JP7495297B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
しかし、加工条件に対応する形状のスピンナテーブルと、装置に装着されているスピンナテーブルとが異なると、ウェーハを傷付けたり、装置を破損させたりすることがある。
研削装置1では、これらの加工条件に応じて、適切なスピンナテーブル80の形状が設定されている。そして、設定部111は、研削装置1に入力された加工条件に対応した、適切なスピンナテーブルの形状を選択する。
図4に、スピンナテーブル80として用いられる、比較的に小径の保持面81を有するスピンナテーブル802を示す。この図に示すようにスピンナテーブル80(802)の連結部材83は、外側に形成されている第1円筒部831、および、第1円筒部831の内側に形成されている第2円筒部832を有している。
なお、凹部の代わりに凸部を形成していてもよい。凸部の数に基づいてスピンナテーブル80の形状を認識するように構成されていてもよい。
つまり、テーブルセンサー93は、スピンナテーブル80の下面に検知光を投光する投光部と、検知光が下面で反射した反射光を受光する受光部とを備えた反射型光電センサである。
また、テーブルセンサー93は、近接センサであってもよい。例えば、上蓋300が樹脂で形成され、金属で形成されたスピンナテーブル80の下面を近接センサが検知するように構成されていてもよい。
つまり、回転軸73に嵌入穴833を嵌入させている量が不足していると判断する事ができる。
また、スピンナテーブルの形状を認識するために凹部の代わりに凸部を形成している場合には、テーブルセンサー93が凸部を認識(検知)できないときに、スピンナテーブル80が回転軸73に正常に装着されていないと判断する事ができる。
一方、上取りは、スピンナテーブル80に保持されたウェーハ100の上面を、ロボットハンド155の吸着面156によって吸引保持することを意味する。
11:第1の装置ベース、12:第2の装置ベース、13:コラム、
30:チャックテーブル、32:保持面、39:カバー、40:蛇腹カバー、
41:搬入機構、42:搬出機構、
5:研削手段、50:スピンドル、54:研削ホイール、56:研削砥石、
70:スピンナ洗浄機構、71:円筒部、72:容器部、73:回転軸、
76:洗浄水ノズル、77:カバー、
90:モータ、91:エンコーダ、93:テーブルセンサー、
80:スピンナテーブル、81:保持面、
801:スピンナテーブル、802:スピンナテーブル、
83:連結部材、831:第1円筒部、832:第2円筒部、
833:嵌入穴、834:環状隙間部、835:凹部
100:ウェーハ、101:表面、102:裏面、103:保護テープ、
111:設定部、112:認識部、
113:受け取り方法設定部、115:通知部、
155:ロボットハンド、156:吸着面
Claims (2)
- ウェーハを加工する加工手段と、加工されたウェーハをスピンナテーブルの保持面によって保持して洗浄するスピンナ洗浄機構と、を備える加工装置であって、
該加工手段によってウェーハを加工する加工条件に対応したスピンナテーブルの形状を選択する設定部と、
該スピンナ洗浄機構に設置されているスピンナテーブルの形状を認識する認識部と、
該設定部によって選択されたスピンナテーブルの形状と、該認識部によって認識されたスピンナテーブルの形状とを比較して、これらが不一致であると判断したときに、不一致であることを作業者に通知する通知部と、
を備える加工装置。 - 該設定部によって選択されたスピンナテーブルの形状に基づいて、該スピンナテーブルからロボットハンドがウェーハを受け取る受け取り方法を選択する受け取り方法設定部と、
該受け取り方法とスピンナテーブル形状とが対応づけられているデータテーブルと、をさらに備え、
該通知部は、該受け取り方法設定部によって設定された受け取り方法に応じて該データテーブルを参照して抽出されるスピンナテーブル形状と、該認識部によって認識されたスピンナテーブル形状とを比較して、これらが不一致であると判断したときに、不一致であることを作業者に通知する、
請求項1記載の加工装置。
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