部）が設けられており、各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、対応する板状腕部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの板バネ機能によって、常時、内壁２１ｂの内方に向けて付勢された状態にある。そして、このように付勢された状態の各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５に対して当該付勢に抗した外壁２１ａの外方に向かう力が作用すると、各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、基端部２３ａ、２３ｂを支点とした対応する板状腕部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの搖動及び撓みにより、外壁２１ａの外方に向けて動作し得る。各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄには、カバー本体２１の裏面に対して垂直な方向に貫通する孔２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄが形成されている。

なお、図示されてはいないが、外壁２１ａ及び内壁２１ｂそれぞれの各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄに対応した部位には、切欠きが形成されている。これにより、各基端部２３ａ、２３ｂを支点にした各板状腕部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの搖動及び撓みにより、各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは、外壁２１ａ及び内壁２１ｂによって妨げられることなく、所定の範囲内で往復動可能である。

図３Ａに示すように、前述したような構造のベース１０（図１Ａ〜図１Ｄ参照）に、前述したような構造のカバー２０（図２Ａ〜図２Ｄ参照）をかぶせるようにして、ベース１０とカバー２０とを合体させることにより基板ケース１（RSP-150型レチクル用のポッド）が形成される。ベース１０とカバー２０とが合体した状態の基板ケース１では、図３Ｂに示すように、ケース本体２１の内壁２１ｂの内側にベース本体１１が嵌まり込んで、カバー２０がベース１０を覆う。この状態で、カバー本体２１に設けられた各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが、ベース本体１１に形成された係止凹部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄに係止され、ベース本体１１が４つの動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄによって挟み込まれた状態で、ベース本体１１（ベース１０）とカバー本体２１（カバー２０）とが結合固定（合体）される。

一方、前記各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄを、対応する板状腕部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄによる付勢に抗して、外壁２１ａの外方に動かすことにより、各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄの係止凹部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄによる係止が解除され、ベース本体１１（ベース１０）とカバー本体２１（カバー２０）とが分離可能な状態になる。

上述したように、基板ケース１は、基板Ｒを保持するベース１０と、そのベース１０を覆うように結合するカバー２０とを備え、更に、カバー２０側に設けられた板状腕部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄにより付勢された動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ（動作部）と、ベース本体１１（ベース１０）に形成された係止凹部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ（係止部）とによって構成されるロック機構を備える。そのロック機構では、各動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが、係止凹部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄに係止されるロック位置と、係止凹部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄによる係止が解除されるアンロック位置との間で動作可能である。

ところで、従来、ポッド本体部（ベース１０に対応）とポッド蓋部（カバー２０に対応）とを合体したポッド（基板ケース１に対応）を洗浄する装置が提案されている（特許文献１参照）。この装置では、ロボットが、ポッドをポッド本体部とポッド蓋部とに分離して洗浄室内に搬送する一方、洗浄乾燥後において洗浄室からポッド蓋部とポッド本体を逆の順序にて元の位置まで戻し、ポッド蓋部にポッド本体部を合体させてポッドを組立てる。

特開２００５−１０９５２３号公報

しかしながら、上記従来の装置では、RSP-150型レチクル用のSMIFポッドのようにロック機構を備えた基板ケース１（図１Ａ〜図３Ｂ参照）の分離及び合体については考慮されていない。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、RSP-150型レチクル用のSMIFポッドのようにロック機構を備えた基板ケースのベースとカバーとを確実に分離及び合体させることのできる基板ケース分離合体装置を提供するものである。

また、本発明は、そのような基板ケース分離合体を用いた基板ケース洗浄装置を提供するものである。

本発明に係る基板ケース分離合体装置は、基板を保持するベースと、該ベースを覆うように当該ベースと結合するカバーと、相互に結合された前記ベースと前記カバーとを固定するロック状態と、前記ベースと前記カバーとが分離可能となるアンロック状態とのいずれかの状態になるロック機構とを有する基板ケースにおける前記ベースと前記カバーとを分離および合体させる基板ケース分離合体装置であって、前記ロック機構を前記ロック状態または前記アンロック状態にさせるロック動作機構と、前記ロック動作機構が、結合された前記ベースと前記カバーとを固定すべく前記ロック状態にある前記ロック機構をアンロック状態にさせたときに、前記ベースと前記カバーとを分離させる分離機構と、前記ロック機構が前記アンロック状態にあって相互に分離した前記ベースと前記カバーとを結合させる結合機構とを有し、前記結合機構によって前記ベースと前記カバーとが結合されたときに、前記ロック動作機構が、前記アンロック状態にある前記ロック機構をロック状態にして、結合された前記ベースと前記カバーとを固定し、前記ロック機構は、前記カバー及び前記ベースのいずれか一方に設けられて、前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作可能であり、上記ロック状態の位置に向けて付勢された状態の動作部と、前記カバー及び前記ベースのうちの前記動作部が設けられていない一方に設けられて、前記ロック状態の位置にある前記動作部を係止する係止部とを有し、前記ロック動作機構は、前記動作部に係合し、前記動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させ、更に、前記ロック動作機構は、前記動作部に形成された孔に嵌るピンと、前記動作部が前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作するように、前記孔に嵌ったピンを往復動させる駆動機構とを有し、前記駆動機構は、一端に前記ピンが固定されたアーム部材と、該アーム部材を動作させるアクチュエータとを有し、前記アーム部材は、Ｌ字状に結合した第１アーム部と第２アーム部とを有し、該第１アーム部と該第２アーム部との結合部を中心にして搖動可能であり、前記ピンが前記第１アーム部の端部に設けられ、前記アクチュエータが前記第２アーム部を動作させることによって前記結合部を中心に前記第１アーム部及び前記第２アーム部を搖動させる構成となる。

このような構成により、ロック動作機構が、結合されたベースとカバーとを固定すべくロック状態にあるロック機構をアンロック状態させると、前記ベースと前記カバーとが分離可能な状態になり、分離機構が前記ベースと前記カバーとを分離させる。また、結合機構は、ロック機構がアンロック状態にあって相互に分離した前記ベースと前記カバーとを結合させ、その後、ロック動作機構が前記アンロック状態にある前記ロック機構をロック状態にする。これにより、結合された前記ベースと前記カバーとが固定（合体）される。そして、ベースとケースとが相互に結合した状態で、ロック動作機構が、動作部が係止部に係止されるように当該動作部をロック状態の位置に動作させると、それらベースとケースとが固定（合体）される。一方、前記ロック動作機構が、前記動作部の前記係止部による係止が解除されるように当該動作部をアンロック状態の位置に動作させると、前記ベースと前記ケースとが分離可能な状態になる。そして、駆動機構がロック機構の動作部に形成された孔に嵌ったピンを往復動させると、そのピンの動きによって、前記動作部が、係止部に係止されるロック状態の位置と前記係止部による係止が解除されたアンロック状態の位置との間で動作する。そして、アクチュエータによるアーム部材の動作により、ロック機構の動作部に形成された孔に嵌ったピンが往復動する。そして、そのピンの動きによって、前記動作部が、係止部に係止されるロック状態の位置と前記係止部による係止が解除されたアンロック状態の位置との間で動作する。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記ロック機構は、前記カバー及び前記ベースのいずれか一方に設けられて、前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作可能であり、上記ロック状態の位置に向けて付勢された状態の動作部と、前記カバー及び前記ベースのうちの前記動作部が設けられていない一方に設けられて、前記ロック状態の位置にある前記動作部を係止する係止部とを有し、前記ロック動作機構は、前記動作部に係合し、前記動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させる構成とすることができる。

このような構成により、ベースとケースとが相互に結合した状態で、ロック動作機構が、動作部が係止部に係止されるように当該動作部をロック状態の位置に動作させると、それらベースとケースとが固定（合体）される。一方、前記ロック動作機構が、前記動作部の前記係止部による係止が解除されるように当該動作部をアンロック状態の位置に動作させると、前記ベースと前記ケースとが分離可能な状態になる。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記カバーを保持するカバー保持部材を有し、前記ロック動作機構は、前記カバー保持部材に保持された前記カバーに設けられた動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させる構成とすることができる。

このような構成により、カバー保持部材に保持されたカバーとベースとが結合した状態において、ロック動作機構が、前記カバーに設けられた動作部が前記ベースに設けられた係止部に係止されるように当該動作部をロック状態の位置に動作させると、それらベースとカバーとが固定（合体）される。一方、動作部が係止部に係止されてロック機構がロック状態にあってカバー保持部材に保持されたカバーとベースとが固定されている状態において、ロック動作機構が、前記動作部の前記係止部による係止が解除されるように当該動作部をアンロック状態の位置に動作させると、前記ベースと前記ケースとが分離可能な状態になる。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記ベースを保持するベース保持部材と、該ベース保持部材を搬送する第１搬送機構とを有し、前記分離機構は、前記第１搬送機構が、前記ロック機構が前記ロック状態にあって前記カバーと結合固定された前記ベースを保持する前記ベース保持部材を、前記カバーが前記カバー保持部材に保持される位置に搬送し、前記ロック動作機構が前記ロック機構を前記アンロック状態にして前記ベースと前記カバーとが分離可能な状態となったときに、前記ベースが前記カバー保持部材に保持される前記カバーから分離される方向に前記ベース保持部材を移動させるベース移動分離機構を有する構成とすることができる。

このような構成により、第１搬送機構が、ロック機構がロック状態にあってカバーと結合固定されたベースを保持する前記ベース保持部材を、前記カバーが前記カバー保持部材に保持される位置に搬送し、ロック動作機構が前記ロック機構を前記アンロック状態にして前記ベースと前記カバーとが分離可能な状態になると、ベース移動分離機構が、前記ベースが前記カバー保持部材に保持される前記カバーから分離される方向に前記ベース保持部材を移動させる。これにより、前記ベース保持部材に保持された前記ベースと、前記カバー保持部材に保持されたカバーとが分離される。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記結合機構は、前記カバー保持部材に保持された前記カバーと、前記第１搬送機構により搬送される前記ベース保持部材に保持されたベースとが分離しているときに、前記ベースを前記カバー保持部材に保持されている前記カバーに結合するように前記ベース保持部材を移動させるベース移動結合機構を有する構成とすることができる。

このような構成により、カバー保持部材に保持されたカバーと、第１搬送機構によって搬送されるベース保持部材に保持されたベースとが分離しているときに、ベース移動結合機構が、前記ベース保持部材を、前記ベースが前記カバー保持部材に保持されたカバーに結合するように、移動させる。これにより、前記カバー保持部材に保持されたカバーと前記ベース保持部材に保持されたベースとが結合される。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記ロック動作機構は、前記動作部に形成された孔に嵌るピンと、前記動作部が前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作するように、前記孔に嵌ったピンを往復動させる駆動機構とを有する構成とすることができる。

このような構成により、駆動機構がロック機構の動作部に形成された孔に嵌ったピンを往復動させると、そのピンの動きによって、前記動作部が、係止部に係止されるロック状態の位置と前記係止部による係止が解除されたアンロック状態の位置との間で動作する。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記駆動機構は、一端に前記ピンが固定されたアーム部材と、該アーム部材を動作させるアクチュエータとを有する構成とすることができる。

このような構成により、アクチュエータによるアーム部材の動作により、ロック機構の動作部に形成された孔に嵌ったピンが往復動する。そして、そのピンの動きによって、前記動作部が、係止部に係止されるロック状態の位置と前記係止部による係止が解除されたアンロック状態の位置との間で動作する。

前記アーム部材は、Ｌ字状に結合された第１アーム部と第２アーム部とを有し、該第１アーム部と該第２アーム部との結合部を中心にして搖動可能であり、前記ピンが前記第１アーム部の端部に設けられ、前記アクチュエータが前記第２アーム部を動作させることによって前記結合部を中心に前記第１アーム部及び前記第２アーム部を搖動させる構成とすることができる。

本発明に係る基板ケース分離合体装置において、前記ベース保持部材に設けられ、前記ベースを吸着保持する吸着パッドを有する構成とすることができる。

このような構成により、ベース保持部材に載置されるベースが吸着パッドにより吸着保持されるので、前記ベース保持部材に前記ベースを確実に保持することができる。

また、本発明に係るケース分離合体装置において、前記ベース保持部材に設けられ、当該ベース保持部材に前記ベースが保持されているか否かを検出するベース検出器を有する構成とすることができる。

このような構成により、ベース検出器によりベース保持部にベースが保持されているか否かが検出されるので、ベースが保持されていないベース保持部材を、第１搬送機構が搬送したり、ベース移動分離機構あるいはベース移動結合機構が移動させたりする無駄な動作を防止することができる。

本発明に係るケース分離合体装置において、前記カバーから分離され、前記ベース保持部材に保持された前記ベースに前記基板が保持されているか否かを検出する基板検出器を有する構成とすることができる。

このような構成により、ベース保持部材に保持されているベースに基板が保持されているか否かが検出されるので、そのベースに基板が保持されているか否かに応じて、その後の前記ベースを保持したベース保持部材の動作（搬送、移動）の態様を変えることができる。

本発明に係る基板ケース洗浄装置は、前述したいずれかの基板ケース分離合体装置と、前記ベースと前記カバーとを分離された状態で洗浄する洗浄器と、前記基板ケース分離合体装置の前記分離機構によって分離された前記カバーと前記ベースとを個別的に順次前記洗浄器に搬送し、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースと前記カバーとを個別的に順次前記基板ケース分離合体装置に搬送供給する第２搬送機構とを有する構成となる。

このような構成により、ベースとカバーとが結合固定（合体）した基板ケースが基板ケース分離合体装置によって前記ベースとカバーとに分離されると、第２搬送装置が、それら前記カバーと前記ベースとを個別的に順次洗浄器に搬送する。洗浄器は、第２搬送機構によって搬送された前記カバーと前記ベースとを分離された状態で洗浄する。その後、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースと前記カバーとは第２搬送機構によって個別的に順次前記基板ケース分離合体装置に搬送供給される。当該基板ケース分離合体装置は、第２搬送機構によって供給搬送された前記ベースと前記カバーとを結合固定（合体）させる。

本発明に係る基板ケース洗浄装置において、特に、前記基板ケース分離合体装置が、前記ベースを保持するベース保持部材と、該ベース保持部材を搬送する第１搬送機構とを有し、前記分離機構は、前記第１搬送機構が、前記ロック機構が前記ロック状態にあって前記カバーと結合固定された前記ベースを保持する前記ベース保持部材を、前記ケースが前記ケース保持部に保持される位置に搬送し、前記ロック動作機構が前記ロック機構を前記アンロック状態にして前記ベースと前記カバーとが分離可能な状態となったときに、前記ベースが前記カバー保持部材に保持される前記カバーから分離される方向に前記ベース保持部材を移動させるベース移動分離機構を有する構成となる場合、前記第２搬送機構は、前記ベース移動分離機構によって分離されて前記カバー保持部材に保持された前記カバーと、前記ベース保持部材に保持された前記ベースとを個別的に順次前記洗浄器に搬送する構成とすることができる。

この場合、ベース移動分離機構によって、ケース保持部材に保持されたケースからベース保持部材に保持されたベースが分離されると、第２搬送機構が、前記カバー保持部材に保持された前記カバーを、また、前記ベース保持部材に保持された前記ベースを、それぞれ個別的に順次洗浄器に搬送する。

また、前記第２搬送機構は、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースを前記ベース保持部材に搬送供給し、前記洗浄器によって洗浄された前記カバーを前記カバー保持部材に搬送供給し、前記ベース移動結合機構が、前記ベースを前記カバー保持部材に保持されている前記カバーに結合するように前記ベース保持部材を移動させる構成とすることができる。

この場合、第２搬送機構が、洗浄器によって洗浄された前記ベースと前記カバーとを個別的に前記基板ケース分離合体装置の前記ベース保持部材と前記カバー保持部材に搬送供給すると、ベース移動結合機構が、前記ベース保持部材を移動させて当該ベース保持部材に保持された前記ベースを前記カバー保持部材に保持されたカバーに結合させる。

本発明に係る基板分離合体装置によれば、RSP-150型レチクル用のSMIFポッドのように、基板を保持するベースと、該ベースを覆うように当該ベースと結合するカバーと、相互に結合された前記ベースと前記カバーとを固定するロック状態と、前記ベースと前記カバーとが結合分離可能となるアンロック状態とのいずれかの状態になるロック機構とを有する基板ケースにおける前記ベースと前記カバーとを確実に分離及び合体させることができる。

基板ケース（RSP-150型レチクル用のSMIFパッド）におけるベースの表側の構造を示す平面図である。 ベースの図１Ａにおける方向Ａから見た構造を示す図である。 ベースの図１Ａにおける方向Ｂから見た構造を示す図である。 ベースの裏側の構造を示す平面図である。 基板ケース（RSP-150型レチクル用のSMIFパッド）におけるカバーの表側の構造を示す平面図である。 カバーの図２Ａにおける方向Ａから見た構造を示す図である。 カバーの図２Ａにおける方向Ｂから見た構造を示す図である。 カバーの裏側の構造を示す平面図である。 カバーをベースに結合させる状態を示す図である。 カバーとベースとが結合固定（合体）された状態の基板ケースの裏側の構造を示す平面図である。 本発明に係る基板ケース分離合体装置を含む基板ケース洗浄装置を上方から見た構造を示す平面図である。 基板ケース洗浄装置の図４Ａの方向Ａから見た構造を示す図である。 基板ケース洗浄装置の図４の方向Ｂから見た構造を示す図である。 基板ケース洗浄装置の図４の方向Ｃから見た構造を示す図である。 ロードポートにおけるケース支持プレートを示す平面図である。 ベース保持プレートを示す平面図である。 ベース保持プレートの支持する構造を示す図である。 ロック動作機構を表側から見た構造を示す平面図である。 ロック動作機構を裏側から見た構造を示す平面図である。 ロック動作機構を図７Ａの方向Ａから見た構造を示す図である。 ロック動作機構の動作状態を示す平面図である。 基板ケースの分離過程（その１）を示す平面図である。 基板ケースの分離過程（その２）を示す側面図である。 基板ケースの分離過程（その２）を示す平面図である。 基板ケースの分離過程（その２）を示す側面図である。 基板ケースの分離過程（その３）を示す側面図である。 基板ケースの分離過程（その４）を示す平面図である。 基板ケースの分離過程（その４）を示す側面図である。 基板ケースの分離過程（その５）を示す側面図である。 基板ケースのカバーが第１カバー保持プレート及び第２カバー保持プレートにセットされた状態のロック動作機構を裏側から見た構造を示す平面図である。 基板ケースのカバーが第１カバー保持プレート及び第２カバー保持プレートにセットされた状態で動作したロック動作機構を裏側から見た構造を示す平面図である。 基板ケースの分離過程（その６）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その１）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その１）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その２）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その２）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その３）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その３）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その４）を示す側面図である。 ベースに基板が保持されているか否かを検出するための構成を示す平面図である。 ベースに基板が保持されているか否かを検出するための構成を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その５）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その５）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その６）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器への搬送過程（その６）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器からの搬送過程（その１）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器からの搬送過程（その１）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器からの搬送過程（その２）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの洗浄器からの搬送過程（その２）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの合体過程（その１）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの合体過程（その１）を示す側面図である。 分離されたケースとベースとの合体過程（その２）を示す平面図である。 分離されたケースとベースとの合体過程（その２）を示す平面図である。

本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

本発明の実施の一形態に係る基板ケース分離合体装置を用いた基板ケース洗浄装置は、図４Ａ〜図４Ｄに示すように構成されている。この基板ケース洗浄装置１００は、前述したように、図１Ａ〜図１Ｄに示すベース１０（ポッドベース）と図２Ａ〜２Ｄに示すカバー２０（ポッドカバー）とからなる基板ケース１（RSP-150レチクル用のSMIFポッド）を洗浄する。なお、図４Ａは、基板ケース洗浄装置１００を上方から見た構造を示す図であり、図４Ｂは、基板ケース洗浄装置１００の図４Ａの方向Ａから見た構造を示す図であり、図４Ｃは、基板ケース洗浄装置１００の図４Ａの方向Ｂから見た構造を示す図であり、図４Ｄは、基板ケース洗浄装置１００の図４の方向Ｃから見た構造を示す図である。

図４Ａ〜図４Ｄにおいて、基板ケース洗浄装置１００は、処理ブース１０１、投入ブース１０２及び制御装置１０３を有している。投入ブース１０２と処理ブース１０１とは、開口１０５（図４Ｂ参照）を介して連通している。開口１０５は、処理ブース１０１内での処理中にはシャッター（図示略）によって閉鎖され、処理ブース１０１内のクリーン度合が所定のレベルに維持される。

投入ブース１０２には、開口１０５に対向してロードポート１１０がある。ロードポート１１０には、支持脚によって支持固定されたケース載置プレート１１１が設けられている。ケース載置プレート１１１上には、ベース１０とカバー２０とが合体した（結合固定された）状態の基板ケース１が載置される。

処理ブース１０１には、投入ブース１０２側から順次、分離合体ポート１２０、バッファーポート１４０及び洗浄器１８０がそれぞれ所定の間隔をもって配列されている。レール１６１が、投入ブース１０２側のロードポート１１０から延びて開口１０５を通り、処理ブース１０１内の分離合体ポート１２０及びバッファーポート１４０を通過するように敷設されている。このレール１６１の処理ブース１０１側の端部には駆動機構１６２が設けられている。これらレール１６１と駆動機構１６２によって第１搬送機構１６０が構成される。レール１６１上には、移動台１５５が往復動可能に設けられており、制御装置１０３の制御に基づいた駆動機構１６２の動作によって移動台１５５がレール１６１上を移動する。このように第１搬送機構１６０（レール１６１及び駆動機構１６２）によって搬送される移動台１５５には、後に詳述するように、ベース保持プレート１５１が搭載されている。

洗浄器１８０は、洗浄槽１８１及び蓋１８３を有している。洗浄槽１８１内には、基板ケース１のベース１０とカバー２０とを個別的に支持する支持部材１８２が設けられている。また、蓋１８３の内面には、特に、ベース１０を支持するベース用支持部材１８４が設けられている。この洗浄器１８０では、支持部材１８２にベース１０とカバー２０とが別々に支持された状態で蓋１８３が閉鎖され、洗浄槽１８１内でベース１０とカバー２０とを分離した状態で洗浄することができる。また、洗浄槽１８１内の支持部材１８２にカバー２０が支持され、蓋１８３のベース用支持部材１８４にベース１０が支持された状態で蓋１８３が閉鎖され、洗浄槽１８１内でベース１０とカバー２０とを分離した状態で洗浄することもできる。洗浄器１８０での各種の動作は制御装置１０３の制御のもと実行される。

処理ブース１０１内には、更に、第２搬送機構１７０が設けられている。第２搬送機構１７０は、前述した第１搬送機構１６０のレール１６１と平行に配置される水平レール１７１と、上下方向に延びる昇降レール１７４とを有している。水平レール１７１は、スタンド１７２に支持固定されている。第２搬送機構１７０は、更に、水平レール１７１上を往復動可能に設けられた第１移動ブロック１７３を有し、第１移動ブロック１７３に昇降レール１７４が固定されている。これにより、昇降レール１７４は、垂直方向に延びる姿勢を維持しつつ水平レール１７１に沿って往復動可能になる。昇降レール１７４上には第２移動ブロック１７５が昇降動可能に設けられている。第２移動ブロック１７５には、把持機構１７６が固定されている。これにより、把持機構１７６は、昇降動とともに前述したレール１６１と平行な水平動が可能になる。

把持機構１７６は、駆動機構１７６ａと動作機構１７６ｂとを有し、動作機構１７６ｂに２つの把持ハンド１７７ａ、１７７ｂが固定されている。駆動機構１７６ａにより動作機構１７６ｂが動作することにより、把持ハンド１７７ａ、１７７ｂが所定の把持動作を行う。２つの把持ハンド１７７ａ、１７７ｂは、後述するように、ベース１０（図１Ａ〜図１Ｄ参照）の対向する縁端を挟んで把持することが可能であり、また、カバー２０（図２Ａ〜図２Ｄ参照）の鍔部２２ａ、２２ｂを挟んで把持することも可能である。

前述した第２搬送機構１７０における第１移動ブロック１７３、第２移動ブロック１７５、把持機構１７６の駆動機構１７６ａは、制御装置１０３の制御のもと所定の動作を行う。

投入ブース１０２のロードポート１１０に設けられたケース載置プレート１１１は、図５に示すように構成される。

図５において、ケース載置プレート１１１は、矩形状のプレートを一方の縁端側からくり抜いて逃げ凹部１１３が形成された略コ字状の形状を有している。ケース載置プレート１１１には、逃げ凹部１１３を囲むように、４つのコーナー係止片１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄが固定されている。４つのコーナー係止片１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ、１１２ｄは、基板ケース１においてベース１０を覆うカバー２０の４つのコーナー部を係止できるように配置されている。ロードポート１１０において、ケース載置プレート１１１は、逃げ凹部１１３がレール１６１に重なるように配置される。逃げ凹部１１３の幅は、レール１６１上で往復動可能な移動台１５５に搭載されたベース保持プレート１５１の幅より僅かに大きい。

ベース保持プレート１５１（ベース保持部材）は、図６Ａに示すように構成される。図６Ａにおいて、ベース保持プレート１５１は、五角形状の金属製プレートで形成され、表面の所定位置に３つの吸着パッド１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃが設けられるとともに、その表面に基板ケース１のベース１０が保持されているか否かを検出するベース検出器１５３が設けられている。また、五角形の先端に係止ピン１５４ａが設けられ、その係止ピン１５４ａに対向する辺の両端部に係止ピン１５４ｂ、１５４ｃが設けられている。

上述したベース保持プレート１５１は、図６Ｂに示すように、レール１６１上に往復動可能に設けられた移動台１５５に搭載される。移動台１５５には、エアーシリンダ１５６が、そのロッドが上下方向に進退動するように、固定されている。エアーシリンダ１５６の先端部には連結ブロック１５７が固定されており、その連結ブロック１５７に、上述したベース保持プレート１５１が、移動台１５５に平行となるように、また、３つの吸着パッド１５２ａ〜１５２ｃ、ベース検出器１５３及び３つの係止ピン１５４ａ〜１５４ｃが上方を向くように、固定されている。エアーシリンダ１５６によるロッドの進退動によりベース保持プレート１５１が昇降動する。エアーシリンダ１５６の動作は制御装置１０３により制御される。

なお、３つの吸着パッド１５２ａ〜１５２ｃには、吸気用のパイプ（図示略）及び開放用のパイプ（図示略）が結合しており、前記吸気用のパイプを通して吸気がなされ、前記開放用のパイプを通してエアーの割り込みによる大気への開放がなされるようになっている。また、前記吸気用のポンプや吸気及び開放の切換えのためのアクチュエータの動作は、制御装置１０３により制御される。

分離合体ポート１２０には、図４Ａとともに図７Ａに拡大して示すように、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２保持プレート１２１ｂの２つのカバー保持プレート（カバー保持部材）が設けられている。第１カバー保持プレート１２１ａと第２カバー保持プレート１２２ａとは、レール１６１を挟んでその両側に所定の間隔をもって配置されている。第１カバー保持プレート１２１ａと第２カバー保持プレート１２１ｂとの間隔は、レール１６１上を往復動する移動台１５５（図６Ｂ参照）に搭載されたベース保持プレート１５１（図６Ａ参照）の幅より僅かに大きい。

また、第１カバー保持プレート１２１ａには、レール１６１と平行に並ぶように２つのコーナー係止片１２２ａ、１２２ｂが設けられ、第２カバー保持プレート１２１ｂにも、レール１６１と平行に並ぶように２つのコーナー係止片１２２ｃ、１２２ｄが設けられている。４つのコーナー係止片１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２の位置関係は、第１カバー保持プレート１２１ａと第２カバー保持プレート１２１ｂとのそれぞれに縁部が支持された基板ケース１のカバー２０の４つのコーナー部がそれら４つのコーナー係止部１２２ａ〜１２２ｄに係止されるように決められる。

分離合体ポート１２０において、図７Ａ〜図７Ｃに示すように、第１カバー保持プレート１２１ａの裏側には第１ロック動作機構１３０ａが設けられ、また、第２カバー保持プレート１２１ｂの裏側には第２ロック動作機構１３０ｂが設けられている。

図７Ａ〜図７Ｃにおいて、第１ロック動作機構１３０ａは、エアーシリンダ１３５ａ、連結ブロック１３６ａ及び２つのＬ字状のアーム部材１３１ａ、１３１ｂを有している。エアーシリンダ１３５ａは、第１カバー保持プレート１２１ａの長手方向の略中央部に配置され、エアーシリンダ１３５ａのロッドの先端部に固定される連結ブロック１３６ａの両側にアーム部材１３１ａ、１３１ｂが連結されている。各アーム部材１３１ａ、１３１ｂは、第１アーム部１３１１ａ、１３１１ｂと第２アーム部１３１２ａ、１３１２ｂとがＬ字状に結合された構造となっている。Ｌ字状の各アーム部材１３１ａ、１３１ｂは、第１アーム部１３１１ａ、１３１１ｂが第１カバー保持プレート１２１ａから対向する第２カバー保持プレート１２１ｂに向けて突出するとともに、第２アーム部１３１２ａ、１３１２ｂが第１カバー保持プレート１２１ａの第２カバー保持プレート１２１ｂに対向する縁線に沿うように配置されている。

Ｌ字状の各アーム部材１３１ａ、１３１ｂは、第１アーム部１３１１ａ、１３１１ｂと第２アーム部１３１２ａ、１３１２ｂとの結合部分が第１カバー保持プレート１２１ａの裏面から突出した支軸１３２ａ、１３２ｂによって回動自在に軸支され、支軸１３２ａ、１３２ｂを中心に搖動可能である。各アーム部材１３１ａ、１３１ｂの第１アーム部１３１１ａ、１３１１ｂの端部には、第１カバー保持プレート１２１ａの表側に向けて突出するピン１３４ａ、１３４ｂが設けられている。また、第２アーム部１３１２ａ、１３１２ｂの端部は、連結ピン１３３ａ、１３３ｂによって連結ブロック１３６ａに回動自在に連結されている。

第２カバー保持プレート１２１ｂに設けられた第２ロック動作機構１３０ｂも、第１アーム部１３１１ｃ、１３１１ｄ及び第２アーム部１３１２ｃ、１３１２ｄにより構成される２つのアーム部材１３１ｃ、１３１ｄ、ピン１３４ｃ、１３４ｄ、エアーシリンダ１３５ａ、連結ブロック１３６ｂ、及び支軸１３２ｃ、１３２ｄによって、前述した第１ロック動作機構１３０ｂと同様に構成されている。

第１ロック動作機構１３０ａでは、エアーシリンダ１３５ａの動作によりロッドに固定された連結ブロック１３６ａが進出すると、図８に示すように、その進出動が連結ピン１３３ａ、１３３ｂを介してＬ字状の各アーム部材１３１ａ、１３１ｂに伝達し、各アーム部材１３１ａ、１３１ｂは、支軸１３２ａ、１３２ｂを中心に角度αだけ外方に向けて搖動する。これにより、一方のＬ字状のアーム部材１３１ａ（第１アーム部１３１１ａ：図７Ｂ参照）の先端部に設けられたピン１３４ａと、他方のＬ字状のアーム部材１３１ｂ（第１アーム部１３１１ｂ：図７Ｂ参照）の先端部に設けられたピン１３４ｂとの間隔が広がる。一方、エアーシリンダ１３５ａの動作によりロッドに固定された連結ブロック１３６ａが後退して初期位置に戻ると、図７Ｂに示すように、２つのＬ字状の各アーム部材１３１ａ、１３１ｂは初期状態に戻り、一方のアーム部材１３１ａの先端部に設けられたピン１３４ａと、他方のアーム部材１３１ｂの先端部に設けられたピン１３４ｂとの間隔が狭くなって元の状態に戻る。

第２ロック動作機構１３０ｂにおいて、第１ロック動作機構１３０ａの場合と同様（図８参照）に、エアーシリンダ１３５ｂによるロッドに固定された連結ブロック１３６ｂの進出により、２つのＬ字状のアーム部材１３１ｃ、１３１ｄが支軸１３２ｃ、１３２ｄを中心に搖動し、それら２つのアーム部材１３１ｃ、１３１ｄの先端部に設けられたピン１３４ｃと１３４ｄとの間隔が広がる。一方、エアーシリンダ１３５ｂの動作によりロッドに固定された連結ブロック１３６ｂが後退して初期位置に戻ると、第１ロック動作機構１３０ａの場合と同様（図７Ｂ参照）に、Ｌ字状の各アーム部材１３１ｃ、１３１ｄは初期状態に戻り、アーム部材１３１ｃの先端部に設けられたピン１３４ｃと、アーム部材１３１ｄの先端部に設けられたピン１３４ｄとの間隔が狭くなって元の状態に戻る。

第１ロック動作機構１３０ａのエアーシリンダ１３５ａ及び第２ロック動作機構１３０ｂのエアーシリンダ１３５ｂそれぞれの動作は、制御装置１０３によって制御される。

なお、分離合体ポート１２０に設けられた第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂには、発光素子５１及び受光素子５２で構成され、基板ケース１のベース１０に基板Ｒが保持されているか否かを光学的に検出する基板検出器が設けられている（図４Ａ参照）。なお、以下の図面においては、発光素子５１及び受光素子５２で構成される基板検出器の動作説明の際に参照する図（図２１Ａ、図２１Ｂ）以外の図においては、その図示を省略している。

バッファーポート１４０には、分離合体ポート１２０と同様に、２つのカバー保持プレート１４１ａ、１４１ｂが設けられ、これら２つのカバー保持プレート１４１ａ、１４１ｂに合計で４つのコーナー係止片が設けられている。バッファーポート１４０では、基板ケース１のカバー２０の４つのコーナー部が前記４つのコーナー係止片に係止された状態で、当該カバー２０（基板ケース１）が２つのカバー保持プレート１４１ａ、１４１ｂに保持される。このバッファーポート１４０を利用することにより、ベース１０とカバー２０とが合体した状態の基板ケース１を処理ブース１０１内に一時的に待機させておくことができる。

上述したような構造の基板ケース洗浄装置１００においては、次のようにして基板ケース１の洗浄が行われる。なお、基板ケース洗浄装置１００の各部の動作は、予めセットされたプログラムに従って制御装置１０３によって制御される。

作業者、あるいは、ロボットによって、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、カバー２０がベース１０を覆うようにして当該ベース１０に結合固定（合体）された状態の使用済みの基板ケース１が投入ブース１０２のケース載置プレート１１１上に載置される。この状態で、制御装置１０３での制御に基づいた動作が開始する。

まず、第１搬送機構１６０（レール１６１及び駆動機構１６２）によって搬送される移動台１５５に搭載されたベース保持プレート１５１が処理ブース１０１から開口１０５を通って、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、ロードポート１１０のケース載置プレート１１１に近づく。そして、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、移動台１５５は、ベース保持プレート１５１がケース載置プレート１１１に載置された基板ケース１のベース１０に逃げ凹部１１３を通して対向する位置で停止する。

このようにベース保持プレート１５１が基板ケース１のベース１０に対向した状態で、移動台１５５に設けられたエアーシリンダ１５６のロッドの進出により、連結ブロック１５７を介して該ロッドと一体となるベース保持プレート１５１が上昇する。そして、ベース保持プレート１５１に設けられた３つの係止ピン１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃが、基板ケース１のベース１０に形成された３つの係合孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃに嵌まり込み、吸気用のパイプを介した吸気がなされつつ３つの吸着パッド１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃがベース１０の裏面に吸着する。これにより、カバー２０と合体したベース１０（基板ケース１）がベース保持プレート１５１上に確実に保持される。

このとき、ベース検出器１５３からの検出信号に基づいて制御装置１０３は、ベース保持プレート１５１にベース１０が保持されたか否かを判定する。ベース保持プレート１５１にベース１０が保持されていないと判定すると、制御装置１０３は、警報ランプの点灯、警報メッセージの表示、各種動作の停止、ベース保持プレート１５１の所定位置への退避動作等、所定の動作を行わせる。

制御装置１０３が、ベース保持プレート１５１にベース１０が保持されていることを確認すると、図１１に示すように、エアーシリンダ１５６のロッドの進出動作により、ベース保持プレート１５１が上昇され、それに伴って、カバー２０とベース１０とが一体となる基板ケース１が、ケース載置プレート１１１から離れる。この状態で、第１搬送機構１６０（レール１６１及び駆動機構１６２）は、レール１６１上の移動台１５５を移動させ、投入ブース１０２から開口１０５を通して処理ポート１０１内の分離合体ポート１２０に向けて搬送する。その後、開口１０５は、シャッターにより閉鎖される。

そして、レール１６１上を移動する移動台１５５に搭載されたベース保持プレート１５１が分離合体ポート１２０に到達し、図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、第１カバー保持プレート１２１ａと第２カバー保持プレート１２１ｂの上方にベース１０とカバー２０とが合体した状態の基板ケース１が位置付けられる。この状態で、移動台１５５に設けられたエアーシリンダ１５６のロッドの後退によって、ベース保持プレート１５１が下降する。そして、ベース保持プレート１５１に保持されるベース１０に合体したカバー２０が、図１３に示すように、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持される。このとき、カバー２０の４つのコーナー部は、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに設けられた４つのコーナー係止片１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄに係止される（位置決めされる）。

このようにカバー２０が第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに位置決めされた状態で、図１４に示すように、第１ロック動作機構１３０ａの２つのアーム部材１３１ａ、１３１ｂの先端に設けられたピン１３４ａ、１３４ｂが、カバー２０に設けられたロック機構における動作凸片２５ａ、２５ｂの孔２６ａ、２６ｂに嵌る。また、第２ロック動作機構１３０ｂの２つのアーム部材１３１ｃ、１３１ｄの先端に設けられたピン１３４ｃ、１３４ｄも、カバー２０に設けられたロック機構における動作凸片２５ｃ、２５ｄの孔２６ｃ、２６ｄに嵌る。

そして、第１ロック動作機構１３０ａ及び第２ロック動作機構１３０ｂのエアーシリンダ１３５ａ、１３５ｂが作動してロッドに固定された連結ブロック１３６ａ、１３６ｂが進出する。すると、図１５に示すように、第１ロック動作機構１３０ａにおける２つのＬ字状のアーム部材１３１ａ、１３１ｂが支軸１３２ａ、１３２ｂを中心に互いに外向きに搖動し、第２ロック動作機構１３０ａにおける２つのＬ字状のアーム部材１３１ｃ、１３１ｄが支軸１３２ｃ、１３２ｄを中心に互いに外向きに搖動する。第１ロック動作機構１３０ａにおいて、上記のような２つのＬ字状のアーム部材１３１ａ、１３１ｂの搖動によって、２つのピン１３４ａ、１３４ｂが、それらの間隔が広くなるように移動すると、それらピン１３４ａ、１３４ｂの動きによって、ベース１０側の係止凹部１４ａ、１４ｂに係止されてロック位置にある動作凸片２５ａ、２５ｂが、図１５に示すように、板状腕部２４ａ、２４ｂによる付勢に抗して外方に移動し、係止凹部１４ａ、１４ｂとの係止が解除されてアンロック位置に至る。また、第２ロック動作機構１３０ｂにおいても、同様に、２つのＬ字状のアーム部材１３１ｃ、１３１ｄに設けられた２つのピン１３４ｃ、１３４ｄが、それらの間隔が広くなるように移動すると、ベース１０側の係止凹部１４ｃ、１４ｄに係止されてロック位置にある動作凸片２５ｃ、２５ｄが、板状腕部２４ｃ、２４ｄによる付勢に抗して外方に移動し、係止凹部１４ｃ、１４ｄとの係止が解除されてアンロック位置に至る。これにより、基板ケース１におけるロック機構がロック状態からアンロック状態になって、ベース１０とカバー２０とが分離可能な状態になる。

この状態で、図１６に示すように、移動台１５５に設けられたエアーシリンダ１５６のロッドの後退によって、ベース保持プレート１５１が最下位位置まで下降する。これにより、カバー２０が第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持された状態を維持しつつ、ベース保持プレート１５１に保持されたベース１０が下降して、カバー２０から分離される（分離機構（ベース移動分離機構）としての動作）。

その後、図１７Ａに示すように、第１ロック動作機構１３０ａ及び第２ロック動作機構１３０ｂが動作して基板ケース１のロック機構がアンロック状態（図１５参照）に維持された状態で、第２搬送機構１７０が作動する。第２搬送機構１７０は、水平レール１７１上の第１移動ブロック１７３を移動させるとともに、昇降レール１７４上の第２移動ブロック１７５を昇降動させることにより、第２移動ブロック１７５に設けられた把持機構１７６の一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂが、図１７Ｂに示すように、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持されたカバー２０の一対の鍔部２２ａ、２２ｂに対向するように位置づけられる。

そして、図１８Ａに示すように、第１ロック動作機構１３０ａ及び第２ロック動作機構１３０ｂにおける各エアーシリンダ１３５ａ、１３５ｂのロッドの後退動作により、各Ｌ字状のアーム部材１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄが搖動復帰して元の状態に戻ると、カバー２０のロック機構における４つの動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄがロック位置に復帰する（図２Ｄ参照）。この状態で、第２搬送機構１７０が動作して把持機構１７６の一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂが、図１８Ｂに示すように、カバー保持部Ｐｃａ、Ｐｃｂが鍔部２２ａ、２２ｂに係止された状態で、カバー２０を挟み込んで把持する。そして、第２搬送機構１７０は、水平レール１７１上の第１移動ブロック１７３を移動させるとともに、昇降レール１７４上の第２移動ブロック１７５を昇降動させることにより、一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂに把持されたカバー２０を搬送して洗浄槽１８１内の支持部材１８２に位置付ける。そして、把持機構１７６が把持ハンド１７７ａ、１７７ｂによるカバー２０の把持を解除すると、カバー２０が洗浄槽１８１の支持部材１８２の所定部位にて支持される。

なお、図１８Ｂにおいて、本来図示すべき移動台１５５及びエアーシリンダ１５６を含むベース保持プレート１５１を支持して移動させる機構については図示することが省略されている。以下、同様に、各図において、ベース保持プレート１５１を支持して移動させる機構を図示することは省略されている。

上述したように、カバー２０が第２搬送機構１７０によって洗浄槽１８１（洗浄器１８０）に搬送されてしまうと、分離合体ポート１２０の第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂの下方に、図１９Ａ及び図１９Ｂに示すように、ベース保持プレート１５１に保持されたたベース１０がその内部（４つの基板支持部材１２ａ〜１２ｂ及び２つのストッパ片１３ａ、１３ｂ）を露出した状態で残る。その後、図２０に示すように、ベース保持プレート１５１が、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂの高さを越えた所定の高さまで上昇させられる（エアーシリンダ１５６のロッドの進出動作による）。

この状態で、図２１Ａ及び図２１Ｂに示すように、第１カバー保持プレート１２１ａに設けられた発光素子５１からの光の受光の有無に基づいた第２カバー保持プレート１２１ｂに設けられた受光素子５２からの検出信号に基づいて制御装置１０３は、ベース１０に基板Ｒが保持されているか否かを判定する。ベース１０に基板Ｒが保持されていると判定すると、制御装置１０３は、警報ランプの点灯、警報メッセージの表示、各種動作の停止、ベース保持プレート１５１の所定の位置への退避動作等、所定の動作を行わせる。

制御装置１０３が、ベース１０に基板Ｒが保持されていないことを確認すると、第２搬送機構１７０が動作し、第１移動ブロック１７３が水平レール１７１上を移動するとともに、第２移動ブロック１７５が昇降レール１７４上を昇降動することにより、第２移動ブロック１７５に設けられた把持機構１７６の一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂが、図２２Ａ及び図２２Ｂに示すように、ベース保持プレート１５１に保持されたベース１０の縁端部に対向するように位置づけられる。

そして、第２搬送機構１７０が動作して、把持機構１７６の一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂが、図２３Ａ及び図２３Ｂに示すように、ベース保持部Ｐｂａ、Ｐｂｂがベース１０の縁端部に係止された状態で、ベース１０を挟んで把持する。このとき、ベース保持プレート１５１に設けられた吸着パッド１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃに対する吸気用のパイプを介した吸気が遮断されるとともに、開放用のパイプを介して大気に開放されることにより、ベース保持プレート１５１からベース１０が分離し易い状態になる。この状態で、第２搬送機構１７０は、再び、水平レール１７１上の第１移動ブロック１７３を移動させるとともに、昇降レール１７４上の第２移動ブロック１７５を昇降動させることにより、一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂに把持されたカベース１０をベース保持プレート１５１から引き離して洗浄槽１８１まで搬送し、洗浄槽１８１内の支持部材１８２に位置付ける。そして、把持機構１７６が把持ハンド１７７ａ、１７７ｂによるカバー２０の把持を解除すると、ベース２０が洗浄槽１８１の支持部材１８２の前述したカバー２０が把持された部位と異なる所定部位にて支持される。

その後、第２搬送装置１７０は、把持機構１７６（一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂを含む）を所定の退避位置まで移動させる。

上述したようにして基板ケース１０のカバー２０及びベース１０が個別的に洗浄槽１８１に投入されて支持部材１８２に支持された状態になると、蓋１８３が閉じられ、洗浄液が注入されて、洗浄槽１８１内でカバー２０及びベース１０が分離した状態で洗浄される。洗浄槽１８１内での洗浄が完了すると、洗浄槽１８１内では、カバー１０及びベースの乾燥処理が行われる。

なお、ベース１０は、蓋１８３の内面に設けられたベース用支持部材１８４にセットすることもできる。この場合、蓋１８３を閉じることにより、ベース１０が洗浄槽１８１内に位置するようになり、洗浄槽１８１内にてベース１０が洗浄される。

洗浄槽１８１内にてカバー２０及びベース１０の洗浄及び乾燥が完了すると、洗浄槽１８１内から、投入された順番と逆の順番、即ち、ベース１０及びカバー２０の順番にて、それらベース１０及びカバー２０が洗浄槽１８１から搬出される。

具体的には、第２搬送機構１７０の動作により、一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂに把持されたベース１０が、洗浄槽１８１から搬出され、図２３Ａ及び図２３Ｂに示すように、分離合体ポート１２０の第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂの上方で待機しているベース保持プレート１５１まで搬送される。ベース１０がベース保持プレート１５１に置かれると、ベース保持プレート１５１に設けられた３つの係止ピン１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃが、ベース１０の３つの係合孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃに嵌まり込み、吸気用のパイプを介した吸気によって３つの吸着パッド１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃがベース１０の裏面に吸着する。

このようにしてベース１０がベース保持プレート１５１に保持されると、第２搬送機構１７０は、把持機構１７６（把持ハンド１７７ａ、１７７ｂ）によるベース１０の把持を解除する。そして、ベース保持プレート１５１が、エアーシリンダ１５６（図１６等参照）のロッドの後退により、図２４Ａ及び図２４Ｂに示すように、ベース１０が、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持されるカバー２０に正常に結合できる高さより僅かに低い位置まで下降する。

その後、第２搬送機構１７０の動作により、一対の把持ハンド１７７ａ、１７７ｂに把持されたカバー２０が、洗浄槽１８１から搬出され、図２５Ａ及び図２５Ｂに示すように、分離合体ポート１２０の第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂまで搬送される。カバー２０は、その４つのコーナー部が第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに設けられた４つのコーナー係止片１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄに係止され、第２カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２２ｂに確実に保持された状態になる。このとき、ベース１０は、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持されたカバー２０に正常に結合できる高さより僅かに低い位置にあるので、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持されたカバー２０と、ベース保持プレート１５１に保持されたカバー１０との間には隙間がある。

カバー２０が第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに置かれると、第１ロック動作機構１３０ａの２つのアーム部材１３１ａ、１３１ｂの先端に設けられたピン１３４ａ、１３４ｂが、カバー２０に設けられたロック機構における動作凸片２５ａ、２５ｂの孔２６ａ、２６ｂに嵌る（図２５Ａとともに図１４参照）。また、第２ロック動作機構１３０ｂの２つのアーム部材１３１ｃ、１３１ｄの先端に設けられたピン１３４ｃ、１３４ｄも、カバー２０に設けられたロック機構における動作凸片２５ｃ、２５ｄの孔２６ｃ、２６ｄに嵌る（図２５Ａとともに図１４参照）。そして、第１ロック動作機構１３０ａ及び第２ロック動作機構１３０ｂのエアーシリンダ１３５ａ、１３５ｂが作動してロッドに固定された連結ブロック１３６ａ、１３６ｂが進出すると、図２６Ａ及び図２６Ｂ（図１５参照）に示すように、第１ロック動作機構１３０ａにおける２つのＬ字状のアーム部材１３１ａ、１３１ｂが支軸１３２ａ、１３２ｂを中心に互いに外向きに搖動し、第２ロック動作機構１３０ａにおける２つのＬ字状のアーム部材１３１ｃ、１３１ｄが支軸１３２ｃ、１３２ｄを中心に互いに外向きに搖動する。これにより、カバー２０に設けられたロック機構の４つの動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄがアンロック位置になる。

この状態で、エアーシリンダ１５６のロッドの進出により、図２７Ｂに示すように、ベース保持プレート１５１が上昇し、ベース保持プレート１５１に保持されたベース１０が第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持されたカバー２０に結合する（結合機構（ベース移動結合機構）としての動作）。そして、図２７Ａ（図１４参照）に示すように、第１ロック動作機構１３０ａ及び第２ロック動作機構１３０ｂのエアーシリンダ１３５ａ、１３５ｂが動作してロッドに固定された連結ブロック１３６ａ、１３６ｂが後退すると、４つのアーム部材１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｃが元の状態に戻り、カバー２０に設けられたロック機構の動作凸片２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄがベース１０側の係止凹部１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄに係止されてロック状態になる。これにより、ベース１０とカバー２０とは合体（結合固定）される。

このようにしてベース１０とカバー２０とが合体されると（図２７Ａ、図２７Ｂ参照）。把持ハンド１７７ａ、１７７ｂによるカバー２０の鍔部２２ａ、２２ｂに対する把持が解除され、第２搬送機構１７０は、把持機構１７６（把持ハンド１７７ａ、１７７ｂを含む）を所定の待機位置まで移動させる。この状態で、ベース保持プレート１５１は、第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂに保持されたカバー２０に合体（結合固定）されたベース１０を保持している（図１３に示す状態）。その後、移動台１５５に設けられたエアーシリンダ１５６の進出によりベース保持プレート１５１が、図１２Ｂに示すように、上昇し、基板ケース１（ベース１０及びカバー２０）が第１カバー保持プレート１２１ａ及び第２カバー保持プレート１２１ｂの上方に維持された状態となる。

この状態で、処理ブース１０１と投入ブース１０２との間の開口１０５のシャッターが開けられ、第１搬送機構１３０は、レール１６１上の移動台１５５を分離合体ポート１２０からロードポート１１０に向けて移動させる。これにより、ベース１０とカバー２０とが合体した状態の基板ケース１が分離合体ポート１２０からロードポート１１０に搬送される。そして、ロードポート１１０において、ベース保持プレート１５１に設けられた吸着パッド１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｂに対する吸気が遮断されるとともに開放用のパイプを介して大気への開放がなされ、移動台１５５のエアーシリンダ１５６のロッドが後退することによりベース保持プレート１５１が下降すると、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、ベース保持プレート１５１からベース１０（基板ケース１）が離れ、基板ケース１は、ケース載置プレート１１１上に置かれる。作業者又はロボットは、ケース載置プレート１１１上に置かれた洗浄済みでベース１０とカバー２０とが合体された状態の基板ケース１を回収場所に運ぶことができる。

上述したような基板ケース洗浄装置１００に適用される基板ケース分離合体装置によれば、RSP-150型レチクル用のSMIFポッドのようにロック機構（図２Ｄ、図３Ｂ参照）を備えた基板ケース１のベース１０とカバー２０とを確実に分離及び合体させることができる。

そして、基板ケース洗浄装置１００によれば、RSP-150型レチクル用のSMIFポッドのようにロック機構（図２Ｄ、図３Ｂ参照）を備えた基板ケース１のベース１０とカバー２０とを分離させて個別的に洗浄し、洗浄されたベース１０及びカバー２０を合体させた基板ケース１として回収することを効率的に行うことができる。

なお、ロック動作機構（第１ロック動作機構１３０ａ、第２ロック動作機構１３０ｂ）は、基板ケース１に設けられるロック機構に応じて適宜変更することができる。また、分離機構及び結合機構についても、上述した例（分離合体ポート１２０において動作する移動台１５５に設けられたエアーシリンダ１５６）に限定されることなく、適宜変更することができる。

なお、ベース１０とカバー２０とが洗浄槽１８１（洗浄器１８０）で洗浄されている間に、第１搬送機構１６０を動作させることにより、投入ブース１０２のロードポート１１０におけるケース載置プレート１１１に載置された次の基板ケース１を処理ブース１０１内のバッファーポート１４０に搬送して、ケース２０をケース保持部材１４１ａ、１４１ｂに保持させた状態で、当該基板ケース１をバッファーポート１４０に待機させておくことができる。この場合、前述したように洗浄済みのベース１０とカバー２０とが合体された状態の基板ケース１が処理ブース１０１から排出されてロードポート１１０に戻された後に、第１搬送機構１６０の動作によってバファーポート１４０に待機している次の基板ケース１が分離合体ポート１２０に移される。そして、前述したようにして当該次の基板ケース１のベース１０とケース２０との分離、洗浄、及び合体がなされる。

このようにバッファーポート１４０を利用して基板ケース１の分離、洗浄及び合体を行うことにより、スループットを落とすことなく、全体の処理を行うことができる。

また、洗浄済みの基板ケース１がロードポート１１０から回収されない状況において、洗浄済みのベース１０とカバー２０とが合体した状態の基板ケース１を待機させておくためにバッファーポート１４０を利用することもできる。

１ 基板ケース
１０ ベース
１１ ベース本体
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ 基板支持部材
１３ａ、１３ｂ ストッパ片
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ 係止凹部
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ 係合孔
２０ カバー
２１ カバー本体
２２ａ、２２ｂ 鍔部
２３ａ、２３ｂ 基端部
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ 板状腕部
２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ 動作凸片
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ 孔
２７ ハンドル
５１ 発光素子
５２ 受光素子
１０１ 処理ブース
１０２ 投入ブース
１０３ 制御装置
１１０ ロードポート
１１１ ケース載置プレート
１２０ 分離合体ポート
１２１ａ 第１ケース保持プレート
１２１ｂ 第２ケース保持プレート
１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、１２２ｄ コーナー係止片
１３０ａ 第１ロック動作機構
１３０ｂ 第２ロック動作機構
１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ、１３１ｄ アーム部材
１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ、１３２ｄ 支軸
１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ、１３３ｄ 連結ピン
１３４ａ、１３４ｂ、１３４ｃ、１３４ｄ ピン
１３５ａ、１３５ｂ エアーシリンダ
１３６ａ、１３６ｂ 連結ブロック
１４０ バッファーポート
１４１ａ、１４１ｂ カバー保持プレート
１５１ ベース保持プレート
１５２ａ、１５２ｂ、１５２ｃ 吸着パッド
１５３ ベース検出器
１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃ 係止ピン
１５５ 移動台
１５６ エアーシリンダ
１５７ 連結ブロック
１６０ 第１搬送機構
１６１ レール
１６２ 駆動機構
１７０ 第２移動機構
１７１ 水平レール
１７２ スタンド
１７３ 第１移動ブロック
１７４ 昇降レール
１７５ 第２移動ブロック
１７６ 把持機構
１７６ａ 駆動機構
１７６ｂ 動作機構
１７７ａ、１７７ｂ 把持ハンド
１８０ 洗浄器
１８１ 洗浄槽
１８２ 支持部材
１８３ 蓋
１８４ ベース用支持部材

Claims (10)

1. 基板を保持するベースと、該ベースを覆うように当該ベースと結合するカバーと、相互に結合された前記ベースと前記カバーとを固定するロック状態と、前記ベースと前記カバーとが分離可能となるアンロック状態とのいずれかの状態になるロック機構とを有する基板ケースにおける前記ベースと前記カバーとを分離および合体させる基板ケース分離合体装置であって、
   前記ロック機構を前記ロック状態または前記アンロック状態にさせるロック動作機構と、
   前記ロック動作機構が、結合された前記ベースと前記カバーとを固定すべく前記ロック状態にある前記ロック機構をアンロック状態にさせたときに、前記ベースと前記カバーとを分離させる分離機構と、
   前記ロック機構が前記アンロック状態にあって相互に分離した前記ベースと前記カバーとを結合させる結合機構とを有し、
   前記結合機構によって前記ベースと前記カバーとが結合されたときに、前記ロック動作機構が、前記アンロック状態にある前記ロック機構をロック状態にして、結合された前記ベースと前記カバーとを固定し、
   前記ロック機構は、前記カバー及び前記ベースのいずれか一方に設けられて、前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作可能であり、上記ロック状態の位置に向けて付勢された状態の動作部と、
   前記カバー及び前記ベースのうちの前記動作部が設けられていない一方に設けられて、前記ロック状態の位置にある前記動作部を係止する係止部とを有し、
   前記ロック動作機構は、前記動作部に係合し、前記動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させ、
   更に、前記ロック動作機構は、前記動作部に形成された孔に嵌るピンと、
   前記動作部が前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作するように、前記孔に嵌ったピンを往復動させる駆動機構とを有し、
   前記駆動機構は、一端に前記ピンが固定されたアーム部材と、
   該アーム部材を動作させるアクチュエータとを有し、
   前記アーム部材は、Ｌ字状に結合した第１アーム部と第２アーム部とを有し、該第１アーム部と該第２アーム部との結合部を中心にして搖動可能であり、
   前記ピンが前記第１アーム部の端部に設けられ、前記アクチュエータが前記第２アーム部を動作させることによって前記結合部を中心に前記第１アーム部及び前記第２アーム部を搖動させる、基板ケース分離合体装置。
2. 前記カバーを保持するカバー保持部材を有し、
   前記ロック動作機構は、前記カバー保持部材に保持された前記カバーに設けられた動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させる、請求項１記載の基板ケース分離合体装置。
3. 前記ベースを保持するベース保持部材と、
   該ベース保持部材を搬送する第１搬送機構とを有し、
   前記分離機構は、前記第１搬送機構が、前記ロック機構が前記ロック状態にあって前記カバーと結合固定された前記ベースを保持する前記ベース保持部材を、前記カバーが前記カバー保持部材に保持される位置に搬送し、前記ロック動作機構が前記ロック機構を前記アンロック状態にして前記ベースと前記カバーとが分離可能な状態となったときに、前記ベースが前記カバー保持部材に保持される前記カバーから分離される方向に前記ベース保持部材を移動させるベース移動分離機構を有する請求項２記載の基板ケース分離合体装置。
4. 前記結合機構は、前記カバー保持部材に保持された前記カバーと、前記第１搬送機構により搬送される前記ベース保持部材に保持されたベースとが分離しているときに、前記ベースを前記カバー保持部材に保持されている前記カバーに結合するように前記ベース保持部材を移動させるベース移動結合機構を有する請求項３記載の基板ケース分離合体装置。
5. 前記ベース保持部材に設けられ、前記ベースを吸着保持する吸着パッドを有する請求項３または４記載の基板ケース分離合体装置。
6. 前記ベース保持部材に設けられ、当該ベース保持部材に前記ベースが保持されているか否かを検出するベース検出器を有する請求項３乃至５のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置。
7. 前記カバーから分離され、前記ベース保持部材に保持された前記ベースに前記基板が保持されているか否かを検出する基板検出器を有する請求項３乃至６のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置。
8. 請求項１乃至６のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置と、
   前記ベースと前記カバーとを分離された状態で洗浄する洗浄器と、
   前記基板ケース分離合体装置の前記分離機構によって分離された前記カバーと前記ベースとを個別的に順次前記洗浄器に搬送し、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースと前記カバーとを個別的に順次前記基板ケース分離合体装置に搬送供給する第２搬送機構とを有する基板ケース洗浄装置。
9. 前記基板ケース分離合体装置が請求項３記載の基板ケース分離合体装置であって、
   前記第２搬送機構は、前記ベース移動分離機構によって分離されて前記カバー保持部材に保持された前記カバーと、前記ベース保持部材に保持された前記ベースとを個別的に順次前記洗浄器に搬送する請求項８記載の基板ケース洗浄装置。
10. 前記基板ケース分離合体装置が請求項４記載の基板ケース合体装置であって、
    前記第２搬送機構は、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースを前記ベース保持部材に搬送供給し、前記洗浄器によって洗浄された前記カバーを前記カバー保持部材に搬送供給し、
    前記ベース移動結合機構が、前記ベースを前記カバー保持部材に保持されている前記カバーに結合するように前記ベース保持部材を移動させる請求項９記載の基板ケース洗浄装置。

Images