JP4519035B2 - 塗布膜形成装置 - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 151
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 146
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 149
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 120
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 43
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 32
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 32
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 31
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 106
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 and in particular Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
- G03F7/70933—Purge, e.g. exchanging fluid or gas to remove pollutants
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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Description
即ち、図示するように排気口207からウエハW周辺のミストを吸引する場合、ミストはウエハW上方の外気と共に吸引され、上方から下方に向けて排気流路が形成される。その結果、ウエハWの中央部よりも周縁部に強い風圧が加わり、周縁部が早く乾燥し、乾燥したレジスト上にさらにレジスト液が塗布されるため、ウエハWの中央部よりも周縁部の膜厚が厚くなっていた。
さらに、図7の構成において排気量を測定するには、排気流路の下流、即ち排気口207等に風速計や流量計を設置する必要があるが、その場合、ミストにより計測器が汚染され、精度よく排気量の測定ができないという問題があった。
また、処理カップ内において、外気を吸引するための吸引口と、処理カップ外に排気するための排気口とが設けられるため、処理カップ内に排気流路が形成され、小さな吸引力であっても、塗布膜形成処理によって発生したミストを排気することができる。
さらに、前記構成によれば、処理カップの開口部からは排気に伴う強い外気の流れ込みは起きず、基板周縁部における塗布液の乾燥が抑制される。これにより、膜厚分布の均一性に優れた塗布膜を得ることができる。
このように、排気流路の上流に位置する吸引口に吸気量センサが設けられることにより、吸気量センサがミストにより汚染されず、精度よく吸気流量を測定することができる。尚、前記処理カップの開口部と基板周縁部との間隙から流入する雰囲気流量は少ないため、この吸気流量は排気流量とほぼ同一の値である。
また、汚染がないことからメンテナンスに係るコストを低減することができる。
このように構成することによって、不要な雰囲気であるミストを吸引する吸引手段の駆動が停止した場合であっても、前記吸引口へのミストの逆流を抑制し、ミストによる吸気量センサの汚染を防止することができる。
また、前記課題を解決するために、本発明にかかる塗布膜形成装置は、基板を略水平に保持し基板を回転制御する基板保持回転手段と、前記基板の上面に塗布液を滴下する塗布液供給手段とを具備し、前記基板上に滴下された塗布液を基板の回転力により膜状に拡散し、基板上面に塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、前記基板の出し入れを行うために上方に開放した開口部と、前記基板への塗布膜形成時に生じる不要な雰囲気を排気するための排気口と、外気を吸引するための吸引口とを有する処理カップと、前記不要な雰囲気を前記排気口から吸引する吸引手段とを備え、前記処理カップの開口部に収容された前記基板の周縁部と前記開口部とは、所定の間隙をもって配置され、かつ前記処理カップに収容された前記基板よりも下方には、前記吸引口から前記排気口に至る排気流路が形成されると共に、前記間隙と排気流路とが連通しており、前記吸引口には、吸気流量を測定する吸気量センサが設けられ、前記排気流路において、前記吸気量センサよりも下流には、前記不要な雰囲気の前記吸引口への逆流を抑制する逆流防止手段が形成されることを特徴としている。
本発明にかかる塗布膜形成装置において、前記基板の周縁部と前記開口部とは、前記基板の径方向の距離が3mm以内、高さ方向の距離寸法が0.5〜2mmの範囲であって、かつ処理カップ開口部よりも基板の周縁部の方が低くなる間隙をもって、配置されていることが望ましい。
また、前記処理カップの上部に係合し、前記基板の略密閉された処理空間を形成するための蓋体と、前記処理空間に塗布液の溶剤をミスト状に供給する雰囲気制御手段とを備え、前記雰囲気制御手段により前記処理空間にミスト状の溶剤が供給された状態で、前記塗布液供給手段により滴下された塗布液が前記基板保持回転手段による基板の回転制御により拡散されることが望ましい。
このように構成することにより、塗布膜形成中に拡散される溶剤の蒸発が抑制され、拡散される塗布液の先端側の乾燥固化を防止することができる。
したがって、より塗布液の膜厚の均一化が図れると共に、塗布液及び排気・排液の少量化を図ることができる。
処理ステーション3において、図1中の下側に、カセットステーション2側から第1の処理装置群G1、第2の処理装置群G2が順に配置されている。また、図1中の上側に、カセットステーション2側から第3の処理装置群G3、第4の処理装置群G4及び第5の処理装置群G5が順に配置されている。
また、第1の処理装置群G1及び第2の処理装置群G2の最下段には、各処理装置群G1、G2内の液処理装置に各種処理液を供給するためのケミカル室(CHM)35、36がそれぞれ設けられている。
また、第2の搬送装置11のX方向正方向側には、例えばウエハWのエッジ部のみを選択的に露光する周辺露光ユニット(WEE)94が配置されている。
先ず、カセットステーション2において、未処理のウエハWを収容したカセットCから1枚のウエハWが、ウエハ搬送体7により第3の処理装置群G3のトランジションユニット(TRS)61に搬送される。そこでウエハWは、位置合わせが行われた後、アドヒージョンユニット(AD)90、91へ搬送され疎水化処理が行われる。次いで高精度温調ユニット(CPL)62〜64にて所定の冷却処理が行われ、第1の処理装置群G1のレジスト塗布処理ユニット(COT)20〜22に搬送されて、ウエハ表面上へのレジスト塗布処理が行われる。尚、トラジション装置61からレジスト塗布装置20〜22までのウエハWの搬送は第1の搬送装置10により行われる。
そしてバッファカセット42に一時的に保持されたウエハWは、ウエハ搬送体41により取り出され、図示しない露光装置に引き渡され、そこで露光処理が行われる。
次いでウエハWは、第2の搬送装置11により第2の処理装置群G2の現像処理装置30〜34に搬送されて現像処理が行われ、次いで第4の処理装置群G4のポストベーキングユニット(POST)75〜79に搬送されて、そこで、現像処理後の加熱処理が行われる。そしてウエハWは、第3の処理装置群G3の高精度温調ユニット(CPL)62〜64で冷却処理が行われ、ウエハ搬送体7によりカセットCに戻される。
尚、スピンチャック51と回転機構52とにより基板保持回転手段が構成される。
これにより、処理カップ55内で振り切られて飛散した塗布液は、処理カップ55の内周縁部43cに衝突し、処理カップ55内に回収される。
また、開口部55bとウエハWの周縁部との間隙から僅かに吸引されるため、処理カップ55内でミスト状となったレジスト液を含む不要な雰囲気は、ウエハWの上方へ漏れることない。なお、前記間隙から基板上方の雰囲気も吸引されるがその吸気量は極僅かであるため、基板周縁に位置する塗布液を他の部分の塗布液に比べて急速に乾燥させることはない。
また、前記間隙と前記排気流路とは連通しているため、処理カップ55内で発生したミストは、吸引口55aから吸引された外気と共に前記排気流路を通り、排気口55cから排気される。
このように、流量計46により排気流量を実質的に測定できるため、ミスト発生部よりも上流側に排気流量センサの設置が可能であり、センサ部へのミストの付着等による測定誤差が生じず、より正確な排気量のモニタリングが可能という効果がある。
尚、このとき、ウエハWから周囲に飛散する余分なレジスト液は処理カップ55によって回収され、一部はミストとなって、処理カップ55内に発生する。
さらに、排気流路の上流に位置する吸引口55aに流量計46が設けられることにより、流量計46がミストにより汚染されず、精度よく排気量を測定することができる。また、汚染がないことからメンテナンスに係るコストを低減することができる。
さらに、循環管路14の送風ファン14bとフィルタ14cとの間には、レジスト液の溶剤、例えばシンナー液Bを収容するタンク14eに接続する吐出管14fが接続されている。また、タンク14eは図示しないキャリアガス供給源にキャリアガス供給管14gを介して接続されている。
この構成において、除湿器25eにより所定の湿度例えば40%以下に除湿された空気が、温度コントローラ25dによって所定温度例えば室温(約23℃)に設定されて処理空間15内に供給されるように構成されている。
先ず、蓋体50が上部に移動した状態でウエハWが搬送され、ウエハWは昇降機構53により上方に移動されたスピンチャック51によって略水平に吸着保持される。
処理カップ55においては、図示しない吸引装置が駆動することにより、吸引口55aから排気口55cに至るまでの排気流路が形成され、処理カップ55内のミストは不要な雰囲気として、吸引口55aから吸引された外気と共に前記排気流路を通り、排気口55cから排気される。
したがって、前記の第一の実施の形態において得られる効果に加え、よりレジスト液の膜厚の均一化が図れると共に、レジスト液及び排気・排液の少量化を図ることができる。
そこで、図6の吸引口55aの周辺拡大図に示すように、排気流路における流量計46よりも下流に、外気の吸引には影響しないがミストの逆流を抑制するよう傾斜した複数の気流制御板33aからなる逆流防止手段33を設けるのが望ましい。この逆流防止手段33を設けることで、より確実に流量計46の汚染を防止することができる。
14 循環管路(雰囲気制御手段)
14a 気液分離器(雰囲気制御手段)
14b 送風ファン(雰囲気制御手段)
14c フィルタ(雰囲気制御手段)
14d 開閉弁(雰囲気制御手段)
14e タンク(雰囲気制御手段)
14f 吐出管(雰囲気制御手段)
14g キャリアガス供給管(雰囲気制御手段)
20 レジスト塗布処理ユニット(塗布膜形成装置)
33 逆流防止手段
33a 気流制御板
46 流量計(吸気量センサ)
50 蓋体
51 スピンチャック(基板保持回転手段)
52 回転機構(基板保持回転手段)
55 処理カップ
55a 吸気口
55b 開口部
55c 排気口
50e レジスト液供給通路(塗布液供給手段)
50f 第2の溶剤供給通路(雰囲気制御手段)
58 ノズル(塗布液供給手段)
59 レジスト供給機構(塗布液供給手段)
B シンナー(溶剤)
W ウエハ(基板)
Claims (7)
- 基板を略水平に保持し基板を回転制御する基板保持回転手段と、前記基板保持回転手段を収容する処理カップと、前記処理カップの排気口に設けられた吸引手段と、前記基板の上面に塗布液を滴下する塗布液供給手段とを具備し、前記基板上に滴下された塗布液を基板の回転力により膜状に拡散し、基板上面に塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、
前記処理カップは、前記基板の出し入れを行うために上方に開放した開口部と、
前記基板保持回転手段に保持された前記基板の下方において外気を吸引するための吸引口と、
前記吸引口から吸引された外気と、前記基板への塗布膜形成時に生じる不要な雰囲気を排気するための排気口とを具備し、
前記基板保持回転手段に保持された前記基板の周縁部と前記開口部とは、所定の間隙をもって配置されており、前記吸引手段の吸引により、前記基板保持回転手段に保持された前記基板の下方において、前記吸引口から前記排気口に至る排気流路が形成され、かつ前記間隙と前記排気流路とが連通していることを特徴とする塗布膜形成装置。 - 前記吸引口には、吸気流量を測定する吸気量センサが設けられることを特徴とする請求項1に記載された塗布膜形成装置。
- 前記排気流路において、前記吸気量センサよりも下流には、前記不要な雰囲気の前記吸引口への逆流を抑制する逆流防止手段が形成されることを特徴とする請求項2に記載された塗布膜形成装置。
- 基板を略水平に保持し基板を回転制御する基板保持回転手段と、前記基板の上面に塗布液を滴下する塗布液供給手段とを具備し、前記基板上に滴下された塗布液を基板の回転力により膜状に拡散し、基板上面に塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、
前記基板の出し入れを行うために上方に開放した開口部と、前記基板への塗布膜形成時に生じる不要な雰囲気を排気するための排気口と、外気を吸引するための吸引口とを有する処理カップと、
前記不要な雰囲気を前記排気口から吸引する吸引手段とを備え、
前記処理カップの開口部に収容された前記基板の周縁部と前記開口部とは、所定の間隙をもって配置され、かつ前記処理カップに収容された前記基板よりも下方には、前記吸引口から前記排気口に至る排気流路が形成されると共に、前記間隙と排気流路とが連通しており、
前記吸引口には、吸気流量を測定する吸気量センサが設けられることを特徴とする塗布膜形成装置。 - 基板を略水平に保持し基板を回転制御する基板保持回転手段と、前記基板の上面に塗布液を滴下する塗布液供給手段とを具備し、前記基板上に滴下された塗布液を基板の回転力により膜状に拡散し、基板上面に塗布膜を形成する塗布膜形成装置において、
前記基板の出し入れを行うために上方に開放した開口部と、前記基板への塗布膜形成時に生じる不要な雰囲気を排気するための排気口と、外気を吸引するための吸引口とを有する処理カップと、
前記不要な雰囲気を前記排気口から吸引する吸引手段とを備え、
前記処理カップの開口部に収容された前記基板の周縁部と前記開口部とは、所定の間隙をもって配置され、かつ前記処理カップに収容された前記基板よりも下方には、前記吸引口から前記排気口に至る排気流路が形成されると共に、前記間隙と排気流路とが連通しており、
前記吸引口には、吸気流量を測定する吸気量センサが設けられ、
前記排気流路において、前記吸気量センサよりも下流には、前記不要な雰囲気の前記吸引口への逆流を抑制する逆流防止手段が形成されることを特徴とする塗布膜形成装置。 - 前記基板の周縁部と前記開口部とは、前記基板の径方向の距離が3mm以内、高さ方向の距離寸法が0.5〜2mmの範囲であって、かつ処理カップ開口部よりも基板の周縁部の方が低くなる間隙をもって、配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載された塗布膜形成装置。
- 前記処理カップの上部に係合し、前記基板の略密閉された処理空間を形成するための蓋体と、
前記処理空間に塗布液の溶剤をミスト状に供給する雰囲気制御手段とを備え、
前記雰囲気制御手段により前記処理空間にミスト状の溶剤が供給された状態で、前記塗布液供給手段により滴下された塗布液が前記基板保持回転手段による基板の回転制御により拡散されることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載された塗布膜形成装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005249299A JP4519035B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 塗布膜形成装置 |
US11/501,740 US7802536B2 (en) | 2005-08-30 | 2006-08-10 | Apparatus and method of forming an applied film |
CN200610126011A CN100594427C (zh) | 2005-08-30 | 2006-08-30 | 涂布膜形成装置和涂布膜形成方法 |
KR1020060082675A KR101061696B1 (ko) | 2005-08-30 | 2006-08-30 | 도포막 형성장치 및 도포막 형성방법 |
US12/859,790 US8287954B2 (en) | 2005-08-30 | 2010-08-20 | Apparatus and method of forming an applied film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005249299A JP4519035B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 塗布膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007067059A JP2007067059A (ja) | 2007-03-15 |
JP4519035B2 true JP4519035B2 (ja) | 2010-08-04 |
Family
ID=37817394
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005249299A Active JP4519035B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-08-30 | 塗布膜形成装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7802536B2 (ja) |
JP (1) | JP4519035B2 (ja) |
KR (1) | KR101061696B1 (ja) |
CN (1) | CN100594427C (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4601070B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2010-12-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
HUE036191T2 (hu) * | 2006-03-01 | 2018-06-28 | Tokuyama Corp | Eljárás többrétegû anyag elõállítására |
JP5174391B2 (ja) * | 2007-08-07 | 2013-04-03 | 靖彦 青山 | スピンコーター |
JP5029486B2 (ja) * | 2008-05-13 | 2012-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置、塗布方法及び記憶媒体 |
JP5006274B2 (ja) * | 2008-06-25 | 2012-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
CN103608484B (zh) * | 2011-04-20 | 2016-06-22 | Oled工厂有限责任公司 | 用于气相沉积应用的测量设备和方法 |
JP2012253156A (ja) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | レジスト塗布装置 |
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US20110008538A1 (en) | 2011-01-13 |
US8287954B2 (en) | 2012-10-16 |
JP2007067059A (ja) | 2007-03-15 |
KR101061696B1 (ko) | 2011-09-01 |
US20070071890A1 (en) | 2007-03-29 |
KR20070026123A (ko) | 2007-03-08 |
CN1924704A (zh) | 2007-03-07 |
CN100594427C (zh) | 2010-03-17 |
US7802536B2 (en) | 2010-09-28 |
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Legal Events
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