JP4513102B2 - 処理装置における処理器具の交換方法及び交換用プログラム - Google Patents
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Description
これはカップ交換対象の処理ユニットが第1の塗布ユニット41であるとしたとき、これ以外の処理ユニット(第2の塗布ユニット42、現像ユニットなど)での処理を意識せずに制御する場合であり、図1のカップ交換処理フローにおいて、ステップS101〜S103と、ステップS109〜S110を省略した形となる。
同種の処理ユニット(塗布ユニット)が1台のみ又は複数台備わっている処理装置の場合で、他の処理ユニット(現像ユニットなど)による処理も考慮したカップ交換処理について説明する。
同種の処理ユニット(塗布ユニット)の複数台が備わっており、そのうちの1台が処理カップ交換の対象である場合は、カップ交換の対象となっている処理ユニットと同種の他の処理ユニットにより、それまでの塗布処理を続行することが可能である。
次に、この発明の処理カップ23の交換方法の具体例を、図5〜図8を参照しながら更に詳細に説明する。
23 処理カップ
41 第1の塗布ユニット(第1の処理ユニット)
42 第2の塗布ユニット(第2の処理ユニット)
44 シャッター
45 搬出入口
46 カバードア
47 メンテナンス開口
60 開閉駆動機構
61 シャッター開閉センサ
62 ドアスイッチ
63 制御コンピュータ
64 CPU(制御手段)
65 入出力部
66 表示部
67 記録媒体
68 アラーム装置
69 インターロック機構
70 カップ交換中表示器
71 カップ交換可能表示器
72 カップ交換スイッチ
74 シャッター閉鎖表示器
75 インターロック機構無効化表示器
76 ドアロック回路
77 ドアロック回路無効化表示器
Claims (6)
- 搬送手段により被処理体を処理ユニット内に搬入し、処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、
処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、
処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、
を有することを特徴とする処理装置における処理器具の交換方法。 - 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、
処理器具交換対象の予約を設定するステップと、
処理器具交換作業の開始に先立ち、予約が設定された際に、搬入部での次ロットの払い出しを停止するステップと、
処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、
処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、
処理器具交換作業の終了により、搬入部での次ロットの払い出し停止を解除するステップと、
を有することを特徴とする処理装置における処理器具の交換方法。 - 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む同種の複数の処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換方法であって、
処理器具交換対象の予約を設定するステップと、
上記同種の複数の処理ユニットの一つにおける処理器具を交換すべく、処理器具交換対象の処理ユニットを使用しないように、被処理体を搬送する搬送スケジュールを予約前の搬送スケジュールから変更するステップと、
処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知するステップと、
処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にするステップと、
を有することを特徴とする処理装置における処理器具の交換方法。 - 搬送手段により被処理体を処理ユニット内に搬入し、処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、
コンピュータに、
処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、
処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、
を実行させることを特徴とする処理装置における処理器具の交換用プログラム。 - 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、
コンピュータに、
処理器具交換対象の予約を設定する手順と、
処理器具交換作業の開始に先立ち、予約が設定された際に、搬入部での次ロットの払い出しを停止する手順と、
処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、
処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、
処理器具交換作業の終了により、搬入部での次ロットの払い出し停止を解除する手順と、
を実行させることを特徴とする処理装置における処理器具の交換用プログラム。 - 搬送手段により搬入部から搬入される被処理体を複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットに連続して搬送して処理を施した後、処理済みの被処理体を上記搬送手段によって搬出部に搬出し、そのうち処理器具を含む同種の複数の処理ユニットにおいては処理器具を用いて被処理体に処理を施す処理装置における処理器具の交換用プログラムであって、
コンピュータに、
処理器具交換対象の予約を設定する手順と、
上記同種の複数の処理ユニットの一つにおける処理器具を交換すべく、処理器具交換対象の処理ユニットを使用しないように、被処理体を搬送する搬送スケジュールを予約前の搬送スケジュールから変更する手順と、
処理器具交換対象の処理ユニットで被処理体処理が終了したことを確認して処理器具交換作業が開始可能になった旨を報知する手順と、
処理器具交換作業を行うため処理器具交換対象の処理ユニットのシャッターを閉じた際、これに伴い突入する搬送手段の作動禁止状態を解除して、他の交換対象でない処理ユニットに対する搬出入動作を可能にする手順と、
を実行させることを特徴とする処理装置における処理器具の交換用プログラム。
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