KR20060049418A

KR20060049418A - 기판처리장치

Info

Publication number: KR20060049418A
Application number: KR1020050053501A
Authority: KR
Inventors: 마사미 야마시타; 세이지 나카시마
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 2004-06-22
Filing date: 2005-06-21
Publication date: 2006-05-18
Also published as: KR101016468B1; TW200605290A; US20050279281A1; JP2006012912A; JP4252935B2; TWI268587B

Abstract

본 발명은, 기판처리장치의 유지관리를 실시하는 작업원의 안전을 확보하면서, 장치의 가동효율을 향상하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은, 기판을 수용 가능한 기판용 유닛과 해당 기판용 유닛에 대해 기판을 반송하는 기판반송유닛을 케이싱내에 구비한 기판처리장치에 있어서, 기판용 유닛에 대향하는 위치에, 케이싱에 대해서 떼어내기 자유롭게 설치된 외벽패널과, 상기 외벽패널을 떼어내는 것에 의해 케이싱의 외부에 대해서 개방되는 기판용 유닛이 배치된 제 1 공간과, 그 이외의 기판반송유닛이 배치된 제 2 공간을 케이싱내에 있어서 차단 가능한 차단기구와, 차단기구를 작동시켜 제 1 공간과 제 2 공간을 차단시키기 위한 차단기구작동부재와, 외벽패널이 떼어졌을 때에 케이싱내의 전체의 동작을 정지하는 인터록기구를 구비하고 있다. 그리고 차단기구에 의해 제 1 공간과 제 2 공간이 차단되었을 때에, 인터록기구를 무효로 하는 인터록무효기구를 갖는다.

Description

기판처리장치 {SUBSTRATES PROCESSING APPARATUS}

도 1은, 본 실시형태에 이러한 도포현상처리장치의 개략을 나타내는 사시도이다.

도 2는, 도포현상처리장치의 구성의 개략을 나타내는 횡단면의 설명도이다.

도 3은, 도 2의 도포현상처리장치의 정면도이다.

도 4는, 도 2의 도포현상처리장치의 배면도이다.

도 5는, 칸막이판의 구성을 나타내는 설명도이다.

도 6은, 핸들을 설치한 외벽패널을 나타내는 설명도이다.

도 7은, 제 2 공간을 상하 2단으로 구획한 경우의 검사스테이션내의 구성을 나타내는 종단면의 설명도이다.

도 8은, X-Y스테이지와 회전테이블을 설치한 검사스테이션내의 구성을 나타내는 횡단면의 설명도이다.

도 9는, 상자체가 회전한 상태를 나타내는 검사스테이션의 횡단면의 설명도이다.

도 10은, 슬라이드식의 셔터를 설치한 검사스테이션내의 구성을 나타내는 횡단면의 설명도이다.

도 11은, 웨이퍼 반송경로와 개구부의 양쪽 모두가 폐쇄된 상태를 나타내는 검사스테이션의 횡단면의 설명도이다.

도 12는, 개구부가 개방된 상태를 나타내는 검사스테이션의 횡단면의 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 도포현상처리장치 1a : 케이싱

3 : 검사스테이션 11 : 외벽패널

40 : 웨이퍼반송유닛 42 : 제 1 상자체

50∼52 : 검사유닛 60 : 칸막이판

60a : 반입출구 61 : 셔터

170 : 스위치부재 I : 인터록기구

R : 인터록무효기구 L : 제 1 공간

K : 제 2 공간 W : 웨이퍼

본 발명은, 기판처리장치에 관한 것이다.

예를 들면 반도체 디바이스의 제조공정에 있어서의 포토리소그래피공정은, 통상, 도포현상처리장치를 이용하여 행하여지고 있다. 최근, 이 도포현상처리장치에 대해서는, 케이싱내에, 기판을 반입출하기 위한 로더·언로더부와, 기판에 대한 각종 검사를 행하기 위한 검사부와, 레지스트 도포 처리, 현상처리 및 열처리 등의 복수종류의 처리를 행하기 위한 처리부와, 해당 처리부와 노광장치와의 사이에서 기판의 주고받음을 행하기 위한 인터페이스부를 직렬적으로 구비한 것이 제안되고 있다(일본 특허공개 2002- 26107호 공보 참조). 검사부에는, 복수의 검사유닛이 배치되고, 처리부에는 복수의 처리유닛이 배치되고 있다. 또한, 이러한 도포현상처리장치에는, 예를 들면 케이싱내에 있어서, 각부 사이 또는 유닛 사이에 있어서 기판을 반송하는 복수의 기판반송유닛이 설치되고 있다.

그런데, 상술한 도포현상처리장치내의 유닛에 불편이 생겨, 그 수리나 유지관리를 실시하는 경우, 작업원이 케이싱의 외벽에 설치된 외벽패널을 떼어내어, 그 부분으로부터 케이싱내의 유닛에 액세스하는 것에 의해서 행하여지고 있다. 이 때, 예를 들면 기판반송유닛의 가동중에 작업원이 케이싱내에 손이나 이마를 넣으면 위험하다. 또, 가동중의 기판반송유닛에 대해, 일반의 작업원이 액세스 할 수 있는 장치설계는, 도포현상처리장치의 안전기준상 인정되지 않았다.

작업원의 안전을 확보하기 위해서, 또한 장치의 안전기준을 충족시키기 위해서, 종래부터 도포현상처리장치에는, 외벽패널이 떼어지면, 케이싱내 전체의 전원이 떨어져 케이싱내에 있는 장치의 모든 동작을 정지시키는 인터록기구가 설치되고 있다. 따라서, 유지관리시에 작업원이 외벽패널을 떼면, 모든 기판반송유닛, 처리유닛 및 검사유닛이 강제적으로 정지하게 되어 있었다.

그러나, 도포현상처리장치내에 있어 예를 들면 복수의 기판을 처리하고 있는 가장 중간에, 장치전체의 동작이 정지해 버리면, 장치내에 있는 처리도중의 모든 기판이 불량품이 되기 쉽다. 이 때문에, 종래부터 도포현상처리장치의 작동중에 어떠한 불편이 발생한 경우에는, 도포현상처리장치내의 복수의 기판의 처리가 모두 종료하여 로더·언로더부에 되돌려질 때까지 기다려, 그 후에 작업원이 외벽패널을 떼어, 장치내의 유지관리를 실시하도록 하고 있었다. 이 때문에, 도포현상처리장치내에 불편이 생겨 유지관리를 실시할 때, 그때마다 기판이 로더·언로더부에 되돌아갈 때까지의 대기시간과 유지관리시간을 필요로 하고 있었다.

또한, 도포현상처리장치내의 일부의 파손이라도 유지관리를 실시하기 위해서는 장치전체를 정지시킬 필요가 있었기 때문에, 장치의 가동률이 떨어져, 기판의 생산효율이 현저하게 저하되고 있었다. 특히, 상술한 바와 같은 검사유닛이 탑재된 도포현상처리장치에 있어서는, 검사유닛에 관한 불편이 생기기 쉽고, 유지관리의 회수가 많아지므로, 생산효율의 저하가 현저하였다. 또한 도포현상처리장치에는, 인터록기구의 해제키가 설치되고 있는 것도 있지만, 이 인터록기구를 해제하여 가동중의 장치내에 액세스 할 수 있는 사람은 규칙상 소정의 자격을 가지는 것에 한정되어 있어, 일반의 작업원이 유지관리를 실시하는 경우에는, 상술한 바와 같이 장치전체를 정지시킬 수 밖에 없었다.

이상과 같이, 종래의 도포현상처리장치에 있어서는, 유지관리의 작업원의 안전을 확보하는 한편으로, 장치내의 불편에 대한 복구에 많은 시간을 필요로 하여, 장치가동율이 저하되고 있었다.

본 발명은, 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 유지관리를 실시하는 작업원의 안전을 확보하면서, 장치가동효율을 올릴 수 있는 기판처리장치를 제공하 는 것을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 기판을 수용 가능한 기판용 유닛과 해당 기판용 유닛에 대해 기판을 반송하는 기판반송유닛을 케이싱내에 구비한 기판처리장치로서, 전기 기판용 유닛에 대향하는 위치에, 케이싱에 대해서 때어내기 자유롭게 설치된 외벽패널과, 상기 외벽패널을 떼어내는 것에 의해 케이싱의 외부에 대해서 개방되는 상기 기판용 유닛이 배치된 제 1 공간과, 그 이외의 상기 기판반송유닛이 배치된 제 2 공간을 상기 케이싱내에서 차단 가능한 차단기구와, 상기 차단기구를 작동시켜 상기 제 1 공간과 제 2 공간을 차단시키기 위한 차단기구작동부재와, 상기 외벽패널이 떼어졌을 때에, 상기 기판반송유닛을 포함한 상기 케이싱내의 전체의 동작을 정지하는 인터록기구와, 상기 차단기구에 의해 상기 제 1 공간과 제 2 공간이 차단되었을 때에, 상기 인터록기구를 무효로 하는 인터록무효기구를 가지고 있다.

본 발명에 의하면, 예를 들면 케이싱내의 기판용 유닛에 불편이 생긴 경우에, 차단기구작동부재에 의해 차단기구를 작동시켜, 케이싱내의 기판용 유닛이 있는 제 1 공간과 제 2 공간을 차단할 수 있다. 이것에 의해, 작업원에 의해서 외벽패널이 떼어졌을 때에 기판용 유닛이 있는 제 1 공간과 기판반송유닛이 있는 그 이외의 제 2 공간이 차단되고 있으므로, 가령 기판반송유닛이 가동하고 있어도 작업원의 안전이 확보된다. 또한, 이 때 작업원이 가동중의 기판반송유닛에 대해 액세스 할 수 있는 상태에 없기 때문에, 장치의 안전기준도 충족시킬 수 있다. 한편, 제 1 공간과 제 2 공간이 차단되면, 인터록기구가 무효가 되므로, 예를 들면 제 2 공간에 있는 기판반송유닛을 가동한 상태로, 외벽패널을 떼어 기판용 유닛의 유지관리를 실시할 수 있다. 따라서, 예를 들면 기판용 유닛에 대해 유지관리를 실시하면서, 그 외의 케이싱내의 동작을 계속할 수 있다. 이 결과, 기판처리장치의 가동률을 향상할 수 있다.

또한 본 발명의 별도의 관점에 의하면, 본 발명은 기판을 수용 가능한 기판용 유닛과 해당 기판용 유닛에 대해 기판을 반송하는 기판반송유닛을 케이싱내에 구비한 기판처리장치로서, 상기 기판반송유닛과 상기 기판용 유닛 사이의 기판반송통로와, 상기 기판반송통로의 상기 기판용 유닛을 끼운 반대측에서의 케이싱의 벽면에 형성된 개구부와, 상기 기판반송통로와 개구부를 개폐 가능하고, 상기 개구부를 개방할 때에는, 적어도 그 전에 상기 기판반송통로를 폐쇄하는 셔터와, 상기 개구부가 개방되었을 때에, 상기 기판반송유닛을 포함한 케이싱내의 장치의 동작을 정지시키는 인터록기구와, 상기 셔터에 의해 상기 기판반송통로가 폐쇄되었을 때에, 상기 인터록기구를 무효로 하는 인터록무효기구를 가지고 있다.

본 발명에 의하면, 예를 들면 케이싱내의 기판용 유닛에 불편이 생겼을 경우에, 셔터에 의해 케이싱의 개구부를 개방하는 것에 의해서 작업원이 기판반송유닛에 대해 작업을 실시할 수 있다. 이 때, 기판용 유닛과 기판반송유닛과의 사이의 기판반송통로측이 폐쇄되고 있으므로, 기판반송유닛이 기판용 유닛에 대해 액세스 할 수 없게 된다. 따라서, 기판용 유닛을 유지관리할 때의 작업원의 안전이 확보된다. 또한, 작업원이 가동중의 기판반송유닛에 대해 액세스 할 수 없기 때문에, 장치의 안전기준도 충족시킬 수 있다. 한편, 셔터에 의해 기판반송통로가 폐쇄되면, 인터록기구가 무효가 되기 때문에, 예를 들면 기판반송유닛을 가동시킨 상태로, 작업원이 기판용 유닛의 유지관리를 실시할 수 있다. 따라서, 예를 들면 기판용 유닛에 대해 유지관리를 실시하면서, 그 외의 케이싱내의 동작을 계속할 수 있다. 이 결과, 기판처리장치의 가동률을 향상할 수 있다.

본 발명에 의하면, 기판처리장치에 대해서 유지관리를 실시하는 작업원의 안전을 확보하면서, 기판처리장치의 가동효율을 향상할 수 있다.

[발명의 실시형태]

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 설명한다. 도 1은, 본 실시형태에 이러한 기판처리장치로서의 도포현상처리장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 사시도이며, 도 2는, 도포현상처리장치(1)의 구성의 개략을 나타내는 횡단면의 설명도이며, 도 3은, 도포현상처리장치(1)의 정면도이며, 도 4는, 도포현상처리장치(1)의 배면도이다.

도포현상처리장치(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 전체가 외벽인 케이싱(1a)에 의해 덮여 있고, 도포현상처리장치(1)내가 폐쇄되고 있다. 도포현상처리장치(1)의 케이싱(1a)내에는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 예를 들면 25장의 웨이퍼(W)를 카세트(P)단위로 외부로부터 도포현상처리장치(1)에 대해서 반입출하거나, 카세트(P)에 대해서 웨이퍼(W)를 반입출하거나 하는 반입출부로서의 카세트스테이션(2)과, 웨이퍼(W)를 검사하는 검사부로서의 검사스테이션(3)과, 도포현상처리공정중에서 매엽식으로 소정의 처리를 실시하는 각종 처리장치를 다단 배치하 여 이루어지는 처리부로서의 처리스테이션(4)과, 처리스테이션(4)에 인접하여 설치되어 있는 도시하지 않는 노광장치와의 사이에서 웨이퍼(W)의 주고받음을 하는 인터페이스부(5)가 각 블록으로 나뉘어져 직렬적으로 병설되고 있다. 카세트스테이션(2), 검사스테이션(3), 처리스테이션(4) 및 인터페이스부(5)의 각 블록에 있어서의 케이싱(1a)의 측벽에는, 블록안을 유지관리하기 위한 외벽패널(10, 11, 12, 13)이 각각 설치되고 있다. 외벽패널(10∼13)은, 케이싱(1a)에 대해서 예를 들면 자석으로 접착되고 있어, 떼어내기 자유롭게 되어 있다.

카세트스테이션(2)에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이 카세트 얹어놓음대(20)상의 소정의 위치에, 복수의 카세트(P)를 X방향(도 2의 상하방향)에 따라서 일렬로 얹어 놓을 수 있다. 카세트스테이션(2)에는, 반송로(21)위를 X방향을 향해서 이동 가능한 웨이퍼반송유닛(22)이 설치되고 있다. 웨이퍼반송유닛(22)은, 상하방향으로도 이동 가능하고, 카세트(P)내에 상하방향으로 배열된 웨이퍼(W)에 대해서 선택적으로 액세스 할 수 있다. 웨이퍼반송유닛(22)은, 연직방향의 축둘레의 θ방향으로 회전 가능하고, 후술하는 검사스테이션(3)측의 주고받음장치(41)에 대해서도 액세스 할 수 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이 카세트스테이션(2)에 인접한 검사스테이션(3)의 중앙부에는, 기판반송유닛으로서의 웨이퍼반송유닛(40)이 설치되고 있다. 웨이퍼반송유닛(40)은, 예를 들면 앞뒤로 전진과 후퇴 자유로운 반송아암(40a)을 갖고, 반송아암(40a)위에 웨이퍼(W)를 유지하여 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다. 반송아암(40a)은, θ방향으로 회전할 수 있고, 웨이퍼(W)를 소정의 방향으로 반송할 수 있 다. 또, 반송아암(40a)은, 상하방향으로도 이동할 수 있고, 높이조절도 할 수 있다.

예를 들면 웨이퍼반송유닛(40)의 카세트스테이션(2)측에는, 주고받음장치(41)가 설치되고 있다. 웨이퍼반송유닛(40)은, 주고받음장치(41)에 대해 액세스 할 수 있고, 주고받음장치(41)를 통해서 카세트스테이션(2)측에 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다. 웨이퍼반송유닛(40)은, 처리스테이션(4)내의 후술하는 제 3 처리 유닛군(G3)에 대해서도 직접 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

웨이퍼반송유닛(40)의 X방향측의 양측으로서, 외벽패널(11)의 근방에는, 소정의 검사유닛을 수용하는 대략 직방체형상의 상자체(42, 43)가 설치되고 있다. 예를 들면 검사스테이션(3)의 정면측(도 2의 아래쪽방향 : x방향의 마이너스방향측)의 제 1 상자체(42)에는, 기판용 유닛으로서의 검사유닛(51), 예를 들면 도 3에 나타내는 바와 같이 웨이퍼(W)상에 형성된 막의 두께나 패턴의 선폭을 측정하는 막두께·선폭검사유닛(50)과, 웨이퍼 표면상의 매크로결함을 검출하는 매크로결함 검사유닛(51)이 아래로부터 순서대로 2단에 수용되고 있다. 검사스테이션(3)의 배면측(도 2의 위쪽방향: x방향의 플러스방향측)의 제 2 상자체(43)에는, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 노광의 겹쳐 합친 것의 어긋남을 검출하는 겹쳐 합친 검사유닛(52)이 수용되고 있다. 각 상자체(42, 43)에 있어서의 웨이퍼반송유닛(40)측의 벽면에는, 도 2에 나타내는 바와 같이 웨이퍼(W)를 반송하기 위한 반송구 (42a, 43a)가 각 유닛에 대해서 각각 형성되고 있다.

웨이퍼반송유닛(40)과 제 1 상자체(42)와의 사이에는, 도 2에 나타내는 바와 같이 검사스테이션(3)내의 제 1 상자체(42)측의 제 1 공간(L)과 웨이퍼반송유닛(40)측의 제 2 공간(K)을 칸막이하는 칸막이판(60)이 설치되고 있다. 칸막이판(60)에는, 제 1 상자체(42)의 반송로(42a)에 대향하는 위치에 반입출구(60a)가 형성되고 있다. 반입출구(60a)에는, 셔터(61)가 설치되고 있다. 셔터(61)는, 예를 들면 도 5에 나타내는 바와 같이 셔터구동부로서의 실린더(62)에 의해서 승강하여, 반입출구(60a)를 개폐할 수 있다. 이것에 의해, 웨이퍼반송유닛(40)측의 제 2 공간(K)과 제 1 상자체(42)측의 제 1 공간(L)을 물리적으로 차단할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 대해서는, 셔터(61)와 실린더(62)에 의해서 차단기구가 구성되어 있다.

제 2 상자체(43)측이나 제 1 상자체(42)측과 마찬가지로, 도 2에 나타내는 바와 같이 웨이퍼반송유닛(40)과 제 2 상자체(42)와의 사이에, 제 2 공간(K)과 제 2 상자체(43)측의 제 1 공간(L)을 칸막이하는 칸막이판(60)이 설치되고 있다. 칸막이판(60)에는, 제 2 상자체(43)의 반송구(43a)에 대향하는 위치에 반입출구(60a)가 형성되고 있고, 반입출구(60a)에는, 실린더(62)에 의해 승강하는 셔터(61)가 설치되고 있다. 이 셔터(61)에 의해, 웨이퍼반송유닛(40)측의 제 2 공간(K)과 제 2 상자체(43)측의 제 1 공간(L)을 차단할 수 있다.

웨이퍼반송유닛(40)은, 셔터(61)가 열린 상태의 반입출구(60a)와 반송구(42a) 또는 반송구(43a)를 통해서 검사유닛(50∼52)에 대해 웨이퍼(W) 를 반송할 수 있다. 이상과 같이 웨이퍼반송유닛(40)은, 검사유닛(50∼52), 제 3 처리유닛군(G3) 및 주고받음장치(41)사이에서 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

검사스테이션(3)에 인접한 처리스테이션(4)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 복수의 처리유닛이 다단으로 배치된, 예를 들면 6개의 처리유닛군 (G1∼G5)을 구비하고 있다. 처리스테이션(4)의 X방향 마이너스방향측에는, 검사스테이션(30)측으로부터 제 1 처리유닛군(G1), 제 2 처리유닛군(G2)이 순서대로 배치되고 있다. 처리스테이션(4)의 X방향 플러스방향측에는, 검사스테이션(3)측으로부터 제 3 처리유닛트군(G3), 제 4 처리유닛트군(G4) 및 제 5 처리유닛군(G5)이 순서대로 배치되고 있다. 제 3 처리유닛군(G3)과 제 4 처리유닛군(G4)의 사이에는, 제 1 웨이퍼반송유닛(80)이 설치되고 있다. 제 1 웨이퍼반송유닛(80)은, 제 1 처리유닛군(G1), 제 3 처리유닛군(G3) 및 제 4 처리유닛(G4)내의 각 처리유닛에 대해서 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다. 제 4 처리유닛군(G4)과 제 5 처리유닛군(G5)의 사이에는, 제 2 웨이퍼반송유닛(81)이 설치되고 있다. 제 2 웨이퍼반송유닛(81)은, 제 2 처리 유닛군(G2), 제 4 처리유닛군(G4) 및 제 5 처리유닛군(G5) 내의 각 처리 유닛에 대해서 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이 제 1 처리유닛군(G1)에는, 웨이퍼(W)에 소정의 액체를 공급하고 처리를 실시하는 액체처리유닛, 예를 들면 웨이퍼(W)에 레지스트액을 도포하는 레지스트도포유닛(90, 91, 92), 노광처리시의 빛의 반사를 방지하는 반사방지막을 형성하는 바닥코팅유닛(93, 94)이 아래로부터 순서대로 5단으로 겹쳐져 있다. 제 2 처리유닛군(G2)에는, 액체처리유닛, 예를 들면 웨이퍼(W)를 현상하는 현상처리유닛(100∼104)이 아래로부터 순서대로 5단으로 겹쳐져 있다. 또, 제 1 처리유닛군(G1) 및 제 2 처리유닛군(G2)의 최하단에는, 각 처리유닛군(G1 및 G2) 내의 각 액체처리유닛에 각종 처리액을 공급하기 위한 화학실(110, 111)이 각각 설치되고 있다.

예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 제 3 처리유닛군(G3)에는, 온도조절유닛(120), 웨이퍼(W)의 주고받음을 행하기 위한 트랜지션유닛(121), 정밀도가 높은 온도관리하에서 웨이퍼(W)를 가열처리하는 고정밀도 온도조절유닛(122∼124) 및 웨이퍼(W)를 고온에서 가열처리하는 고온도 열처리유닛(125∼128)이 아래로부터 순서대로 9단으로 겹쳐져 있다.

제 4 처리 유닛군(G4)에는, 예를 들면 고정밀도 온도조절유닛(130),레지스트도포처리 후의 웨이퍼(W)를 가열처리하는 프리베이킹유닛(131∼134) 및 현상처리 후의 웨이퍼(W)를 가열처리하는 포스트베이킹유닛(135∼139)이 아래로부터 순서대로 10단으로 겹쳐져 있다.

제 5 처리유닛군(G5)에는, 웨이퍼(W)를 열처리하는 복수의 열처리유닛, 예를 들면 고정밀도 온도조절유닛(140∼143), 노광 후의 웨이퍼(W)를 가열처리하는 포스트 익스포져 베이킹유닛(144∼149)이 아래로부터 순서대로 10단으로 겹쳐져 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이 제 1 웨이퍼반송유닛(80)의 X방향 플러스방향측에는, 복수의 처리유닛이 배치되어 있고, 예를 들면 도 4에 나타내는 바와 같이 웨이퍼(W)를 소수화처리하기 위한 어드히젼유닛(150, 151), 웨이퍼(W)를 가열하는 가열유닛(152, 153)이 아래로부터 순서대로 4단으로 겹쳐져 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이 제 2 반송유닛(51)의 X방향 플러스방향측에, 예를 들면 웨이퍼(W)의 에지부만을 선택적으로 노광하는 주변 노광유닛(154)이 배치되고 있다.

인터페이스부(5)에는, 예를 들면 도 2에 나타내는 바와 같이 X방향을 향해서 연신하는 반송로(160)위를 이동하는 웨이퍼반송유닛(161)과, 버퍼카세트(162)가 설치되고 있다. 웨이퍼반송유닛(161)은, Z방향으로 이동 가능하고 또한 θ방향으로도 회전 가능하고, 인터페이스부(5)에 인접한 도시하지 않는 노광장치와, 버퍼카세트(162) 및 제 5 처리유닛군(G5)에 대해서 액세스하여 웨이퍼(W)를 반송할 수 있다.

도포현상처리장치(1)에는, 외벽패널(10∼13) 중의 어느 하나가 떼어졌을 때에 예를 들면 웨이퍼반송유닛(22, 40, 80, 81, 161)을 비롯하는 케이싱(1a)내의 모든 동작을 강제적으로 정지시키는 인터록기구(I)가 설치되고 있다. 이 인터록기구(I)는, 예를 들면 외벽패널(10∼13)이 케이싱(1a)에 접착하고 있을 때 통전하는 회로가 몇 개의 외벽패널(10∼13)이 떼어지는 것에 의해서 개방하여, 그 개방에 의해서 케이싱(1a)내에의 급전을 정지시키고, 케이싱(1a)내의 동작을 정지시키는 것이다. 이 인터록기구(I)에 의해서, 도포현상처리시스템(1)에 대해 유지관리를 실시하는 작업원의 안전이 확보되고 있다.

예를 들면 도포현상처리장치(1)에 있어서의 검사스테이션(3)의 외벽패널(11)에는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이 셔터(61)를 작동시키기 위한 차단기구 작동부재로서의 스위치부재(170)가 설치되고 있다. 스위치부재(170)는, 예를 들면 실린더(62)에 대해서 전기적으로 접속되고 있고, 스위치부재(170)를 누르는 것에 의해서 실린더(62)에 급전되어 실린더(62)가 구동하여 셔터(61)가 작동하게 되어 있다.

예를 들면 도 5에 나타내는 바와 같이 칸막이판(60)의 반입출구(60a) 에는, 셔터(61)가 내려가면 자동적으로 눌러지는 차단확인부재로서의 확인버튼(180)이 부착되고 있다. 확인버튼(180)은, 예를 들면 검사스테이션(3)의 외벽패널(11)에 대한 인터록기구(I)를 무효로 하는 인터록무효기구(R)(도 2에 나타낸다)에 접속되고 있다. 인터록무효기구(R)는, 확인버튼(180)이 눌러지면, 예를 들면 인터록기구(I)에 연결되는 특정회로를 형성하고, 해당 특정회로의 작용에 의해서 인터록기구(I)를 무효로 할 수 있다. 따라서, 스위치부재(170)가 눌러져, 셔터(61)가 닫힌 후에, 외벽패널(11)을 떼어내더라도, 인터록기구(I)가 무효가 되고 있어, 외벽패널(11)의 떼어냄에 의해 개방되는 제 1 공간(L) 이외의 케이싱(1a)내의 영역에서는, 웨이퍼반송유닛(40)을 비롯한 구동기구의 작동이 계속된다.

도포현상처리장치(1)에 있어서의 웨이퍼(W)의 반송제어, 예를 들면 처리스테이션(4)에서 처리된 웨이퍼(W)를 검사스테이션(3)에서 검사하여, 그 후 카세트스테이션(2)에 되돌리는 플로우와, 처리스테이션(4)에서 처리된 웨이퍼(W)를 검사하지 않고 검사스테이션(3)을 통과시켜 카세트스테이션(2)에 되돌리는 플로우와, 카세트스테이션(2)의 웨이퍼(W)를 검사스테이션(3)에서 검사시켜, 그 후 카세트스테이션(2)에 되돌리는 플로우를 각 웨이퍼마다 독립에 실행할 수 있도록 설정되어 있다.

이상과 같이 구성된 도포현상처리장치(1)에 대해서는, 먼저, 도 2에 나타내는 바와 같이 웨이퍼반송유닛(22)에 의해서, 카세트 얹어놓음대(20)의 카세트(P)내의 웨이퍼(W)가 한 장 꺼내져, 검사스테이션(3)의 주고받음장치 (41)에 주고 받아진다. 주고받음장치(41)에 주고 받아진 웨이퍼(W)는, 웨이퍼반송유닛(40)에 의해 서 처리스테이션(4)의 제 3 처리유닛군(G3)에 속하는 온도조절유닛(120)에 반송된다. 온도조절유닛(120)에 반송된 웨이퍼(W)는, 온도 조절된 후, 제 1 웨이퍼반송유닛(80)에 의해서 예를 들면 바닥코팅유닛(93)에 반송되어, 반사방지막이 형성되고, 또한, 가열처리유닛(152), 고온도 열처리유닛(125), 고정밀도 온도조절유닛(130)에 순차적으로 반송되어 각 처리유닛에 대해 소정의 처리가 실시된다. 그 후 웨이퍼(W)는, 제 1 웨이퍼반송유닛(80)에 의해서 레지스트도포유닛(90)에 반송되어 레지스트도포처리가 실시된다.

레지스트도포처리가 종료하면, 웨이퍼(W)는, 제 1 웨이퍼 반송유닛(80)에 의해서 프리베이킹유닛(131)에 반송되어, 가열처리가 실시된 후, 제 2 웨이퍼반송유닛(81)에 의해서 주변노광유닛(154), 고정밀도 온도조절유닛(143)에 순차적으로 반송되어, 각 유닛에 대해 소정의 처리가 실시된다. 그 후, 웨이퍼(W)는, 웨이퍼반송유닛(161)에 의해서 인터페이스부(5)를 통하여 도시하지 않는 노광장치에 반송되어, 레지스트막에 소정의 패턴이 노광된다. 노광처리가 종료한 웨이퍼(W)는, 다시 인터페이스부(5)를 통하여 처리스테이션(4)에 되돌려져, 제 2 웨이퍼반송유닛(81)에 의해서 포스트익스포져베이킹유닛(144), 고정밀도 온도조절유닛(141)에 순차적으로 반송되어, 소정의 처리가 실시된 후, 현상처리유닛(100)에 반송되어 현상처리가 실시된다.

현상처리가 종료한 웨이퍼(W)는, 제 2 웨이퍼반송유닛(81)에 의해서 포스트베이킹유닛(135)에 반송되어 가열처리가 실시된 후, 제 1 웨이퍼반송유닛(80)에 의해서 고정밀도 온도조절유닛(122)에 반송되어, 냉각처리가 실시된다. 그 후, 웨이 퍼(W)는, 제 1 웨이퍼반송유닛(80)에 의해서 트랜지션유닛(120)에 반송된다. 트랜지션유닛(120)에 반송된 웨이퍼(W)는, 웨이퍼반송유닛(40)에 의해서 검사스테이션(3)의 제 1 상자체(42)내의 막두께·선폭검사유닛(50), 매크로결함 검사유닛(51)에 순차적으로 반송되어, 소정의 검사나 측정이 행하여진다. 그 후 웨이퍼(W)는, 웨이퍼반송유닛(40)에 의해서 제 2 상자체(43)내의 겹쳐 합친 유닛(52)에 반송되어, 노광의 겹쳐 합친 것의 어긋남이 검사된다.

검사스테이션(3)에 대해 검사가 종료한 웨이퍼(W)는, 웨이퍼반송유닛 (40)에 의해서 주고받음장치(41)에 주고 받아져 주고받음장치(41)로부터 웨이퍼반송유닛(22)에 의해서 카세트(P)에 되돌려져, 도포현상처리장치(1)에 있어서의 일련의 웨이퍼처리가 종료한다.

다음에, 이상과 같이 구성된 도포현상처리장치(1)에 있어서, 검사스테이션(3)내의 검사유닛에 대해서 유지관리를 실시할 때의 도포현상처리장치(1)의 작용에 대해 설명한다.

웨이퍼(W)의 처리중과 같이 도포현상처리장치(1)의 통상의 가동중, 인터록기구(I)가 유효하게 되고 있다. 따라서, 외벽패널(10∼13)중 한쪽이 떼어지면, 도포현상처리장치(1)의 전체의 전원이 떨어져, 모든 동작이 정지한다. 그리고, 예를 들면 막두께·선폭검사유닛(50)에 불편이 생겨 막두께·선폭검사유닛(50)이 긴급정지하고, 작업원이 막두께·선폭검사유닛(50)에 대해서 유지관리를 실시하는 경우, 먼저, 작업원에 의해 외벽패널(11)의 스위치부재(170)가 눌러진다. 스위치부재(170)가 눌러지면, 실린더(62)에 급전 되어 셔터(61)가 가동한다. 이것에 의해 셔 터(61)가 하강하여 반입출구(60a)가 폐쇄되어 막두께·선폭검사유닛(50)이 있는 제 1 공간(L)과 그 이외의 웨이퍼반송유닛(40)이 있는 제 2 공간(K)이 차단된다.

셔터(61)가 하강하여 확인버튼(180)이 눌러지면, 인터록무효기구(R)에 의해서 외벽패널(11)에 대한 인터록기구(I)가 자동적으로 무효로 된다. 작업원에 의해서 스위치부재(170)가 눌러진 후, 외벽패널(11)이 떼어져, 제 1 공간(L)내의 막두께·선폭검사유닛(50)에 대한 유지관리가 행하여진다. 제 1 공간(L) 이외의 영역, 즉, 카세트스테이션(2), 처리스테이션(4), 인터페이스부(5) 및 검사스테이션(3)의 제 2 공간(K)에서는, 인터록기구(I)가 무효가 되고 있기 때문에, 각 웨이퍼반송유닛이나 처리유닛 등의 구동기구의 동작이 계속된다.

예를 들면, 처리스테이션(3)에서 처리되고 있는 웨이퍼(W)는, 그대로 처리가 계속되어, 처리종료 후에는, 웨이퍼반송유닛(40)에 의해서 검사스테이션(3)을 경유하여 카세트스테이션(2)에 되돌려진다. 또, 카세트스테이션(2)의 미처리의 웨이퍼(W)가 웨이퍼반송유닛(40)에 의해서 처리스테이션(4)측에 반송되어 통상의 웨이퍼 처리를 한 후, 다시 카세트스테이션(21)으로 되돌려진다. 또한, 매크로결함 검사유닛(51)이나 겹쳐 합친 검사유닛(52)에 불편이 생겼을 때에도, 똑같이 유지관리를 실시할 수 있다.

이상의 실시형태에 의하면, 검사스테이션(3)에 대해 스위치부재(170)를 누르는 것에 의해, 칸막이판(60)의 셔터(61)가 닫혀져, 유지관리되는 검사유닛(50∼52)이 있는 제 1 공간(L)과 웨이퍼반송유닛(40)이 있는 제 2 공간(K)이 완전하게 차단되기 때문에, 검사유닛(50∼52)에 액세스하는 작업원의 안전을 확보할 수 있다. 또, 작업원이 가동중의 웨이퍼반송유닛(40)에 대해 액세스 할 수 있는 상태에 없기 때문에, 장치의 안전기준도 충족시킬 수 있다.

셔터(61)가 닫혀져, 웨이퍼 반송유닛(40)측의 제 2 공간(K)과 검사 유닛(50∼52)측의 제 1 공간(L)이 차단되었을 때에, 제 1 공간(L)을 개방하는 외벽패널(11)에 대한 인터록기구(I)가 자동적으로 무효가 되기 때문에, 작업원이 외벽패널(11)을 떼더라도, 도포현상처리장치(1)내의 웨이퍼반송이나 웨이퍼처리를 계속할 수 있다. 따라서, 검사유닛(50∼52)을 유지관리 할 때에, 도포현상처리장치(1)의 동작이 계속되어, 도포현상처리장치(1)의 가동률을 향상할 수 있다.

외벽패널(11)에는, 셔터(61)에 전기적으로 연동하는 스위치부재(170) 가 설치되었기 때문에, 외벽패널(11)을 떼기 전에 작업원이 스위치부재(170)를 누르는 것에 의해 셔터(61)가 내려, 유지관리를 하는 제 1 공간(L)과 그 이외의 공간을 확실히 차단할 수 있다. 특히, 웨이퍼를 통하지 않고 셔터(61)와 스위치부재(170)가 전기적으로 연동하므로, 셔터(61)의 오작동이 없어, 작업원의 안전을 확보할 수 있다.

칸막이판(60)의 반입출구(60a)에는, 확인버튼(180)이 설치되어, 실제로 셔터(61)가 내렸을 경우에만 인터록기구(I)가 무효가 되기 때문에, 웨이퍼반송유닛(40)이 가동하여 더욱 셔터(61)가 열린 상태에서, 작업원에 의해 외벽패널(11)이 떼어지는 일없이, 작업원의 안전이 충분히 확보된다.

검사유닛(50∼52)에 액세스하기 위한 외벽패널(11)에 대한 인터록기구(I)를 무효로 할 수 있게 하였기 때문에, 비교적 유지관리회수가 많은 검사 유닛(50∼52) 을 도포현상처리장치(1)에 탑재한 경우여도, 유지관리에 의한 도포현상처리장치(1)의 가동률의 저하를 억제할 수 있다.

검사스테이션(3)의 웨이퍼반송유닛(40)은, 인접하는 카세트스테이션(2)과 처리스테이션(4)간의 웨이퍼(W)의 반송을 실시할 수 있기 때문에, 예를 들면 검사유닛(50∼52)의 유지관리를 실시하고 있을 때, 처리스테이션(4)측에 있는 웨이퍼(W)를 카세트스테이션(2)에 되돌리거나, 카세트스테이션(2)의 웨이퍼(W)를 처리스테이션(4)측에 반송할 수 있다. 이것에 의해, 검사유닛(50∼52)의 유지관리시에 있어서도, 도포현상처리장치(1)에 있어서 예를 들면 통상의 웨이퍼 처리를 계속할 수 있다.

이상의 실시형태에서는, 외벽패널(11)에는, 셔터(61)를 전기적으로 작동시키는 스위치부재(170)가 설치되었지만, 셔터(61)를 기계적으로 작동시키는 부재, 예를 들면 도 6에 나타내는 것과 같은 핸들(200)을 설치해도 좋다. 이러한 경우, 작업원에 의해 핸들(200)이 소정방향으로 회전하는 것에 의해서, 예를 들면 도시하지 않는 연동기구를 통해서 셔터(61)이 닫혀진다. 이 경우도, 셔터(61)의 개폐가 소프트웨어를 통하지 않고 행하여지므로, 셔터(61)의 오작동이 없고, 작업원의 안전이 확보된다. 또한, 셔터(61)를 기계적으로 작동시키는 부재는, 핸들(200)에 한정되지 않는다. 예를 들면 외벽패널(11)에 래치가 설치되는 경우에는, 해당 래치의 떼어짐 방지에 의해 셔터(61)를 작동시켜도 좋다.

상기 실시형태에서는, 상자체(42)내에 2개의 검사유닛(50, 51)이 수용되고 있었지만, 예를 들면 도 7에 나타내는 바와 같이 제 1 공간(L)이 수평칸막이판 (205)에 의해서 상하 2단의 제 3 공간(L1) 및 제 4 공간(L2)에 구획되어, 각 공간(L1, L2)에 각 상자체(206, 207)가 배치되어, 더욱 제 3 공간(L1)의 상자체(206)에 검사유닛(50)이 수용되어, 제 4 공간(L2)의 상자체(207)에 검사유닛(51)이 수용되도록 해도 좋다. 이러한 경우, 예를 들면 외벽패널(11)은, 각 공간(L1, L2)마다 형성되어 칸막이판(60)의 반입출구(60a)나 각 공간(L1, L2)마다 형성된다. 각 외벽패널(11)에는, 상기 실시형태와 마찬가지로 스위치부재(170)가 각각 설치되고, 반입출구(60a)에도, 셔터(61), 실린더(62)로 이루어지는 차단기구와, 확인버튼(180)이 각각 설치된다.

그리고, 예를 들면 상자체(206)내의 검사유닛(50)의 유지관리를 실시할 때, 제 3 공간(L1)측의 스위치부재(170)를 누르는 것에 의해서 제 3 공간(L1)측의 반입출구(60a)만이 폐쇄되어, 제 3 공간(L1)측의 외벽패널(11)에 대한 인터록기구(I)만이 무효가 된다. 이것에 의해, 작업원은, 제 3 공간(L1)측의 외벽패널(11)을 떼어내 검사유닛(50)의 유지관리를 실시할 수 있다. 또, 이 때 제 4 공간(L2)측의 반입출구(60a)는 해방되고 있기 때문에, 웨이퍼반송유닛(40)은, 검사유닛(51)에 대해서 웨이퍼(W)를 반송하여, 검사유닛(51)에 있어서의 검사를 계속할 수 있다. 또한, 이러한 예에서는, 제 1 공간(L)이 상하의 2단으로 구획되고 있었지만, 예를 들면 검사유닛이 3 이상의 복수 있는 경우에는, 검사유닛의 수의 분만큼 제 1 공간(L)을 구획하여, 해당 각 공간에, 검사유닛을 수용한 상자체를 각각 배치하여, 각 검사 유닛마다 독립하여 유지관리를 할 수 있도록 해도 좋다.

이상의 실시형태에서는, 칸막이판(60)의 셔터(61)에 의해서 반입출구(60a)를 폐쇄하여, 웨이퍼반송유닛(40)측의 제 2 공간(K)과 검사유닛측의 제 1 공간(L)을 차단하고 있었지만, 검사유닛(50∼52)을 수용한 상자체(42, 43)를 이동시켜, 반송구(42a, 43a)를 칸막이판(60)의 반입출구(60a)에 대해서 어긋나게 하여, 상자체(42, 43)의 벽면에 의해서 반입출구(60a)를 폐쇄하더라도 좋다.

이러한 경우, 예를 들면 도 8에 나타내는 바와 같이 검사스테이션(3)의 제 1 공간(L)내에는, X, Y방향으로 수평으로 이동하는 X-Y스테이지(210)가 설치된다. 예를 들면 X-Y스테이지(210)의 위에는, 수직축둘레에 회전하는 회전장치로서의 회전테이블(211)이 설치된다. 그리고, 회전테이블(211)의 위에 예를 들면 제 1 상자체(42)가 설치된다. 이것에 의해, 제 1 상자체(42)는, 제 1 공간(L)내에 있어서, X방향, Y방향으로 이동 자유롭게 또한 θ방향으로 회전할 수 있다.

X-Y스테이지(210) 및 회전테이블(211)은, 예를 들면 스위치부재(170)에 전기적으로 연동하고 있고, 스위치부재(170)가 눌러지는 것에 의해서, X, Y스테이지(210)는 X-Y면내의 소정의 위치로 이동하여, 회전테이블(211)은 소정각도 회전한다. 이것에 의해, 제 1 상자체(42)는, 스위치부재(170)가 눌러지면, 제 1 상자체(42)의 벽면에 의해서 반입출구(60a)가 폐쇄되는 소정의 위치에 자동적으로 이동할 수 있다. 또한, 제 2 상자체(43)에 대해서도 마찬가지로 X-Y스테이지(210)와 회전테이블(211)이 설치되어, 스위치부재(170)가 눌러지는 것에 의해서 소정의 위치로 이동하여, 반입출구(60a)를 폐쇄할 수 있다. 본 실시형태에서는, X-Y스테이지(210) 및 회전테이블(210)에 의해 상자체 이동장치가 구성되어 있다. 또한, X-Y스테이지(210), 회전테이블(210) 및 상자체(42, 43)에 의해서 차단기구가 구성되어 있다.

또한, 예를 들면 칸막이판(60)의 제 1 공간(L)측의 벽면에는, 상자체(42, 43)의 벽면에 의해서 반입출구(60a)가 폐쇄되었을 때에 눌러지는 확인버튼(180)이 설치된다. 상자체(42, 43)의 벽면에 의해서 확인버튼(180)이 눌러지면, 인터록무효기구(R)에 의해 외벽패널(11)에 대한 인터록기구(I)를 무효로 할 수 있다.

그리고, 예를 들면 제 1 상자체(42)내의 검사유닛(50, 51)의 유지관리를 실시할 때, 작업원에 의해 스위치부재(170)가 눌러지면, 스위치부재(170)와 전기적으로 연동한 X-Y스테이지(210)와 회전테이블(211)이 작동하여, 제 1 상자체(42)의 벽면에 의해서 반입출구(60a)가 폐쇄되도록 제 1 상자체(42)가 이동한다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이 제 1 상자체(42)가 90°회전하여, 반송구(42a)가 없는 측벽면을 반입출구(60a)측을 향한다. 그 후, 제 1 상자체(42)가 반입출구(60a)측의 X방향 플러스방향측으로 이동하여, 제 1 상자체(42)의 측벽면을 반입출구(60a)에 밀착시킨다. 이렇게 하는 것에 의해서, 반입출구(60a)가 폐쇄되어, 제 1 공간(L)과 제 2 공간(K)이 차단된다. 제 1 상자체(42)의 측벽면에 의해서 확인버튼(180)이 눌러져, 인터록기구(I)가 무효로 된다. 그 후, 작업원에 의해 외벽패널(11)이 떼어져 제 1 상자체(42)내의 검사유닛(50, 51)의 유지관리를 한다.

이러한 예에 있어서도, 스위치부재(170)를 누르는 것에 의해서 제 1 공간(L)과 제 2 공간(K)이 차단되기 때문에, 작업원의 안전이 확보된 이상으로, 검사유닛(50∼52)의 유지관리를 행할 수 있다. 또한, 제 1 공간(L)과 제 2 공간(K)의 차단 후, 인터록기구(I)가 무효가 되기 때문에, 유지관리를 행하고 있는 검사유닛(50∼ 52) 이외의 영역에서 웨이퍼처리나 웨이퍼반송을 계속할 수 있다.

또한, 상기예에서는, 상자체(42, 43)의 측벽면에 의해서 반입출구(60)를 폐쇄하고 있었지만, 상자체(42, 43)의 다른 부분의 벽면에 의해서 반입출구(60a)를 폐쇄해도 좋다. 예를 들면 제 1 상자체(42)에 있어서의 반송구(42a)의 이면측의 벽면이나, 반송구(42a)가 없는 부분의 정면측의 벽면에서 반입출구(60a)를 폐쇄해도 좋다. 이 때, 제 1 상자체(42)를 180°회전시키거나 Y방향으로 이동시켜도 좋다. 또, 제 1 상자체(42)의 하부에 승강기구를 설치하고, 제 1 상자체(42)를 상하이동 시키는 것에 의해서, 반입출구(60a)와 반송로(42a)의 위치를 어긋나게 하여 반입출구(60a)를 폐쇄하더라도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는, 제 1 공간(L)내에 X-Y스테이지(210)와 회전테이블(211)의 양쪽 모두가 설치되고 있었지만, 상자체(42, 43)를 이동시켜 해당 상자체(42, 43)의 일부에서 반입출구(60a)를 폐쇄할 수 있는 것이면, X-Y스테이지(210)와 회전테이블(211)의 어느 한 쪽이 설치되어 있더라도 좋다.

또한, 상기 도 7에 나타낸 바와 같이 제 1 공간(L)이 상하 2단의 공간(L1, L2)에 구획되어, 각 공간(L1, L2)에 상자체와 검사유닛이 설치되고 있는 경우에도, 각 공간의 각 상자체마다 X-Y스테이지(210)나 회전테이블(211)을 설치하여, 각 공간에 있어 상자체를 이동시켜 상자체의 일부에서 반입출구(60a)를 폐쇄할 수 있도록 하더라도 좋다.

상기 실시형태에서 기재한 칸막이판(60)에는, 상자체에 대해 하나의 반입출구(60a)가 형성되고 있었지만, 개체내의 각 유닛에 대해 하나의 반입출구(60a)가 형성되어, 해당 각 반입출구(60a)에 대해 셔터, 셔터구동부, 확인버튼이 설치되고 있어도 좋다.

이상의 실시형태에서는, 유지관리가 행하여지는 제 1 공간(L)과 웨이퍼반송유닛(40)이 있는 제 2 공간(K)을 차단하고 있었지만, 유지관리가 행하여지는 제 1 공간이 그 이외의 제 2 공간에 대해서 차단되고 있으면 좋고, 제 2 공간의 범위는, 웨이퍼반송유닛(40)이 있는 공간 이외의 공간을 포함하는 것이라도 좋다.

상기 실시형태에서는, 웨이퍼반송유닛(40)과 검사유닛(50∼52)과의 사이에 칸막이판(60)을 설치하여, 예를 들면 셔터(61)에 의해 제 1 공간(L)과 제 2 공간(K)을 차단하고 있었지만, 예를 들면 도 10에 나타내는 바와 같이 검사유닛(50∼52)의 주위에 슬라이드식의 셔터(220, 221)를 설치하여, 검사유닛(50∼52)과 웨이퍼반송유닛(40)과의 사이의 웨이퍼반송통로(M)와 케이싱(1a)의 측벽에 형성된 개구부(N)를 개폐하도록 해도 좋다.

예를 들면 케이싱(1a)의 제 1 상자체(42)에 대향하는 위치에, 작업원이 제 1 공간(L)에 액세스하기 위한 개구부(N)가 형성된다. 제 1 상자체(42)의 좌우(Y방향)의 양측에는, 개구부(N)측으로부터 제 1 상자체(42)의 옆쪽을 통하여 웨이퍼 반송통로(M)측까지 달하는 슬라이드식의 셔터(220, 221)가 배치된다. 셔터(220, 221)는, 제 1 상자체(42)의 주위에 따라서 슬라이드할 수 있다. 셔터(220, 221)는, 개구부(N)측에 있어서 좌우(Y방향)로 열리도록 배치되어 있다. 셔터(220, 221)는, 서로 연동하여 개구부(N)측으로 이동하여 개구부(N)측에서 겹쳐 합치는 것에 의해서, 개구부(N)를 폐쇄하여, 웨이퍼반송유닛(40)측의 웨이퍼반송통로(H)를 개방할 수 있다. 또한, 셔터(220, 221)는, 웨이퍼반송통로(H)측으로 이동하여 웨이퍼반송통로(H)측에서 겹쳐 합치는 것에 의해서, 개구부(N)를 개방하여, 웨이퍼반송통로(H)를 폐쇄할 수 있다.

셔터(220, 221)는, 개구부(N)를 개방할 때에는, 적어도 그 전에 웨이퍼반송통로(H)를 폐쇄하고 있도록 형성되고 있다. 즉, 개구부(N)를 폐쇄한 상태의 셔터(220, 221)를 웨이퍼반송통로(H)측에 어긋나게 했을 때에, 먼저 웨이퍼반송통로(H)가 폐쇄되고, 그 후에 개구부(H)가 개방되는 길이에 셔터(220, 221)가 형성되고 있다.

또한, 예를 들면 셔터(220)에는, 셔터(220)와 셔터(221)가 웨이퍼반송통로(H)측에서 겹쳐져 웨이퍼반송통로(H)가 폐쇄되었을 때에 눌러지는 확인버튼(222)이 설치되고 있다. 확인버튼(222)은, 예를 들면 인터록해제기구(R)에 전기적으로 연동하고 있고, 확인버튼(222)이 눌러지면 자동적으로 인터록기구(I)가 무효로 된다. 또한, 이 때의 인터록기구(I)는, 셔터(220, 221)가 열려 개구부(N)가 개방되었을 때에 케이싱(1a)내 전체의 동작을 정지시키는 것이다. 제 2 상자체(43)측에 대해서는, 제 1 상자체(42)측과 같은 구성이므로, 그 설명을 생략한다.

그리고, 도포현상처리장치(1)의 통상의 가동시에는, 도 10에 나타낸 바와 같이 개구부(N)가 폐쇄되어 웨이퍼반송통로(H)가 개방되고 있다. 그러므로, 웨이퍼반송유닛(40)은, 웨이퍼반송통로(H)를 통해서 검사유닛(50∼52)에 액세스 할 수 있다. 그리고, 작업원에 의해서 검사 유닛(50∼52)의 유지관리를 할 때는, 작업원에 의해서, 개구부(N)측에서 셔터(220, 221)가 좌우의 양측으로 열린다. 이 때, 도 11에 나타내는 바와 같이 개구부(H)측에서 셔터(220)와 셔터(221)가 겹쳐져 개구부(N)가 폐쇄된 상태일 때에, 웨이퍼반송통로(H)가 폐쇄된다. 즉, 셔터(220, 221)를 여는 과정에 있어서, 일시적으로 개구부(N)와 웨이퍼반송통로(H)의 양쪽이 폐쇄된다. 그리고, 이 때에 예를 들면 셔터(220)에 의해 확인버튼(222)가 눌러져, 인터록기구(I)가 무효로 된다. 그 후, 셔터(220)와 셔터(221)가 더욱 열리면, 도 12에 나타내는 바와 같이 개구부(N)가 개방된다. 개구부(N)가 개방된 후, 작업원에 의해서 검사유닛(50∼52)의 유지관리를 한다.

이러한 예에 있어서도, 검사유닛(50∼52)에 대해서 작업원이 액세스 가능한 상태가 되었을 때에는, 웨이퍼반송통로(H)가 폐쇄되어 웨이퍼반송유닛(40)이 있는 공간과 검사유닛(50∼52)이 있는 공간이 차단되고 있으므로, 작업원의 안전이 확보된다. 또한, 장치의 안전기준도 충족시킬 수 있다. 작업원이 유지관리 할 때에, 인터록기구(I)가 무효가 되므로, 유지관리중이더라도, 도포현상처리장치(1)를 계속 가동하여, 웨이퍼처리나 웨이퍼반송을 계속할 수 있다. 또한, 이 예에 있어서의 셔터(220, 221)는, 슬라이드식의 것이었지만, 이것에 한정되지 않고, 개구부(N)를 개방할 때에는, 적어도 그 전에 웨이퍼반송통로(H)를 폐쇄하고 있는 것이면, 다른 구성의 것이라도 좋다.

이상, 본 발명의 실시형태의 일례에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이 예에 한정되지 않고 여러 가지의 모양을 뽑을 수 있는 것이다. 예를 들면 본 실시형태에서는, 유지관리의 대상이 되는 검사스테이션(3)에는, 막두께·선폭검사유닛(50), 매크로결함 검사유닛(51), 겹쳐 합친 검사유닛(52)이 배치되어 있었지만, 웨이퍼 (W)의 막두께측정만을 행하는 막두께측정유닛 등의 다른 검사유닛이 배치되고 있더라도 좋다. 또한, 이상의 실시형태에서는, 유지관리의 대상이 되는 기판용 유닛이 검사유닛(50∼52)이었지만, 기판용 유닛은, 케이싱(1a)내의 다른 유닛이더라도 좋다. 예를 들면 기판용 유닛은, 처리스테이션(4)내의 처리유닛이더라도 좋다. 또한, 본 발명은, 도포현상처리장치(1)에 한정되지 않고, 에칭장치, 절연막이나 전극막 등의 성막장치, 세정장치 등의 다른 기판처리장치에도 적용할 수 있다. 또한, 본 발명은, 반도체웨이퍼 이외에, FPD(플랫패널디스플레이)용 기판, 포토마스크용의 유리기판 등의 다른 기판의 처리 장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은, 기판처리장치에 대한 작업의 안전성을 확보하면서, 해당 작업에 의한 기판처리장치의 가동률의 저하를 억제할 때에 유용하다.

Claims

기판을 수용 가능한 기판용 유닛과 해당 기판용 유닛에 대해 기판을 반송하는 기판반송유닛을 케이싱내에 구비한 기판처리장치로서,

상기 기판용 유닛에 대향하는 위치에, 케이싱에 대해서 떼어내는 것이 자유롭게 설치된 외벽패널,

상기 외벽패널을 떼어내는 것에 의해 케이싱의 외부에 대해서 개방되는 상기 기판용 유닛이 배치된 제 1 공간과, 그 이외의 상기 기판반송유닛이 배치된 제 2 공간을 상기 케이싱내에 있어서 차단 가능한 차단기구와,

상기 차단기구를 작동시켜 상기 제 1 공간과 제 2 공간을 차단시키기 위한 차단기구 작동부재와,

상기 외벽패널이 떼어졌을 때에, 상기 기판반송유닛을 포함한 상기 케이싱내의 장치전체의 동작을 정지하는 인터록기구와,

상기 차단기구에 의해 상기 제 1 공간과 제 2 공간이 차단되었을 때에, 상기 인터록기구를 무효로 하는 인터록무효기구를 갖는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 공간과 제 2 공간과의 사이에는, 칸막이판이 설치되고,

상기 칸막이판에는, 상기 기판반송유닛이 상기 기판용 유닛에 대해서 기판을 반송하기 위한 기판반입출구가 설치되고,

상기 차단기구는, 상기 기판반입출구를 개폐하는 셔터와, 해당 셔터를 구동하는 셔터구동부를 구비하고 있는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 공간과 제 2 공간과의 사이에는, 칸막이판이 설치되고,

상기 칸막이 판에는, 상기 기판반송유닛이 상기 기판용 유닛에 대해서 기판을 반송하기 위한 기판반입출구가 설치되고,

상기 기판용 유닛은, 제 1 공간내에 설치된 상자체에 수용되고,

상기 상자체에 있어서의 상기 기판반입출구에 대향하는 위치에는, 상기 기판반송유닛이 상기 기판용 유닛에 대해서 기판을 반송하기 위한 기판 반송구가 설치되고,

또한 상기 차단기구는, 상기 상자체를 이동시켜 상기 기판반송구의 위치를 어긋나게 함으로써 당해 상자체의 벽면에 의해서 상기 기판반입출구를 폐쇄할 수 있는 상자체 이동장치를 구비하고 있는 기판처리장치.
제 3 항에 있어서,

상기 상자체 이동장치는, 상기 상자체를 회전시키는 회전장치를 구비하고 있는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 차단기구 작동부재는, 상기 외벽패널에 설치되어 있는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 차단기구 작동부재는, 상기 차단기구를 전기적 또는 기계적으로 작동할 수 있는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 차단기구 작동부재는, 밀어 내리는 것에 의해서 차단기구를 작동시키는 스위치부재로서,

상기 스위치부재는, 상기 차단기구와 전기적으로 연동하고 있는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 공간과 제 2 공간이 차단된 것을 확인하는 차단확인부재를 더욱 갖는 기판처리장치.
제 8 항에 있어서,

상기 인터록무효기구는, 상기 차단확인부재에 의한 확인에 기초하여 상기 인터록기구를 무효로 하고 있는 기판처리장치.
기판을 수용 가능한 기판용 유닛과 해당 기판용 유닛에 대해 기판을 반송하는 기판반송유닛을 케이싱내에 구비한 기판처리장치로서,

상기 기판반송유닛과 상기 기판용 유닛의 사이의 기판반송통로와,

상기 기판반송통로의 상기 기판용 유닛을 끼운 반대측에 있어서의 케이싱의 벽면에 형성된 개구부와,

상기 기판반송통로와 개구부를 개폐 가능하고, 상기 개구부를 개방할 때에는, 적어도 그 전에 상기 기판반송통로를 폐쇄하는 셔터와,

상기 개구부가 개방되었을 때에, 상기 기판반송유닛을 포함한 케이싱내의 장치전체의 동작을 정지시키는 인터록기구와,

상기 셔터에 의해 상기 기판반송통로가 폐쇄되었을 때에, 상기 인터록기구를 무효로 하는 인터록무효기구를 갖는 기판처리장치.
제 10 항에 있어서,

상기 셔터는, 상기 기판반송통로측으로부터 개구부측에 걸쳐서 상기 기판용 유닛의 주위를 둘러싸도록 상기 기판용 유닛의 좌우의 양측에 배치되고, 또한 상기 기판용 유닛의 주위에 따라서 슬라이드할 수 있는 기판처리장치.
제 11 항에 있어서,

상기 셔터는, 상기 개구부측에 있어서 좌우의 양측으로 열려 상기 개구부를 개방하는 기판처리장치.
제 1 항에 있어서,

상기 기판용 유닛은, 기판을 검사하기 위한 검사유닛인 기판처리장치.
제 13 항에 있어서,

상기 케이싱내에는, 케이싱내에 기판을 반입출하기 위한 반입출부와, 기판을 검사하는 검사부와, 기판을 처리하는 처리부가 순서대로 설치되고,

상기 검사부에는, 상기 검사유닛과 상기 기판반송유닛이 설치되고,

상기 검사부의 기판반송유닛은, 상기 반입출부와 상기 처리부와의 사이의 기판의 반송을 실시하는 기판처리장치.