JP5384246B2 - 研削装置 - Google Patents
研削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5384246B2 JP5384246B2 JP2009181213A JP2009181213A JP5384246B2 JP 5384246 B2 JP5384246 B2 JP 5384246B2 JP 2009181213 A JP2009181213 A JP 2009181213A JP 2009181213 A JP2009181213 A JP 2009181213A JP 5384246 B2 JP5384246 B2 JP 5384246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spinner table
- spinner
- grinding
- ground
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
10 粗研削ユニット
11 半導体ウエーハ
28 仕上げ研削ユニット
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
52 ハンド
54 ウエーハ搬送ロボット
64 スピンナ洗浄装置
68 小径スピンナテーブル
70 スピンナテーブル検出手段
72 アーム
74 近接センサー
98 大径スピンナテーブル
Claims (2)
- 被研削物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被研削物を研削する研削手段と、該研削手段によって研削された被研削物を保持するスピンナテーブルと該スピンナテーブルに保持された被研削物に洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを含むスピンナ洗浄装置と、該スピンナ洗浄装置で洗浄された被研削物を搬送する搬送手段とを備えた研削装置であって、
該搬送手段は、中央に開口部を有するように被研削物を吸着保持するコの字状に形成された保持部と、該保持部を移動させる移動手段とを含み、
該スピンナテーブルは、選択的に装着可能なスピンナテーブルの外径サイズが該開口部より小さい第1スピンナテーブルと、スピンナテーブルの外径サイズが該開口部より大きい第2スピンナテーブルとから構成され、
前記研削装置は、該第1スピンナテーブルが装着されている場合には、該第1スピンナテーブルより下方の位置に前記搬送手段の該保持部を位置づけた後、該第1スピンナテーブルに保持された被研削物の下面側を保持して搬送する第1搬送モードと、該第2スピンナテーブルが装着されている場合には、該第2スピンナテーブルに保持された被研削物の上方に前記搬送手段の該保持部を位置づけた後、被研削物の上面側を該保持部で保持して搬送する第2搬送モードとを含む加工条件を記憶する記憶手段と、
装着されているスピンナテーブルのサイズが該第1スピンナテーブルか又は該第2スピンナテーブルかを検出するスピンナテーブル検出手段と、
を更に具備したことを特徴とする研削装置。 - 該記憶手段に記憶された加工条件と該スピンナテーブル検出手段で検出した該スピンナテーブルのサイズとが対応しない際に警告を発する警告手段を更に具備した請求項1記載の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009181213A JP5384246B2 (ja) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009181213A JP5384246B2 (ja) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011031352A JP2011031352A (ja) | 2011-02-17 |
JP5384246B2 true JP5384246B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=43760939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009181213A Active JP5384246B2 (ja) | 2009-08-04 | 2009-08-04 | 研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5384246B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6825935B2 (ja) * | 2017-02-27 | 2021-02-03 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP7319062B2 (ja) * | 2019-03-12 | 2023-08-01 | ファナック株式会社 | 工作機械および装着状態判定方法 |
JP7320425B2 (ja) * | 2019-10-23 | 2023-08-03 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
JP7495297B2 (ja) | 2020-08-19 | 2024-06-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3633854B2 (ja) * | 2000-06-12 | 2005-03-30 | 株式会社ディスコ | 半導体ウェハの加工装置 |
JP4299111B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2009-07-22 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP2006054388A (ja) * | 2004-08-16 | 2006-02-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物搬送装置,スピンナー洗浄装置,研削装置,被加工物搬送方法 |
JP4625704B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2011-02-02 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
-
2009
- 2009-08-04 JP JP2009181213A patent/JP5384246B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011031352A (ja) | 2011-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6157229B2 (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
JP2006021264A (ja) | 研削装置 | |
JP5999972B2 (ja) | 保持テーブル | |
JP2008155292A (ja) | 基板の加工方法および加工装置 | |
KR20150030611A (ko) | 디바이스 웨이퍼의 가공 방법 | |
JP5384246B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2018140450A (ja) | 研削装置 | |
JP5184242B2 (ja) | 半導体ウエーハの加工装置 | |
JP5455609B2 (ja) | 研削装置及び該研削装置を使用したウエーハの研削方法 | |
JP2011108746A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2015116637A (ja) | 研削方法 | |
JP5121390B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2009135254A (ja) | 粘着テープ貼着方法 | |
JP7382840B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2009160705A (ja) | ウェーハの研削方法および研削加工装置 | |
JP2011143516A (ja) | 加工装置 | |
JP2013202704A (ja) | 研削装置及び研削方法 | |
JP2009302369A (ja) | 板状物の加工方法及び加工装置 | |
JP2011235388A (ja) | 研削された被加工物の厚み計測方法および研削装置 | |
JP5295720B2 (ja) | 半導体ウエーハ加工装置 | |
JP5350127B2 (ja) | 被加工物の研削方法 | |
JP5306928B2 (ja) | ウエーハ搬送装置 | |
JP5700988B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP2010005717A (ja) | 加工装置 | |
JP5473736B2 (ja) | 研削装置の運転方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120717 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130814 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131001 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5384246 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |