JP2015093696A - 基板ケース分離合体装置及び基板ケース洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板ケースに設けられたロック機構をロック状態またはアンロック状態にさせるロック動作機構130a、130bと、前記ロック動作機構が、結合されたベース10とカバー20とを固定すべく前記ロック状態にあるロック機構をアンロック状態にさせたときに、ベース10とカバー10とを分離させる分離機構151、156と、前記ロック機構が前記アンロック状態にあって分離したベース10とカバー20とを結合させる結合機構151、156とを有し、ベース10とカバー20とが結合されたときに、ロック動作機構130a、130bが、前記アンロック状態にある前記ロック機構をロック状態にして、結合されたベース10とカバー20とを固定する構成となる。
【選択図】図17B
Description
10 ベース
11 ベース本体
12a、12b、12c、12d 基板支持部材
13a、13b ストッパ片
14a、14b、14c、14d 係止凹部
15a、15b、15c 係合孔
20 カバー
21 カバー本体
22a、22b 鍔部
23a、23b 基端部
24a、24b、24c、24d 板状腕部
25a、25b、25c、25d 動作凸片
26a、26b、26c、26d 孔
27 ハンドル
51 発光素子
52 受光素子
101 処理ブース
102 投入ブース
103 制御装置
110 ロードポート
111 ケース載置プレート
120 分離合体ポート
121a 第1ケース保持プレート
121b 第2ケース保持プレート
122a、122b、122c、122d コーナー係止片
130a 第1ロック動作機構
130b 第2ロック動作機構
131a、131b、131c、131d アーム部材
132a、132b、132c、132d 支軸
133a、133b、133c、133d 連結ピン
134a、134b、134c、134d ピン
135a、135b エアーシリンダ
136a、136b 連結ブロック
140 バッファーポート
141a、141b カバー保持プレート
151 ベース保持プレート
152a、152b、152c 吸着パッド
153 ベース検出器
154a、154b、154c 係止ピン
155 移動台
156 エアーシリンダ
157 連結ブロック
160 第1搬送機構
161 レール
162 駆動機構
170 第2移動機構
171 水平レール
172 スタンド
173 第1移動ブロック
174 昇降レール
175 第2移動ブロック
176 把持機構
176a 駆動機構
176b 動作機構
177a、177b 把持ハンド
180 洗浄器
181 洗浄槽
182 支持部材
183 蓋
184 ベース用支持部材
Claims (14)
- 基板を保持するベースと、該ベースを覆うように当該ベースと結合するカバーと、相互に結合された前記ベースと前記カバーとを固定するロック状態と、前記ベースと前記カバーとが分離可能となるアンロック状態とのいずれかの状態になるロック機構とを有する基板ケースにおける前記ベースと前記カバーとを分離および合体させる基板ケース分離合体装置であって、
前記ロック機構を前記ロック状態または前記アンロック状態にさせるロック動作機構と、
前記ロック動作機構が、結合された前記ベースと前記カバーとを固定すべく前記ロック状態にある前記ロック機構をアンロック状態にさせたときに、前記ベースと前記カバーとを分離させる分離機構と、
前記ロック機構が前記アンロック状態にあって相互に分離した前記ベースと前記カバーとを結合させる結合機構とを有し、
前記結合機構によって前記ベースと前記カバーとが結合されたときに、前記ロック動作機構が、前記アンロック状態にある前記ロック機構をロック状態にして、結合された前記ベースと前記カバーとを固定する、基板ケース分離合体装置。 - 前記ロック機構は、前記カバー及び前記ベースのいずれか一方に設けられて、前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作可能であり、上記ロック状態の位置に向けて付勢された状態の動作部と、
前記カバー及び前記ベースのうちの前記動作部が設けられていない一方に設けられて、前記ロック状態の位置にある前記動作部を係止する係止部とを有し、
前記ロック動作機構は、前記動作部に係合し、前記動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させる、請求項1記載の基板ケース分離合体装置。 - 前記カバーを保持するカバー保持部材を有し、
前記ロック動作機構は、前記カバー保持部材に保持された前記カバーに設けられた動作部を前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作させる、請求項2記載の基板ケース分離合体装置。 - 前記ベースを保持するベース保持部材と、
該ベース保持部材を搬送する第1搬送機構とを有し、
前記分離機構は、前記第1搬送機構が、前記ロック機構が前記ロック状態にあって前記カバーと結合固定された前記ベースを保持する前記ベース保持部材を、前記ケースが前記ケース保持部に保持される位置に搬送し、前記ロック動作機構が前記ロック機構を前記アンロック状態にして前記ベースと前記カバーとが分離可能な状態となったときに、前記ベースが前記カバー保持部材に保持される前記カバーから分離される方向に前記ベース保持部材を移動させるベース移動分離機構を有する請求項3記載の基板ケース分離合体装置。 - 前記結合機構は、前記カバー保持部材に保持された前記カバーと、前記第1搬送機構により搬送される前記ベース保持部材に保持されたベースとが分離しているときに、前記ベースを前記カバー保持部材に保持されている前記カバーに結合するように前記ベース保持部材を移動させるベース移動結合機構を有する請求項4記載の基板ケース分離合体装置。
- 前記ロック動作機構は、前記動作部に形成された孔に嵌るピンと、
前記動作部が前記ロック状態の位置と前記アンロック状態の位置との間で動作するように、前記孔に嵌ったピンを往復動させる駆動機構とを有する請求項2乃至5のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置。 - 前記駆動機構は、一端に前記ピンが固定されたアーム部材と、
該アーム部材を動作させるアクチュエータとを有する請求項6記載の基板ケース分離合体装置。 - 前記アーム部材は、L字状に結合した第1アーム部と第2アーム部とを有し、該第1アーム部と該第2アーム部との結合部を中心にして搖動可能であり、
前記ピンが前記第1アーム部の端部に設けられ、前記アクチュエータが前記第2アーム部を動作させることによって前記結合部を中心に前記第1アーム部及び前記第2アーム部を搖動させる、請求項7記載の基板ケース分離合体装置。 - 前記ベース保持部材に設けられ、前記ベースを吸着保持する吸着パッドを有する請求項4または5記載の基板ケース分離合体装置。
- 前記ベース保持部材に設けられ、当該ベース保持部材に前記ベースが保持されているか否かを検出するベース検出器を有する請求項4、5及び9のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置。
- 前記カバーから分離され、前記ベース保持部材に保持された前記ベースに前記基板が保持されているか否かを検出する基板検出器を有する請求項4、5、9及び10のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置。
- 請求項1乃至10のいずれかに記載の基板ケース分離合体装置と、
前記ベースと前記カバーとを分離された状態で洗浄する洗浄器と、
前記基板ケース分離合体装置の前記分離機構によって分離された前記カバーと前記ベースとを個別的に順次前記洗浄器に搬送し、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースと前記カバーとを個別的に順次前記基板ケース分離合体装置に搬送供給する第2搬送機構とを有する基板ケース洗浄装置。 - 請求項4記載の基板ケース分離合体装置を有し、
前記第2搬送機構は、前記ベース移動分離機構によって分離されて前記カバー保持部材に保持された前記カバーと、前記ベース保持部材に保持された前記ベースとを個別的に順次前記洗浄器に搬送する請求項12記載の基板ケース洗浄装置。 - 前記第2搬送機構は、前記洗浄器によって洗浄された前記ベースを前記ベース保持部材に搬送供給し、前記洗浄器によって洗浄された前記カバーを前記カバー保持部材に搬送供給し、
前記ベース移動結合機構が、前記ベースを前記カバー保持部材に保持されている前記カバーに結合するように前記ベース保持部材を移動させる請求項13記載の基板ケース洗浄装置。
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