JP5721145B2 - 液処理装置及び液処理方法並びに液処理用記憶媒体 - Google Patents
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Description
また、この発明の第2の液処理装置は、上端が開放する処理カップ内に配設され、基板を水平に保持する基板保持部と、上記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、上記基板の表面に処理液を供給する処理液供給部と、上記基板保持部に保持された基板の周囲雰囲気を排気する排気機構と、を具備する液処理装置において、 上記排気機構は、上記処理カップの底部に設けられた排気口に接続され、排気装置を介設する排気流路と、上記排気流路から分岐して上記処理カップに連通する循環流路と、上記排気流路における上記分岐部を含む該分岐部の一次側又は上記循環流路に介設される気液分離器と、上記排気流路に介設される開閉及び開度調整可能な第1の調整弁と、上記気液分離器の二次側の排気流路に介設される開閉可能な第2の調整弁と、を具備し、上記第2の調整弁を開度調整可能に形成し、上記循環流路中に、上記気液分離器から供給口側に向かって順に第3の調整弁と有機濃度を測定する濃度センサを介設し、上記回転機構、排気装置、第1及び第2の調整弁の駆動を制御すると共に、上記濃度センサからの検知信号を受信して上記第3の調整弁の駆動を制御する制御部を具備し、上記制御部からの制御信号に基づいて、回転する基板表面に上記処理液供給部から処理液を供給する処理工程中は、上記第1及び第3の調整弁を開き、上記第2の調整弁を閉じて、上記気液分離器で分離された気体を上記循環流路から上記処理カップ内に流入して、処理カップ内に流入される気体によって処理カップ内における基板の周囲雰囲気を上記排気口側へ誘導し、上記処理工程の停止後、上記第1及び第3の調整弁を閉じ、上記第2の調整弁を開いて排気し、更に、上記濃度センサによって上記循環流路中の気体に含まれる有機濃度が所定濃度以上の場合は、上記第1及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて排気し、上記有機濃度が所定濃度より低く許容濃度より高い場合は、上記第1及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて排気した後、上記第1の調整弁を閉じて上記排気流路中の残留気体を排出し、上記有機濃度が許容濃度以下の場合は、上記第1及び第3の調整弁を開き、上記第2の調整弁の開度を絞った後閉じて、上記処理工程を行う、ことを特徴とする(請求項2)。
この発明の液処理装置を適用したレジスト塗布処理装置の実施の形態について図3ないし図5を参照して説明する。
第2実施形態は、処理カップ50内に循環供給される気体(排気)による液処理に及ぼす悪影響を抑制するようにした場合である。ここで、上記悪影響の要因としては、循環供給される気体(排気)中に含まれる有機成分の存在が多くを占め、その他には循環供給される気体(排気)の温度と処理カップ50内の温度差及び湿度差が挙げられる。
以上、いくつかの実施形態を参照しながらこの発明を説明したが、この発明は上記の実施形態に限定されることなく、添付の特許請求の範囲に含まれる事項の範囲で種々の変形が可能である。
41 スピンチャック(基板保持部)
42 回転機構
44 レジストノズル(処理液供給部)
50 処理カップ
50a 開放部
54 排気口
56 供給口
57 邪魔板
60 排気機構
61 排気流路
62 ブロアファン(排気装置)
63 循環流路
64 ミストトラップ(気液分離器)
70 フィルターファンユニット
90 制御コンピュータ
90a 制御部
100 濃度センサ
200 温湿度調整器
Claims (12)
- 上端が開放する処理カップ内に配設され、基板を水平に保持する基板保持部と、上記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、上記基板の表面に処理液を供給する処理液供給部と、上記基板保持部に保持された基板の周囲雰囲気を排気する排気機構と、を具備する液処理装置において、
上記排気機構は、上記処理カップの底部に設けられた排気口に接続され、排気装置を介設する排気流路と、上記排気流路から分岐して上記処理カップに連通する循環流路と、上記排気流路における上記分岐部を含む該分岐部の一次側又は上記循環流路に介設される気液分離器と、上記排気流路に介設される開閉及び開度調整可能な第1の調整弁と、上記気液分離器の二次側の排気流路に介設される開閉可能な第2の調整弁と、上記回転機構、排気装置、第1及び第2の調整弁の駆動を制御する制御部と、を具備し、
上記制御部からの制御信号に基づいて、回転する基板表面に上記処理液供給部から処理液を供給して基板表面に処理液の液膜を形成する処理工程中は、上記第1の調整弁を開き、上記第2の調整弁を閉じて、上記気液分離器で分離された気体を上記循環流路から上記処理カップ内に流入して、処理カップ内に流入される気体によって処理カップ内における基板の周囲雰囲気を上記排気口側へ誘導し、上記処理工程の停止後、上記第1の調整弁を閉じ、上記第2の調整弁を開いて排気する、
ことを特徴とする液処理装置。 - 上端が開放する処理カップ内に配設され、基板を水平に保持する基板保持部と、上記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、上記基板の表面に処理液を供給する処理液供給部と、上記基板保持部に保持された基板の周囲雰囲気を排気する排気機構と、を具備する液処理装置において、
上記排気機構は、上記処理カップの底部に設けられた排気口に接続され、排気装置を介設する排気流路と、上記排気流路から分岐して上記処理カップに連通する循環流路と、上記排気流路における上記分岐部を含む該分岐部の一次側又は上記循環流路に介設される気液分離器と、上記排気流路に介設される開閉及び開度調整可能な第1の調整弁と、上記気液分離器の二次側の排気流路に介設される開閉可能な第2の調整弁と、を具備し、
上記第2の調整弁を開度調整可能に形成し、
上記循環流路中に、上記気液分離器から供給口側に向かって順に第3の調整弁と有機濃度を測定する濃度センサを介設し、
上記回転機構、排気装置、第1及び第2の調整弁の駆動を制御すると共に、上記濃度センサからの検知信号を受信して上記第3の調整弁の駆動を制御する制御部を具備し、
上記制御部からの制御信号に基づいて、回転する基板表面に上記処理液供給部から処理液を供給する処理工程中は、上記第1及び第3の調整弁を開き、上記第2の調整弁を閉じて、上記気液分離器で分離された気体を上記循環流路から上記処理カップ内に流入して、処理カップ内に流入される気体によって処理カップ内における基板の周囲雰囲気を上記排気口側へ誘導し、上記処理工程の停止後、上記第1及び第3の調整弁を閉じ、上記第2の調整弁を開いて排気し、
更に、上記濃度センサによって上記循環流路中の気体に含まれる有機濃度が所定濃度以上の場合は、上記第1及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて排気し、上記有機濃度が所定濃度より低く許容濃度より高い場合は、上記第1及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて排気した後、上記第1の調整弁を閉じて上記排気流路中の残留気体を排出し、上記有機濃度が許容濃度以下の場合は、上記第1及び第3の調整弁を開き、上記第2の調整弁の開度を絞った後閉じて、上記処理工程を行う、
ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1又は2に記載の液処理装置において、
上記処理カップにおける開放部と基板の周縁部との隙間より下方側に供給口を設け、該供給口と上記循環流路とを連通する、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理装置において、
上記第1の調整弁の開度を調整して上記循環流路を流れる気体の流量を一定に制御する、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の液処理装置において、
上記循環流路における上記気液分離器の二次側に温度又は湿度の少なくとも一方を調整する温湿度調整器を介設し、上記温湿度調整器を制御部によって制御し、
上記制御部によって上記処理カップの上方から処理カップ内に流入する気体の温度及び又は湿度と上記循環流路から上記処理カップ内に流入する気体の温度及び又は湿度を一定に調整する、
ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項3に記載の液処理装置において、
上記循環流路の供給口に、上記循環流路から上記処理カップ内に流入する気体の基板側への流れを阻止する邪魔板を設けた、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項3に記載の液処理装置において、
上記循環流路の供給口を、上記基板保持部に保持された基板に対して外方側に開口させた、ことを特徴とする液処理装置。 - 上端が開放する処理カップ内に配設され、基板を水平に保持する基板保持部と、上記基板保持部を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、上記基板の表面に処理液を供給する処理液供給部と、上記基板保持部に保持された基板の周囲雰囲気を排気する排気機構と、を具備し、上記排気機構は、上記処理カップの底部に設けられた排気口に接続され、排気装置を介設する排気流路と、上記排気流路から分岐して上記処理カップに連通する循環流路と、上記排気流路における上記分岐部を含む該分岐部の一次側又は上記循環流路に介設される気液分離器と、上記排気流路に介設される開閉及び開度調整可能な第1の調整弁と、上記気液分離器の二次側の排気流路に介設される開閉可能な第2の調整弁と、を具備する液処理装置を用いた液処理方法であって、
鉛直軸回りに回転する基板の表面に処理液供給部から処理液を供給して基板表面に処理液の液膜を形成する処理工程と、
上記第1の調整弁を開き、上記第2の調整弁を閉じて、上記気液分離器で分離された気体を循環流路から上記処理カップ内に流入する排気循環工程と、
上記第1の調整弁を閉じ、上記第2の調整弁を開いて上記排気流路中の排気を排出する排出工程と、を具備し、
上記処理工程中に、上記排気循環工程を行って上記循環流路から上記処理カップ内に流入する気流によって上記処理カップ内における基板の周囲雰囲気を排気口側へ誘導し、
上記処理工程及び排気循環工程の停止後、上記排出工程を行う、
ことを特徴とする液処理方法。 - 請求項2に記載の液処理装置を用いた液処理方法であって、
鉛直軸回りに回転する基板の表面に処理液供給部から処理液を供給して基板表面に処理液の液膜を形成する処理工程と、
上記第1の調整弁及び第3の調整弁を開き、上記第2の調整弁を閉じて、上記気液分離器で分離された気体を循環流路から上記処理カップ内に流入する排気循環工程と、
上記第1の調整弁及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて、上記排気流路中の排気を排出する排出工程と、
上記濃度センサによって上記循環流路中の気体に含まれる有機濃度を測定する濃度測定行程と、を具備し、
上記処理工程中に、上記排気循環工程を行って上記循環流路から上記処理カップ内に流入する気流によって上記処理カップ内における基板の周囲雰囲気を排気口側へ誘導し、
上記処理工程後に上記濃度測定工程を行って、上記循環流路中の気体に含まれる有機濃度が所定濃度以上の場合は、上記第1及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて排気し、上記有機濃度が所定濃度より低く許容濃度より高い場合は、上記第1及び第2の調整弁を開き、上記第3の調整弁を閉じて排気した後、上記第1の調整弁を閉じて上記排気流路中の残留気体を排出し、上記有機濃度が許容濃度以下の場合は、上記第1及び第3の調整弁を開き、上記第2の調整弁の開度を絞った後閉じて、上記処理工程を行う、
ことを特徴とする液処理方法。 - 請求項8又は9に記載の液処理方法において、
上記第1の調整弁の開度を調整して上記循環流路を流れる気体の流量を一定に制御する、ことを特徴とする液処理方法。 - 請求項8ないし10のいずれかに記載の液処理方法において、
上記循環流路における上記気液分離器の二次側に温度又は湿度の少なくとも一方を調整する温湿度調整器を制御部によって制御して、上記処理カップの上方から処理カップ内に流入する気体の温度及び又は湿度と上記循環流路から上記処理カップ内に流入する気体の温度及び又は湿度を一定に調整する、ことを特徴とする液処理方法。 - コンピュータに制御プログラムを実行させるソフトウエアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
上記制御プログラムは、実行時に請求項8ないし11のいずれかに記載の工程が実行されるように、コンピュータが液処理装置を制御するものである、ことを特徴とする液処理用記憶媒体。
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