JP4519087B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
図4は、この発明に係る熱処理装置の第1実施形態の加熱処理状態を示す断面図、図5は、加熱処理後の冷却状態を示す断面図である。
図6は、この発明に係る熱処理装置の第2実施形態の使用状態を示す断面図、図7は、第2実施形態の使用状態における要部平面図である。
図9は、この発明に係る熱処理装置の第3実施形態の加熱処理の初期状態を示す断面図、図10は、第三実施形態の加熱処理の後半の状態を示す断面図である。
図11は、この発明に係る熱処理装置の第4実施形態の使用状態を示す断面図である。
図12は、この発明に係る熱処理装置の第5実施形態を示す断面図である。
上記実施形態では、この発明に係る熱処理装置をプリベーク処理する加熱装置に適用した場合について説明したが、プリベーク処理以外の加熱装置、例えばホットプレートユニット(HP)及びチリングホットプレートユニット(CHP)を構成する熱処理装置についても同様に適用することができ、同様の効果が得られる。
51 加熱プレート(載置台)
52 外周リング
52a 可変ヒータ
52b 温度調整器
53 処理室
54 蓋体
55 気体供給口
56 吸気口
57 排気口
60 排気通路
61 排気管路
61a 監視用バイパス管路
61b 切換弁
62 排気ポンプ(排気手段)
63 支持ピン
64 昇降手段
70 コントローラ(制御手段)
80 シャッタ
81 開口部
82 冷却板
83 シャッタ開閉移動機構
84 冷却板移動機構(移動手段)
90 接離移動手段
100 レーザーセンサ(検出手段)
200 アラーム(表示手段)
Claims (5)
- 表面に塗布膜が形成された被処理基板を載置し加熱する載置台と、上記載置台の外周を包囲する外周リングと、上記外周リングの上方開口部を覆う蓋体と、上記載置台を貫通して、上記被処理基板を昇降可能に支持する支持ピンと、を具備する熱処理装置であって、
上記蓋体の中央部に、気体供給口を設けると共に、蓋体の外周と上記外周リングの内周との間に、吸気口を周設し、
上記外周リングの下部側と上記載置台との間に、排気口を周設すると共に、この排気口に接続する排気管路に排気手段を介設し、
上記支持ピンの昇降手段及び排気手段を制御する制御手段を具備してなり、
上記被処理基板が載置台に載置されて加熱処理された後、上記制御手段からの制御信号に基づいて上記支持ピンを上昇させて被処理基板を載置台から離して冷却するように形成してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。 - 表面に塗布膜が形成された被処理基板を載置し加熱する載置台と、上記載置台の外周を包囲する外周リングと、上記外周リングの上方開口部を覆う蓋体と、上記載置台を貫通して、上記被処理基板を昇降可能に支持する支持ピンと、を具備する熱処理装置であって、
上記蓋体の中央部に、気体供給口を設けると共に、蓋体の外周と上記外周リングの内周との間に、吸気口を周設し、
上記外周リングの下部側と上記載置台との間に、排気口を周設すると共に、この排気口に接続する排気管路に排気手段を介設し、
上記外周リングの一側に、シャッタにより開閉可能な開口部を設け、
上記開口部を介して上記載置台の上方に対して進退移動可能な冷却板を設け、
上記支持ピンの昇降手段、排気手段及び冷却板の移動手段を制御する制御手段を具備してなり、
上記被処理基板が載置台に載置されて加熱処理された後、上記制御手段からの制御信号に基づいて上記支持ピンを上昇させて被処理基板を載置台から離して、上記載置台の上方へ進入する上記冷却板により被処理基板を載置して冷却するように形成してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。 - 表面に塗布膜が形成された被処理基板を載置し加熱する載置台と、上記載置台の外周を包囲する外周リングと、上記外周リングの上方開口部を覆う蓋体と、上記載置台を貫通して、上記被処理基板を昇降可能に支持する支持ピンと、を具備する熱処理装置であって、
上記蓋体の中央部に、気体供給口を設けると共に、蓋体の外周と上記外周リングの内周との間に、吸気口を周設し、かつ、蓋体を上記載置台に対して接離移動可能に形成し、
上記外周リングの下部側と上記載置台との間に、排気口を周設すると共に、この排気口に接続する排気管路に排気手段を介設し、
上記支持ピンの昇降手段、排気手段及び蓋体の接離移動手段を制御する制御手段を具備してなり、
上記制御手段からの制御信号に基づいて、上記載置台上に被処理基板を載置して加熱処理を行う初期には、上記蓋体を上記載置台から離間し、加熱処理の後半には、蓋体を載置台に対して接近させるように形成してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の熱処理装置において、
上記外周リングに、加熱処理により発生する昇華物等の不純物の付着を防止するための発熱体を具備すると共に、この発熱体を温度調整可能に形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の熱処理装置において、
上記排気口に接続する排気管路に監視用バイパス管路を分岐し、この監視用バイパス管路に排気中の不純物を検出する検出手段を取り付け、この検出手段によって検出された検出信号に基づいて、検出された不純物が所定量以下の場合は、後処理を続行し、不純物が所定量より多い場合は、表示手段に信号を送る制御手段を具備してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
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