JP4601070B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
図4は、この発明に係る熱処理装置の第1実施形態の使用状態を示す断面図、図5は、上記熱処理装置の要部を示す平面図、図6ないし図8は、それぞれ図5のI−I線に沿う拡大断面図, II−II線に沿う拡大断面図及びIII−III線に沿う拡大断面図である。
図14は、この発明に係る熱処理装置の第2実施形態を示す要部概略平面図である。
図15は、この発明に係る熱処理装置の第2実施形態を示す要部概略平面図である。
図16は、この発明に係る熱処理装置の第4実施形態を示す要部概略平面図(a)、(a)のIV−IV線に沿う拡大断面図(b)及び(a)のV−V線に沿う拡大断面図(c)である。
上記実施形態では、この発明に係る熱処理装置を半導体ウエハのレジスト塗布・現像処理システムにおける加熱処理装置に適用した場合について説明したが、LCDガラス基板のレジスト塗布・現像処理システムにおける加熱処理装置にも適用できることは勿論である。
52 蓋体
52a 天板(上面部)
52b 周側部
53 処理室
55 加熱プレート(熱処理板)
60 ガス供給源
62 供給口
63,63A 排気口
64 排気管
64a 排気管体
64b 連結管体
65,65A,65B 排出口
66 排出管路
66A 第1の排出管路
66B 第2の排出管路
69 取付部材
69a 取付孔
70 固定ボルト(固定部材)
73 分散ノズル
73a 円形凹所
73b 放射流路
76 排気通路
77 排気分散リング
77a 上部片
77b 下部片
78a,78b 通気孔
80 コーティング皮膜
81 内装管体
82 不純物回収部
90 圧力センサ(詰まり検出手段)
91 切換弁
100 コントローラ(制御手段)
200 エジェクタ(排気装置)
300 螺旋溝
Claims (11)
- 処理室内で被処理基板を熱処理する熱処理装置であって、
上記被処理基板を載置して熱処理する熱処理板と、この熱処理板を上方から覆い、上記処理室の一部を構成する蓋体と、を具備し、
上記蓋体は、上面部と、この上面部の周端部に垂設される周側部とを具備し、上面部には、処理室内に気体を供給する供給口が設けられ、上面部の側部には、上記処理室内の気体を排気する互いに等間隔の4個の排気口が設けられ、かつ、上記各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口を有する排気管が装着され、
上記排気管は、上記排気口の2箇所にそれぞれシール部材を介して連通する2個の排気管体と、両排気管体を連通する連結管体とを具備し、かつ、連結管体に排出口を設け、
上記排気管の略中心部に、取付孔を有する取付部材を突設し、この取付部材の取付孔を貫挿する固定部材を、上記蓋体の上面部に設けられた取付受け部に着脱可能に固着してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
上記排気管体に対して連結管体を着脱可能に形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
上記蓋体の周側部の内方側に、周側部と共働して排気通路を構成し、かつ、複数の通気孔を有する排気分散リングを配設してなり、上記排気分散リングは、上下に対峙する上部片と下部片を有する断面略コ字状に形成され、上部片及び下部片には、互いにずれた位置に複数の通気孔が形成されると共に、上部片の通気孔に対して下部片の通気孔の開口率を高くした、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
上記蓋体における供給口部には、供給口を介して処理室内に供給される気体を放射方向に分流する放射流路を有する分散ノズルが更に具備されている、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1又は2記載の熱処理装置において、
上記排気管の内側表面に、揮発成分の付着がしにくく、かつ、付着が剥離し易い合成樹脂製のコーティング皮膜を施してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1又は2記載の熱処理装置において、
上記排気管内に、揮発成分の付着がしにくく、かつ、付着が剥離し易い合成樹脂製の内装管体を嵌挿してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1又は2記載の熱処理装置において、
上記排気管に不純物回収部を介設してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1,2,5,6又は7のいずれかに記載の熱処理装置において、
上記排気管に、2個の排出口を設け、各排出口に接続する排出管路のいずれか一方に、排気流体の詰まりを検出する詰まり検出手段を設け、他方の排出管路には、上記詰まり検出手段からの信号に基づいて開閉する切換弁を介設してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1,2,5,6,7又は8のいずれかに記載の熱処理装置において、
上記排気管の排出口に接続する排出管路における排出口の近傍部位に排気装置を介設してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の熱処理装置において、
上記蓋体に設けられる排気口を、この排気口から排気管に流れる排気が平面視において螺旋状に流れるように形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項3記載の熱処理装置において、
上記排気分散リングにおける周側部と対向する面に、螺旋溝を形成し、この螺旋溝により排気口から排気管に流れる排気が平面視において螺旋状に流れるように形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
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