JP2006012912A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗布現像処理装置1には,外壁パネル11を外すと装置内の総ての動作が停止するインターロック機構Iが設けられる。検査ステーション3のウェハ搬送ユニット40と筺体42との間には仕切板60が設けられる。仕切板60には搬入出口60aが形成され,搬入出口60aにはシャッタ61が設けられる。検査ステーション3の外壁パネル11にはスイッチ部材170が設けられる。筺体42内の検査ユニット51のメンテナンス時には,スイッチ部材170を押してシャッタ61を閉じることによって,ウェハ搬送ユニット40のある空間Kと筺体42のある空間Lを遮断され,作業員の安全が確保される。シャッタ61が閉まると,インターロック無効機構Rによってインターロック機構Iが無効になり,装置内の他の部分の稼動を継続できる。
【選択図】 図2
Description
1a ケーシング
3 検査ステーション
11 外壁パネル
40 ウェハ搬送ユニット
42 第1の筺体
50〜52 検査ユニット
60 仕切板
60a 搬入出口
61 シャッタ
170 スイッチ部材
I インターロック機構
R インターロック無効機構
L 第1の空間
K 第2の空間
W ウェハ
Claims (14)
- 基板を収容可能な基板用ユニットと当該基板用ユニットに対し基板を搬送する基板搬送ユニットをケーシング内に備えた基板処理装置であって,
前記基板用ユニットに対向する位置に,ケーシングに対して取り外し自在に設けられた外壁パネルと,
前記ケーシング内において,前記外壁パネルを取り外すことによりケーシングの外部に対して開放される前記基板用ユニットの配置された第1の空間と,それ以外の前記基板搬送ユニットの配置された第2の空間とを遮断可能な遮断機構と,
前記遮断機構を作動させて前記第1の空間と第2の空間を遮断させるための遮断機構作動部材と,
前記外壁パネルが外れたときに,前記基板搬送ユニットを含めた前記ケーシング内の全体の動作を停止するインターロック機構と,
前記遮断機構により前記第1の空間と第2の空間が遮断されたときに,前記インターロック機構を無効にするインターロック無効機構と,を備えたことを特徴とする,基板処理装置。 - 前記第1の空間と第2の空間との間には,仕切板が設けられ,
前記仕切板には,前記基板搬送ユニットが前記基板用ユニットに対して基板を搬送するための基板搬入出口が設けられ,
前記遮断機構は,前記基板搬入出口を開閉するシャッタと,当該シャッタを駆動するシャッタ駆動部を備えたことを特徴とする,請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記第1の空間と第2の空間との間には,仕切板が設けられ,
前記仕切板には,前記基板搬送ユニットが前記基板用ユニットに対して基板を搬送するための基板搬入出口が設けられ,
前記基板用ユニットは,第1の空間内に設けられた筺体に収容され,
前記筺体における前記基板搬入出口に対向する位置には,前記基板搬送ユニットが前記基板用ユニットに対して基板を搬送するための基板搬送口が設けられ,
前記遮断機構は,前記筺体を移動し前記基板搬送口の位置をずらし当該筺体の壁面によって前記基板搬入出口を閉鎖できる筺体移動装置を備えたことを特徴とする,請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記筺体移動装置は,前記筺体を回転させる回転装置を備えたことを特徴とする,請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記遮断機構作動部材は,前記外壁パネルに設けられていることを特徴とする,請求項1,2,3又は4のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記遮断機構作動部材は,前記遮断機構を電気的又は機械的に作動できることを特徴とする,請求項1,2,3,4又は5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記遮断機構作動部材は,押下することによって遮断機構を作動させるスイッチ部材であり,
前記スイッチ部材は,前記遮断機構と電気的に連動していることを特徴とする,請求項1,2,3,4,5又は6のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記第1の空間と第2の空間とが遮断されたことを確認する遮断確認部材を備えたことを特徴とする,請求項1,2,3,4,5,6又は7のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記インターロック無効機構は,前記遮断確認部材による確認に起因して前記インターロック機構を無効にしていることを特徴とする,請求項8に記載の基板処理装置。
- 基板を収容可能な基板用ユニットと当該基板用ユニットに対し基板を搬送する基板搬送ユニットをケーシング内に備えた基板処理装置であって,
前記基板搬送ユニットと前記基板用ユニットの間の基板搬送通路と,
前記基板搬送通路の前記基板用ユニットを挟んだ反対側におけるケーシングの壁面に形成された開口部と,
前記基板搬送通路と開口部を開閉自在であり,前記開口部を開放する時には,少なくともその前に前記基板搬送通路を閉鎖するシャッタと,
前記開口部が開放されたときに,前記基板搬送ユニットを含めたケーシング内の全体の動作を停止させるインターロック機構と,
前記シャッタにより前記基板搬送通路が閉鎖されたときに,前記インターロック機構を無効にするインターロック無効機構と,を備えたことを特徴とする,基板処理装置。 - 前記シャッタは,前記基板用ユニットの左右の両側に,前記基板搬送通路側から開口部側に渡って前記基板用ユニットの周囲を囲むように配置され,前記基板用ユニットの周囲に沿ってスライドできることを特徴とする,請求項12に記載の基板処理装置。
- 前記シャッタは,前記開口部側において左右の両側に開いて前記開口部を開放できることを特徴とする,請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記基板用ユニットは,基板を検査するための検査ユニットであることを特徴とする,請求項1,2,3,4,5,6,7,8,9,10,11又は12のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記ケーシング内には,ケーシング内に基板を搬入出するための搬入出部と,基板を検査する検査部と,基板を処理する処理部とが順に並べて設けられ,
前記検査部には,前記検査ユニットと前記基板搬送ユニットが設けられ,
前記検査部の基板搬送ユニットは,前記搬入出部と前記処理部との間の基板の搬送を行うことができることを特徴とする,請求項13に記載の基板処理装置。
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