WO2023233597A1 - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

搬送ロボット（２３０）の電源を遮断することなく、作業者の安全を確保することが可能な基板搬送装置（１０２）を提供する。装置外部と収納容器設置部（２２０）との間に作業者側シャッタ（１０４）を設けるとともに、搬送ロボット（２３０）と収納容器設置部（２２０）との間に搬送ロボット側シャッタ（１０５）を設ける。

Description

基板搬送装置

　本発明は、基板搬送装置に関し、例えば、半導体基板を搬送する基板搬送装置に適用して有効な技術に関する。

　特許第６８２２９５３号公報（特許文献１）、特開２０１６－５８４８１号公報（特許文献２）および特許第５８２５９４８号公報（特許文献３）には、作業者が収納容器設置部にアクセスしている間は、搬送ロボットが収納容器設置部にアクセスすることを遮断する機構を備える技術が記載されている。

特許第６８２２９５３号公報 特開２０１６－５８４８１号公報 特許第５８２５９４８号公報

　例えば、半導体ウェハやレチクルなどの基板を搬送する基板搬送装置では、基板を収納する収納容器を収納容器設置部に設置する動作は、作業者によって行われている。一方、収納容器設置部に設置された収納容器から基板を取り出して、基板を処理する処理装置内へ基板を搬入する動作あるいは基板を処理装置内から搬出して基板を収納容器に収納する動作は、搬送ロボットによって行われている。

　このように、収納容器設置部は、作業者と搬送ロボットの両方がアクセスする場所であるが、搬送ロボットは、例えば、定格出力が８０Ｗ以上の産業用ロボットであり、作業者の安全を確保するために、収納容器設置部における作業者と搬送ロボットとの接触を防止する必要がある。すなわち、基板搬送装置では、作業者と搬送ロボットとの接触を防止する対策を取る必要がある。

　この点に関し、例えば、作業者が収納容器を収納容器設置部に設置する動作を行っている際、搬送ロボットの駆動電源を遮断することにより、搬送ロボットが作業者に接触することを防止することが考えられる。

　しかしながら、搬送ロボットの駆動電源を遮断してしまうと、再度、搬送ロボットを動作可能状態にするまでに時間を要することになる。また、作業者が収納容器を収納容器設置部に設置する動作を行っている間、搬送ロボットは何も作業を行うことができず、基板搬送装置での作業効率が低下する。

　したがって、搬送ロボットの駆動電源を遮断することなく、作業者と搬送ロボットとの接触を防止して、作業者の安全を確保するための工夫が望まれている。

　一実施の形態における基板搬送装置は、基板を搬送する搬送ロボットと、基板を収容する収納容器を設置可能な第１設置部と、装置外部から収納容器または第１設置部にアクセスする際の第１アクセス路を遮断可能に設けられた第１シャッタ機構と、搬送ロボットが収納容器にアクセスする際の第２アクセス路を遮断可能に設けられた第２シャッタ機構と、第１シャッタ機構および第２シャッタ機構の開閉動作を制御する制御部を備える。

　一実施の形態によれば、搬送ロボットの電源を遮断することなく、作業者の安全を確保することが可能な基板搬送装置を提供することができる。

半導体検査装置を模式的に示す斜視図である。 基板搬送装置の構成を模式的に示す上面図である。 基板搬送装置の構成を模式的に示す側面図である。 シャッタがクローズしている状態を示す図である。 シャッタがオープンしている状態を示す図である。 実施の形態における基本思想を説明する図である。 作業者が収納容器設置部にアクセスする際において、基板搬送装置の動作の流れを説明するフローチャートである。 搬送ロボットが収納容器設置部にアクセスする際において、基板搬送装置の動作の流れを説明するフローチャートである。 図８に続く基板搬送装置の動作を説明するフローチャートであって、搬送ロボットによる収納容器設置部へのアクセス後、作業者が収納容器設置部にアクセス可能な状態に移行する動作を説明するフローチャートである。 具現化態様における基板搬送装置の構成を模式的に示す図である。 具現化態様における特徴を説明する図である。 「オープンカセット」と呼ばれる収納容器を示す図である。 シャッタ機構の構成例を示す図である。 変形例１における施錠機構を説明する図である。 作業者が収納容器設置部にアクセスしていることを検知するライトカーテンを設ける例について説明する図であるとともに、搬送ロボットが収納容器設置部にアクセスしていることを検知するライトカーテンを設ける例について説明する図である。 変形例４および変形例５における基板搬送装置を示す図である。

　実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。なお、図面をわかりやすくするために平面図であってもハッチングを付す場合がある。
　（実施の形態）

　まず、基板搬送装置の概要について説明する。特に、本実施の形態では、基板搬送装置の一例として、基板搬送装置を含む半導体検査装置を取り挙げて説明する。ただし、本実施の形態おける基板搬送装置は、この例に限らず、基板を処理する基板処理装置に付随する基板搬送装置に幅広く適用することができる。また、基板搬送装置で搬送される基板として、半導体ウェハ（半導体基板）やレチクルなどを挙げることができるが、本実施の形態では、基板として半導体基板を例に取り挙げて説明する。

　＜基板検査装置の概要＞
　図１は、半導体検査装置１００を模式的に示す斜視図である。
　図１において、半導体検査装置１００は、装置後方に設けられた半導体基板処理ユニット１０１を有しているとともに、装置前方に設けられた基板搬送装置１０２を有している。

　半導体基板処理ユニット１０１は、半導体基板を検査または計測する半導体検査装置１００としての主たる機能と、その機能を制御するコンピュータシステムや電源を含む制御部とを有している。例えば、半導体検査装置１００が測長ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）である場合、半導体基板処理ユニット１０１は、電子銃部、ステージ部、真空排気部および電源部を有している。一方、制御部は、これらの構成部の動作を制御するように構成されており、これらの構成部を制御することによって、半導体基板に形成された微細パターンの寸法計測を行うように構成されている。

　＜基板搬送装置の構成＞
　図２は、基板搬送装置１０２の構成を模式的に示す上面図である。
　図２において、基板搬送装置１０２は、制御部２１０と、プリアライナ２１１と、収納容器設置部２２０と、搬送ロボット２３０を有している。

　制御部２１０は、搬送ロボット２３０による半導体基板２０１の搬送動作を制御するように構成されている。

　プリアライナ２１１は、半導体基板２０１の偏芯量を測定して、偏芯量を補正するように構成されたユニットであり、半導体基板２０１のオリエンテーションフラットやノッチを検出して、オリエンテーションフラットやノッチの向きを揃えるユニットである。

　収納容器設置部２２０は、収納容器２００を配置するように構成されており、収納容器２００を配置するための収納容器置台２２１を有している。基板搬送装置１０２には、収納容器置台２２１が少なくとも１つは設けられており、例えば、図２に示すように、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂが設けられている。これらの収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂには、同時に収納容器２００を配置することができる。

　なお、図示は省略されているが、収納容器設置部２２０には、収納容器置台２２１に収納容器２００が正常に配置されているか否かを確認したり、収納容器２００の配置履歴を保存したり、収納容器置台２２１に配置された収納容器２００から半導体基板２０１が飛び出していないかを確認するセンサ、スイッチおよびリーダが設けられている。

　搬送ロボット２３０は、半導体基板２０１を搬送可能に構成されており、制御部２１０による制御によって動作するように構成されている。
　図３は、基板搬送装置１０２の構成を模式的に示す側面図である。

　図３に示すように、基板搬送装置１０２においては、収納容器置台２２１上に収納容器２００が配置されており、この収納容器２００の内部に複数枚の半導体基板２０１が収納されていることがわかる。そして、半導体基板処理ユニット１０１に設けられている上位ポート２４０と基板搬送装置１０２の収納容器置台２２１に配置されている収納容器２００との間の空間に搬送ロボット２３０が配置されている。

　＜基板搬送装置の動作＞
　続いて、基板搬送装置１０２の動作について図２を参照しながら説明する。
　まず、作業者は、複数枚の半導体基板２０１が収納された収納容器２００を手作業によって収納容器設置部２２０の収納容器置台２２１上に配置する。その後、制御部２１０の制御によって、搬送ロボット２３０は、収納容器置台２２１上に配置されている収納容器２００から半導体基板２０１を取り出した後、取り出した半導体基板２０１をプリアライナ２１１に配置する。次に、プリアライナ２１１において、半導体基板２０１の偏芯量の補正が行われるとともに、オリエンテーションフラットやノッチの向きが揃えられる。

　その後、制御部２１０による制御によって、搬送ロボット２３０は、プリアライナ２１１から半導体基板２０１を取り出して、半導体基板処理ユニット１０１への受け渡しを行うため、上位ポート２４０に半導体基板２０１を搬送する。

　そして、上位ポート２４０に配置された半導体基板２０１は、半導体基板処理ユニット１０１において処理される。続いて、半導体基板処理ユニット１０１で処理された半導体基板２０１は、上位ポート２４０に再び配置される。その後、制御部２１０による制御によって、搬送ロボット２３０は、上位ポート２４０に配置されている半導体基板２０１を取り上げた後、収納容器設置部２２０の収納容器置台２２１に配置されている収納容器２００内に半導体基板２０１を収納する。そして、作業者は、処理済の半導体基板２０１が収納されている収納容器２００を手作業で基板搬送装置１０２の外部に運ぶ。
　以上のようにして、基板搬送装置１０２が動作する。

　＜改善の検討＞
　例えば、搬送ロボット２３０は、定格出力が８０Ｗ以上の産業用ロボットから構成されており、「ＳＥＭＩ」の規格によって、作業者が搬送ロボット２３０と接触しないように物理的遮蔽物による作業者の保護が必要とされる。

　この点に関し、搬送ロボット２３０は、収納容器設置部２２０にアクセスする。一方、収納容器設置部２２０は、作業者が収納容器設置部２２０の収納容器置台２２１に収納容器２００を配置するためにアクセスする場所でもある。このことから、何らの対策も講じないと、収納容器設置部２２０においては、作業者と搬送ロボット２３０の間に物理的遮蔽物が存在しない状態となる。したがって、作業者と搬送ロボット２３０の間に物理的遮蔽物が存在しないことから、例えば、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスしている際、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスすると、作業者と搬送ロボット２３０とが接触するおそれがある。このため、例えば、作業者と収納容器設置部２２０との境界にシャッタ機構（シャッタと呼ぶ場合がある）を設ける技術が考えられる。

　図４は、シャッタ１０３がクローズしている状態を示す図である。図４に示すように、作業者（装置外部）と収納容器設置部２２０の間がシャッタ１０３によって遮断されている。このことから、作業者は、収納容器設置部２２０にアクセスすることができないが、搬送ロボット２３０は、物理的遮蔽物（シャッタ１０３）で保護された状態となるため、収納容器設置部２２０にアクセスすることができる状態となる。

　図５は、シャッタ１０３がオープンしている状態を示す図である。図５に示すように、収納容器設置部２２０と搬送ロボット２３０との間には、搬送ロボット２３０が収納容器２００から半導体基板２０１を取り出したり、収納容器２００に半導体基板２０１を収納できる程度の搬送口２２２ａおよび搬送口２２２ｂが設けられていることがわかる。このことから、図４に示すようにシャッタ１０３がクローズしている状態でも、搬送ロボット２３０は、搬送口２２２ａあるいは搬送口２２２ｂを介して、収納容器設置部２２０にアクセスすることができることがわかる。

　図５において、シャッタ１０３がオープンしている状態では、作業者と搬送ロボット２３０との間に物理的遮蔽物（シャッタ１０３）が存在しなくなる。このため、作業者と搬送ロボット２３０とが接触するおそれがあるが、例えば、シャッタ１０３のオープンに連動したインターロック回路などで搬送ロボット２３０の駆動電源が遮断される。この結果、搬送ロボット２３０は、動作できなくなるため、作業者は、収納容器設置部２２０に安全にアクセスすることができることになる。

　この点に関し、搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断してしまうと、再度、搬送ロボット２３０を動作可能状態にするまでに時間を要することになる。また、作業者が収納容器２００を収納容器設置部２２０に設置する動作を行っている間、搬送ロボット２３０は何も作業を行うことができず、基板搬送装置１０２での作業効率が低下する。すなわち、物理的遮蔽物としてシャッタ１０３を設ける一方、搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断する技術では、基板搬送装置１０２での作業効率の低下を抑制しながら、作業者の安全を確保する観点から改善の余地が存在する。

　そこで、本実施の形態では、上述した改善の余地を克服するための工夫を施している。以下では、この工夫を施した本実施の形態における技術的思想について説明する。

　＜実施の形態における基本思想＞
　図６は、本実施の形態における基本思想を説明する図である。
　図６において、基本思想は、装置外部と収納容器設置部２２０との間に作業者側シャッタ１０４（第１シャッタ機構）を設けるとともに、搬送ロボット２３０と収納容器設置部２２０との間に搬送ロボット側シャッタ１０５（第２シャッタ機構）を設ける思想である。具体的に言えば、基本思想は、装置外部から収納容器設置部２２０にアクセスする際の第１アクセス路を遮断可能に配置された作業者側シャッタ１０４と、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスする際の第２アクセス路を遮断可能に配置された搬送ロボット側シャッタ１０５とを基板搬送装置１０２に設ける思想である。つまり、基本思想は、基板搬送装置１０２に作業者側シャッタ１０４と搬送ロボット側シャッタ１０５という二重のシャッタ機構を設ける思想である。

　この基本思想によれば、例えば、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする際には、作業者側シャッタ１０４をオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ１０５をクローズ状態とする。これにより、搬送ロボット２３０は、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態となっていることから、搬送ロボット２３０は、収納容器設置部２２０にアクセスすることができない。一方、作業者は、作業者側シャッタ１０４がオープン状態となっていることから、作業者は、収納容器設置部２２０にアクセスすることができる。

　すなわち、基本思想によれば、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする場合において、作業者と搬送ロボット２３０との間に搬送ロボット側シャッタ１０５という物理的遮蔽物が常に存在するため、作業者は、搬送ロボット２３０との接触を気にすることなく、安全に収納容器設置部２２０にアクセスすることができる。

　このように、基本思想によれば、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする際、搬送ロボット２３０は、搬送ロボット側シャッタ１０５によって収納容器設置部２２０へのアクセスが遮断される。このことから、基本思想によれば、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする際、搬送ロボット２３０と作業者との接触を防止するために、搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断する必要がなくなる。したがって、基本思想によれば、遮断した搬送ロボット２３０の駆動電源を再度投入する必要がなくなる結果、搬送ロボット２３０を動作可能状態にするための時間を節約することができる。このことから、基本思想によれば、基板搬送装置１０２での作業効率の低下を抑制しながら、作業者の安全を確保することができるという顕著な効果が得られる。

　一方、基本思想によれば、例えば、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスする際には、作業者側シャッタ１０４をクローズ状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ１０５をオープン状態とする。これにより、作業者は、作業者側シャッタ１０４がクローズ状態となっていることから、作業者は、収納容器設置部２２０にアクセスすることができない。一方、搬送ロボット２３０は、搬送ロボット側シャッタ１０４５がオープン状態となっていることから、搬送ロボット２３０は、作業者との接触を確実に防止しながら、収納容器設置部２２０にアクセスすることができる。

　以下では、基板搬送装置１０２に作業者側シャッタ１０４と搬送ロボット側シャッタ１０５という二重のシャッタ機構を設ける基本思想において、作業者と搬送ロボット２３０との接触を確実に回避するための基板搬送装置１０２の動作について説明する。

　図７は、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする際において、基板搬送装置１０２の動作の流れを説明するフローチャートである。

　図７において、まず、作業者側シャッタ１０４がクローズ状態になっているとする。そして、基板搬送装置１０２には、作業者側シャッタ１０４をオープン状態とするためのトリガとなるオープンスイッチが設けられていることを前提とする。

　作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする場合、作業者は、作業者側シャッタ１０４をオープン状態とするためのトリガとなるオープンスイッチを押下する（Ｓ１０１）。すると、基板搬送装置１０２の制御部２１０は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしているか否かを判断する（Ｓ１０２）。制御部２１０は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしていると判断すると、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスが終了するまで待機する。一方、制御部２１０は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしていないと判断すると、搬送ロボット側シャッタ１０５をクローズ状態にする（Ｓ１０３）。

　続いて、制御部２１０は、作業者側シャッタ１０４をオープン状態にする（Ｓ１０４）。これにより、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態になっていることによって、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスが遮断されつつ、作業者は、収納容器設置部２２０に安全にアクセスすることができる（Ｓ１０５）。

　このように、制御部２１０は、作業者側シャッタ１０４がクローズ状態となっているフェーズから、作業者側シャッタ１０４がオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態である第１フェーズに移行させるように制御することにより、作業者が収納容器設置部２２０にアクセス可能な状態となるように構成されている。

　次に、図８は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスする際において、基板搬送装置１０２の動作の流れを説明するフローチャートである。

　図８において、まず、作業者側シャッタ１０４がオープン状態になっているとする。そして、基板搬送装置１０２には、作業者側シャッタ１０４をクローズ状態とするためのトリガとなるクローズスイッチが設けられていることを前提とする。

　作業者は、収納容器設置部２２０での作業を終了する場合、作業者側シャッタ１０４をクローズ状態とするためのトリガとなるクローズスイッチを押下する（Ｓ２０１）。すると、基板搬送装置１０２の制御部２１０は、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスしているか否かを判断する（Ｓ２０２）。制御部２１０は、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスしていると判断すると、作業者による収納容器設置部２２０へのアクセスが終了するまで待機する。一方、制御部２１０は、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスしていないと判断すると、作業者側シャッタ１０４をクローズ状態にする（Ｓ２０３）。

　続いて、制御部２１０は、搬送ロボット側シャッタ１０５をオープン状態にする（Ｓ２０４）。これにより、作業者側シャッタ１０４がクローズ状態になっていることによって、作業者による収納容器設置部２２０へのアクセスが遮断されつつ、搬送ロボット２３０は、収納容器設置部２２０にアクセスすることができる（Ｓ２０５）。

　このように、制御部２１０は、作業者側シャッタ1０４がオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態である第１フェーズから、作業者側シャッタ１０４をクローズ状態にした後、搬送ロボット側シャッタ１０５をオープン状態にする第２フェーズに移行させるように制御することにより、搬送ロボット２３０によって収納容器から基板を搬出可能な状態となるように構成されている。

　図９は、図８に続く基板搬送装置１０２の動作を説明するフローチャートであって、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセス後、作業者が収納容器設置部２２０にアクセス可能な状態に移行する動作を説明するフローチャートである。

　作業者側シャッタ1０４がクローズ状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ１０５がオープン状態である第２フェーズにおいて、搬送ロボット２３０は収納容器設置部２２０にアクセスして、収納容器２００から半導体基板２０１を取り出す（Ｓ３０１）。そして、制御部２１０による制御によって、搬送ロボット２３０は、収納容器２００から取り出した半導体基板２０１を半導体基板処理ユニット１０１に搬入する（Ｓ３０２）。次に、半導体基板処理ユニット１０１において、半導体基板２０１の処理が行われた後（Ｓ３０３）、制御部２１０による制御によって、搬送ロボット２３０は、半導体基板処理ユニット１０１で処理された半導体基板２０１を半導体基板処理ユニット１０１から搬出する。そして、制御部２１０による制御によって、搬送ロボット２３０は、収納容器設置部２２０にアクセスして、収納容器２００に半導体基板２０１を収納する（Ｓ３０４）。

　続いて、制御部２１０は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしているか否かを判断する（Ｓ３０５）。制御部２１０は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしていると判断すると、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスが終了するまで待機する。一方、制御部２１０は、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしていないと判断すると、搬送ロボット側シャッタ１０５をクローズ状態にする（Ｓ３０６）。

　そして、制御部２１０は、作業者側シャッタ１０４をオープン状態にする（Ｓ３０７）。これにより、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態になっていることによって、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスが遮断されつつ、作業者は、収納容器設置部２２０に安全にアクセスすることができる（Ｓ３０８）。

　このように、制御部２１０は、第２フェーズの状態で、搬送ロボット２３０によって収納容器２００に半導体基板２０１が搬入されると、第２フェーズから、搬送ロボット側シャッタ１０５をクローズ状態にした後、作業者側シャッタ１０４をオープン状態にする第３フェーズに移行させるように構成されている。

　すなわち、図９に示すように、作業者側シャッタ１０４をオープン状態とする動作は、作業者によって指定された収納容器２００に収納されている半導体基板２０１について、半導体基板処理ユニット１０１での処理がすべて終了し、搬送ロボット２３０によって収納容器２００内に半導体基板２０１が元通りに収納された後、作業者がオープンスイッチを押下することなく、制御部２１０の制御によって自動で行うことができる。

　これにより、作業者は、半導体基板２０１の処理（検査や計測など）が終了した後、オープンスイッチを押下する必要がなくなる結果、作業者にとって基板搬送装置１０２の使い勝手を向上することができる。

　上述した基本思想によれば、基板搬送装置１０２に作業者側シャッタ１０４と搬送ロボット側シャッタ１０５という二重のシャッタ機構を設けることにより、搬送ロボット２３０と作業者との接触を防止するために、搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断する必要がなくなる。この結果、基本思想によれば、基板搬送装置１０２での作業効率の低下を抑制しながら、作業者の安全を確保することができる。

　＜さらなる改善の検討＞
　基本思想は、搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断することなく、作業者の安全を確実に確保することができる点で有用な技術的思想である。この点に関し、本発明者は、この基本思想についてさらに検討した結果、基板搬送装置１０２での作業効率を向上させる観点から、改善の余地が存在することを見出したので、この改善の余地について説明する。

　図６において、基板搬送装置１０２には、作業者側シャッタ１０４と搬送ロボット側シャッタ１０５が設けられている。そして、例えば、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスする場合、制御部２１０は、作業者側シャッタ１０４をオープン状態にし、かつ、搬送ロボット側シャッタ１０５をクローズ状態になるように制御する。これにより、作業者が収納容器設置部２２０にアクセス可能となるとともに、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスが遮断される。このことは、基本思想によれば、作業者と搬送ロボット２３０の接触が防止されて、作業者の安全を確保することができることを意味するが、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスしている際には、搬送ロボット２３０は、収納容器設置部２２０にアクセスして作業を行うことができないことも意味する。

　例えば、図６において、基板搬送装置１０２の収納容器設置部２２０には、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂが存在する。このことから、例えば、作業者側シャッタ１０４がオープン状態となって、作業者が収納容器置台２２１ａ上にアクセスする場合、収納容器置台２２１ｂには、作業者がアクセスしないことになる。

　ここで、作業者がアクセスしていない収納容器置台２２１ｂに搬送ロボット２３０がアクセスすることができれば、作業者が収納容器置台２２１ａで作業しながら、搬送ロボット２３０が収納容器置台２２１ｂで作業することができるので、基板搬送装置１０２における作業効率の向上を図ることができると考えられる。

　ところが、基本思想では、作業者側シャッタ１０４がオープン状態になっているとき、搬送ロボット側シャッタ１０５はクローズ状態となっている。このため、基本思想では、作業者がアクセスしていない収納容器置台２２１ｂに搬送ロボット２３０がアクセスすることができない。つまり、基本思想では、基板搬送装置１０２における作業効率の向上を図る観点から、改善の余地が存在する。

　そこで、具現化態様では、基本思想に存在する改善の余地に対する工夫を施している。以下では、この工夫を施した具現化態様について説明する。

　＜具現化態様＞
　＜＜基板搬送装置の構成＞＞
　図１０は、具現化態様における基板搬送装置１０２の構成を模式的に示す図である。
　図１０に示すように、基板搬送装置１０２は、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂを有しており、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂとの間には、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂとを隔離する隔離壁４００が設けられている。

　そして、隔離壁４００によって隔離された収納容器置台２２１ａと装置外部との間には、作業者側シャッタ４０１ａが設置されている。一方、隔離壁４００によって隔離された収納容器置台２２１ｂと装置外部との間には、作業者側シャッタ４０１ｂが設置されている。

　また、収納容器置台２２１ａと搬送ロボット２３０（図１０では図示されず）との間には、搬送ロボット側シャッタ４０２ａが設置されている。一方、収納容器置台２２１ｂと搬送ロボット２３０との間には、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂが設置されている。

　作業者側シャッタ４０１ａ、作業者側シャッタ４０１ｂ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ｂのそれぞれは、制御部２１０（図１０では図示されず）の制御に基づいて、開閉動作を行うように構成されている。特に、基板搬送装置１０２には、スイッチ４１０が設けられており、このスイッチ４１０をトリガとして、作業者側シャッタ４０１ａおよび作業者側シャッタ４０１ｂの開閉動作が行われるように構成されている。一方、搬送ロボット側シャッタ４０２ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ｂには、オープン状態およびクローズ状態を認識する機能が設けれており、この機能に基づく制御部２１０の制御によって開閉動作が行われるようになっている。

　このように、具現化態様における基板搬送装置１０２は、収納容器２００（図１０では図示されず）を設置可能な第１設置部（収納容器置台２２１ａ）と第２設置部（収納容器置台２２１ｂ）とを有する。ここで、第１設置部と第２設置部は、隔離壁４００で隔離されている。そして、基板搬送装置１０２は、装置外部から収納容器２００または第１設置部にアクセスする際の第１アクセス路を遮断可能に設けられた作業者側シャッタ４０１ａと、搬送ロボット２３０が収納容器２００にアクセスする際の第２アクセス路を遮断可能に設けられた搬送ロボット側シャッタ４０２ａと、装置外部から収納容器２００または第２設置部にアクセスする際の第３アクセス路を遮断可能に設けられた作業者側シャッタ４０１ｂと、搬送ロボット２３０が収納容器２００にアクセスする際の第４アクセス路を遮断可能に設けられた搬送ロボット側シャッタ４０２ｂを有する。さらに、基板搬送装置１０２は、作業者側シャッタ４０１ａ、作業者側シャッタ４０１ｂ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ｂのそれぞれの開閉動作を制御するように構成された制御部を有している。
　以上のようにして、具現化態様における基板搬送装置１０２が構成されている。

　＜＜基板搬送装置の動作＞＞
　次に、基板搬送装置１０２の動作について図１０を参照しながら説明する。
　例えば、作業者が収納容器置台２２１ａにアクセスする場合を考える。この場合、まず、作業者は、スイッチ４１０に含まれる作業者側シャッタ４０１ａをオープンするオープンスイッチを押下する。これにより、オープンスイッチを押下することがトリガとなって、制御部２１０は、作業者側シャッタ４０１ａをオープン状態にする。このとき、制御部２１０は、作業者側シャッタ４０１ａと対向する搬送ロボット側シャッタ４０２ａをクローズ状態にする。さらに、制御部２１０は、作業者側シャッタ４０１ｂをクローズ状態とするとともに、作業者側シャッタ４０１ｂと対向する搬送ロボット側シャッタ４０２ｂをオープン状態にする。このように、作業者側シャッタ４０１ａがオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａがクローズ状態である場合、作業者側シャッタ４０１ｂをクローズ状態にし、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂをオープン状態にする。これにより、作業者は、収納容器置台２２１ａにアクセスすることができるとともに、搬送ロボット２３０は、収納容器置台２２１ｂにアクセスすることができる。

　続いて、作業者が収納容器置台２２１ｂにアクセスする場合を考える。この場合、まず、作業者は、スイッチ４１０に含まれる作業者側シャッタ４０１ｂをオープンするオープンスイッチを押下する。これにより、オープンスイッチを押下することがトリガとなって、制御部２１０は、作業者側シャッタ４０１ｂをオープン状態にする。このとき、制御部２１０は、作業者側シャッタ４０１ｂと対向する搬送ロボット側シャッタ４０２ｂをクローズ状態にする。さらに、制御部２１０は、作業者側シャッタ４０１ａをクローズ状態とするとともに、作業者側シャッタ４０１ａと対向する搬送ロボット側シャッタ４０２ａをオープン状態にする。このように、作業者側シャッタ４０１ｂがオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂがクローズ状態である場合、作業者側シャッタ４０１ａをクローズ状態にし、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａをオープン状態にする。これにより、作業者は、収納容器置台２２１ｂにアクセスすることができるとともに、搬送ロボット２３０は、収納容器置台２２１ａにアクセスすることができる。

　＜＜具現化態様における特徴＞＞
　続いて、具体的態様における特徴点について説明する。
　具体的態様における特徴点は、例えば、図１０に示すように、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂとの間に隔離壁４００が設けられており、収納容器置台２２１ａ側に設けられるシャッタと、収納容器置台２２１ｂ側に設けられるシャッタとを独立別個に有する点にある。言い換えれば、特徴点は、隔離壁４００の左側にある収納容器置台２２１ａと装置外部との間に作業者側シャッタ４０１ａが設けられているとともに、収納容器置台２２１ａと搬送ロボット２３０との間に搬送ロボット側シャッタ４０２ａが設けられている一方、隔離壁４００の右側にある収納容器置台２２１ｂと装置外部との間に作業者側シャッタ４０１ｂが設けられているとともに、収納容器置台２２１ｂと搬送ロボット２３０との間に搬送ロボット側シャッタ４０２ｂが設けられている点にある。そして、この構成を前提として、作業者側シャッタ４０１ａがオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａがクローズ状態である場合、作業者側シャッタ４０１ｂをクローズ状態にし、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂをオープン状態にするように制御部２１０が制御する一方、作業者側シャッタ４０１ａがクローズ状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａがオープン状態である場合、作業者側シャッタ４０１ｂをオープン状態にし、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂをクローズ状態にするように制御部２１０が制御する点に特徴点がある。

　これにより、例えば、図１１に示すように、収納容器置台２２１ａにおいて、作業者側シャッタ４０１ａがオープン状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ａがクローズ状態となる場合、作業者４２０は、収納容器置台２２１ａに配置されている収納容器２００にアクセスすることができる。このとき、収納容器置台２２１ｂにおいて、作業者側シャッタ４０１ｂがクローズ状態で、かつ、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂがオープン状態となるように制御部２１０が制御する。この結果、図１１に示すように、搬送ロボット２３０は、収納容器置台２２１ｂに配置されている収納容器２００にアクセスすることができる。このように、具体的態様における特徴点によれば、収納容器置台２２１ａへの作業者４２０のアクセスと、収納容器置台２２１ｂへの搬送ロボット２３０のアクセスとを同時に行うことができる。したがって、特徴点によれば、基板搬送装置１０２における作業効率の向上を図ることができる。そして、特徴点によれば、収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂとの間に隔離壁４００が設けられている。このことから、収納容器置台２２１ａへの作業者４２０のアクセスと収納容器置台２２１ｂへの搬送ロボット２３０のアクセスとが同時に行われても、隔離壁４００によって、作業者４２０と搬送ロボット２３０との接触を防止することができる。以上のことから、具体的態様における特徴点によれば、作業者４２０の安全を確実に確保しながら、基板搬送装置１０２での作業効率を向上することができるという顕著な効果が得られる。

　＜＜オープンカセットへの適用＞＞
　上述した技術的思想は、収納容器として「オープンカセット」を使用する場合に適用して特に有効である。例えば、収納容器を密閉空間（例えば、チャンバ）内に配置して、密閉空間内において収納容器に搬送ロボットがアクセスする形態がある。この形態では、搬送ロボットが密閉空間内で収納容器にアクセスすることから、作業者と収納容器の間には、必ず物理的遮蔽物である密閉空間が介在する。このため、作業者と搬送ロボットとの接触によって、作業者の安全が脅かされることを少ないと考えられる。

　これに対し、例えば、図１２は、「オープンカセット４５０」と呼ばれる収納容器を示す図である。このような「オープンカセット４５０」は、密閉空間に配置されて搬送ロボットがアクセスするのではなく、基板搬送装置１０２の収納容器置台２２１に配置された状態で搬送ロボットがアクセスする。また、この「オープンカセット４５０」は、作業者の手作業によって、収納容器置台２２１上に配置される。このことから、収納容器として「オープンカセット４５０」を使用する場合、収納容器置台２２１において、物理的遮蔽物がない状態で作業者と搬送ロボットの両方が「オープンカセット４５０」にアクセスすることになる。このことは、収納容器として「オープンカセット４５０」を使用する場合、作業者と搬送ロボットの接触が起こりやすく、作業者の安全を確保することが重要となることを意味する。したがって、収納容器として、「オープンカセット４５０」を使用する場合、上述した技術的思想を具現化した基板搬送装置１０２を採用することにより、作業者の安全を確実に確保することができる。つまり、上述した技術的思想を具現化した基板搬送装置１０２は、収納容器として「オープンカセット４５０」を採用した基板搬送技術に適用して特に大きな技術的意義を有している。

　＜＜シャッタ機構の構成例＞＞
　このセクションでは、シャッタとシャッタの開閉機構を合わせてシャッタ機構と呼ぶ。
　シャッタ機構は、シャッタを垂直方向に可動できる機構であれば、どのような機構でも構わない。例えば、エアシリンダとリニアガイドを用いたシャッタ機構がある。図１３において、エアシリンダは、空気圧によって、シリンダロッド３１０の上をシリンダブロック３１１が直動運動する部品である。一方、リニアガイドは、リニアガイドレール３２０の上をリニアガイドブロック３２１が滑らかに移動する部品である。

　図６に示すように、ベース３００にエアシリンダとリニアガイドを平行に取り付けて、シャッタ３５０とエアシリンダとリニアガイドをブラケット３３０で繋ぐ。ここで、エアシリンダの下部に上方向に流れる空気が送られると、シリンダブロック３１１がシリンダロッド３１０の上端まで直動し、ブラケット３３０で繋がっているリニアガイドブロック３２１とシャッタ３５０もシリンダロッド３１０の上端まで直動する。

　このとき、リニアガイドブロック３２１がシリンダブロック３１１の直動運動を滑らかにする結果、シャッタ３５０がスムーズにオープンする。

　一方、エアシリンダの上部に下方向に流れる空気が送られると、シリンダブロック３１１がシリンダロッド３１０の下端まで直動し、ブラケット３３０で繋がっているリニアガイドブロック３２１とシャッタ３５０もシリンダロッド３１０の下端まで直動する。

　このとき、リニアガイドブロック３２１がシリンダブロック３１１の直動運動を滑らかにする結果、シャッタ３５０がスムーズにクローズする。

　なお、シャッタ３５０のもう一方の片側は、上述した機構と同様にシャッタ３５０を直動運動させる機構を設けてもよいが、片側のみのシャッタ機構でシャッタ３５０の直動運動を実現するために充分である場合、シャッタ３５０のもう一方の片側には、シャッタ３５０の直動運動をガイドする機構を設けるだけでもよい。

　また、シャッタ機構には、シャッタ３５０のオープンおよびクローズを検知する機能が設けられているが、検知機能は、どのような機能でも構わない。

　例えば、検知機能を実現する構成として、非接触型ドアセンサを用いた構成がある。非接触型ドアセンサは、センサヘッドに対し、アクチュエータが一定の距離まで近づくとセンサヘッドの出力が「ＯＮ」となる一方、アクチュエータが一定の距離まで離れると、センサヘッドの出力が「ＯＦＦ」となるセンサである。

　図１３に示すように、センサヘッド３４０ａおよびセンサヘッド３４０ｂをベース３００に取り付ける一方、アクチュエータ３４１ａおよびアクチュエータ３４１ｂをブラケット３３０に取り付ける。ここで、センサヘッド３４０ａに対応しているのがアクチュエータ３４１ａであり、センサヘッド３４０ｂに対応しているのがアクチュエータ３４１ｂである。シャッタ３５０がクローズ状態にあるときは、センサヘッド３４０ａの出力が「ＯＮ」となる一方、センサヘッド３４０ｂの出力が「ＯＦＦ」となる。

　センサヘッド３４０ａおよびセンサヘッド３４０ｂの出力は、制御部２１０（図１３では図示されず）に入力される。シャッタ３５０がオープンすると、アクチュエータ３４１ａは、センサヘッド３４０ａから離れる結果、センサヘッド３４０ａの出力は、「ＯＦＦ」となる。一方、アクチュエータ３４１ｂは、センサヘッド３４０ｂに近づく結果、シャッタ３５０のオープンが完了する付近でセンサヘッド３４０ｂの出力が「ＯＮ」となる。

　センサヘッド３４０ｂの出力が「ＯＮ」となると、制御部２１０は、シャッタ３５０がオープン状態になったことを認識する。ただし、センサヘッド３４０ａおよびセンサヘッド３４０ｂの両方の出力が「ＯＮ」となっている状態、あるいは、シャッタ３５０がオープン動作を開始してから一定時間の間にセンサヘッド３４０ｂの出力が「ＯＮ」とならない状態が発生した場合、制御部２１０は、シャッタ３５０の動作が異常であると判断してエラー表示をするように構成されている。

　シャッタ３５０がクローズすると、アクチュエータ３４１ｂは、センサヘッド３４０ｂから離れる結果、センサヘッド３４０ｂの出力は、「ＯＦＦ」となる。一方、アクチュエータ３４１ａは、センサヘッド３４０ａに近づく結果、シャッタ３５０のクローズ動作が完了する付近でセンサヘッド３４０ａの出力は、「ＯＮ」となる。センサヘッド３４０ａの出力が「ＯＮ」となると、制御部２１０は、シャッタ３５０がクローズ状態になったことを認識する。ただし、センサヘッド３４０ｂの出力が「ＯＮ」となっている状態、あるいは、シャッタ３５０がクローズ動作を開始してから一定時間経過してもセンサヘッド３４０ａの出力が「ＯＦＦ」となっている状態が発生した場合、制御部２１０は、シャッタ３５０の動作が異常であると判断してエラー表示をするように構成されている。
　以上のようにして、シャッタ機構が構成されている。

　＜変形例１＞
　次に、変形例１における基板搬送装置１０２について説明する。
　例えば、図６において、作業者側シャッタ１０４がクローズ状態のとき、あるいは、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態のとき、装置外部からの力によって無理やり作業者側シャッタ１０４または搬送ロボット側シャッタがオープンされると、作業者と搬送ロボット２３０との間に物理的遮蔽物がなくなる。

　そこで、本変形例１では、作業者側シャッタ１０４あるいは搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ状態のとき、クローズ状態を強制的に維持するための施錠機構を設ける。これにより、たとえ、装置外部からの力によって無理やり作業者側シャッタ１０４または搬送ロボット側シャッタがオープンされそうになっても、施錠機構によって、クローズ状態が強制的に維持することができる。このことから、本変形例１によれば、作業者と搬送ロボット２３０との間に物理的遮蔽物がない状態になることを防止できる。

　施錠機構は、作業者側シャッタ１０４のクローズ状態、あるいは、搬送ロボット側シャッタ１０５のクローズ状態を施錠することができればどのような施錠機構でも構わない。
　例えば、図１４は、施錠機構の一例を示す図である。

　図１４では、施錠機構の一例として、ソレノイドロック機構５００が示されている。ソレノイドロック機構５００は、通電するとシャフト５０１が飛び出す一方、通電が切れるとシャフト５０１が引き込まれる機構である。図１４に示すように、作業者側シャッタ１０４にシャフト５０１が挿入可能な穴が設けられている。このとき、シャフト５０１が挿入される穴は、作業者側シャッタ１０４に付属する部品に設けられていてもよい。

　例えば、作業者側シャッタ１０４がクローズ状態となると、ソレノイドロック機構５００が通電するように構成されている結果、シャフト５０１がソレノイドロック機構５００から飛び出して、シャフト５０１が作業者側シャッタ１０４に設けられた穴に挿入される。これにより、作業者側シャッタ１０４が施錠される。

　一方、作業者側シャッタ１０４をオープン状態とするときは、ソレノイドロック機構５００の通電を切断することによって、シャフト５０１をソレノイドロック機構５００に引き込むことにより、作業者側シャッタ１０４の施錠を解除する。

　このようにして、本変形例１によれば、作業者側シャッタ１０４に施錠機構を設けることにより、作業者側シャッタ１０４のクローズ状態を強制的に維持することができる。この結果、本変形例１によれば、作業者と搬送ロボット２３０との間に物理的遮蔽物がない状態になることを防止することができる。

　なお、搬送ロボット側シャッタ１０５にも、作業者側シャッタ１０４に設けられた施錠機構と同様の構成をした施錠機構が設けられる。これにより、搬送ロボット側シャッタ１０５においても、搬送ロボット側シャッタ１０５のクローズ状態を強制的に維持することができる。したがって、作業者側シャッタ１０４と搬送ロボット側シャッタ１０５の両方に施錠機構を設けることにより、作業者と搬送ロボット２３０との間に物理的遮蔽物がない状態になることを確実に防止することができる。

　＜変形例２＞
　例えば、図１０において、作業者側シャッタ４０１ａをオープン状態にする動作は、搬送ロボット側シャッタ４０２ａがクローズ状態であることを条件として行われる。同様に、作業者側シャッタ４０１ｂをオープン状態にする動作は、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂがクローズ状態であることを条件として行われる。

　ここで、本変形例２では、クローズ状態を検知するセンサの出力によって制御部２１０によるオープン状態にするための命令を無効とする論理回路を基板搬送装置１０２に実装するように構成されている。

　具体的に、本変形例２では、制御部２１０が作業者側シャッタ４０１ａをオープン状態とする制御信号を出力した場合、搬送ロボット側シャッタ４０２ａのクローズ状態を検知するセンサ（例えば、図１３のセンサヘッド３４０ｂ）の出力が「ＯＦＦ」であると、上述した論理回路によって、制御部２１０から出力された制御信号は無効化される。

　このとき、作業者側シャッタ４０１ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ａの両方がクローズ状態で、制御部２１０が両方のシャッタを同時にオープン状態とする制御信号を出力した場合、両方のシャッタがオープン状態となることを禁止できない可能性がある。

　そこで、作業者側シャッタ４０１ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ａの両方をオープン状態とする制御部２１０からの出力（制御信号）は、必ず搬送ロボット側シャッタ４０２ａをオープン状態とする制御を優先するようにする。言い換えれば、作業者側シャッタ４０１ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ａの両方をオープン状態とする制御部２１０からの出力（制御信号）があった場合、上述した論理回路によって、作業者側シャッタ４０１ａをオープン状態とする制御部２１０からの出力（制御信号）は無効化される。これにより、例えば、搬送ロボット２３０がアームを伸ばしてきたとしても、搬送ロボット２３０と搬送ロボット側シャッタ４０２ａとの接触による搬送ロボット２３０の破損を防止することができる。

　＜変形例３＞
　本変形例３では、例えば、図６において、作業者側シャッタ１０４と搬送ロボット側シャッタ１０５の両方がオープン状態となった場合、搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断する安全インターロック回路を基板搬送装置１０２に実装する例について説明する。

　ここで、安全インターロック回路は、作業者側シャッタ１０４および搬送ロボット側シャッタ１０５の両方がオープン状態となったことに連動して搬送ロボット２３０の駆動電源を遮断することが可能な構成であれば、どのような回路構成でも構わない。

　例えば、安全インターロック回路の一例として、機械式リレーを使用した安全インターロック回路がある。機械式リレーは、操作コイルに通電すると接点が接触してリレー接点が「ＯＮ」となる部品である。ここで、リレー接点に搬送ロボット２３０の駆動電源を接続する。操作コイルの入力は、作業者側シャッタ１０４および搬送ロボット側シャッタ１０５のそれぞれに備わるクローズ状態を検出するセンサの出力と接続する。

　これにより、作業者側シャッタ１０４あるいは搬送ロボット側シャッタ１０５のいずれかがクローズ状態である間だけ搬送ロボット２３０に電力が供給されて、搬送ロボット２３０が動作できるように構成されることになる。言い換えれば、本変形例３によれば、作業者側シャッタ１０４および搬送ロボット側シャッタ１０５の両方がオープン状態であると搬送ロボット２３０への電力の供給が遮断されることになる。

　＜変形例４＞
　本変形例４では、例えば、図１５に示すように、作業者が収納容器設置部２２０にアクセスしていることを検知するライトカーテン９００を設ける例について説明する。

　ライトカーテン９００は、作業者を含む装置外部から収納容器設置部２２０へのアクセスを検知することができるように構成された装置である。本変形例４における基板搬送装置１０２は、ライトカーテン９００が作業者を含む装置外部からの収納容器設置部２２０へのアクセスを検知している間は、作業者側シャッタ１０４をクローズ状態とすることができないように構成されている。また、本変形例４における基板搬送装置１０２は、作業者側シャッタ１０４がクローズ動作を行っている途中において、ライトカーテン９００が作業者を含む装置外部からの収納容器設置部２２０へのアクセスを検知した場合には、作業者側シャッタ１０４のクローズ動作を中断するように構成されている。

　続いて、例えば、図１６に示すように、互いに異なる収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂが設けられている場合、収納容器置台２２１ａに対してライトカーテン９００ａを設置するとともに、収納容器置台２２１ｂに対してライトカーテン９００ｂを設置する。これにより、ライトカーテン９００ａによって収納容器置台２２１ａへのアクセスを検知することができるとともに、ライトカーテン９００ｂによって収納容器置台２２１ｂへのアクセスを検知することができる結果、ライトカーテン９００ａおよびライトカーテン９００ｂによる検知結果に基づいて、作業者側シャッタ４０１ａおよび作業者側シャッタ４０１ｂのそれぞれのクローズ動作を制限することができる。このことから、本変形例４によれば、作業者が作業者側シャッタ４０１ａあるいは作業者側シャッタ４０１ｂに挟まれることを防止でき、これによって、作業者の安全を確保することができる。

　なお、例えば、ライトカーテン９００ａが収納容器置台２２１ａへのアクセスを検知しても、ライトカーテン９００ｂが収納容器置台２２１ｂへのアクセスを検知していなければ、作業者側シャッタ４０１ｂのクローズ動作を継続して、作業者側シャッタ４０１ｂをクローズ状態とすることは可能である。つまり、作業者側シャッタ４０１ｂのクローズ動作中にライトカーテン９００ａがアクセスを検知しても、作業者側シャッタ４０１ｂのクローズ動作は停止せずに継続することになる。

　このようにして、互いに異なる収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂが設けられている場合、収納容器置台２２１ａに対してライトカーテン９００ａを設けるとともに、収納容器置台２２１ｂに対してライトカーテン９００ｂを設けることにより、作業者の安全を確保しながらも、不必要なクローズ動作の中断を防止することができる。

　＜変形例５＞
　本変形例５では、図１５に示すように、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスしていることを検知するライトカーテン９０１を設ける例について説明する。

　ライトカーテン９０１は、搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスを検知することができるように構成された装置である。本変形例５においても、例えば、ライトカーテン９０１を設ける例について説明するが、搬送ロボット２３０が収納容器設置部２２０にアクセスするルートは決まっていることから、ライトカーテン９０１の替わりに光電センサなどを使用してもよい。

　本変形例５における基板搬送装置１０２は、ライトカーテン９０１が搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスを検知している間は、搬送ロボット側シャッタ１０５をクローズ状態とすることができないように構成されている。また、本変形例５における基板搬送装置１０２は、搬送ロボット側シャッタ１０５がクローズ動作を行っている途中において、ライトカーテン９０１が搬送ロボット２３０による収納容器設置部２２０へのアクセスを検知した場合には、搬送ロボット側シャッタ１０５のクローズ動作を中断するように構成されている。

　続いて、例えば、図１６に示すように、互いに異なる収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂが設けられている場合、収納容器置台２２１ａに対してライトカーテン９０１ａを設置するとともに、収納容器置台２２１ｂに対してライトカーテン９０１ｂを設置する。これにより、ライトカーテン９０１ａによって収納容器置台２２１ａへのアクセスを検知することができるとともに、ライトカーテン９０１ｂによって収納容器置台２２１ｂへのアクセスを検知することができる結果、ライトカーテン９０１ａおよびライトカーテン９０１ｂによる検知結果に基づいて、搬送ロボット側シャッタ４０２ａおよび搬送ロボット側シャッタ４０２ｂのそれぞれのクローズ動作を制限することができる。

　このことから、本変形例５によれば、搬送ロボット２３０が搬送ロボット側シャッタ４０２ａあるいは搬送ロボット側シャッタ４０２ｂに挟まれることを防止でき、これによって、搬送ロボット２３０の破損を防止することができる。

　なお、例えば、ライトカーテン９０１ａが収納容器置台２２１ａへのアクセスを検知しても、ライトカーテン９０１ｂが収納容器置台２２１ｂへのアクセスを検知していなければ、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂのクローズ動作を継続して、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂをクローズ状態とすることは可能である。つまり、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂのクローズ動作中にライトカーテン９０１ａがアクセスを検知しても、搬送ロボット側シャッタ４０２ｂのクローズ動作は停止せずに継続することになる。

　このようにして、互いに異なる収納容器置台２２１ａと収納容器置台２２１ｂが設けられている場合、収納容器置台２２１ａに対してライトカーテン９０１ａを設けるとともに、収納容器置台２２１ｂに対してライトカーテン９０１ｂを設けることにより、搬送ロボット２３０の破損を防止しながらも、不必要なクローズ動作の中断を防止できる。

　＜変形例６＞
　例えば、収納容器２００が成型品であることによる公差、基板搬送装置１０２および搬送ロボット２３０の組立誤差に起因する搬送時のクリアランスの誤差を補正するため、基板搬送装置１０２および使用する収納容器２００によって、搬送ロボット２３０の搬送パラメータを設定する「ティーチング」と呼ばれる作業を行う必要がある。

　「ティーチング」は、サービスマンの目視による作業であり、作業者側シャッタ１０４および搬送ロボット側シャッタ１０５の両方をオープン状態とする必要がある。

　そこで、本変形例６における基板搬送装置１０２は、作業者が任意にシャッタの開閉状態を選択可能な「ティーチングモード」を備えている。また、本変形例６における基板搬送装置１０２は、「ティーチングモード」時にだけ使用可能な作業者側シャッタ１０４のオープン／クローズスイッチおよび搬送ロボット側シャッタ１０５のオープン／クローズスイッチを備えている。

　「動作モード」から「ティーチングモード」に切り替えると、上述した変形例３で説明した安全インターロック回路が無効となり、作業者側シャッタ１０４および搬送ロボット側シャッタ１０５を同時にオープン状態とすることができる。一方、上述した変形例４で説明したライトカーテン９００による収納容器設置部２２０へのアクセスの監視と、上述した変形例５で説明したライトカーテン９０１による収納容器設置部２２０へのアクセスの監視は引き続き、「ティーチングモード」でも行われる。

　これにより、「ティーチングモード」においても、作業者側シャッタ１０４による作業者の挟み込みが防止されて、作業者の安全が確保されるとともに、搬送ロボット側シャッタ１０５による搬送ロボット２３０の挟み込みが防止されて、搬送ロボット２３０の破損を防止することができる。

　以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。

　１００　半導体検査装置
　１０１　半導体基板処理ユニット
　１０２　基板搬送装置
　１０３　シャッタ
　１０４　作業者側シャッタ
　１０５　搬送ロボット側シャッタ
　２００　収納容器
　２０１　半導体基板
　２１０　制御部
　２１１　プリアライナ
　２２０　収納容器設置部
　２２１　収納容器置台
　２２１ａ　収納容器置台
　２２１ｂ　収納容器置台
　２３０　搬送ロボット
　２４０　上位ポート
　３００　ベース
　３１０　シリンダロッド
　３１１　シリンダブロック
　３２０　リニアガイドレール
　３２１　リニアガイドブロック
　３３０　ブラケット
　３４０ａ　センサヘッド
　３４０ｂ　センサヘッド
　３４１ａ　アクチュエータ
　３４１ｂ　アクチュエータ
　３５０　シャッタ
　４００　隔離壁
　４０１ａ　作業者側シャッタ
　４０１ｂ　作業者側シャッタ
　４０２ａ　搬送ロボット側シャッタ
　４０２ｂ　搬送ロボット側シャッタ
　４１０　スイッチ
　４５０　オープンカセット
　５００　ソレノイドロック機構
　５０１　シャフト
　９００　ライトカーテン
　９００ａ　ライトカーテン
　９００ｂ　ライトカーテン
　９０１　ライトカーテン
　９０１ａ　ライトカーテン
　９０１ｂ　ライトカーテン

Claims (13)

1. 　基板を搬送する搬送ロボットと、
   　前記基板を収容する第１収納容器を設置可能な第１設置部と、
   　装置外部から前記第１収納容器または前記第１設置部にアクセスする際の第１アクセス路を遮断可能に設けられた第１シャッタ機構と、
   　前記搬送ロボットが前記第１収納容器にアクセスする際の第２アクセス路を遮断可能に設けられた第２シャッタ機構と、
   　前記第１シャッタ機構および前記第２シャッタ機構の開閉動作を制御する制御部と、
   　を備える、基板搬送装置。
2. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
   　前記基板搬送装置は、さらに、
   　第２収納容器を設置可能な第２設置部と、
   　装置外部から前記第２収納容器または前記第２設置部にアクセスする際の第３アクセス路を遮断可能に設けられた第３シャッタ機構と、
   　前記搬送ロボットが前記第２収納容器にアクセスする際の第４アクセス路を遮断可能に設けられた第４シャッタ機構と、
   　前記第１設置部と前記第２設置部とを隔離する隔離壁と、
   　を有する、基板搬送装置。
3. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
   　前記第１設置部に前記基板が収納された前記第１収納容器が設置されている状態において、
   　前記制御部は、前記第１シャッタ機構がオープン状態で、かつ、前記第２シャッタ機構がクローズ状態で待機する第１フェーズから、前記第１シャッタ機構をクローズ状態にした後、前記第２シャッタ機構をオープン状態にする第２フェーズに移行させるように制御することにより、前記搬送ロボットによって前記第１収納容器から前記基板を搬出可能な状態にするように構成されている、基板搬送装置。
4. 　請求項３に記載の基板搬送装置において、
   　前記第１設置部に前記基板が未収納の前記第１収納容器が設置されている状態において、
   　前記制御部は、前記第２フェーズの状態で、前記搬送ロボットによって前記第１収納容器に前記基板が搬入されると、前記第２フェーズから、前記第２シャッタ機構をクローズ状態にした後、前記第１シャッタ機構をオープン状態にする第３フェーズに移行させるように構成されている、基板搬送装置。
5. 　請求項３に記載の基板搬送装置において、
   　前記基板搬送装置は、前記第１フェーズから前記第２フェーズに移行させるトリガとなる第１スイッチを有する、基板搬送装置。
6. 　請求項３に記載の基板搬送装置において、
   　前記制御部は、前記第２フェーズから、前記第２シャッタ機構をクローズ状態にした後、前記第１シャッタ機構をオープン状態にする第３フェーズに移行させるように構成され、
   　前記基板搬送装置は、前記第２フェーズから前記第３フェーズに移行させるトリガとなる第２スイッチを有する、基板搬送装置。
7. 　請求項２に記載の基板搬送装置において、
   　前記制御部は、前記第１シャッタ機構がオープン状態で、かつ、前記第２シャッタ機構がクローズ状態である場合、前記第３シャッタ機構をクローズ状態にし、かつ、前記第４シャッタ機構をオープン状態にするように構成されている、基板搬送装置。
8. 　請求項２に記載の基板搬送装置において、
   　前記制御部は、前記第１シャッタ機構がクローズ状態で、かつ、前記第２シャッタ機構がオープン状態である場合、前記第３シャッタ機構をオープン状態にし、かつ、前記第４シャッタ機構をクローズ状態にするように構成されている、基板搬送装置。
9. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
   　前記基板搬送装置は、さらに、
   　前記第１シャッタ機構がクローズ状態のとき、前記第１シャッタ機構のクローズ状態を強制的に維持するための第１施錠機構と、
   　前記第２シャッタ機構がクローズ状態のとき、前記第２シャッタ機構のクローズ状態を強制的に維持するための第２施錠機構と、
   　を有する、基板搬送装置。
10. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
    　前記基板搬送装置は、さらに、装置外部から前記第１アクセス路にアクセスがあることを検知する第１検知センサを有し、
    　前記制御部は、前記第１検知センサからの出力に基づいて、前記第１シャッタ機構のクローズ動作中に装置外部から前記第１アクセス路にアクセスがあることを検知すると、前記第１シャッタ機構のクローズ動作を停止させるように構成されている、基板搬送装置。
11. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
    　前記基板搬送装置は、さらに、前記搬送ロボットが前記第２アクセス路にアクセスしていることを検知する第２検知センサを有し、
    　前記制御部は、前記第２検知センサからの出力に基づいて、前記第２シャッタ機構のクローズ動作中に前記搬送ロボットが前記第２アクセス路にアクセスしていることを検知すると、前記第２シャッタ機構のクローズ動作を停止させるように構成されている、基板搬送装置。
12. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
    　前記第１収納容器は、オープンカセットである、基板搬送装置。
13. 　請求項１に記載の基板搬送装置において、
    　前記基板は、半導体ウェハまたはレチクルである、基板搬送装置。

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