JP2011235388A - 研削された被加工物の厚み計測方法および研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を保持したチャックテーブルを回転しつつ研削手段によって研削された被加工物の厚みを、厚み計測手段によって計測する研削された被加工物の厚み計測方法であって、チャックテーブルを回転し、厚み計測手段に対してチャックテーブルに保持された被加工物を回転中心から外周または外周から回転中心に向けて移動順次相対移動しつつ被加工物の厚みを計測することにより、同心円状の領域の厚みデータを計測する。
【選択図】図3
Description
該チャックテーブルを回転し、該厚み計測手段に対して該チャックテーブルに保持された被加工物を回転中心から外周または外周から回転中心に向けて移動順次相対移動しつつ被加工物の厚みを計測することにより、同心円状の領域の厚みデータを計測する、
ことを特徴とする研削された被加工物の厚み計測方法が提供される。
該研削域に位置付けられた該チャックテーブルと該厚み計測手段とを相対移動し、該厚み計測手段に対して該チャックテーブルに保持された被加工物の回転中心から外周または外周から回転中心に向けて移動せしめる移動手段と、
該厚み計測手段によって計測された被加工物の厚みデータを記憶する記憶手段と、を具備し、
該制御手段は、該回転駆動手段を作動して該チャックテーブルを回転し、該移動手段を作動して該厚み計測手段に対して該チャックテーブルに保持された被加工物を回転中心から外周または外周から回転中心に向けて順次相対移動しつつ該厚み計測手段を作動して被加工物の厚みを計測することにより、同心円状の領域の厚みデータを計測し、該厚みデータを該記憶手段に記憶せしめる、
ことを特徴とする研削装置が提供される。
また、本発明による研削装置においては、チャックテーブルに保持されたウエーハを所定の厚みに研削した後に、上記厚み計測手段によって被加工物における同心円状の領域の厚みデータを計測し、計測された厚みデータを記憶手段に記憶させるので、後に記憶手段に記憶された同心円状の領域の厚みデータを取り出して分析することにより、被加工物の厚みのバラツキに起因するデバイス毎の品質の良否を判定するための管理データとして利用することができる。
図示の実施形態における研削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2の図1において右上端には、静止支持板21が立設されている。この静止支持板21の内側面には、上下方向に延びる2対の案内レール22、22および23、23が設けられている。一方の案内レール22、22には粗研削手段としての粗研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール23、23には仕上げ研削手段としての仕上げ研削ユニット4が上下方向に移動可能に装着されている。
カセット7に収容された研削加工前の被加工物である半導体ウエーハWは被加工物搬送手段12によって中心合わせ手段9に搬送され、ここで中心合わせされる。中心合わせ手段9で中心合わせされた半導体ウエーハWは、被加工物搬入手段13の旋回動作によって被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル6の吸着保持チャック62上に載置される。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、半導体ウエーハWを保護テープTを介して吸着保持チャック62上に吸引保持する。次に、回転機構50を作動してターンテーブル5を矢印5aで示す方向に120度回動せしめて、半導体ウエーハWを載置したチャックテーブル6を粗研削域Bに位置付ける。
3:粗研削ユニット
33:粗研削ホイール
36:研削送り手段
4:仕上げ研削ユニット
43:仕上げ研削ホイール
46:研削送り手段
5:ターンテーブル
6:チャックテーブル
7:第1のカセット
8:第2のカセット
9:中心合わせ手段
10:制御手段
11:スピンナー洗浄手段
12:被加工物搬送手段
13:被加工物搬入手段
14:被加工物搬出手段
15:厚み計測手段
W:半導体ウエーハ
T:保護テープ
Claims (2)
- 被加工物を保持したチャックテーブルを回転しつつ研削手段によって研削された被加工物の厚みを、厚み計測手段によって計測する研削された被加工物の厚み計測方法であって、
該チャックテーブルを回転し、該厚み計測手段に対して該チャックテーブルに保持された被加工物を回転中心から外周または外周から回転中心に向けて移動順次相対移動しつつ被加工物の厚みを計測することにより、同心円状の領域の厚みデータを計測する、
ことを特徴とする研削された被加工物の厚み計測方法。 - 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転する回転駆動手段と、該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物を研削するための研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に研削送りする研削送り手段と、該研削手段が位置する研削域に配設され該チャックテーブルの保持面に保持された被加工物の厚みを計測する厚み計測手段と、制御手段と、を具備する研削装置において、
該研削域に位置付けられた該チャックテーブルと該厚み計測手段とを相対移動し、該厚み計測手段に対して該チャックテーブルに保持された被加工物の回転中心から外周または外周から回転中心に向けて移動せしめる移動手段と、
該厚み計測手段によって計測された被加工物の厚みデータを記憶する記憶手段と、を具備し、
該制御手段は、該回転駆動手段を作動して該チャックテーブルを回転し、該移動手段を作動して該厚み計測手段に対して該チャックテーブルに保持された被加工物を回転中心から外周または外周から回転中心に向けて順次相対移動しつつ該厚み計測手段を作動して被加工物の厚みを計測することにより、同心円状の領域の厚みデータを計測し、該厚みデータを該記憶手段に記憶せしめる、
ことを特徴とする研削装置。
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