JP2007250563A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】いわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができる研削装置を提供すること。
【解決手段】第一のカセットテーブル12と第二のカセットテーブル14に載置された第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ閉塞する閉塞位置に位置づけ可能な第一のカセットカバー66と第二のカセットカバー67を設けるとともに、第一のカセットと搬出手段との間、および第二のカセットと搬入手段との間をそれぞれ開閉可能に仕切る第一の仕切り壁64と第二の仕切り壁65を設け、第一の仕切り壁64や第二の仕切り壁65の開状態で搬出手段または搬入手段が作用する時にはそれぞれ第一のカセットカバー66や第二のカセットカバー67により閉塞させることで、手が入り込まないようにした。
【選択図】 図3
【解決手段】第一のカセットテーブル12と第二のカセットテーブル14に載置された第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ閉塞する閉塞位置に位置づけ可能な第一のカセットカバー66と第二のカセットカバー67を設けるとともに、第一のカセットと搬出手段との間、および第二のカセットと搬入手段との間をそれぞれ開閉可能に仕切る第一の仕切り壁64と第二の仕切り壁65を設け、第一の仕切り壁64や第二の仕切り壁65の開状態で搬出手段または搬入手段が作用する時にはそれぞれ第一のカセットカバー66や第二のカセットカバー67により閉塞させることで、手が入り込まないようにした。
【選択図】 図3
Description
本発明は、研削装置に関するものである。
従来から、IC、LSI等のデバイスが表面に複数形成されたウエーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の分割装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。
ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、複数のウエーハを収容した第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、研削済みのウエーハを収容する第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、第一のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を概ね備えていて(例えば、特許文献1参照)、ウエーハを効率よく研削することができる。
しかしながら、この種のウエーハ用の研削装置では、多少の汚れが許容されるため、カセット構造としてデバイスメーカが取り扱う汚染防止のためのFOUP(Front Opening Unified Pod)カセットに代えて、カセットテーブル上に単に載置させるだけの剥き出しタイプの簡易なもの(いわゆるオープンカセット)が用いられることが多い。
このようなオープンカセットを用いる構成の場合、搬出手段または搬入手段がカセットに作用してウエーハの搬出または搬入を行っている際には、カセットと搬出手段または搬入手段との間の開口を開閉する仕切り壁が開状態となる。これにより、カセットと搬出手段または搬入手段との間の空間にオペレータが手を入れることが可能なため、搬出手段または搬入手段に不用意に手が触れてしまったり、ウエーハに手が触れてウエーハを破損させてしまうといった不具合がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、いわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができる研削装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を備える研削装置であって、第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、前記第一のカセットまたは前記第二のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、前記第一のカセットまたは前記第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を備え、前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットと前記搬出手段または前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と、前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第一のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第一のカセットカバーと、前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットと前記搬出手段または前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁と、前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第二のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第二のカセットカバーと、を備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を備える研削装置であって、複数のウエーハを収容した第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、研削済みのウエーハを収容する第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、前記第一のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、前記第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を備え、前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットと前記搬出手段とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と、前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第一のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第一のカセットカバーと、前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットと前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁と、前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第二のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第二のカセットカバーと、を備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を備える研削装置であって、複数のウエーハを収容した第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、複数のウエーハを収容した第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、前記第一のカセットからウエーハを搬出するとともに前記第二のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、前記第一のカセットに研削済みのウエーハを収容するとともに前記第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を備え、前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットと前記搬出手段および前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と、前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第一のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第一のカセットカバーと、前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットと前記搬出手段および前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁と、前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第二のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第二のカセットカバーと、を備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る研削装置は、上記発明において、前記搬出手段と前記搬入手段は、共通の搬出入手段で構成されていることを特徴とする。
また、本発明に係る研削装置は、上記発明において、前記第一の仕切り壁が開状態の時は前記第一のカセットカバーの閉塞が維持され、前記第一の仕切り壁が閉状態の時は前記第一のカセットカバーの開放が可能になり、前記第二の仕切り壁が開状態の時は前記第二のカセットカバーの閉塞が維持され、前記第二の仕切り壁が閉状態の時は前記第二のカセットカバーの開放が可能になる、ことを特徴とする。
本発明に係る研削装置は、第一のカセットテーブルと第二のカセットテーブルに載置された第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ閉塞する閉塞位置に位置づけ可能な第一のカセットカバーと第二のカセットカバーを設けるとともに、第一のカセットと搬出手段または搬入手段との間、および第二のカセットと搬出手段または搬入手段との間をそれぞれ開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と第二の仕切り壁を設けたので、第一の仕切り壁や第二の仕切り壁が開状態で搬出手段または搬入手段が作用する時には第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ第一のカセットカバーと第二のカセットカバーにより閉塞させることで、第一のカセットと搬出手段または搬入手段との間、および、第二のカセットと搬出手段または搬入手段との間にオペレータが手を入れてしまうことを不可能にすることができ、搬出手段または搬入手段に不用意に手が触れてしまったり、ウエーハに手が触れてウエーハを破損させてしまう、といったいわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができるという効果を奏する。
本発明に係る研削装置は、第一のカセットテーブルと第二のカセットテーブルに載置された第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ閉塞する閉塞位置に位置づけ可能な第一のカセットカバーと第二のカセットカバーを設けるとともに、第一のカセットと搬出手段との間、および第二のカセットと搬入手段との間をそれぞれ開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と第二の仕切り壁を設けたので、第一の仕切り壁や第二の仕切り壁が開状態で搬出手段または搬入手段が作用する時には第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ第一のカセットカバーと第二のカセットカバーにより閉塞させることで、第一のカセットと搬出手段および第二のカセットと搬入手段との間にオペレータが手を入れてしまうことを不可能にすることができ、搬出手段または搬入手段に不用意に手が触れてしまったり、ウエーハに手が触れてウエーハを破損させてしまう、といったいわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができるという効果を奏する。
本発明に係る研削装置は、第一のカセットテーブルと第二のカセットテーブルに載置された第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ閉塞する閉塞位置に位置づけ可能な第一のカセットカバーと第二のカセットカバーを設けるとともに、第一のカセットと搬出手段および搬入手段との間、および第二のカセットと搬出手段および搬入手段との間をそれぞれ開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と第二の仕切り壁を設けたので、第一の仕切り壁や第二の仕切り壁が開状態で搬出手段または搬入手段が作用する時には第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ第一のカセットカバーと第二のカセットカバーにより閉塞させることで、第一のカセットと搬出手段および搬入手段との間、および、第二のカセットと搬出手段および搬入手段との間にオペレータが手を入れてしまうことを不可能にすることができ、搬出手段または搬入手段に不用意に手が触れてしまったり、ウエーハに手が触れてウエーハを破損させてしまう、といったいわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができるという効果を奏する。
以下、本発明を実施するための最良の形態である研削装置について図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
図1は、本実施の形態1の切削装置を示す外観斜視図であり、図2は、切削装置の一端側の構成例を示す外観斜視図である。研削装置10は、ウエーハWを収容した第一のカセット11が載置される第一のカセットテーブル12と、研削済みのウエーハWを収容する第二のカセット13が載置される第二のカセットテーブル14と、第一のカセット11からウエーハWを搬出する搬出手段と第二のカセット13に研削済みのウエーハWを収容する搬入手段とを兼用する共通の搬出入手段15と、ウエーハWの中心位置合わせを行う位置合わせ手段16と、ウエーハWを搬送する搬送手段17,18と、ウエーハWを吸引保持する3つのチャックテーブル19〜21と、これらのチャックテーブル19〜21をそれぞれ回転自在に支持して回転するターンテーブル22と、各チャックテーブル19〜21に保持されたウエーハWに研削処理を施す研削手段30,40と、研削後のチャックテーブル19〜21を洗浄する洗浄手段51と、研削後のウエーハWを洗浄する洗浄手段52とを備えている。
図1は、本実施の形態1の切削装置を示す外観斜視図であり、図2は、切削装置の一端側の構成例を示す外観斜視図である。研削装置10は、ウエーハWを収容した第一のカセット11が載置される第一のカセットテーブル12と、研削済みのウエーハWを収容する第二のカセット13が載置される第二のカセットテーブル14と、第一のカセット11からウエーハWを搬出する搬出手段と第二のカセット13に研削済みのウエーハWを収容する搬入手段とを兼用する共通の搬出入手段15と、ウエーハWの中心位置合わせを行う位置合わせ手段16と、ウエーハWを搬送する搬送手段17,18と、ウエーハWを吸引保持する3つのチャックテーブル19〜21と、これらのチャックテーブル19〜21をそれぞれ回転自在に支持して回転するターンテーブル22と、各チャックテーブル19〜21に保持されたウエーハWに研削処理を施す研削手段30,40と、研削後のチャックテーブル19〜21を洗浄する洗浄手段51と、研削後のウエーハWを洗浄する洗浄手段52とを備えている。
このような研削装置10においては、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11に収容されたウエーハWが搬出入手段15の搬出動作によって位置合わせ手段16に搬送され、ここで中心位置合わせがされた後、搬送手段17によってチャックテーブル19上に搬送され載置される。チャックテーブル19〜21は、それぞれが回転可能であるとともにターンテーブル22の回転に伴ってXY平面上を移動する構成となっており、ウエーハWを吸引保持したチャックテーブル19については所定角度、例えば反時計方向に120度回転することにより研削手段30の直下に位置づけられる。
チャックテーブル19〜21に保持されたウエーハWを研削する研削手段30は、壁部31にZ軸方向に配設された一対のガイドレール32にガイドされてモータ33の駆動により上下動する支持部34に支持され、支持部34の上下動に伴ってZ軸方向に上下動するように構成されている。この研削手段30は、回転可能に支持されたスピンドル35aを回転するモータ35と、スピンドル35aの先端にホイールマウント36を介して装着されてウエーハWの裏面を研削する研削ホイール37とを備えている。研削ホイール37は、その下面に円環状に固着された粗研削用の研削砥石38を備えている。
そこで、研削手段30がモータ35によるスピンドル35aの回転を伴ってZ軸方向の下方に研削送りされて、回転する研削ホイール37の研削砥石38がウエーハWの裏面に接触することにより、チャックテーブル19に保持され研削手段30の直下に位置づけられたウエーハWの裏面が粗研削される。
次いで、ターンテーブル22が反時計方向に同じ角度だけ回転することにより、粗研削されたウエーハWが研削手段40の直下に位置づけられる。
チャックテーブル19〜21に保持されたウエーハWを研削する研削手段40は、壁部31にZ軸方向に配設された一対のガイドレール41にガイドされてモータ42の駆動により上下動する支持部43に支持され、支持部43の上下動に伴ってZ軸方向に上下動するように構成されている。この研削手段40は、回転可能に支持されたスピンドル44aを回転するモータ44と、スピンドル44aの先端にホイールマウント45を介して装着されてウエーハWの裏面を研削する研削ホイール46とを備えている。研削ホイール46は、その下面に円環状に固着された仕上げ研削用の研削砥石47を備えている。すなわち、研削手段40は、研削手段30とは研削砥石の種類のみが異なる構成とされている。
そこで、研削手段40がモータ44によるスピンドル44aの回転を伴ってZ軸方向の下方に研削送りされて、回転する研削ホイール46の研削砥石47がウエーハWの裏面に接触することにより、チャックテーブル19に保持され研削手段40の直下に位置づけられたウエーハWの裏面が仕上げ研削される。
裏面が仕上げ研削されたウエーハWを吸引保持しているチャックテーブル19は、ターンテーブル22の時計方向への逆回転により、図1に示す初期位置に戻される。この位置で、裏面が仕上げ研削されたウエーハWは、搬送手段18によって洗浄手段52に搬送され、ここで洗浄により研削屑が除去された後に、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13に搬出入手段15の搬入動作によって収容される。また、洗浄手段51は、仕上げ研削されたウエーハWが搬送手段18によって取り上げられて空き状態となったチャックテーブル19の洗浄を行う。
他のチャックテーブル20,21上のウエーハWに対する粗研削、仕上げ研削、他のチャックテーブル20,21に対するウエーハWの搬出入等もターンテーブル22の回転位置に応じて同様に行われる。
ここで、第一のカセットテーブル12、第二のカセットテーブル14および搬出入手段15付近の構成について説明する。本実施の形態1の研削装置10は、図1中に仮想線で示すように、切削手段30,40側から搬出入手段15付近までが筐体カバー61により覆われて閉塞され、第一のカセットテーブル12および第二のカセットテーブル14は筐体カバー61外に突出する形の露出状態とされている。
また、筐体カバー61は、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11と搬出入手段15との間をウエーハWの搬出のために連通させる第一の開口62と、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13と搬出入手段15との間をウエーハWの搬入のために連通させる第二の開口63とを有する。また、本実施の形態1の切削装置10は、第一の開口62よりも内側に位置して、第一の開口62を開閉することにより、第一のカセット11と搬出入手段15とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁64と、第二の開口63よりも内側に位置して、第二の開口63を開閉することにより、第二のカセット13と搬出入手段15とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁65とを備える。
さらに、本実施の形態1の切削装置10は、第一のカセットカバー66と第二のカセットカバー67を備える。第一のカセットカバー66は、第一のカセットテーブル12に対して回動自在に取り付けられて、図2に示すように第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11を第一の開口62を含めて閉塞する閉塞位置と、図1中に仮想線で示すように第一のカセット11を開放する開放位置とに位置づけられるものである。ここで、第一のカセットカバー66は、フード形状に形成されたカバー枠体66aと、閉塞位置で内部状況を視認可能にするための透明部材66bと、開閉操作を行うための把手66cと、を備える。
第二のカセットカバー67は、第二のカセットテーブル14に対して回動自在に取り付けられて、図2に示すように第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13を第二の開口63を含めて閉塞する閉塞位置と、図1中に仮想線で示すように第二のカセット13を開放する開放位置とに位置づけられるものである。ここで、第二のカセットカバー67は、フード形状に形成されたカバー枠体67aと、閉塞位置で内部状況を視認可能にするための透明部材67bと、開閉操作を行うための把手67cと、を備える。
次に、第一の仕切り壁64、第二の仕切り壁65、第一のカセットカバー66、第二のカセットカバー67の動作等について、図3を参照して説明する。なお、第二の仕切り壁65、第二のカセットカバー67の動作等は、第一の仕切り壁64、第一のカセットカバー66の動作等と同様であるので、ここでは、第一の仕切り壁64および第一のカセットカバー66の例で説明する。図3は、制御系を含めて示す第一の仕切り壁64および第一のカセットカバー66の動作例を説明するための概略側面図である。
まず、第一の仕切り壁64は、エアーシリンダ71に連結して上下動自在に設けられ、エアーシリンダ71の駆動により下降または上昇することにより、開口62部分を開閉するように構成されている。筐体カバー61は、開口62部分の上端側に位置させて、第一の仕切り壁64が開口62を閉塞した閉状態にあるか否かを検出するための仕切り壁開閉確認スイッチ72を備える。仕切り壁開閉確認スイッチ72は、第一の仕切り壁64が開口63を閉じる最上位位置まで上昇したときに第一の仕切り壁64によってオンし、第一の仕切り壁64が最上位位置から離れることによりオフするスイッチである。
一方、第一のカセットカバー66は、第一のカセットテーブル12部分に前後方向に離間配置されて回動自在に支持された2つの回転軸73,74と、第一のカセットカバー66の両側内壁に回転自在に設けられた2つの連結軸75,76との間をそれぞれのリンク77,78で連結した四節リンク構造により、回転軸73,74を中心に開閉回動自在に設けられたもので、オペレータによる開閉操作に伴い、実線で示す閉塞位置と仮想線で示す開放位置とに選択的に位置づけられる。ここで、リンク77,78がそれぞれ図3中に仮想線で示すような円弧状軌跡で変位する四節リンク構造により、第一のカセットカバー66は、開放位置に位置づけられる場合に第一のカセットテーブル12よりも若干下がった位置となり、第一のカセットテーブル12上を大きく開放する。
また、第一のカセットカバー66は、閉塞位置で筐体カバー61に対向する先端部分に突出構造のロックピン79と突出構造のスイッチ作用片80を有する。筐体カバー61は、開口63部分の上端側に位置させて、第一のカセットカバー66の閉塞位置でロックピン79に係脱して筐体カバー61の開閉を可能またはロックするロック装置81と、第一のカセットカバー66が閉塞位置にあるか否かを検出するためのカセットカバー開閉確認スイッチ82とを備える。カセットカバー開閉確認スイッチ82は、第一のカセットカバー66が閉塞位置に位置することによりスイッチ作用片80によってオンし、第一のカセットカバー66が閉塞位置から離れることによりオフするスイッチである。
これらのエアーシリンダ71、仕切り壁開閉確認スイッチ72、ロック装置81、カセットカバー開閉確認スイッチ82等は、第二の仕切り壁65や第二のカセットカバー67側に対しても同様に設けられている。また、第一のカセットテーブル12、第二のカセットテーブル14上には、図1に示すように、それぞれ第一のカセット11、第二のカセット13の載置を検知するためのカセット認識スイッチ12a,14aを備える。
さらに、本実施の形態1の研削装置10は、エアーシリンダ71、仕切り壁開閉確認スイッチ72、ロック装置81、カセットカバー開閉確認スイッチ82、カセット認識スイッチ12a等が接続されて、第一の仕切り壁64、第二の仕切り壁65、第一のカセットカバー66、第二のカセットカバー67の動作を制御する制御手段90を備える。制御手段90は、例えばマイクロコンピュータからなり、第一の仕切り壁64が開状態の時は第一のカセットカバー66の閉塞が維持され、第一の仕切り壁64が閉状態の時は第一のカセットカバー66の開放が可能になり、第二の仕切り壁65が開状態の時は第二のカセットカバー67の閉塞が維持され、第二の仕切り壁65が閉状態の時は第二のカセットカバー67の開放が可能になるように、エアーシリンダ71やロック装置81を制御する。
以下、制御手段90による第一の仕切り壁64、第一のカセットカバー66用の動作制御例を、図4に示す概略フローチャートを参照して説明する。まず、制御手段90は、ウエーハW待ちの通常アイドリング状態にある(ステップS1)。この通常アイドリング状態では、仕切り壁開閉確認スイッチ72はオン状態、ロック装置81による第一のカセットカバー66のロックは解除(オフ)状態にあり、カセットカバー開閉確認スイッチ82はオンまたはオフの不定状態にあるものとする(すなわち、第一のカセットカバー66は、開放状態でも閉塞状態でもよい)。
このような通常アイドリング状態において、第一のカセットカバー66が開放されているか否かをカセットカバー開閉確認スイッチ82がオフしたか否かにより判定する処理(ステップS2)と、第一のカセットテーブル12にオペレータによって第一のカセット11が載置されたか否かをカセット認識スイッチ12aがオンしたか否かにより判定する処理(ステップS3)を繰返す。第一のカセット11の載置がカセット認識スイッチ12aのオンにより検出されると(ステップS3;Yes)、第一のカセットカバー66がオペレータによって閉塞操作されたか否かを判定するために、カセットカバー開閉確認スイッチ82がオンしたか否かを判定する(ステップS4)。そして、第一のカセットカバー66が閉塞操作されたことがカセットカバー開閉確認スイッチ82のオンにより確認されると(ステップS4;Yes)、オペレータによってフルオート動作スタートボタン(図示せず)が押下されたか否かを判定する(ステップS5)。
フルオート動作スタートボタンが押下されたことが検出されると(ステップS5;Yes)、制御処理を開始する(ステップS6)。まず、ロックピン79に対してロック装置81を係合させることにより、第一のカセットカバー66を閉塞位置にロックする(ステップS7)。そして、エアーシリンダ71を駆動し、閉状態の第一の仕切り壁64を下降させる(ステップS8)。この動作は、仕切り壁開閉確認スイッチ72がオフし(ステップS9)、第一の仕切り壁64が最下降位置に下降するまで行わせる(ステップS10;Yes)。
次いで、搬出入手段15による第一のカセット11からのウエーハWの搬送処理を行わせる(ステップS11)。この処理は、第一のカセット11に収容されていた全てのウエーハWについて切削処理を連続的に行うフルオート動作が終了するまで繰返される(ステップS12;No)。フルオート動作が終了すると(ステップS12;Yes)、第一の仕切り壁64を閉状態に戻すために、エアーシリンダ71を駆動し、第一の仕切り壁64を上昇させる(ステップS13)。ステップS13の第一の仕切り壁64の上昇動作は、仕切り壁開閉確認スイッチ72がオンするまで継続される(ステップS14;No)。
第一の仕切り壁64が閉状態になったことが、仕切り壁開閉確認スイッチ72のオンにより確認されると(ステップS14;Yes)、ロック装置81のロックピン79に対する係合を解除することにより、第一のカセットカバー66のロックを解除し、開放可能とする(ステップS15)。そして、第一のカセットカバー66がオペレータによって開放操作されたか否かを判定するために、カセットカバー開閉確認スイッチ82がオフしたか否かを判定する(ステップS16)。
オペレータによる第一のカセットカバー66の開放操作が確認された場合(ステップS16;Yes)、第一のカセットテーブル12の第一のカセット11が取り外されたか否かをカセット認識スイッチ12aがオフしたか否かにより判定する(ステップS17)。第一のカセット11の取り外しがカセット認識スイッチ12aのオフにより検出されると(ステップS17;Yes)、ステップS1の通常アイドリング状態に戻る。
制御手段90による第二の仕切り壁65、第二のカセットカバー67用の動作制御例も同様に行われる。このため、図4に示すフローチャートでは、仕切り壁、カセットカバー等に関して、第一、第二の区別を省略して示している。
このように本実施の形態1の研削装置10によれば、搬出入手段15が第一のカセット11または第二のカセット13に作用してウエーハWの搬出または搬入を行っている際には、開口62,63が開放状態となるが、図2に示すように、第一の仕切り壁64が開状態の時は第一のカセットカバー66の閉塞が維持され、第二の仕切り壁65が開状態の時は第二のカセットカバー67の閉塞が維持されるので、第一のカセット11と搬出入手段15および第二のカセット13と搬出入手段15との間にオペレータが手を入れることが不可能となり、搬出入手段15に不用意に手が触れてしまったり、ウエーハWに手が触れてウエーハWを破損させてしまう、といったいわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができる。
一方、図1に示すように、第一の仕切り壁64が閉状態の時は第一のカセットカバー66の開放が可能になり、第二の仕切り壁65が閉状態の時は第二のカセットカバー67の開放が可能になるので、第一のカセット11や第二のカセット13の載置作業や交換作業は、第一のカセットカバー66や第二のカセットカバー67により阻害されることなく、従来のオープンカセット方式の場合と同様に、広く露出した第一のカセットテーブル12、第二のカセットテーブル14に対して作業性よく簡単に行うことができる。
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図5は、本実施の形態2の切削装置を示す外観斜視図である。実施の形態1で説明した部分と同一部分は同一符号を用いて示す。実施の形態1の研削装置10では、搬出入手段15が、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11からのみウエーハWの搬出を行い、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13にのみウエーハWの搬入を行うようにしたが、搬出入手段としては、さらに、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13からウエーハWの搬出を行い、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11にウエーハWの搬入を行うように構成してもよいという観点から、本実施の形態2は、第一のカセットおよび第二のカセットとしてそれぞれ搬出入兼用カセットを用いる場合への適用例を示す。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図5は、本実施の形態2の切削装置を示す外観斜視図である。実施の形態1で説明した部分と同一部分は同一符号を用いて示す。実施の形態1の研削装置10では、搬出入手段15が、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11からのみウエーハWの搬出を行い、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13にのみウエーハWの搬入を行うようにしたが、搬出入手段としては、さらに、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット13からウエーハWの搬出を行い、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11にウエーハWの搬入を行うように構成してもよいという観点から、本実施の形態2は、第一のカセットおよび第二のカセットとしてそれぞれ搬出入兼用カセットを用いる場合への適用例を示す。
本実施の形態2の研削装置100は、ウエーハWを収容した第一のカセット111が載置される第一のカセットテーブル12と、ウエーハWを収容した第二のカセット113が載置される第二のカセットテーブル14と、第一のカセット111からウエーハWを搬出するとともに第二のカセット113からウエーハWを搬出する搬出手段と第一のカセット111に研削済みのウエーハWを収容するとともに第二のカセット113に研削済みのウエーハWを収容する搬入手段とを兼用する共通の搬出入手段115と、ウエーハWの中心位置合わせを行う位置合わせ手段16と、ウエーハWを搬送する搬送手段17,18と、ウエーハWを吸引保持する3つのチャックテーブル19〜21と、これらのチャックテーブル19〜21をそれぞれ回転自在に支持して回転するターンテーブル22と、各チャックテーブル19〜21に保持されたウエーハWに研削処理を施す研削手段30,40と、研削後のチャックテーブル19〜21を洗浄する洗浄手段51と、研削後のウエーハWを洗浄する洗浄手段52とを備えている。
このような研削装置100においては、例えば第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット111に収容されたウエーハWが搬出入手段115の搬出動作によって位置合わせ手段16に搬送され、ここで中心位置合わせがされた後、搬送手段17によってチャックテーブル19上に搬送され載置される。この後、実施の形態1で説明した通りの研削処理が行われる。裏面が仕上げ研削されたウエーハWを吸引保持しているチャックテーブル19は、ターンテーブル22の時計方向への逆回転により、図5に示す初期位置に戻される。この位置で、裏面が仕上げ研削されたウエーハWは、搬送手段18によって洗浄手段52に搬送され、ここで洗浄により研削屑が除去された後に、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット11に搬出入手段15の搬入動作によって再び収容される。また、洗浄手段51は、仕上げ研削されたウエーハWが搬送手段18によって取り上げられて空き状態となったチャックテーブル19の洗浄を行う。他のチャックテーブル20,21上のウエーハWに対する粗研削、仕上げ研削、他のチャックテーブル20,21に対するウエーハWの搬出入等もターンテーブル22の回転位置に応じて同様に行われる。
このような動作が、第一のカセット111に収容された全てのウエーハWについて終了すると、今度は、複数のウエーハWを収容して第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット113に対して搬出入手段115によるウエーハWの搬出動作、ウエーハWの搬入動作が同様に繰返され、研削処理が続行される。このような第二のカセット113使用による動作中に、第一のカセットテーブル12に対して新しい第一のカセット111を交換セットすることができる。よって、第一のカセット111、第二のカセット112をカセット単位で交互に使用可能となり、研削装置100を停止させることなく研削処理を継続させることができる。
ここで、本実施の形態2の場合も、実施の形態1の場合と同様に、第一の開口62よりも内側に位置して、第一の開口62を開閉することにより、第一のカセット111と搬出入手段115とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁164と、第二の開口63よりも内側に位置して、第二の開口63を開閉することにより、第二のカセット113と搬出入手段115とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁165とを備える。
さらに、本実施の形態2の切削装置100は、第一のカセットカバー166と第二のカセットカバー167を備える。第一のカセットカバー166は、第一のカセットテーブル12に対して回動自在に取り付けられて、第一のカセットテーブル12に載置された第一のカセット111を第一の開口62を含めて閉塞する閉塞位置と、第一のカセット111を開放する開放位置とに位置づけられるものである。第二のカセットカバー67は、第二のカセットテーブル14に対して回動自在に取り付けられて、第二のカセットテーブル14に載置された第二のカセット113を第二の開口63を含めて閉塞する閉塞位置と、第二のカセット113を開放する開放位置とに位置づけられるものである。
本実施の形態2の第一の仕切り壁164、第二の仕切り壁165、第一のカセットカバー166、第二のカセットカバー167の動作制御例は、実施の形態1と同様に行われるが、搬出入手段115の動作がカセット単位で切り替えられるため、第一の仕切り壁164および第一のカセットカバー166の動作制御と、第二の仕切り壁165および第二のカセットカバー167の動作制御とが独立して行われる点で異なる。すなわち、第一のカセット111が使用されることで第一の仕切り壁164が開状態の時は第一のカセットカバー166の閉塞が維持されるとともに第二の仕切り壁165が閉状態の時は第二のカセットカバー167の開放が可能になるように制御され、第二のカセット113が使用されることで第二の仕切り壁165が開状態の時は第二のカセットカバー167の閉塞が維持されるとともに第一の仕切り壁164が閉状態の時は第一のカセットカバー166の開放が可能になるように制御される。
このように本実施の形態2の研削装置100によれば、搬出入手段115が第一のカセット111または第二のカセット113に作用してウエーハWの搬出または搬入を行っている際には、開口62,63が開放状態となるが、第一の仕切り壁164が開状態の時は第一のカセットカバー166の閉塞が維持され、第二の仕切り壁165が開状態の時は第二のカセットカバー167の閉塞が維持されるので、第一のカセット111と搬出入手段115および第二のカセット113と搬出入手段115との間にオペレータが手を入れることが不可能となり、搬出入手段115に不用意に手が触れてしまったり、ウエーハWに手が触れてウエーハWを破損させてしまう、といったいわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができる。
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、実施の形態1,2の研削装置10,100は、搬出手段と搬入手段を共通の搬出入手段15または115で構成したが、それぞれ搬出手段と搬入手段とに分けて構成するようにしてもよい。
また、実施の形態1,2の研削装置10,100では、3個のチャックテーブル19〜21を備える例として説明したが、特に個数が制約されるものではない。研削手段30,40も2個に限らず、例えば1個であってもよい。
また、実施の形態1の研削装置10は、制御手段90による制御によって、第一の仕切り壁64が開状態の時は第一のカセットカバー66の閉塞が維持され、第一の仕切り壁64が閉状態の時は第一のカセットカバー66の開放が可能になり、第二の仕切り壁65が開状態の時は第二のカセットカバー67の閉塞が維持され、第二の仕切り壁65が閉状態の時は第二のカセットカバー67の開放が可能になるようにしたが、第一の仕切り壁64の開閉と第一のカセットカバー66の開閉とが排他的に連動し、第二の仕切り壁65の開閉と第二のカセットカバー67の開閉とが排他的に連動するような機械的な連動機構によって実現するようにしてもよい。実施の形態2の研削装置100の場合も同様である。
さらに、実施の形態1では、第一のカセットカバー66、第二のカセットカバー67は、開口62,63部分を含めて第一のカセット11、第二のカセット13を全面的に閉塞するようにしたが、FOUPカセットのような気密性を要しないため、手が入り込まないような構造であればよく、例えば格子状や網目状のような構造のものであってもよい。実施の形態2の研削装置100の場合も同様である。
11 第一のカセット
12 第一のカセットテーブル
13 第二のカセット
14 第二のカセットテーブル
15 搬出入手段
19〜21 チャックテーブル
30 研削手段
38 研削砥石
40 研削手段
47 研削砥石
64 第一の仕切り壁
65 第二の仕切り壁
66 第一のカセットカバー
67 第二のカセットカバー
111 第一のカセット
113 第二のカセット
115 搬出入手段
164 第一の仕切り壁
165 第二の仕切り壁
166 第一のカセットカバー
167 第二のカセットカバー
W ウエーハ
12 第一のカセットテーブル
13 第二のカセット
14 第二のカセットテーブル
15 搬出入手段
19〜21 チャックテーブル
30 研削手段
38 研削砥石
40 研削手段
47 研削砥石
64 第一の仕切り壁
65 第二の仕切り壁
66 第一のカセットカバー
67 第二のカセットカバー
111 第一のカセット
113 第二のカセット
115 搬出入手段
164 第一の仕切り壁
165 第二の仕切り壁
166 第一のカセットカバー
167 第二のカセットカバー
W ウエーハ
Claims (5)
- ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を備える研削装置であって、
第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、前記第一のカセットまたは前記第二のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、前記第一のカセットまたは前記第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を備え、
前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットと前記搬出手段または前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と、
前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第一のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第一のカセットカバーと、
前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットと前記搬出手段または前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁と、
前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第二のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第二のカセットカバーと、
を備えたことを特徴とする研削装置。 - ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を備える研削装置であって、
複数のウエーハを収容した第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、研削済みのウエーハを収容する第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、前記第一のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、前記第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を備え、
前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットと前記搬出手段とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と、
前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第一のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第一のカセットカバーと、
前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットと前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁と、
前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第二のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第二のカセットカバーと、
を備えたことを特徴とする研削装置。 - ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石が装着された研削手段と、を備える研削装置であって、
複数のウエーハを収容した第一のカセットが載置される第一のカセットテーブルと、複数のウエーハを収容した第二のカセットが載置される第二のカセットテーブルと、前記第一のカセットからウエーハを搬出するとともに前記第二のカセットからウエーハを搬出する搬出手段と、前記第一のカセットに研削済みのウエーハを収容するとともに前記第二のカセットに研削済みのウエーハを収容する搬入手段と、を備え、
前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットと前記搬出手段および前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第一の仕切り壁と、
前記第一のカセットテーブルに載置された前記第一のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第一のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第一のカセットカバーと、
前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットと前記搬出手段および前記搬入手段とを開閉可能に仕切る第二の仕切り壁と、
前記第二のカセットテーブルに載置された前記第二のカセットを閉塞する閉塞位置と前記第二のカセットを開放する開放位置とに位置づけられる第二のカセットカバーと、
を備えたことを特徴とする研削装置。 - 前記搬出手段と前記搬入手段は、共通の搬出入手段で構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の研削装置。
- 前記第一の仕切り壁が開状態の時は前記第一のカセットカバーの閉塞が維持され、前記第一の仕切り壁が閉状態の時は前記第一のカセットカバーの開放が可能になり、
前記第二の仕切り壁が開状態の時は前記第二のカセットカバーの閉塞が維持され、前記第二の仕切り壁が閉状態の時は前記第二のカセットカバーの開放が可能になる、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006067598A JP2007250563A (ja) | 2006-03-13 | 2006-03-13 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006067598A JP2007250563A (ja) | 2006-03-13 | 2006-03-13 | 研削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007250563A true JP2007250563A (ja) | 2007-09-27 |
Family
ID=38594583
Family Applications (1)
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JP2006067598A Pending JP2007250563A (ja) | 2006-03-13 | 2006-03-13 | 研削装置 |
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- 2006-03-13 JP JP2006067598A patent/JP2007250563A/ja active Pending
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