JP5473736B2 - 研削装置の運転方法 - Google Patents
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Description
10 粗研削ユニット
11 半導体ウエーハ
28 仕上げ研削ユニット
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
50 第1のカセット
54 ウエーハ搬送ロボット
56 位置合わせテーブル
60 ローディングアーム
62 アンローディングアーム
64 スピンナ洗浄装置
66 第2のカセット
72 コントローラ
86 入力手段
Claims (1)
- ウエーハを収容する第1のカセットからウエーハを搬送する第1搬送手段と、該第1搬送手段により搬送されたウエーハを載置しウエーハの中心合わせを実施する位置合わせ手段と、該位置合わせ手段から第2搬送手段によって搬送されたウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルをウエーハ搬入・搬出領域と研削領域との間で移動するチャックテーブル移動手段と、回転する研削砥石によって該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、該チャックテーブルから第3搬送手段によって搬送されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、該洗浄手段からウエーハを収容する第2のカセットまでウエーハを搬送する第4搬送手段と、前記各手段を制御する制御手段と、該制御手段に接続されオペレータがキー操作する入力手段とを備えた研削装置の運転方法であって、
該制御手段が自動研削プログラム実行の信号を受信すると、該制御手段はウエーハを該第1のカセット、該位置合わせ手段、該チャックテーブル、該洗浄手段及び該第2のカセットの順に移動して該自動研削プログラムを実行し、
該自動研削プログラム実行中に該制御手段が該自動研削プログラムを中止する信号を受信すると、該第1のカセットから新たにウエーハを搬送することを中止するとともに、該第1のカセットから搬送されたウエーハに研削加工が実施されているか否かを判断し、研削加工が実施されていると判断した場合には、該ウエーハを該自動研削プログラムと同じ経路で移動して該第2のカセットに収容し、研削加工が実施されていないと判断した場合には、該ウエーハを該自動研削プログラムと逆の経路で移動して該第1のカセットに収容することを特徴とする研削装置の運転方法。
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