JP2000232050A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 排気風速を適切に検出し、基板に対する適切
な処理を行うこと。 【解決手段】 処理液を基板Ｗに対して供給することに
よって所定の処理を行う基板処理装置１において、基板
Ｗを保持して処理を行う処理部１０の下方には処理部１
０の排気を行う排気管２０が設けられる。この排気管２
０の内部には、排気管２０内の排気風速を検知する風速
センサ３３と、風速センサ３３の少なくとも風上側に配
設された第１の遮蔽板３１とを有する風速計測器３０が
設けられる。この風速計測器３０においては排気の流れ
の風上側に設けられた遮蔽板３１によって風速センサ３
３に処理液のミストが付着することを低減することがで
きるので、排気管２０の排気風速を良好に検知すること
ができる。そして制御部４０が風速計測器３０の出力に
基づいてダンパ５０の開閉動作を制御することによっ
て、排気管２０による排気風速を一定状態に保つことが
可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板等の
薄板状精密基板（以下、単に「基板」という。）に対し
て処理液を供給することにより所定の処理を施す基板処
理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】所定の処理液を基板に供給しつつ所定の
処理を施す基板処理装置では、基板に対する処理を行う
処理部の下方に排気管を設け、この排気管より処理部内
の雰囲気の排気が行われる。このような排気は、基板に
対する処理の均一度の向上やパーティクル対策等のため
に行われるものであるため、排気の際の排気風速は常に
一定の状態で管理・制御されることが好ましい。

【０００３】特に、基板を回転させつつ処理液を供給し
て基板に対する処理を行うスピンコータやスピンディベ
ロッパ等の基板処理装置においては、基板のほぼ中央部
に対してフォトレジストや現像液等の処理液を供給し、
回転による遠心力で処理液を基板表面全域に塗布するこ
とが行われるが、上記の排気風速が変化すると、基板表
面近傍の風速も変化することになり、基板に対する均一
な処理を行うことができないという重大な問題を招くこ
とになる。

【０００４】一方、フォトレジストや現像液等の処理液
を使用して基板処理を行う場合は、処理部内の雰囲気中
に処理液がミスト状となって存在するため、この雰囲気
を排気すると排気管内にミストが流入することになる。
このため、排気管内にミストが堆積し、それによって排
気管内の流路がしだいに狭くなる。この結果、排気風速
がしだいに低下していくことになる。

【０００５】また、上記のように排気風速を管理するた
めに、排気管内に直接的に排気風速を計測する風車式や
熱線式等の風速センサを設けた場合、風速センサ自体に
ミストが堆積するため、正確な風速の計測が直ちに不可
能となるので、実用化されていない。

【０００６】そこで、従来の基板処理装置では、排気管
内における流路中に配置する必要のない排気圧センサを
排気管に取り付け、それによって排気管内の圧力を計測
することで排気風速を間接的に導き、排気風速の制御を
行う制御系が採用されていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、排気管内に
ミストが堆積して流路が狭くなり、排気が流れにくくな
った場合、本来なら排気能力を上昇させて排気量を維持
するように制御しなければならないのであるが、従来の
排気圧センサによる風速制御では、流路のつまり具合に
応じて排気圧センサで計測される排気圧が上昇してしま
うので、制御系は排気過剰と判断して排気能力を低下さ
せる制御を行うという矛盾した制御動作を招くことにな
る。

【０００８】つまり、従来のように排気圧センサを使用
する場合は、排気管内の圧力計測が不可能になることは
ないが、排気風速は変化していないにもかかわらず、ミ
ストの堆積によって排気管内の圧力が変化するため、適
切な風速制御を行うことができないという問題があっ
た。

【０００９】この発明は、上記課題に鑑みてなされたも
のであって、排気風速を適切に検出することができ、基
板に対する適切な処理を行うことができる基板処理装置
を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、処理液を基板に対して供
給することによって所定の処理を行う基板処理装置であ
って、基板を保持して前記所定の処理を行う処理部と、
前記処理部の排気を行う排気管と、前記排気管内に設け
られ、前記排気管内の排気風速を検知する検知器と前記
検知器の少なくとも風上側に配設された第１の遮蔽板と
を有する風速計測手段とを備えている。

【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置において、前記風速計測手段は、前記検
知器の風下側に配設された第２の遮蔽板をさらに有する
ことを特徴としている。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の基板処理装置において、前記風速計測
手段は、前記排気管のうちの直管部分に取り付けられる
ことを特徴としている。

【００１３】請求項４に記載の発明は、請求項１ないし
請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前
記排気管に設けられ、前記排気風速を可変する風速可変
手段と、前記風速計測手段が検知する前記排気風速に基
づいて前記風速可変手段をフィードバック制御する制御
手段とをさらに備えている。

【００１４】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の基板処理装置において、前記制御手段は、予め前記排
気風速についての有効範囲が定められ、前記風速計測手
段において検出される前記排気風速が前記有効範囲外と
なるときに、所定の異常信号を発生することを特徴とし
ている。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の実施の形態に
おける基板処理装置１を示す構成図であり、（ａ）は基
板処理装置１の全体構成を示しており、（ｂ）は基板処
理装置１に設けられる風速計測器３０を示している。

【００１６】この基板処理装置１は、基板Ｗに対する処
理を施す処理部１０と、処理部１０の下方側より処理部
内雰囲気を排気する排気管２０とを備えている。

【００１７】処理部１０には、処理液の飛散を防止する
カップ１１と、基板Ｗを保持するチャック１２と、チャ
ック１２を回転駆動することにより基板Ｗを回転させる
モータ１３と、基板Ｗに対してフォトレジストや現像液
等の処理液を供給する処理液ノズル１５とが配置されて
いる。

【００１８】排気管２０は図示しない工場設備側の排気
ラインに接続されており、排気ラインによって処理部１
０の雰囲気を外部に排気することができるように構成さ
れている。また、排気管２０のうち略水平の直管部分２
１の内部には、直接的に排気風速を計測する風速計測手
段となる風速計測器３０が管の天井部分に着脱自在に吊
下げ状に設けられているとともに、排気管２０内の排気
風速を可変させるために開閉動作を行う風速可変手段と
なるダンパ５０がその下流側に配置されている。

【００１９】また、この基板処理装置１には、制御部４
０が設けられており、風速計測器３０によって検知され
る排気風速に基づいて、ダンパ５０の開閉状態の制御を
行うような制御系が構築されている。

【００２０】さらに、制御部４０には警報発生部６１と
プロセス管理部６２とが接続されている。警報発生部６
１は、制御部４０から与えられる異常信号に基づいてデ
ィスプレイ表示やブザー等の警報を発生させることによ
りオペレータに排気風速の異常を伝えるものである。ま
た、プロセス管理部６２は、所定のレシピに基づいた基
板Ｗに対する一連の処理を統括的に管理・制御するため
に設けられるものである。

【００２１】なお、これら警報発生部６１およびプロセ
ス管理部６２は、基板処理装置１の外部に設けられても
よい。例えば、この基板処理装置１が組み込まれた基板
処理システムにおけるシステム制御機構の１つの機能と
して警報発生部６１およびプロセス管理部６２とが設け
られるものであってもよい。

【００２２】基板処理装置１において基板Ｗに対する処
理を行う際には、チャック１２が基板Ｗを吸着保持する
状態となった後に、処理液ノズル１５を基板Ｗの上方位
置に移動させ、そして基板Ｗを回転させつつ基板Ｗの中
央位置に処理液を供給する。このような処理により、処
理液は基板Ｗの回転に伴う遠心力によって基板Ｗの全面
に広がり、最終的に基板Ｗの周縁部よりカップ１１側に
飛散する。

【００２３】そして、このような基板Ｗに対する処理過
程においては、基板Ｗに対する均一な処理を実現すると
ともに、基板Ｗへのパーティクル付着を低減させるため
に、排気管２０より処理部１０内部の排気を行い続け
る。

【００２４】この実施の形態では、排気管２０内を流れ
る排気風速を一定に保つべく、風速計測器３０によって
計測された風速を出力として制御部４０に与え、その風
速の増減に応じて制御部４０がダンパ５０の開閉度を調
整するように構成されている。

【００２５】次に、風速計測器３０の詳細について説明
する。図２は、この実施の形態における風速計測器３０
の一例を示す斜視図である。また、図１（ｂ）には図１
（ａ）のＡ方向矢視図としての風速計測器３０の構造が
簡略的に示されている。この風速計測器３０は、排気管
２０内部の排気風速に応じた出力を行う検知器として風
速センサ３３を備えており、この風速センサ３３の風上
側には半円筒状の比較的大径の遮蔽板（第１の遮蔽板）
３１が配設されている。また、風速センサ３３の風下側
にも半円筒状の比較的小径の遮蔽板（第２の遮蔽板）３
２が配設されている。

【００２６】風速センサ３３は、熱線式または風車式の
風速センサのいずれであってもよく、また、その他の方
式の直接的に風速を検知することのできる風速センサで
もよい。熱線式の風速センサの場合は、サーミスタ素子
等を定温度に加熱し、排気管２０内の風流による放熱が
原因となって生じる電気抵抗の変化を検知することによ
り排気風速を検知するものである。また、風車式の風速
センサの場合は、風車の回転数を検出することにより排
気風速を検知するものである。

【００２７】風速センサ３３の風上側に配置された遮蔽
板３１は、排気管２０内に混入してくる処理液のミスト
が直接風速センサ３３に付着して堆積することを防止す
るために設けられるものである。

【００２８】また、風速センサ３３の風下側に配置され
た遮蔽板３２は、排気管２０内に混入してくる処理液の
ミストが遮蔽板３１の後方で形成される渦流に乗って風
速センサ３３に付着することを防止するために設けられ
るものである。

【００２９】遮蔽板３１，３２および風速センサ３３は
基台３９上に固定される。遮蔽板３１および遮蔽板３２
の高さ寸法はほぼ同じ高さ寸法で構成されており、風速
センサ３３が配置される高さ位置は遮蔽板３１，３２の
中央付近に配置される。なお、遮蔽板３１，３２は、排
気管２０の内部に風速計測器３０を設置した際に、風速
センサ３３が配置された付近に処理液のミストが流入し
ないような高さ寸法とする。

【００３０】このような風速計測器３０は、基台３９を
排気管２０の所定位置（この実施形態では直管部分２１
の天井面）に固定することにより、その実質的な計測機
能部分が排気管２０の内部の空間に挿入される形態で設
置される。

【００３１】風速計測器３０を排気管２０内部に設置す
ることにより、排気管２０内部における排気の流れは図
３に示すようになる。ただし、この図３は、図１（ｂ）
と同様に図１（ａ）のＡ方向からの矢視に相当する。

【００３２】排気管２０の内部において、風速計測器３
０の遮蔽板３１に衝突する流れは、遮蔽板３１によって
２方向に分かれ、図３において遮蔽板３１の上方を通過
する流れＦ１と下方を通過する流れＦ２とに分岐する。
このとき、流れＦ１，Ｆ２に混入しているミストの一部
は遮蔽板３１の表面に付着する。

【００３３】流れＦ１，Ｆ２は遮蔽板３１の後方側に進
むと流れＦ３，Ｆ４になる。この流れＦ３，Ｆ４にも処
理液のミストは混入しているが、風速計測器３０の後方
側に回り込むミストの大部分はこの流れＦ３，Ｆ４に乗
る。

【００３４】そして、風速計測器３０の後方側には、流
れＦ３，Ｆ４によって生じる渦流Ｆ５，Ｆ６が形成され
るが、この渦流Ｆ５，Ｆ６の風速は流れＦ３，Ｆ４の風
速よりも低速であり、かつ、流れＦ３，Ｆ４の風速に応
じて変化する。また、この渦流Ｆ５，Ｆ６にも若干のミ
ストは混入している。渦流Ｆ５，Ｆ６に含まれるミスト
は、渦流Ｆ５，Ｆ６が遮蔽板３２に衝突するときに遮蔽
板３２に付着する。

【００３５】さらに、渦流Ｆ５，Ｆ６は遮蔽板３１と遮
蔽板３２との間隙から風速センサ３３が配置された領域
側に作用し、その領域内に異なる渦流Ｆ７を発生させ
る。この渦流Ｆ７の風速は渦流Ｆ５，Ｆ６の風速よりも
低速であり、かつ、渦流Ｆ５，Ｆ６の風速に応じて変化
する。

【００３６】この渦流Ｆ７は、排気管２０内における主
たる流れＦ１，Ｆ２に比べて非常に低速であるため、ミ
ストを運ぶだけのエネルギーを保有していない。また、
渦流Ｆ５，Ｆ６に含まれるミストのほぼ全ては遮蔽板３
２に付着される。この結果、渦流Ｆ７にはミストは含ま
れないことになり、風速センサ３３にミストが付着・堆
積することはない。

【００３７】したがって、風速センサ３３は常に適切に
渦流７の風速を計測することが可能になる。この渦流７
の風速は排気管２０内の主たる流れＦ１，Ｆ２の風速に
応じて変化するため、渦流７の風速を計測することによ
って排気管２０内の排気風速を導くことができる。

【００３８】このような作用を発揮させるためには、風
速計測器３０における２枚の遮蔽板３１，３２の径はそ
れぞれ異なる大きさとなるように構成し、遮蔽板３１の
径が遮蔽板３２の径よりも大きいものを採用するととも
に、それぞれの遮蔽板３１，３２の円筒形状の中心は風
速センサ３３が配置された領域側に設定されることが好
ましい。

【００３９】ただし、上記の風速計測器３０の構成は一
例であってそれに限定されるものではない。例えば、風
速センサ３３の風上側に対してのみ遮蔽板３１を設け、
遮蔽板３２は配置しない場合であっても、風速計測器３
０の後方側に形成される渦流Ｆ５，Ｆ６には少量のミス
トしか含まれていないので、風速センサ３３が適切に風
速を検知することのできる期間の長期化を図ることがで
きるという効果は発揮する。

【００４０】図４は風速計測器３０による排気風速の測
定試験（加速試験）を行った結果を示す図であり、
（ａ）は風速センサ３３の風上側と風下側とのいずれに
も遮蔽板を設置していない場合（従来技術に相当）を示
しており、（ｂ）は風速センサ３３の風上側にのみ遮蔽
板３１を設置した場合を示しており、（ｃ）は風速セン
サ３３の風上側と風下側との双方に遮蔽板３１，３２を
設置した場合を示している。

【００４１】まず、図４（ａ）に示すように、風速セン
サ３３に関して排気の風上側および風下側のいずれにも
遮蔽板を備えていない場合は、設置直後から排気管２０
内に混入するミストが風速センサ３３に付着するに伴っ
て感度が低下することになる。そして、しだいに出力が
低下していき、１８ヶ月経過後には出力がＶのときには
風速を一義的に導くことができず、測定不能な状態に至
る。

【００４２】次に、図４（ｂ）に示すように、風速セン
サ３３の風上側にのみ遮蔽板３１を設置した場合は、風
速計測器３０の後方側に形成される渦流Ｆ５，Ｆ６に含
まれるミストが風速センサ３３に付着するので、経時的
に出力はある程度低下していくが、渦流Ｆ５，Ｆ６に含
まれるミストが少量であるため、風速センサ３３に付着
するミスト量も微少量となり、出力の低下量は図４
（ａ）の場合に比べて極めて小さくなる。したがって、
１８ヶ月経過後であっても各出力に対応する風速を一義
的に導くことができるので、測定不能な状態には至って
いない。

【００４３】このため、この風速計測器３０を実際に使
用する際に、例えば、基板処理装置１において処理した
基板Ｗの枚数や使用期間等に応じて風速計測器３０の出
力がどのように低下するかを予め実験等によって求めて
おき、それを制御部４０に記憶させておくことによっ
て、制御部４０は風速計測器３０の出力から基板Ｗの枚
数や使用期間等に応じて適切に排気管２０内の排気風速
を導くことができる。

【００４４】すなわち、排気管２０内の排気風速を検知
する風速センサ３３の少なくとも風上側に遮蔽板３１を
有する構造とした風速計測器３０を使用すれば、排気管
２０における排気風速を適切に検出することができ、基
板Ｗに対する適切な処理を行うことができるのである。

【００４５】さらに、図４（ｃ）に示すように、風速セ
ンサ３３の風上側と風下側との双方に遮蔽板３１，３２
を設置した場合は、風速センサ３３に対するミストの付
着はほとんど発生しないので、１８ヶ月経過後であって
も出力特性は設置直後とほぼ同等の特性を示すことにな
る。したがって、この場合は、経時的な出力低下に伴う
補正を行う必要もないので、図４（ｂ）の場合に比べて
より好ましい出力特性となっているのである。

【００４６】なお、上記のような風速計測器３０は排気
管２０の直管部分２１に取り付けることが好ましい。

【００４７】なぜなら、排気管２０のうちの湾曲部分２
２には、ミストが堆積したすく、そのような堆積が生じ
ると排気管２０の内径が小さくなる。このように内径が
小さくなった堆積部分では部分的に風速が大きくなるた
め、排気能力が落ちているにもかかわらず、風速センサ
３３から得られる出力は「風速大」となり、ダンパ５０
を閉じるような不適切な制御を行う可能性があるからで
ある。

【００４８】つまり、排気管２０の湾曲部分以外の直管
部分２１にはミストの堆積が比較的少ないので、そのよ
うな直管部分２１に風速計測器３０を取り付けるように
すると、風速センサ３３で検知される風速と実際の排気
風速との相関性を高めることができるため、適切な排気
風速の制御を行うことができるのである。

【００４９】次に、図１（ａ）に戻り、制御部４０にお
ける制御動作について説明する。排気管２０は既述のよ
うに排気ラインに接続されており、制御部４０は、この
排気ラインによって生じる排気をダンパ５０の開閉動作
を制御することによって一定風速となるように制御す
る。

【００５０】具体的には、制御部４０は内部にメモリ等
の記憶手段を有しており、予め排気風速についての有効
範囲を定めて、記憶手段にその有効範囲を記憶させてお
く。そして、制御部４０は風速計測器３０において検出
される排気風速が変化したときにダンパ５０の開閉状態
をフィードバック制御して、排気風速を有効範囲内とさ
せるように機能する。

【００５１】このような制御動作により、基板処理装置
１における処理部１０内の雰囲気の排気は、ほぼ一定の
排気風速が維持されるようになり、処理部１０における
基板Ｗに対する処理の均一度の向上や基板Ｗに対するパ
ーティクル付着対策等を有効に達成することが可能とな
る。また、複数枚の基板Ｗを連続的に処理した際におい
ても各基板Ｗに対する処理の均一度を一定に保つことが
可能である。

【００５２】また、制御部４０がダンパ５０の開閉状態
を制御することによっては上記有効範囲内の排気風速を
実現することができない程度に、風速センサ３３で検知
される風速が著しく低下若しくは上昇した場合、制御部
４０は、排気管２０内部のミストによる詰まり状況が許
容範囲を越えたか、あるいは排気ラインの先に設置され
ている図示しない排気源側に異常が発生したものと判断
し、異常信号を発生させる。

【００５３】この異常信号は、警報発生部６１およびプ
ロセス管理部６２に送られる。この結果、警報発生部６
１より警報が発せられ、オペレータが排気風速に異常を
生じたことを認識することができるとともに、プロセス
管理部６２が新規な基板Ｗの受け入れを停止させ、異常
下において基板Ｗに対する所定の処理が行われることを
回避する。

【００５４】このような制御を行うことにより、オペレ
ータは直ちに異常が発生したことを認識することができ
るので、速やかにメンテナンス作業を開始することがで
き、装置の稼働率の低下を最小限に抑えることができ
る。また、異常下における新規な基板Ｗの処理を停止さ
せることができるので、基板Ｗに対して不均一な処理が
行われたり、パーティクルが付着することを回避するこ
とができる。

【００５５】以上のように、この実施の形態における基
板処理装置１は、基板Ｗを保持した状態で所定の処理を
行う処理部１０と、その処理部１０の排気を行う排気管
２０と、その排気管２０内に設けられた風速計測器３０
とを備えており、その風速計測器３０は、排気管２０内
の排気風速を検知する風速センサ３３と、その風速セン
サ３３の少なくとも風上側に配設された遮蔽板３１とを
備えて構成されるため、風速センサ３３に対する処理液
のミストの付着を低減することができるので、排気風速
を適切に検出することができ、その結果、基板Ｗに対す
る適切な処理が可能となる。また、風速センサ３３によ
り直接的に排気風速を導くことができるので、従来にお
ける排気圧センサを使用した場合のような誤検知による
矛盾した制御動作が行われることを回避することが可能
になる。

【００５６】また、この実施の形態の風速計測器３０
は、風速センサ３３の風下側に配設された遮蔽板３２を
も有しているため、風速センサ３３の経時的な感度低下
を極めて良好に抑えることができるので、排気管２０に
おける排気風速を常に正確に検出することが可能となっ
ている。

【００５７】なお、上記説明においては、風速計測器３
０における遮蔽板３１，３２は、半円筒状である場合を
例示して説明したが、そのような形状に限定されるもの
ではなく、風速センサ３３に対するミストの付着を低減
させることができるものであれば、例えば折り曲げ板状
等のどのような形状であってもよいことは明らかであ
る。

【００５８】また、図２を参照して説明した風速計測器
３０は、その上端側が解放状態で構成されてたものを例
示したが、図５に示すように風速計測器３０の上端側に
蓋３８を冠着させてもよい。このように蓋３８を設けて
も遮蔽板３１と遮蔽板３２との間の開口部を介して風速
センサ３３が設けられた領域内にはミストの混入してい
ない渦流Ｆ７を発生させることができるので良好に排気
風速の検知を行うことができる。そして、これに加え
て、蓋３８を設けることにより、風速計測器３０の上端
側から風速センサ３３側にミストが流れ込むことを防止
することができるので、遮蔽板３１，３２の高さ寸法を
蓋３８を設けない場合（図２参照）に比べて低くするこ
とができ、内径の小さい排気管にも設置することが可能
となる。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、処理部の排気を行う排気管内に設けられ
た風速計測手段が、排気管内の排気風速を検知する検知
器と、検知器の少なくとも風上側に配設された第１の遮
蔽板とを有するため、検知器に対する処理液のミストの
付着を低減することができるので、排気風速を適切に検
出することができ、その結果、基板に対する適切な処理
が可能となる。また、検知器は排気風速を直接検知する
ので、誤検知等による矛盾した制御動作が行われること
を回避することもできる。

【００６０】請求項２に記載の発明によれば、風速計測
手段は、検知器の風下側に配設された第２の遮蔽板をさ
らに有するため、検知器の経時的な感度低下を極めて良
好に抑えることができるので、排気管における排気風速
を常に正確に検出することが可能となる。

【００６１】請求項３に記載の発明によれば、風速計測
手段は、排気管のうちの直管部分に取り付けられるた
め、検知器で検知される風速と実際の排気風速との相関
性を高めることができるため、適切な排気風速の計測を
行うことができる。

【００６２】請求項４に記載の発明によれば、排気管に
設けられ、排気風速を可変する風速可変手段と、風速計
測手段が検知する排気風速に基づいて風速可変手段をフ
ィードバック制御する制御手段とをさらに備えるため、
排気風速を常に一定の状態で管理・制御することが可能
となる。

【００６３】請求項５に記載の発明によれば、制御手段
は予め排気風速についての有効範囲が定められ、風速計
測手段において検出される排気風速が有効範囲外となる
ときに、所定の異常信号を発生するため、異常下におけ
る稼働率の低下を最小限に抑えることができるととも
に、基板に対して不均一な処理が行われることを回避す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態における基板処理装置を
示す構成図である。

【図２】この発明の実施の形態における風速計測器の一
例を示す斜視図である。

【図３】排気管内部における排気の流れを示す図であ
る。

【図４】風速計測器による排気風速の測定試験を行った
結果を示す図である。

【図５】蓋を設けた風速計測器の一例を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 １０ 処理部 ２０ 排気管 ２１ 直管部分 ３０ 風速計測器（風速計測手段） ３１ 遮蔽板（第１の遮蔽板） ３２ 遮蔽板（第２の遮蔽板） ３３ 風速センサ（検知器） ４０ 制御部（制御手段） ５０ ダンパ（風速可変手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ０５Ｃ 11/08 Ｂ０５Ｃ 11/08 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９Ｃ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理液を基板に対して供給することによ
   って所定の処理を行う基板処理装置であって、 基板を保持して前記所定の処理を行う処理部と、 前記処理部の排気を行う排気管と、 前記排気管内に設けられ、前記排気管内の排気風速を検
   知する検知器と前記検知器の少なくとも風上側に配設さ
   れた第１の遮蔽板とを有する風速計測手段と、を備える
   ことを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板処理装置におい
   て、 前記風速計測手段は、前記検知器の風下側に配設された
   第２の遮蔽板をさらに有することを特徴とする基板処理
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の基板処
   理装置において、 前記風速計測手段は、前記排気管のうちの直管部分に取
   り付けられることを特徴とする基板処理装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載の基板処理装置において、 前記排気管に設けられ、前記排気風速を可変する風速可
   変手段と、 前記風速計測手段が検知する前記排気風速に基づいて前
   記風速可変手段をフィードバック制御する制御手段と、
   をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の基板処理装置におい
   て、 前記制御手段は、予め前記排気風速についての有効範囲
   が定められ、前記風速計測手段において検出される前記
   排気風速が前記有効範囲外となるときに、所定の異常信
   号を発生することを特徴とする基板処理装置。