JP4513102B2 - 処理装置における処理器具の交換方法及び交換用プログラム - Google Patents

処理装置における処理器具の交換方法及び交換用プログラム Download PDF

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Description

この発明は、半導体ウエハ等の被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法及び交換用プログラムに関するものである。
一般に、半導体ウエハ等の製造工程においては、半導体ウエハやＬＣＤ基板等の被処理基板（以下に、被処理体という）の表面にレジストのパターンを形成するため、フォトリソグラフィ技術が用いられる。このフォトリソグラフィ技術は、被処理体の表面にレジスト液を塗布するレジスト塗布処理と、形成されたレジスト膜に回路パターンを露光する露光処理と、露光処理後の被処理体に現像液を供給する現像処理とを有しており、これらは塗布現像処理装置を用いて行われる。
一般に、塗布現像処理装置は、被処理体を搬出入するための搬入部および搬出部と、上記レジスト塗布処理、露光処理および現像処理等の複数種類の処理を行うための処理ユニットと、これらの間で被処理体を受け渡しするためのインター・フェース部とを備えている。そして、インター・フェース部の搬送手段、例えば搬送アームにより、搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送し、処理ユニットの搬出入口よりシャッターを介して処理ユニット内部に搬入し、塗布などの処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって他の処理ユニット又は搬出部に搬送する構成となっている。
これらの処理ユニットにおいてメンテナンスを行う場合には、作業者が当該処理ユニットにおける上記シャッター付の搬出入口とは反対側（外側）に位置する開口のカバードアを開けて行う。カバードアが開いた場合、安全基準を満たすために、インターロック機構が働いて、塗布現像処理装置全体の動作が停止する構成になっている。
例えば、塗布ユニットでは、内部で被処理体である基板をスピンチャックで保持し、このスピンチャックと被処理体を処理器具である処理カップで包囲した状態で、回転する基板の表面に処理液を供給する構成であり、この処理カップを、現状では１週間に２回ほど交換することが必要となっている。このカップ交換作業のため、処理の途中で、塗布ユニットのカバードアを開けると、インターロック機構が働いて、搬送手段である搬送機構が停止する。このため、従来は、処理ユニットの露光処理および現像処理が終了し、全ての被処理体がキャリアに収納された後に、処理カップの交換作業を行っていた。
このようにインターロック機構が動作してしまうことは、一部の処理ユニットのメンテナンスを行うために、メンテナンスが終わるまでの期間、塗布現像処理装置全体が停止してしまい、装置稼働率が低下することを意味する。
そこで、上記処理ユニットの搬出入口におけるシャッターが作業者により閉じられたことを条件として、インターロック機構を無効にすることで、カバードアを開成した際に処理装置全体が停止する不都合をなくし、装置稼働率を向上させた基板処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００６−１２９１２号公報
しかしながら、処理ユニットの種類によっては、作業者のスイッチ操作によりシャッターを閉じてインターロック機構を無効にするだけでは、問題を解決できない場合がある。
例えば、上述した塗布ユニットが処理装置全体中で１台しか備わっていない場合、この塗布ユニットの処理カップを交換するカップ交換作業中は、塗布ユニットが存在しないことになる。このため次ロットの払い出しを停止したり、処理装置全体を停止するなどの処置が必要となる。更にまた、塗布ユニットが装置全体中で複数台備わっている場合でも、カップ交換対象の処理ユニットを迂回するようにプログラムを変更する等の処置が必要が生じる。
また、塗布ユニットにおけるカップ交換作業では、処理ユニットでの処理が終了した直後に、処理カップの交換が可能となることが望ましいが、従来技術では、処理ユニットでの処理が終了したかどうかを自動判別することなく、作業者がスイッチ操作により搬出入口シャッターを閉じる構成のため、連続して行われる処理の中で何時シャッターを閉じるかの判断を、作業者がしなければならない。したがって、処理ユニットでの処理が終了してからシャッターを閉じてカバードアを開ける迄の時間遅れを生じやすい。
このような問題は、処理カップ以外の処理ユニットを構成する処理器具、例えばノズルやスピンチャック等の交換や点検等においても生じる。
この発明は、上記事情に鑑みなされたもので、交換対象以外の処理器具を有する処理ユニットの処理を続行しながら、処理カップ等の処理器具の交換を行うことを可能とし、更には、処理器具の交換を行わない同種処理ユニットを使用して次のロットの処理が継続できる処理器具の交換方法及び交換用プログラムを提供することを課題とする。
上記目的を達成するため、この発明の処理器具の交換方法は、搬送手段により被処理体を処理ユニット内に搬入し、処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、 処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、 処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、を有することを特徴とする（請求項１）。
また、この発明の別の処理器具の交換方法は、搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、 処理器具交換対象の予約を設定するステップと、 処理器具交換作業の開始に先立ち、予約が設定された際に、搬入部での次ロットの払い出しを停止するステップと、 処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、 処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、 処理器具交換作業の終了により、搬入部での次ロットの払い出し停止を解除するステップと、を有することを特徴とする（請求項２）。
また、この発明の更に別の処理器具の交換方法は、搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む同種の複数の処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、 処理器具交換対象の予約を設定するステップと、 上記同種の複数の処理ユニットの一つにおける処理器具を交換すべく、処理器具交換対象の処理ユニットを使用しないように、被処理体を搬送する搬送スケジュールを予約前の搬送スケジュールから変更するステップと、 処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、 処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、を有することを特徴とする（請求項３）。
この発明の処理器具の交換用プログラムは、搬送手段により被処理体を処理ユニット内に搬入し、処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、 コンピュータに、 処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、 処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、を実行させることを特徴とする（請求項４）。
この発明の別の処理器具の交換用プログラムは、搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、 コンピュータに、 処理器具交換対象の予約を設定する手順と、 処理器具交換作業の開始に先立ち、予約が設定された際に、搬入部での次ロットの払い出しを停止する手順と、 処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、 処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、 処理器具交換作業の終了により、搬入部での次ロットの払い出し停止を解除する手順と、を実行させることを特徴とする（請求項５）。
この発明の更に別の処理器具の交換用プログラムは、搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む同種の複数の処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、 コンピュータに、 処理器具交換対象の予約を設定する手順と、 上記同種の複数の処理ユニットの一つにおける処理器具を交換すべく、処理器具交換対象の処理ユニットを使用しないように、被処理体を搬送する搬送スケジュールを予約前の搬送スケジュールから変更する手順と、 処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、 処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、を実行させることを特徴とする（請求項６）。
請求項１又は４記載の発明によれば、処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したこと、及び処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターが閉じられたことの２つを条件として、搬送手段の作動禁止状態が解除され、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作が可能になる。これにより、作業者がスイッチ操作によりシャッターを閉じる場合に比べ、安全かつ迅速に処理器具の交換が可能となる。
請求項２又は５記載の発明によれば、処理器具交換作業の開始に先立ち、搬入部での次ロットの払い出しを停止するので、処理器具交換対象の処理ユニットに代わる同種の処理ユニットがない場合でも、処理器具交換対象の処理ユニット以外で無駄な処理が実施されることを防止することができる。
請求項３又は６記載の発明によれば、同種の複数の処理ユニットの一台についてのみ処理器具を交換する場合に、搬送スケジュールが変更され、処理器具交換対象の処理ユニットと同種の処理器具交換対象となっていない処理ユニットを使用して処理が続行されるため、処理装置全体として稼働率を極端に下げることなく処理を続行することができる。
以下、この発明の最良の形態について、添付図示に基づいて説明する。ここでは、この発明に係る処理器具の交換方法を、半導体ウエハのレジスト液塗布・現像処理システムからなる処理装置における処理カップの交換方法に適用した場合について説明する。
図２は、上記レジスト液塗布・現像処理システムの一実施形態の概略平面図、図３は、図２の正面図、図４は、図２の背面図である。
上記レジスト液塗布・現像処理システムは、被処理体である半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）をウエハカセット１で複数枚例えば２５枚単位で外部からシステムに搬入又はシステムから搬出したり、ウエハカセット１に対してウエハＷを搬出・搬入したりするための搬入部および搬出部として機能するカセットステーション１０と、塗布現像工程の中で１枚ずつウエハＷに所定の処理を施す枚葉式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置してなる処理装置本体を具備する処理ステーション２０と、この処理ステーション２０と隣接して設けられる露光装置（図示せず）との間でウエハＷを受け渡すためのインター・フェース部３０とで主要部が構成されている。
上記カセットステーション１０は、図２に示すように、カセット載置台２上の突起３の位置に複数個例えば４個までのウエハカセット１がそれぞれのウエハ出入口を処理ステーション２０側に向けて水平のＸ方向に沿って一列に載置され、カセット配列方向（Ｘ方向）及びウエハカセット１内に垂直方向に沿って収容されたウエハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向）に移動可能なウエハ搬送用ピンセット４が各ウエハカセット１に選択的に搬送するように構成されている。また、ウエハ搬送用ピンセット４は、θ方向に回転可能に構成されており、後述する処理ステーション２０側の第３の組Ｇ３の多段ユニット部に属するアライメントユニット（ＡＬＩＭ）及びエクステンションユニット（ＥＸＴ）にも搬送できるようになっている。
上記処理ステーション２０は、図２に示すように、中心部に、搬送手段である垂直搬送型の主ウエハ搬送機構２１が設けられ、この主ウエハ搬送機構２１を収容する室２２の周りに全ての処理ユニットが１組又は複数の組に渡って多段に配置されている。この例では、５組Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４及びＧ５の多段配置構成であり、第１及び第２の組Ｇ１、Ｇ２の多段ユニットはシステム正面側に並列され、第３の組Ｇ３の多段ユニットはカセットステーション１０に隣接して配置され、第４の組Ｇ４の多段ユニットはインター・フェース部３０に隣接して配置され、第５の組Ｇ５の多段ユニットは背部側に配置されている。
この場合、図３に示すように、第１の組Ｇ１では、容器としての処理カップ２３内でウエハＷと現像液供給手段（図示せず）とを対峙させてレジストパターンを現像する現像ユニット（ＤＥＶ）と、ウエハＷをスピンチャック（図示せず）に載置して所定の処理を行うレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）とが垂直方向の下から順に２段に重ねられている。第２の組Ｇ２も同様に、２台のレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）及び現像ユニット（ＤＥＶ）が垂直方向の下から順に２段に重ねられている。このようにレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を下段側に配置した理由は、レジスト液の排液が機構的にもメンテナンスの上でも面倒であるためである。しかし、必要に応じてレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）を上段に配置することも可能である。
図４に示すように、第３の組Ｇ３では、ウエハＷをウエハ載置台２４（図２参照）に載置して所定の処理を行うオーブン型の処理ユニット例えばウエハＷを冷却するクーリングユニット（ＣＯＬ）、ウエハＷに疎水化処理を行うアドヒージョンユニット（ＡＤ）、ウエハＷの位置合わせを行うアライメントユニット（ＡＬＩＭ）、ウエハＷの搬入出を行うエクステンションユニット（ＥＸＴ）、ウエハＷをベークする４つのホットプレートユニット（ＨＰ）が垂直方向の下から順に例えば８段に重ねられている。第４の組Ｇ４も同様に、オーブン型処理ユニット例えばクーリングユニット（ＣＯＬ）、エクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）、エクステンションユニット（ＥＸＴ）、クーリングユニット（ＣＯＬ）、急冷機能を有する２つのチリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）及び２つのホットプレートユニット（ＨＰ）が垂直方向の下から順に例えば８段に重ねられている。
上記のように処理温度の低いクーリングユニット（ＣＯＬ）、エクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）を下段に配置し、処理温度の高いホットプレートユニット（ＨＰ）、チリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）及びアドヒージョンユニット（ＡＤ）を上段に配置することで、ユニット間の熱的な相互干渉を少なくすることができる。勿論、ランダムな多段配置とすることも可能である。
なお、図２に示すように、処理ステーション２０において、第１及び第２の組Ｇ１、Ｇ２の多段ユニット（スピナ型処理ユニット）に隣接する第３及び第４の組Ｇ３、Ｇ４の多段ユニット（オーブン型処理ユニット）の側壁の中には、それぞれダクト２５、ダクト２６が垂直方向に縦断して設けられている。これらのダクト２５、２６には、ダウンフローの清浄空気又は特別に温度調整された空気が流されるようになっている。このダクト構造によって、第３及び第４の組Ｇ３、Ｇ４のオーブン型処理ユニットで発生した熱は遮断され、第１及び第２の組Ｇ１、Ｇ２のスピナ型処理ユニットへは及ばないようになっている。
また、この処理システムでは、主ウエハ搬送機構２１の背部側にも図２に点線で示すように第５の組Ｇ５の多段ユニットが配置できるようになっている。この第５の組Ｇ５の多段ユニットは、案内レール２７に沿って主ウエハ搬送機構２１から見て側方へ移動できるようになっている。したがって、第５の組Ｇ５の多段ユニットを設けた場合でも、ユニットをスライドすることにより空間部が確保されるので、主ウエハ搬送機構２１に対して背後からメンテナンス作業を容易に行うことができる。
上記インター・フェース部３０は、奥行き方向では処理ステーション２０と同じ寸法を有するが、幅方向では小さなサイズに作られている。このインター・フェース部３０の正面部には可搬性のピックアップカセット３１と定置型のバッファカセット３２が２段に配置され、背面部には、ウエハＷの周辺部の露光及び識別マーク領域の露光を行う露光手段である周辺露光装置３３が配設され、中央部には、搬送手段であるウエハの搬送アーム３４が配設されている。この搬送アーム３４は、Ｘ、Ｚ方向に移動して両カセット３１，３２及び周辺露光装置３３に搬送するように構成されている。また、搬送アーム３４は、θ方向に回転可能に構成され、処理ステーション２０側の第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）及び隣接する露光装置側のウエハ受渡し台（図示せず）にも搬送できるように構成されている。
上記のように構成される処理システムは、クリーンルーム４０内に設置されるが、更にシステム内でも効率的な垂直層流方式によって各部の清浄度を高めている。
次に、上記レジスト液塗布・現像処理システムの動作について説明する。
まず、カセットステーション１０において、ウエハ搬送用ピンセット４がカセット載置台２上の未処理のウエハＷを収容しているカセット１にアクセスして、そのカセット１から１枚のウエハＷを取り出す。ウエハ搬送用ピンセット４は、カセット１よりウエハＷを取り出すと、処理ステーション２０側の第３の組Ｇ３の多段ユニット内に配置されているアライメントユニット（ＡＬＩＭ）まで移動し、ユニット（ＡＬＩＭ）内のウエハ載置台２４上にウエハＷを載せる。ウエハＷは、ウエハ載置台２４上でオリフラ合せ及びセンタリングを受ける。その後、主ウエハ搬送機構２１がアライメントユニット（ＡＬＩＭ）に反対側からアクセスし、ウエハ載置台２４からウエハＷを受け取る。
処理ステーション２０において、主ウエハ搬送機構２１はウエハＷを最初に第３の組Ｇ３の多段ユニットに属するアドヒージョンユニット（ＡＤ）に搬入する。このアドヒージョンユニット（ＡＤ）内でウエハＷは疎水化処理を受ける。疎水化処理が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷをアドヒージョンユニット（ＡＤ）から搬出して、次に第３の組Ｇ３又は第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するクーリングユニット（ＣＯＬ）へ搬入する。このクーリングユニット（ＣＯＬ）内でウエハＷはレジスト塗布処理前の設定温度例えば２３℃まで冷却される。冷却処理が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷをクーリングユニット（ＣＯＬ）から搬出し、次に第１の組Ｇ１又は第２の組Ｇ２の多段ユニットに属するレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）へ搬入する。このレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）内でウエハＷはスピンコート法によりウエハ表面に一様な膜厚でレジストを塗布する。
レジスト塗布処理が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷをレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）から搬出し、次にホットプレートユニット（ＨＰ）内へ搬入する。ホットプレートユニット（ＨＰ）内でウエハＷは載置台上に載置され、所定温度例えば１００℃で所定時間プリベーク処理される。これによって、ウエハＷ上の塗布膜から残存溶剤を蒸発除去することができる。プリベークが終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷをホットプレートユニット（ＨＰ）から搬出し、次に第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）へ搬送する。このユニット（ＥＸＴＣＯＬ）内でウエハＷは次工程すなわち周辺露光装置３３における周辺露光処理に適した温度例えば２４℃まで冷却される。この冷却後、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷを直ぐ上のエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ搬送し、このユニット（ＥＸＴ）内の載置台（図示せず）の上にウエハＷを載置する。このエクステンションユニット（ＥＸＴ）の載置台上にウエハＷが載置されると、インター・フェース部３０の搬送アーム３４が反対側からアクセスして、ウエハＷを受け取る。そして、搬送アーム３４はウエハＷをインター・フェース部３０内の周辺露光装置３３へ搬入する。
露光装置で全面露光が済んで、ウエハＷが露光装置側のウエハ受取り台に戻されると、インター・フェース部３０の搬送アーム３４はそのウエハ受取り台へアクセスしてウエハＷを受け取り、受け取ったウエハＷを処理ステーション２０側の第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ搬入し、ウエハ受取り台上に載置する。この場合にも、ウエハＷは、処理ステーション２０側へ渡される前にインター・フェース部３０内のバッファカセット３２に一時的に収納されることもある。
ウエハ受取り台上に載置されたウエハＷは、主ウエハ搬送機構２１により、チリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）に搬送され、フリンジの発生を防止するため、あるいは化学増幅型レジスト（ＣＡＲ）における酸触媒反応を誘起するためポストエクスポージャーベーク処理が施される。
その後、ウエハＷは、第１の組Ｇ１又は第２の組Ｇ２の多段ユニットに属する現像ユニット（ＤＥＶ）に搬入される。この現像ユニット（ＤＥＶ）内では、ウエハＷ表面のレジストに現像液が満遍なく供給されて現像処理が施される。この現像処理によって、ウエハＷ表面に形成されたレジスト膜が所定の回路パターンに現像されると共に、ウエハＷの周辺部の余剰レジスト膜が除去され、更に、ウエハＷ表面に形成された（施された）アライメントマークＭの領域に付着したレジスト膜が除去される。このようにして、現像が終了すると、ウエハＷ表面にリンス液がかけられて現像液が洗い落とされる。
現像工程が終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷを現像ユニット（ＤＥＶ）から搬出して、次に第３の組Ｇ３又は第４の組Ｇ４の多段ユニットに属するホットプレートユニット（ＨＰ）へ搬入する。このユニット（ＨＰ）内でウエハＷは例えば１００℃で所定時間ポストベーク処理される。これによって、現像で膨潤したレジストが硬化し、耐薬品性が向上する。
ポストベークが終了すると、主ウエハ搬送機構２１は、ウエハＷをホットプレートユニット（ＨＰ）から搬出し、次にいずれかのクーリングユニット（ＣＯＬ）へ搬入する。ここでウエハＷが常温に戻った後、主ウエハ搬送機構２１は、次にウエハＷを第３の組Ｇ３に属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）へ移送する。このエクステンションユニット（ＥＸＴ）の載置台（図示せず）上にウエハＷが載置されると、カセットステーション１０側のウエハ搬送用ピンセット４が反対側からアクセスして、ウエハＷを受け取る。そして、ウエハ搬送用ピンセット４は、受け取ったウエハＷをカセット載置台２上の処理済みウエハ収容用のカセット１の所定のウエハ収容溝に入れて処理が完了する。
次に、図２で示したレジスト塗布ユニットの構成について説明する。この場合、処理装置のジスト塗布・現像処理システムにおいては、同種の２つのレジスト塗布ユニットを備えている。すなわち、第１の組Ｇ１に属するスピナ型の第１の処理ユニット４１（第１の塗布ユニット４１）と、第２の組Ｇ２に属するスピナ型の第２の処理ユニット４２（第２の塗布ユニット４２）である。第１及び第２の塗布ユニット４１，４２は、それぞれ処理室４３の主ウエハ搬送機構２１側にシャッター４４により開閉される搬出入口４５を有すると共に、処理室４３の外側（図２の下側）にカバードア４６により開閉されるメンテナンス開口４７を有する。
図５に、第１及び第２の塗布ユニット４１，４２の具体的構成を示す。この第１及び第２の塗布ユニット４１，４２のケーシング４８内には、ウエハＷを回転自在に保持する保持手段としてのスピンチャック４９と、このスピンチャック４９及びウエハＷの外周とそれら下方を包囲する処理カップ２３と、ウエハＷの表面に処理液として、塗布液例えばレジスト液や、溶剤を供給する集合ノズル５０が備えられている。
スピンチャック４９は、ケーシング４８の下方のスピンモータ５１により回転する回転軸５２の上部に装着されるチャックプレート４９ａと、このチャックプレート４９ａの周縁部に垂設された保持部材（図示せず）とから構成されており、保持部材は、ウエハＷをチャックプレート４９ａから浮かせた状態でウエハＷの周縁部を保持するように構成されている。
また、処理カップ２３内の雰囲気は、処理カップ２３の底部から、外部に設置されている真空ポンプなどの排気手段によって排気される。さらに、ウエハＷが回転する際に飛び散った処理液は、スピンチャック４９の外方から、処理カップ２３の底部に設けられたドレイン２８を通じて排出される。処理カップ２３は上下移動可能であると共に、必要に応じてメンテナンスのため着脱できるように構成されている。
集合ノズル５０は、回動軸５３を中心として旋回する移動部材としての回動アーム５４の先端に設けられている。集合ノズル５０には、塗布液供給管路５５に接続され塗布液を吐出する塗布液供給ノズル５６と、溶剤供給管路５７に接続され溶剤を吐出する溶剤供給ノズル５８が設けられおり、これらのノズル５６，５８はウエハＷの半径方向内側に相前後して並置され、集合ノズル５０の下面にいずれも開口している。すなわち、この塗布液供給ノズル５６と溶剤供給ノズル５８は、ウエハＷの半径方向内側に塗布液供給ノズル５６が位置し、またウエハＷの半径方向外側に溶剤供給ノズル５８が位置するように、互いに所定間隔だけ離して並置されている。そして、塗布液供給ノズル５６からは塗布液供給管路５５により供給された塗布液が、また溶剤供給ノズル５８からは溶剤供給管路５７により供給された溶剤がそれぞれ独立に吐出されるように構成されている。
また、図５に示すように、回動アーム５４は、処理カップ２３の外側に鉛直に設けられた回動軸５３の上部に水平姿勢で固定されおり、回動軸５３の回転機構５９（ノズル移動機構５９）によって、水平面内で回動するように構成されている。回動アーム５４は、ウエハＷの上方において、ウエハＷの中心部付近に移動した状態と、処理カップ２３よりも外側の待機位置（ホームポジション）に移動した状態との間を移動する。回動アーム５４を、これらの間で移動させることにより、ウエハＷ上に塗布膜Ｔを形成する処理を行う。
次に、処理カップを交換する際の制御系について説明する。
処理室４３への搬出入口４５に設けられたシャッター４４は、例えばシリンダからなる開閉駆動機構６０により上下方向に移動されて、搬出入口４５を開閉する構成となっている。このシャッター４４の開閉を検知するため、例えば光学式のシャッター開閉センサ６１がシャッター４４に近接して設けられ、シャッター４４が開いたときその旨の検知信号を出力する構成になっている。また、カバードア４６のドアインターロックを検知するため、メンテナンス開口４７の縁にドアスイッチ６２が設けられている。
これらシャッター開閉センサ６１及びドアスイッチ６２は、制御手段としての制御コンピュータ６３に入力される。上記した処理装置は、この制御コンピュータ６３に予め記憶された処理シーケンスに基づいて制御可能に形成されている。
制御コンピュータ６３は、図５に概略的に示すように、中央演算処理装置（ＣＰＵ）を主体として構成される制御手段６４（以下にＣＰＵ６４という）と、ＣＰＵ６４に接続された入出力部６５と、処理シーケンスを作成するための処理シーケンス入力画面を表示する表示部６６と、入出力部６５に挿着され制御ソフトウエアを格納した記録媒体６７とを具備する。なお、制御コンピュータ６３は、具体的には、図３に示すように、カセットステーション１０のカセット載置台２に設置される。この場合、制御コンピュータ６３は、引き出し式に格納されるキーボードからなる入出力部６５と、ディスプレーからなる表示部６６及び記録媒体６７とで構成されている。
上記記録媒体６７は、制御コンピュータ６３に固定的に設けられるもの、あるいは、制御コンピュータ６３に設けられた読み取り装置に着脱自在に挿着されて該読み取り装置により読み取り可能なものであってもよい。最も典型的な実施形態においては、記録媒体６７は、基板処理装置のメーカーのサービスマンによって制御ソフトウエアがインストールされたハードディスクドライブである。他の実施の形態においては、記録媒体６７は、制御ソフトウエアが書き込まれたＣＤ−ＲＯＭ又はＤＶＤ−ＲＯＭのような読み出し専用のリムーバブルディスクであり、このようなリムーバブルディスクは制御コンピュータ６３に設けられた光学的読み取り装置によって読み取られる。記録媒体６７は、ＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍ ａｃｃｅｓｓ ｍｅｍｏｒｙ）又はＲＯＭ（ｒｅａｄ ｏｎｌｙ ｍｅｍｏｒｙ）のいずれの形式のものであってもよく、また、記録媒体６７は、カセット式のＲＯＭのようなものであってもよい。要するに、コンピュータの技術分野において知られている任意のものを記録媒体６７として用いることが可能である。
上記のように構成された制御コンピュータ６３によって制御ソフトウエアを実行することにより、カバードア４６が開いた場合に処理装置を基本的に停止させるインターロック機構（ドアロック回路）の機能や、シャッター４４が閉じたとき作動し搬送手段である搬送アーム３４の作動を禁止するインターロック機構の機能や、カップ交換時のスピンモータの停止などの特定の制御機能を実現するように制御する。また、上記処理システムの各機能要素である上記主ウエハ搬送機構２１，スピンチャック４９，ノズル５６，５８からの塗布液・溶剤の供給・停止等を、所定の処理シーケンスにより定義された様々なプロセス条件を実現する一般的な制御も行う。
この発明においては、制御コンピュータ６３の記録媒体６７に、図１に示すような、処理カップ２３の交換用プログラムを記憶しておき、この処理プログラムに基づいて、搬送アーム３４によるウエハＷの搬送を行うように機能させている。
次に、この発明に係る処理カップ２３の交換方法について、図１を参照しながら説明する。
＜カップ交換対象の処理ユニットだけを考慮する場合＞
これはカップ交換対象の処理ユニットが第１の塗布ユニット４１であるとしたとき、これ以外の処理ユニット（第２の塗布ユニット４２、現像ユニットなど）での処理を意識せずに制御する場合であり、図１のカップ交換処理フローにおいて、ステップＳ１０１〜Ｓ１０３と、ステップＳ１０９〜Ｓ１１０を省略した形となる。
この場合、予め、ＣＰＵ６４にカップ交換対象の処理ユニット(第１の塗布ユニット４１)を予約登録(設定)しておく。すると、ＣＰＵ６４は、カップ交換対象の処理ユニット（第１の塗布ユニット４１）において、仕掛かり中のウエハが無いかどうか、つまり被処理体の処理が終了したかどうかをチェックする（ステップＳ１０４）。仕掛かり中の残りのウエハが有る場合（ステップＳ１０４でＮｏ）には、その最後のウエハＷの処理が終了するのを待つ（ステップＳ１０４）。
最後のウエハＷの処理が終了し、処理ユニット(第１の塗布ユニット４１)外に搬出されたならば、ＣＰＵ６４は、アラーム装置６８（図２参照）を利用して、処理カップ２３のカップ交換作業が可能であることを作業者に報せる（ステップＳ１０５）。そして作業者は処理ユニット（第１の塗布ユニット４１）の搬出入口４５にあるシャッター４４が閉じているかを確認する（ステップＳ１０６）。シャッター４４が閉じたことは、ＣＰＵ６４がシャッター開閉センサ６１の出力を監視することで把握される。シャッター４４が閉じられていれば、処理カップ２３のメンテナンスのためにカバードア４６が開かれる。
カバードア４６を開けた場合には、通常はこれに伴いインターロック機構６９（図５参照）が働いて、搬送手段である主ウエハ搬送機構２１の作動禁止の状態となるので、このインターロック機構６９による主ウエハ搬送機構２１の作動禁止を無効にする（ステップＳ１０７）。これにより主ウエハ搬送機構２１は、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作が可能となる。
この状態が確立された後、作業者は、カバードア４６が開かれたメンテナンス開口４７においてカップ交換作業を行う（ステップＳ１０８）。この時に機械的にシャッター４４が開かないように、作業者が図示しないシャッターロックを行う。カバードア４６が開いたことは、ＣＰＵ６４がドアスイッチ６２の出力を監視することで把握される。
カップ交換作業の終了後、インターロック機構６９による主ウエハ搬送機構２１の作動禁止を有効にして（ステップＳ１０９）、プログラムは完了となる。
この処理カップ２３の交換方法によれば、カップ交換対象の処理ユニットに仕掛かり中のウエハＷがある場合、それの処理が終了した時点で処理カップ交換が可能である旨の報知がなされるので、作業者は直ちにシャッター４４を閉じてカバードア４６を開いてカップ交換作業を開始することができる。
＜カップ交換対象の処理ユニットが塗布ユニット全体の場合＞
同種の処理ユニット（塗布ユニット）が１台のみ又は複数台備わっている処理装置の場合で、他の処理ユニット（現像ユニットなど）による処理も考慮したカップ交換処理について説明する。
同種の塗布ユニット全体の処理カップ２３の交換を行うと、その間、処理装置は連続した処理を続けられなくなる。そこで、ＣＰＵ６４に、交換対象の処理ユニットの予約登録(設定)をしておけば、プログラムは、まず、図１において、全ての処理ユニットでの処理カップ交換であるかどうかを、作業者からの指示又は把握している処理ユニットの種類及び台数の構成から判断する（ステップＳ１０１）。
全ての処理ユニットでの処理カップ交換である場合（ステップＳ１０１でＹｅｓ）、つまり同種の処理ユニットの塗布ユニット４１，４２のカップ交換を行う場合は、搬入部であるカセットステーション１０に次ロットの払い出しを停止するよう指示する（ステップＳ１０２）。
次に、カップ交換対象の処理ユニット（第１、第２の塗布ユニット４１，４２）での最後のウエハＷの処理が終了したかどうかをチェックする（ステップＳ１０４）。仕掛かり中の残りのウエハＷがある場合（ステップＳ１０４でＮｏ）には、その最後のウエハＷの処理が終了するのを待つ（ステップＳ１０４）。
ＣＰＵ６４は、交換対象の処理ユニットで処理される最後のウエハＷの処理が終了した時点（複数の処理ユニットの並列処理であれば、終了のタイミングがずれる。）で、処理カップ２３の交換作業ができる旨を作業者に報せる（ステップＳ１０５）。そして作業者が処理ユニットの搬出入口４５にあるシャッター４４を閉じるのを待つ（ステップＳ１０６）。
シャッター４４が閉じた場合には、通常はこれに伴いインターロック機構６９が働くので、このインターロック機構６９による搬送手段の作動禁止を無効にする（ステップＳ１０７）。これにより主ウエハ搬送機構２１は、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作が可能となる。
この状態が確立された後、作業者はカバードア４６を開いてカップ交換作業を行う（ステップＳ１０８）。この時に機械的にシャッター４４が開かないように、作業者が図示しないシャッターロックを行う。
処理カップ作業の終了後、インターロック機構６９による主ウエハ搬送機構２１の作動禁止を有効に戻す（ステップＳ１０９）。そして、搬入部であるカセットステーション１０に対する次ロットの払い出し停止を解除するよう指示して（ステップＳ１０９〜Ｓ１１０）、プログラムは完了となる。
この処理カップ２３の交換方法によれば、搬入部から次ロットが払い出しされるのを防止することができる。
＜カップ交換対象の処理ユニットが複数台の場合＞
同種の処理ユニット（塗布ユニット）の複数台が備わっており、そのうちの１台が処理カップ交換の対象である場合は、カップ交換の対象となっている処理ユニットと同種の他の処理ユニットにより、それまでの塗布処理を続行することが可能である。
まず図１において、全ての処理ユニットでの処理カップ交換であるかどうかを、作業者からの指示又は把握している処理ユニットの種類及び台数の構成から判断する（ステップＳ１０１）。全ての処理ユニットでの処理カップ交換ではない場合（ステップＳ１０１でＮｏ）、つまり同種の処理ユニット（塗布ユニット）が複数台（ここでは第１の塗布ユニット４１と第２の塗布ユニット４２の２台）備わっている場合は、カップ交換対象の処理ユニットを使用しないように、カップ交換を予約していない場合の通常時の登録されている搬送スケジュールを、カップ交換予約登録(設定)に基づいてＣＰＵ６４が次ロットの搬送スケジュールを変更する（ステップＳ１０３）。
次に、カップ交換対象の処理ユニット（第１の塗布ユニット４１）での被処理体の処理が終了したかどうかをチェックする（ステップＳ１０４）。仕掛かり中の残りのウエハが有る場合（ステップＳ１０４でＮｏ）には、その最後のウエハＷの処理が終了するのを待つ（ステップＳ１０４）。
最後のウエハＷの処理が終了した時点で、処理カップ２３の交換作業ができる旨を作業者に報せる（ステップＳ１０５）。そして、作業者により処理ユニットの搬出入口４５にあるシャッター４４が閉じられるのを待つ（ステップＳ１０６）。
シャッター４４が閉じた場合には、通常はこれに伴いインターロック機構６９が働くので、このインターロック機構６９による主ウエハ搬送機構２１の作動禁止を無効にする（ステップＳ１０７）。これにより主ウエハ搬送機構２１は、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作が可能となる。
この状態が確立された後、作業者はカバードア４６を開いてカップ交換作業を行う（ステップＳ１０８）。この時に機械的にシャッター４４が開かないように、作業者が図示しないシャッターロックを行う。
カップ交換作業の終了後、インターロック機構６９による主ウエハ搬送機構２１の作動禁止を有効に戻して（ステップＳ１０９）、プログラムは完了となる。
この処理カップ２３の交換方法によれば、塗布処理の処理能力は減少するが、搬送スケジュールを変更するだけで、それまでと同様に塗布処理を含めた現像処理，加熱処理等において被処理体の処理が継続できることになる。
＜具体例＞
次に、この発明の処理カップ２３の交換方法の具体例を、図５〜図８を参照しながら更に詳細に説明する。
作業者は、まず、制御コンピュータ６３の入出力部６５より、表示部６６の操作画面を見ながら、処理カップ２３の交換を行いたい処理ユニット（ここでは第１の塗布ユニット又は第２の塗布ユニット４２のいずれか）を指定して、カップ交換予約を行う。この際に、次ロットの払い出し停止と、次ロットの搬送スケジュールが変更される。
図６において、ＣＰＵ６４はこのカップ交換予約があるかどうかをチェックする（ステップＳ１）。カップ交換予約があった場合（ステップＳ１でＹｅｓ）、アラーム装置６８のカップ交換中表示器７０（図５参照）あるいは表示部６６(図３，図５参照)に「カップ交換予約中」をアラーム表示する（ステップＳ２）。
次に、カップ交換予約の内容から、全ての塗布ユニットでの処理カップ交換であるかどうかを判断する（ステップＳ３）。
全ての処理ユニットでの処理カップ交換ではない場合（ステップＳ３でＮｏ）、つまり同種の処理ユニット（塗布ユニット）が複数台（ここでは第１の塗布ユニット４１と第２の塗布ユニット４２の２台）備わっている場合は、カップ交換対象の処理ユニットを使用しないように次ロットの搬送スケジュールを変更する（ステップＳ４）。
また、全ての塗布ユニットでの処理カップ２３の交換である場合（ステップＳ３でＹｅｓ）、つまり交換対象の処理ユニットと同種の処理ユニットが１台（第１の塗布ユニット４１）だけ備わっている場合は、搬入部であるカセットステーション１０に次ロットの払い出しを停止するよう指示する（ステップＳ５）。
次に、カップ交換対象の第１の塗布ユニット４１でのウエハＷの処理が終了したかどうかをチェックする（ステップＳ６）。仕掛かり中のウエハＷがある場合（ステップＳ６でＮｏ）には、その最後のウエハが第１の塗布ユニット４１を通過して処理が終了するのを待つ（ステップＳ６）。
最後のウエハＷの処理が終了したならば、ＣＰＵ６４は、アラーム装置６８のカップ交換可能表示器７１（図５参照）を作動させて、処理カップ２３の交換作業が可能である旨を作業者にアラーム表示によって報知する（ステップＳ７）。そして、カップ交換対象の第１の塗布ユニット４１のカップ交換スイッチ７２（図５参照）に内蔵されているＬＥＤ７３を点滅させる（ステップＳ８）。これを受けて作業者はカップ交換スイッチ７２を押すことになる。
プログラムは図７に進み、ＣＰＵ６４は、カップ交換スイッチ７２がＯＮしたかどうかチェックする（ステップＳ９）。カップ交換スイッチ７２をＯＮした場合に（ステップＳ９でＹｅｓ）、アラーム装置６８のカップ交換中表示器７０を作動させてカップ交換中アラームを表示する（ステップＳ１０）と共に、カップ交換スイッチ７２に内蔵のＬＥＤ７３を点灯する（ステップＳ１１）。
次に、シャッター４４が閉じているか否かが確認され(ステップ１２)、シャッター４４が閉じていない場合（ステップ１２でＮｏ）は、シャッター４４を閉じる用に報知する(ステップ１３)。
シャッター４４が閉じている場合（ステップＳ１２でＹｅｓ）、通常はこれに伴いインターロック機構６９（図５参照）が働くので、このインターロック機構６９を無効にして、主ウエハ搬送機構２１の作動禁止状態を解除すると共に、その旨をインターロック機構無効化表示器７５（図５参照）にて知らせる（ステップＳ１４，Ｓ１５）。これにより搬送アーム３４は、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作が可能となる。
続いて、カバードア４６についてのインターロック機構であるドアロック回路７６（図５参照）を無効にすると共に、ドアロック回路無効化表示器７７（図５参照）を作動させて、ドアロック回路無効化のアラームを発生する（ステップＳ１６，Ｓ１７）。これにより、カバードア４６を開いても処理装置は停止せず動作を続けることができる。続いて、安全のためスピンモータ５１（図５参照）の動作も禁止する（ステップＳ１８）。
この後、作業者は目的とする処理カップ２３の交換作業を開始することになる（ステップＳ１９）。そして、この交換作業を終了すると、作業者はカップ交換スイッチ７２を再度押す。これによりカップ交換スイッチ７２がＯＦＦとなる。
図８に進み、ＣＰＵ６４は、カップ交換スイッチ７２がＯＦＦするのを待ち、ＯＦＦになった場合（ステップＳ２０でＹｅｓ）、搬送アーム３４のインターロック機構６９を有効に戻し、インターロック機構６９の無効化のアラームをクリアする（ステップＳ２１、Ｓ２２）。またドアロック回路７６を有効に戻し、ドアロック回路無効化のアラームをクリアする（ステップＳ２３，Ｓ２４）。そしてスピンモータ５１の動作を許可し、カップ交換中アラームをクリアする（ステップＳ２５）。またカップ交換スイッチ７２のＬＥＤ７３も消灯させる（ステップＳ２７）。
最後に、ステップＳ２８において、第１の塗布ユニット４１の１台のみであるために次ロットの払い出しの停止を指示していた場合は、搬入部であるカセットステーション１０に対する次ロットの払い出し停止を解除するよう指示する（ステップＳ２８〜Ｓ２９）。
上述したカップ交換処理によれば、（１）搬送スケジュールに登録された全ての処理カップ２３を交換する場合には、（ａ）カップ交換予約を行った時点で、次ロットの払い出しが停止され、（ｂ）次ロットの処理は、全ての処理ユニットのカップ交換が終了した後に再開される。また、（２）搬送スケジュールに登録された一部の処理ユニットの処理カップ２３を交換する場合には、（ａ）カップ交換予約を行った時点で、次ロット以降のロットの搬送スケジュールを、カップ交換する処理ユニットを使用しないように変更して、ロットの処理を継続し、（ｂ）カップ交換が終了した時点で、処理を開始してないロット以降のロットの搬送スケジュールを全てのモジュールを使用するように変更して、処理を行うことができる。
上記の実施形態では、処理カップ２３の交換対象である処理ユニットが塗布ユニットである場合について説明したが、この発明はこれに限定されるものではなく、処理に供される処理器具、例えばノズル５６，５８やスピンチャック４９やフィルタ等を交換あるいは点検する場合にも適用することができる。
この発明に係る処理カップの交換方法を示したフローチャートである。 この発明に係る処理カップの交換方法を適用したレジスト液塗布・現像処理システムの一例を示す概略平面図である。 上記レジスト液塗布・現像処理システムの概略正面図である。 上記レジスト液塗布・現像処理システムの概略背面図である。 上記レジスト液塗布・現像処理システムにおける塗布ユニットの構成を示した図である。 この発明に係る処理カップの交換方法の具体例を示したフローチャートの一部を示した図である。 図６のフローチャートの続きを示した図である。 図７のフローチャートの続きを示した図である。
符号の説明
２１ 主ウエハ搬送機構（搬送手段）
２３ 処理カップ
４１ 第１の塗布ユニット（第１の処理ユニット）
４２ 第２の塗布ユニット（第２の処理ユニット）
４４ シャッター
４５ 搬出入口
４６ カバードア
４７ メンテナンス開口
６０ 開閉駆動機構
６１ シャッター開閉センサ
６２ ドアスイッチ
６３ 制御コンピュータ
６４ ＣＰＵ（制御手段）
６５ 入出力部
６６ 表示部
６７ 記録媒体
６８ アラーム装置
６９ インターロック機構
７０ カップ交換中表示器
７１ カップ交換可能表示器
７２ カップ交換スイッチ
７４ シャッター閉鎖表示器
７５ インターロック機構無効化表示器
７６ ドアロック回路
７７ ドアロック回路無効化表示器

Claims (6)

  1. 搬送手段により被処理体を処理ユニット内に搬入し、処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、
    処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、
    処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、
    を有することを特徴とする処理装置における処理器具の交換方法。
  2. 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、
    処理器具交換対象の予約を設定するステップと、
    処理器具交換作業の開始に先立ち、予約が設定された際に、搬入部での次ロットの払い出しを停止するステップと、
    処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、
    処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、
    処理器具交換作業の終了により、搬入部での次ロットの払い出し停止を解除するステップと、
    を有することを特徴とする処理装置における処理器具の交換方法。
  3. 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む同種の複数の処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、
    処理器具交換対象の予約を設定するステップと、
    上記同種の複数の処理ユニットの一つにおける処理器具を交換すべく、処理器具交換対象の処理ユニットを使用しないように、被処理体を搬送する搬送スケジュールを予約前の搬送スケジュールから変更するステップと、
    処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、
    処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、
    を有することを特徴とする処理装置における処理器具の交換方法。
  4. 搬送手段により被処理体を処理ユニット内に搬入し、処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、
    コンピュータに、
    処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、
    処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、
    を実行させることを特徴とする処理装置における処理器具の交換用プログラム。
  5. 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、
    コンピュータに、
    処理器具交換対象の予約を設定する手順と、
    処理器具交換作業の開始に先立ち、予約が設定された際に、搬入部での次ロットの払い出しを停止する手順と、
    処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、
    処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、
    処理器具交換作業の終了により、搬入部での次ロットの払い出し停止を解除する手順と、
    を実行させることを特徴とする処理装置における処理器具の交換用プログラム。
  6. 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む同種の複数の処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、
    コンピュータに、
    処理器具交換対象の予約を設定する手順と、
    上記同種の複数の処理ユニットの一つにおける処理器具を交換すべく、処理器具交換対象の処理ユニットを使用しないように、被処理体を搬送する搬送スケジュールを予約前の搬送スケジュールから変更する手順と、
    処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、
    処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、
    を実行させることを特徴とする処理装置における処理器具の交換用プログラム。
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