JPH07211764A - レーザ応用装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、レーザ応用装置において、レーザ装
置本体でレーザ照射対象が処理中でも、作業者に対する
レーザ安全性を損なうことなく他のレーザ照射対象を交
換してスループツトを向上する。 【構成】レーザ装置本体が配置され遮光手段で周囲に対
して遮光される第１の領域と、その第１の領域の外部で
レーザ光に対する安全が確保された第２の領域との間
に、レーザ照射対象が一旦収納され第１の領域との間を
開閉する第１の扉手段及び第２の領域との間を開閉する
第２の扉手段を有する第３の領域を少なくとも２以上設
けるようにしたことにより、レーザ装置本体でレーザ照
射対象が処理中でも、作業者に対するレーザ安全性を損
なうことなく他の第３の領域に配置されたレーザ照射対
象を交換し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレーザ応用装置に関し、
例えばレーザ強度の強いレーザ光を使用するものに適用
して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ光を使用するレーザ応用装
置として、レーザリペア装置や微小寸法測定装置等のレ
ーザ使用の半導体製造装置あるいは計測装置において、
作業者に対するレーザ光の安全対策の要求が高まつてい
る。例えばこの種のレーザ応用装置として、ウエハに対
するレーザリペア装置等は、図５に示すように、構成さ
れている。すなわちこの図は、レーザ応用装置を上から
見たもので、ウエハ処理部（図示せず）を有する装置本
体１が、作業者が作業するＣ領域に対して、光学的に完
全に遮蔽されたカバー２の内部、すなわちＢ領域に配置
されている。この装置本体１は、直接又は間接的に人体
に照射されると危険なレベルの加工用又は計測用レーザ
光源３を有する。

【０００３】また装置本体１は、ウエハ搬送装置４を備
えている。このウエハ搬送装置４には、２台のウエハカ
セツト載置台５ａ、５ｂが搭載されている。またウエハ
搬送装置４は、ウエハ交換アーム６ａ、６ｂを有し、ウ
エハカセツト載置台５ａ、５ｂ上に置かれたウエハカセ
ツト７ａ、７ｂと装置本体１の間でウエハ８ａ、８ｂを
受け渡す。カバー２のウエハカセツト載置台５ａ、５ｂ
付近には、ウエハカセツト交換扉９ａ、９ｂが配置され
ている。作業者はこのウエハカセツト交換扉９ａ、９ｂ
を開閉することにより、処理済のウエハ８ａ、８ｂが収
納されたウエハカセツト７ａ、７ｂを取り出し、未処理
のウエハ８ａ、８ｂが収納されたウエハカセツト７ａ、
７ｂと交換する。

【０００４】ウエハカセツト交換扉９ａ、９ｂは、閉じ
た状態でカバー２内部のＢ領域のレーザ光を外部のＣ領
域に対して完全に遮光する構造になつている。またウエ
ハカセツト交換扉９ａ、９ｂには、インターロツクスイ
ツチ１０ａ、１０ｂが設けられ、ウエハカセツト７ａ、
７ｂのいずれかを交換しようとして、ウエハカセツト交
換扉９ａ又は９ｂを開けようとすると、インターロツク
スイツチ１０ａ又は１０ｂが作動して、レーザ光源３に
内蔵されたシヤツタが閉じたり電源をオフしたりして、
レーザ照射が止まるようになされている。図６は、上述
したレーザ応用装置でのレーザ照射領域を斜線で示した
ものである。このようにカバー２内部全域でなるＢ領域
がレーザ照射領域となつている。従つてウエハ処理中
は、レーザ安全上ウエハカセツト交換扉９ａ、９ｂを開
けることができない。

【０００５】またレーザ応用装置としては、図５との対
応部分に同一符号を付した図７に示すように構成された
ものがある。すなわちこのレーザ応用装置の場合ウエハ
カセツト交換扉１９ａ、１９ｂに、インターロツクスイ
ツチ２０ａ、２０ｂに加えて、扉ロツク機構１１が設け
られ、これによりレーザ光が照射されている時にはイン
ターロツクスイツチ１０ａ、１０ｂが作動して扉ロツク
機構１１が働き、ウエハカセツト交換扉９ａ、９ｂが開
けられないようになされ、作業者に対するレーザ安全を
確保し得るようになされている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが上述したよう
な従来のレーザ応用装置として、図５のレーザ応用装置
においては、ウエハカセツト７ａが処理中の時間、処理
済ウエハカセツト７ｂを交換しようとしてウエハカセツ
ト交換扉９ａ又は９ｂを開けると、レーザ安全のための
インターロツクスイツチ１０ａ又は１０ｂが作動して、
レーザ光源３に内蔵されたシヤツタを閉じたり電源をオ
フにするため、ウエハカセツト７ａの処理が中断される
のみならず再開できなくなるおそれがあつた。

【０００７】また図７のレーザ応用装置では、ウエハカ
セツト１７ａが処理中、すなわちレーザ照射中は、扉ロ
ツク機構２１が働いてウエハカセツト交換扉１９ａ及び
１９ｂが開かず、処理中のウエハカセツト１７ａの処理
が終わり、ウエハカセツト交換扉１９ａ、１９ｂが開閉
可能な状態にならないと、処理済ウエハカセツト１７ｂ
を交換できない問題があつた。いずれの場合でも、処理
中のウエハカセツトの処理が終了するまでは、次のウエ
ハカセツトを挿入できず、従つてウエハカセツトの交換
効率が著しく低く、スループツトが悪いという問題があ
つた。

【０００８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、レーザ装置本体でレーザ照射対象が処理中でも、作
業者に対するレーザ安全性を損なうことなく他のレーザ
照射対象を交換してスループツトを向上し得るレーザ応
用装置を提案しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、レーザ光を使用するレーザ装置本
体１が配置され、そのレーザ装置本体１の周囲に遮光手
段２が配置されて、周囲に対して遮光される第１の領域
Ｂと、その第１の領域Ｂの外部で、作業者がレーザ光に
対する安全を確保した状態で作業し得る第２の領域Ｃ
と、第１及び第２の領域Ｂ及びＣ間に配置されると共に
レーザ照射対象７、８が一旦収納され、第１の領域Ｂと
の間を開閉する第１の扉手段２２及び第２の領域Ｃとの
間を開閉する第２の扉手段１９を有する少なくとも２つ
の第３の領域Ａとを設けるようにした。

【００１０】

【作用】レーザ装置本体が配置され、遮光手段２で周囲
に対して遮光される第１の領域Ｂと、その第１の領域Ｂ
の外部でレーザ光に対する安全が確保された第２の領域
Ｃとの間に、レーザ照射対象７、８が一旦収納され第１
の領域Ｂとの間を開閉する第１の扉手段２２及び第２の
領域Ｃとの間を開閉する第２の扉手段１９を有する第３
の領域Ａを設けるようにしたことにより、レーザ装置本
体１でレーザ照射対象７、８が処理中でも、作業者に対
するレーザ安全を損なうことなく他の第３の領域Ａに配
置されたレーザ照射対象７、８を交換し得る。

【００１１】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００１２】図５〜図７との対応部分に同一符号を付し
た図１は全体として本発明によるレーザ応用装置を示
し、この場合もウエハカセツト交換扉１９ａ、１９ｂ
に、インターロツクスイツチ２０ａ、２０ｂ及び扉ロツ
ク機構２１ａ、２１ｂが取り付けられている。

【００１３】またこのレーザ応用装置においては、ウエ
ハ搬送装置４でウエハカセツト載置台５ａ、５ｂとウエ
ハ交換アーム６ａ、６ｂとの間に、開閉可能なシヤツタ
機構２２ａ、２２ｂが配置されている。このシヤツタ機
構２２ａ、２２ｂを閉じると共にウエハカセツト交換扉
１９ａ、１９ｂを閉じることにより、Ｃ領域とＢ領域の
間に光学的に完全に遮蔽された２つのＡ領域が形成され
る。なおこのシヤツタ機構２２ａ、２２ｂは、対応する
ウエハカセツト交換扉１９ａ、１９ｂが閉じている場合
のみ、開くことが可能なようになされている。

【００１４】さらにこのレーザ応用装置では、ウエハカ
セツト７ａ、７ｂの処理終了を表す表示ランプ２３ａ、
２３ｂと、扉ロツク機構２１ａ、２１ｂのロツクを解除
するウエハカセツト処理完了スイツチ２４ａ、２４ｂ
と、ウエハカセツト７ａ、７ｂの交換が完了したことを
入力するウエハカセツト交換完了スイツチ２５ａ、２５
ｂが、ウエハカセツト交換扉１９ａ、１９ｂの周辺部に
それぞれ並んで配置されている。

【００１５】以上の構成を図２を用いて説明する。図２
は扉の制御系を示すブロツク図である。例えばカバー２
内部のうち例えば一方のウエハカセツト７ｂの処理が終
了したら、主制御装置（図示せず）は表示ランプ２３ｂ
を点灯する。作業者はウエハカセツト交換扉１９ｂに並
んで配置された表示ランプ２３ｂの点灯によりウエハ処
理終了を知り、当該表示ランプ２３ｂに並んで配された
ウエハカセツト処理完了スイツチ２４ｂを押す。このス
イツチ２４ｂからの信号は扉制御装置２６に入力され、
これにより扉ロツク機構２１ａが解除になり、ウエハカ
セツト交換扉１９ｂが開閉可能になる。それと同時にシ
ヤツタ機構２２ｂが閉状態になつて、レーザ光がＡ領域
に照射されなくなる。従つて他のウエハカセツト７ａの
処理を中断することなく、処理済ウエハカセツト３７ｂ
を交換することができる。

【００１６】また未処理のウエハカセツト７ｂを挿入
後、ウエハカセツト交換扉１９ｂを閉じて、ウエハカセ
ツト交換完了スイツチ２５ｂを押すと、このスイツチ２
５ｂからの信号が扉制御装置２６に入力され、これによ
りシヤツタ機構２２ｂが開き、同時に扉ロツク機構２１
ｂがロツク状態になる。これでこのウエハカセツト７ｂ
の処理が可能な状態になる。またウエハ８ｂの処理中
は、シヤツタ機構２２ｂが開いているのでＡ領域にレー
ザ光が入つてくるが、扉ロツク機構２１ｂがロツク状態
のため、作業者が誤つてウエハカセツト交換扉１９ｂを
開けてレーザを浴びるおそれを未然に回避することがで
きる。また万一誤つてウエハ交換扉１９ｂが開いてしま
つた場合には、インターロツクスイツチ２０ｂが働ら
き、レーザ照射が止まるようになされ、これにより作業
者の安全が二重に確保されている。

【００１７】図３には、このレーザ応用装置において、
ウエハカセツト７ｂの交換時にレーザ光が照射される領
域を斜線で示し、このようにウエハカセツト載置台５ｂ
を含む領域は、レーザ照射領域になつていない。従つて
一方のウエハ８ａの処理中でも、レーザ安全を確保した
状態で他方のウエハカセツト交換扉１９ｂを開けること
ができる。

【００１８】以上の構成によれば、レーザ装置本体１が
配置されカバー２で周囲に対して遮光されるＢ領域と、
そのＢ領域の外部でレーザ光に対する安全が確保された
Ｃ領域との間に、ウエハカセツト７が一旦収納されＢ領
域との間を開閉するシヤツタ機構２２及びＣ領域との間
を開閉するウエハカセツト交換扉１９を有するＡ領域を
設けるようにしたことにより、レーザ装置本体１で一方
のウエハカセツト７ａが処理中でも、作業者に対するレ
ーザ安全性を損なうことなく他のＡ領域に配置された他
方のウエハカセツト７ｂを交換し得、かくしてウエハカ
セツト７のレーザ処理について、スループツトを格段的
に向上し得るレーザ応用装置を実現できる。

【００１９】なお上述の実施例においては、ウエハカセ
ツトを２つ使用するレーザ応用装置について述べたが、
ウエハカセツトの数は３つ以上でも、全く同じように構
成可能である。すなわち図１との対応部分に同一符号を
付した図４は３カセツトの例である。このレーザ応用装
置において、ウエハ搬送装置４には、３台のウエハカセ
ツト載置台５ａ、５ｂ、５ｃが搭載されている。またウ
エハ搬送装置４は、ウエハ交換アーム６ａ、６ｂ、６ｃ
を有しており、ウエハカセツト載置台５ａ、５ｂ、５ｃ
上に置かれたウエハカセツト７ａ、７ｂ、７ｃと装置本
体１の間でウエハ８ａ、８ｂ、８ｃをやりとりする。カ
バー２のウエハカセツト載置台５ａ、５ｂ、５ｃ付近に
は、ウエハカセツト交換扉１９ａ、１９ｂ、１９ｃと、
ウエハ処理完了の表示ランプ（図示せず）、ウエハカセ
ツト交換扉開スイツチ（図示せず）及びウエハカセツト
交換完了スイツチ（図示せず））がそれぞれ配置されん
いる。

【００２０】作業者はウエハカセツト交換扉開スイツチ
を押して、このウエハカセツト交換扉１９ａ、１９ｂ、
１９ｃを開閉することにより、未処理のウエハカセツト
７を入れ、処理済のウエハカセツトを取り出す。カセツ
ト交換扉１９ａ、１９ｂ、１９ｃは、閉じた状態ではカ
バー２内部、すなわちＢ領域のレーザ光を外部のＣ領域
に対して完全に遮光する構造になつている。

【００２１】またウエハカセツト交換扉１９ａ、１９
ｂ、１９ｃには、インターロツクスイツチ２０ａ、２０
ｂ、２０ｃがついており、ウエハカセツト７ａ、７ｂ、
７ｃのいずれかを交換しようとしてウエハカセツト交換
扉１９ａ、１９ｂ又は１９ｃを開けようとすると、イン
ターロツクスイツチ２０ａ、２０ｂ又は２０ｃが作動し
て、レーザ電源（図示せず）が落ち、レーザ光源３のレ
ーザ照射が止まるようになされている。このようにウエ
ハカセツト交換扉が３個以上の場合でも、全く同様に作
業者の安全を確保しつつウエハカセツト交換を効率良く
行うことができる。

【００２２】また上述の実施例においては、本発明をウ
エハカセツトに対して所定の処理を行うレーザ応用装置
に適用した場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、レーザ光を使用して、マスクや液晶基板等の種々の
照射対象物を加工したり検査、測定するレーザ加工装
置、レーザ検査測定装置等に対して広く適用して好適な
ものである。

【００２３】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、レーザ装
置本体が配置され遮光手段で周囲に対して遮光される第
１の領域と、その第１の領域の外部でレーザ光に対する
安全が確保された第２の領域との間に、レーザ照射対象
が一旦収納され第１の領域との間を開閉する第１の扉手
段及び第２の領域との間を開閉する第２の扉手段を有す
る第３の領域を少なくとも２つ設けるようにしたことに
より、レーザ装置本体でレーザ照射対象が処理中でも、
作業者に対するレーザ安全性を損なうことなく他の第３
の領域に配置されたレーザ照射対象を交換し得、かくし
てスループツトを格段的に向上し得るレーザ応用装置を
実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ応用装置の一実施例の構成
を上方より見て示す略線的平面図である。

【図２】図１のレーザ応用装置における扉の制御系の説
明に供するブロツク図である。

【図３】図１のレーザ応用装置におけるレーザ照射領域
に斜線を付して示す略線的平面図である。

【図４】本発明によるレーザ応用装置に他の実施例の構
成を上方より見て示す略線的平面図である。

【図５】従来のレーザ応用装置の構成を上方より見て示
す略線的平面図である。

【図６】図４のレーザ応用装置におけるレーザ照射領域
に斜線を付して示す略線的平面図である。

【図７】従来の他のレーザ応用装置の構成を上方より見
て示す略線的平面図である。

【符号の説明】

１……装置本体、２……カバー、３……レーザ光源、４
……ウエハ搬送装置、５ａ、５ｂ、５ｃ……ウエハカセ
ツト載置台、６ａ、６ｂ、６ｃ……ウエハ交換アーム、
７ａ、７ｂ、７ｃ……ウエハカセツト、８ａ、８ｂ、８
ｃ……ウエハ、９ａ、１９ａ、９ｂ、１９ｂ、１９ｃ…
…ウエハカセツト交換扉、１０ａ、２０ａ、１０ｂ、２
０ｂ、２０ｃ……インターロツクスイツチ、１１、２１
ａ、２１ｂ、２１ｃ……扉ロツク機構、２２ａ、２２
ｂ、２２ｃ……シヤツタ機構、２３ａ、２３ｂ……表示
ランプ、２４ａ、２４ｂ……ウエハカセツト処理完了ス
イツチ、２５ａ、２５ｂ……ウエハカセツト交換完了ス
イツチ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 引間 郁雄 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号株式 会社ニコン内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザ光を使用するレーザ装置本体が配置
   され、該レーザ装置本体の周囲に遮光手段が配置され
   て、周囲に対して遮光される第１の領域と、 該第１の領域の外部で、作業者が前記レーザ光に対する
   安全を確保した状態で作業し得る第２の領域と、 前記第１及び第２の領域間に配置されると共にレーザ照
   射対象が一旦収納され、前記第１の領域との間を開閉す
   る第１の扉手段及び前記第２の領域との間を開閉する第
   ２の扉手段を有する少なくとも２つの第３の領域とを具
   えることを特徴とするレーザ応用装置。
2. 【請求項２】前記第２の扉手段が閉じている場合に、前
   記第１の扉手段を開くことを可能とし、前記第１の扉手
   段が閉じている場合に、前記第２の扉手段を開くことを
   可能とする扉制御手段を具え、前記第１の扉手段を介し
   て前記レーザ照射対象を前記レーザ装置本体と前記第３
   の領域との間で受け渡し、前記第２の扉手段を介して前
   記レーザ照射対象を交換することを特徴とする請求項１
   に記載のレーザ応用装置。
3. 【請求項３】該第２の扉手段の開閉を制限する扉ロツク
   手段と、 前記第１の扉手段が開いている場合に前記第２の扉手段
   が開いた際、前記レーザ光の射出を中止するレーザ制御
   手段とを具えることを特徴とする請求項１又は請求項２
   に記載のレーザ応用装置。