KR100863782B1 - 기판처리장치 및 기판처리방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 기판처리장치에 있어서,각각의 내부에서 기판의 처리를 하는 복수의 처리용기와,처리가스 공급원으로부터 상기 복수의 처리용기에 각각 처리가스를 공급하는 처리가스 공급관로와,용매증기 공급원으로부터 상기 복수의 처리용기에 각각 용매증기를 공급하는 용매증기 공급관로와,상기 복수의 처리용기로부터 각각 상기 처리가스 및 상기 용매증기를 배출하는 복수의 배출관로와,상기 복수의 처리용기의 내압을 조정하기 위한 복수의 기기를 구비하고,상기 복수의 기기는 상기 각 용매증기 공급관로에 적어도 1개 설치되어 있거나, 혹은 상기 각 배출관로에 적어도 1개 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 각 용매증기 공급관로에 상기 적어도 1개의 기기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 각 용매증기 공급관로에 설치된 상기 적어도 l개의 기기가 가변 트로틀밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 복수의 용매증기 공급관로에 각각 설치된 복수의 개폐밸브에 있어서,상기 각 처리용기에의 용매증기의 공급 및 공급 정지의 절환을 실시하는 개폐밸브와,상기 복수의 개폐밸브 중의 하나의 개폐밸브가 열렸을 때에, 그때 이미 열린 상태로 되어 있는 개폐밸브가 설치되어 있는 용매증기 공급관로에 설치된 가변 트로틀밸브의 개방도를 조이도록 조정하는 콘트롤러를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 각 처리가스 공급관로는 상기 각 용매증기 공급관로에 설치된 상기 적어도 1개의 기기의 하류측에서 상기 각 용매증기 공급관로에 접속되고, 상기 처리가스는 상기 각 용매증기 공급관로를 개입시켜 상기 각 처리용기로 공급되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 각 배출관로에 상기 적어도 1개의 기기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 6에 있어서,상기 각 배출관로에 설치된 상기 적어도 l개의 기기가 가변 트로틀밸브인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 각 배출관로에 설치된 상기 적어도 1개의 기기가 상기 가변 트로틀밸브와 병렬로 설치된 릴리프 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 각 배출관로에 설치된 상기 적어도 1개의 기기가 상기 가변 트로틀밸브와 직렬로 설치된 개폐밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 7에 있어서,각각이 상기 각 처리용기내의 압력 혹은 상기 각 처리용기내의 압력에 대응해서 변화하는 압력을 검출하는 복수의 압력센서와,상기 압력센서의 검출 결과에 기초해서 상기 각 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 각 가변 트로틀밸브의 개방도를 조절하는 콘트롤러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 9에 있어서,각각이 상기 각 처리용기내의 압력 혹은 상기 각 처리용기내의 압력에 대응해서 변화하는 압력을 검출하는 복수의 압력센서,상기 압력센서의 검출 결과에 기초해서 상기 각 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 개폐밸브의 개폐를 제어하는 콘트롤러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 9에 있어서,상기 용매증기 공급관로에 각각 설치된 복수의 개폐밸브에 있어서,상기 처리용기에의 용매증기의 공급 및 공급 정지의 절환을 실시하는 개폐밸브와,상기 용매증기 공급관로의 개폐밸브가 열렸을 때에, 열려있는 개폐밸브가 설치되어 있는 용매증기 공급관로에 접속된 처리용기에 접속되어 있는 배출관로의 개폐밸브를 반복 개폐시키는 것에 의해, 대응하는 처리용기의 내압을 소정치로 제어하는 콘트롤러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 7에 있어서,상기 용매증기 공급관로에 각각 설치된 복수의 개폐밸브에 있어서,상기 처리용기에의 용매증기의 공급 및 공급 정지의 절환을 행하는 개폐밸브와,상기 복수의 개폐밸브가 열렸을 때에, 배출관로에 설치되어 있는 가변 트로틀밸브의 개방도를 조이는 것에 의해, 복수의 처리용기의 내압을 소정치로 조정하는 콘트롤러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 6에 있어서,상기 각 용매증기 공급관로에 고정 트로틀이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 각 처리용기는 기판지지부재를 갖는 용기본체와,상기 용기본체에 밀봉 결합해 상기 처리용기 내에 처리 공간을 형성함과 동시에 상기 기판을 지지할 수 있는 기판지지부재를 갖는 덮개를 구비하고,상기 덮개가 상기 용기본체에 결합하고 있는 경우에, 상기 기판이 상기 기판지지부재상에 재치됨과 동시에 상기 덮개의 기판지지부재가 상기 기판으로부터 멀어지도록 상기 덮개가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 기판처리장치에 있어서,내부에서 제1 기판의 처리를 하는 제1 처리용기와,내부에서 제2 기판의 처리를 하는 제2 처리용기와,처리가스 공급원으로부터 상기 제1 처리용기에 처리가스를 공급하는 제l의 처리가스 공급관로와,상기 처리가스 공급원으로부터 상기 제2 처리용기에 처리가스를 공급하는 제2 처리가스 공급관로와,용매증기 공급원으로부터 상기 제l의 처리용기에 용매증기를 공급하는 제1 용매증기 공급관로와,상기 용매증기 공급원으로부터 상기 제2 처리용기에 용매증기를 공급하는 제2 용매증기 공급관로와,상기 제1 처리용기로부터 상기 처리가스 및 용매증기를 배출하는 제l 배출관로와,상기 제2 처리용기로부터 상기 처리가스 및 용매증기를 배출하는 제2 배출관로와,상기 제1 용매증기 공급관로에 설치된 제1 공급측 개폐밸브와,상기 제2 용매증기 공급관로에 설치된 제2 공급측 개폐밸브와,상기 제1 배출관로에 설치된 제1 가변 트로틀과,상기 제2 배출관로에 설치된 제2 가변 트로틀과,상기 제l 및 제2 공급측 개폐밸브의 양쪽 모두가 열린 상태인 경우와 상기 제1 공급측 개폐밸브가 열린 상태에 있고 상기 제2 공급측 개폐밸브가 닫힌 상태에 있는 경우에 상기 제1 가변 트로틀의 개방도가 다르도록 상기 제1 가변 트로틀의 개방도를 조절하는 콘트롤러를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 16에 있어서,상기 제1 가변 트로틀과 직렬로 상기 제1 배출관로에 설치된 제1 배출측 개폐밸브와,상기 제2 가변 트로틀과 직렬로 상기 제2 배출관로에 설치된 제2 배출측 개폐밸브를 더 구비하고,상기 콘트롤러는 상기 제1 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제1 배출측 개폐밸브의 개폐를 제어하고, 한편 상기 제2 처리용기내의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제2 배출측 개폐밸브의 개폐를 제어하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 16에 있어서,상기 제l의 배기관로에 상기 제1 가변 트로틀과 병렬로 제1 릴리프 밸브가 설치되어 있고, 상기 제1 배기관로에 상기 제2 가변 트로틀과 병렬로 제2 릴리프 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 기판처리장치에 있어서,내부에서 기판을 처리를 하는 처리용기와,상기 처리용기에 접속되고 처리가스 및 용매증기를 포함한 혼합 처리 유체를 상기 처리용기내에 공급하는 공급관로와,상기 처리용기에 접속되고 상기 혼합 처리 유체를 상기 처리용기로부터 배출하는 배출관로와,상기 배출관로에 직렬로 설치된 개폐밸브 및 가변 트로틀밸브와,상기 처리용기내의 압력이 소정치로 되도록 상기 가변 트로틀밸브의 개방도 제어 및 상기 개폐밸브의 개폐 제어를 행하는 콘트롤러를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 기판처리방법에 있어서,제1 기간에 제1 기판이 수용된 제1 처리용기내에 처리가스 및 용매증기를 공급하는 공정과,제2 기간에 제2 기판이 수용된 제2 처리용기내에 처리가스 및 용매증기를 공급하는 공정을 포함하고,상기 제1 처리용기 내에 공급되는 용매증기와 상기 제2 처리용기 내로 공급되는 용매증기는 공통의 용매증기 공급원에서 공급되고,이 기판처리방법은,상기 제1 기간중에 상기 제1 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정과,상기 제2 기간중에 상기 제2 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정을 더 포함하여,상기 제1 처리용기내의 압력을 조정하는 공정은, 제1 가변 트로틀밸브의 개방도를 조절하는 것에 의해 행하여지고, 상기 제1 가변 트로틀밸브는 상기 제1 처리용기에 상기 용매증기를 공급하는 제1 용매증기 공급관로 또는 상기 제1 처리용기로부터 상기 용매증기 및 상기 처리가스를 배출하는 제1 배출관로에 설치되어 있고,상기 제2 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정은, 제2 가변 트로틀밸브의 개 방도를 조절하는 것에 의해 행하여지고, 상기 제2 가변 트로틀밸브는 상기 제2 처리용기에 상기 용매증기를 공급하는 제2 용매증기 공급관로 또는, 상기 제2 처리용기로부터 상기 용매증기 및 상기 처리가스를 배출하는 제2 배출관로에 설치되어 있고,상기 제1 기간의 일부만이 상기 제2 기간과 중복하고 있고,상기 제1 및 제2 처리용기의 양쪽 모두에 상기 용매증기가 공급되고 있는 경우의 제1 가변 트로틀의 개방도는 상기 제1 처리용기에 상기 용매증기가 공급됨과 동시에 상기 제2 처리용기에 상기 용매증기가 공급되어 있지 않은 경우의 제1 가변 트로틀의 개방도와 다른 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
- 청구항 20에 있어서,상기 제1 가변 트로틀은 상기 제1 배출관로에 설치되고, 상기 제2 가변 트로틀은 상기 제2 배출관로에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
- 청구항 21에 있어서,상기 제1 배출관로에 상기 제1 가변 트로틀과 병렬로 제1 릴리프 밸브가 설치되고, 상기 제2 배출관로에 상기 제2 가변 트로틀과 병렬로 제2 릴리프 밸브가 설치되고,상기 기판처리방법은,상기 제1 기간보다 전에, 상기 제1 처리용기에 용매증기를 공급하지 않고 처 리가스를 공급하는 공정과,상기 제2 기간보다 전에, 상기 제2 처리용기에 용매증기를 공급하지 않고 처리가스를 공급하는 공정과,상기 제1 기간보다 전에 상기 처리가스가 상기 제1 처리용기에 공급되고 있을 때, 상기 제1 릴리프 밸브를 이용해 상기 제1 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정과,상기 제2 기간보다 전에 상기 처리가스가 상기 제2 처리용기에 공급되고 있을 때, 상기 제2 릴리프 밸브를 이용해 상기 제2 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정을 더 포함하는 기판처리방법.
- 청구항 21에 있어서,상기 제1 배출관로에 상기 제1 가변 트로틀과 직렬로 제1 개폐밸브가 설치되고,상기 제2 배출관로에 상기 제2 가변 트로틀과 직렬로 제2 개폐밸브가 설치되며,상기 제1 기간중에 상기 제1 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정은, 상기 제1 개폐밸브의 개폐를 반복하는 공정을 포함하고,상기 제2 기간중에 상기 제2 처리용기내의 압력을 조정하는 공정은, 상기 제2 개폐밸브의 개폐를 반복하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
- 기판처리방법에 있어서,기판이 수용된 처리용기 내에 처리가스 및 용매증기를 공급하는 공정과,상기 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정을 포함하고,상기 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정은 가변 트로틀밸브의 개방도를 조정하는 공정과,개폐밸브의 개폐를 반복하는 공정을 포함하고, 상기 가변 트로틀밸브 및 상기 개폐밸브는 상기 처리용기에 접속된 배출관로에 직렬에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
- 기판처리방법에 있어서,제1 기간에, 기판이 수용된 처리용기 내에 처리가스를 공급하는 공정과,제1 기간의 뒤의 제2 기간에, 상기 처리용기 내에 상기 처리가스 및 용매증기를 공급하는 공정과,상기 제l 기간에, 릴리프 밸브를 이용해 상기 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정과,상기 제2 기간에, 가변 트로틀밸브의 개방도를 조정하는 것에 의해 상기 처리용기 내의 압력을 조정하는 공정을 포함하고,상기 릴리프 밸브 및 상기 가변 트로틀밸브는 상기 처리용기에 접속된 배출관로에 병렬로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
- 청구항 25에 있어서,상기 제2 기간에, 상기 처리용기내의 압력을 조정하는 공정은 상기 가변 트로틀의 개방도를 조정하는 것에 더해서 개폐밸브의 개폐를 반복하는 것에 의해 행해지고, 상기 개폐밸브는 상기 가변 트로틀밸브와 직렬로 상기 배출관로에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
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