CN113474267A - 盖开闭装置 - Google Patents

盖开闭装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113474267A
CN113474267A CN202080015694.XA CN202080015694A CN113474267A CN 113474267 A CN113474267 A CN 113474267A CN 202080015694 A CN202080015694 A CN 202080015694A CN 113474267 A CN113474267 A CN 113474267A
Authority
CN
China
Prior art keywords
container
elevation driving
holding
housing
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202080015694.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN113474267B (zh
Inventor
布目涼马
坂本显史
山崎良太
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN113474267A publication Critical patent/CN113474267A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113474267B publication Critical patent/CN113474267B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67353—Closed carriers specially adapted for a single substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Centrifugal Separators (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本发明涉及一种盖开闭装置，使用多个升降驱动部，抑制装置大型化，容易维持容器周边的清洁环境。第1盖开闭机构(102)具有：第1保持部(20A)，保持第1容器(3A)的上盖(2)；第1突出部(30A)，从第1保持部(20A)朝第1保持部(20A)的一侧突出地设置，并延伸到壳体(101)外侧；以及第1升降驱动部(40A)，经由第1突出部(30A)对第1保持部(20A)进行悬臂支承而使其升降，第2盖开闭机构(103)具有：第2保持部(20B)，保持第2容器(3B)的上盖(2)；第2突出部(30B)，从第2保持部(20B)朝一侧突出地设置，并延伸到壳体(101)外侧；以及第2升降驱动部(40B)，经由第2突出部(30B)对第2保持部(20B)进行悬臂支承而使其升降，第1升降驱动部(40A)以及第2升降驱动部(40B)在壳体(101)的外侧相对于壳体(101)配置在一侧。

Description

盖开闭装置
技术领域
本发明涉及一种盖开闭装置。
背景技术
在半导体制造工厂等中，中间掩模等物品被收纳在中间掩模盒等容器中而被输送至保管装置或者半导体制造装置等，在保管装置等中从容器中取出中间掩模等。该容器例如具有载放物品的容器主体以及上盖。上述保管装置等具备对容器的上盖进行开闭的盖开闭装置。作为该盖开闭装置，已知有如下构成：具有保持上盖的保持部以及使保持部升降的升降驱动部，通过升降驱动部使保持部升降，由此使上盖开闭(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第3089590号公报
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1所记载的盖开闭装置中，相对于上下配置的多个容器，在上下方向上分别排列配置有多个对容器的上盖进行保持而进行升降的保持部，通过由马达以及滚珠丝杠构成的一个升降驱动部使这些保持部升降。在该构成中，使用一个升降驱动部，因此使各容器的盖进行开闭的效率较差。此外，在简单地使用多个升降驱动部的构成中，存在盖开闭装置大型化这样的课题。并且，升降驱动部成为颗粒的产生源，因此当多个升降驱动部散布在容器周围时，难以维持容器周边的清洁环境。
本发明的目的在于提供一种盖开闭装置，使用多个升降驱动部且抑制装置的大型化，能够容易地维持容器周边的清洁环境。
用于解决课题的手段
本发明的方案所涉及的盖开闭装置具备：壳体；第1盖开闭机构，对配置在壳体内的第1容器的上盖进行开闭；以及第2盖开闭机构，对第2容器的上盖进行开闭，该第2容器在壳体内排列配置在第1容器的下方，第1盖开闭机构具有：第1保持部，保持第1容器的上盖；第1突出部，从第1保持部朝第1保持部的一侧突出地设置，并延伸到壳体外侧；以及第1升降驱动部，经由第1突出部对第1保持部进行悬臂支承而使其升降，第2盖开闭机构具有：第2保持部，保持第2容器的上盖；第2突出部，从第2保持部朝一侧突出地设置，且延伸至壳体的外侧；以及第2升降驱动部，经由第2突出部对第2保持部进行悬臂支承而使其升降，第1升降驱动部以及第2升降驱动部在壳体的外侧相对于壳体配置在一侧。
此外，也可以为，第1升降驱动部与第2升降驱动部相邻地配置。
此外，也可以为，壳体被配置在存在空气流动的环境中，相对于壳体来说，一侧是空气流动的下游侧。此外，也可以为，第1升降驱动部以及第2升降驱动部分别是具有缸主体和活塞杆的流体压力缸，第1升降驱动部被配置为使活塞杆朝向上方突出，第2升降驱动部被配置为使活塞杆朝向下方突出，在水平方向上观察，第1升降驱动部的缸主体与第2升降驱动部的缸主体被配置为至少一部分重叠。
此外，也可以为，从壳体朝一侧突出地设置有被安装部，第1升降驱动部安装于被安装部的一面侧，第2升降驱动部安装于被安装部的与一面侧相反一侧即另一面侧。
发明的效果
根据上述盖开闭装置，分别通过第1升降驱动部以及第2升降驱动部使第1保持部以及第2保持部升降而使容器的上盖升降，因此能够高效地进行物品相对于容器的放入取出。此外，第1升降驱动部以及第2升降驱动部对第1保持部以及第2保持部分别以悬臂支承的方式进行保持，且在壳体的外侧相对于壳体集中地配置于一侧，因此能够紧凑地配置第1升降驱动部以及第2升降驱动部，能够抑制装置的大型化。进而，由于成为颗粒的产生源的第1升降驱动部以及第2升降驱动部被集中地配置，因此通过对配置有第1升降驱动部以及第2升降驱动部的区域的气体进行排出，由此能够容易地维持容器周边的清洁环境。
此外，在第1升降驱动部与第2升降驱动部相邻地配置的构成中，能够更紧凑地配置第1升降驱动部以及第2升降驱动部。此外，在壳体被配置在存在空气流动的环境中，且相对于壳体来说一侧是空气流动的下游侧的构成中，能够防止由第1升降驱动部以及第2升降驱动部产生的颗粒进入壳体内，能够避免壳体内部的容器周边的污损。此外，在第1升降驱动部以及第2升降驱动部分别是具有缸主体和活塞杆的流体压力缸，第1升降驱动部被配置为使活塞杆朝向上方突出，第2升降驱动部被配置为使活塞杆朝向下方突出，在水平方向上观察，第1升降驱动部的缸主体和第2升降驱动部的缸主体被配置为至少一部分重叠的构成中，通过使用流体压力缸，能够可靠地进行第1保持部以及第2保持部的升降，并且能够将第1升降驱动部以及第2升降驱动部在上下方向上紧凑地配置。此外，在从壳体朝一侧突出地设置有被安装部，第1升降驱动部安装于被安装部的一面侧，第2升降驱动部安装于被安装部的与一面侧相反一侧即另一面侧的构成中，能够经由被安装部将第1升降驱动部以及第2升降驱动部集中地配置于一处。
附图说明
图1是表示实施方式的盖开闭装置的一例的立体图。
图2是从斜后方且上方观察图1的盖开闭装置的立体图。
图3是从-X侧观察盖开闭装置的图。
图4是表示容器的一例的分解立体图。
图5的(A)是解除了容器的卡止机构的卡止的图，(B)是使上盖相对于容器主体朝上方移动后的图。
图6是表示将容器配置于载放台之前的状态的图。
图7是表示将容器配置于载放台的规定位置的状态的图。
图8的(A)是将图7的主要部分放大表示的图，(B)是表示在图7所示的状态下解除了卡止机构的状态的图。
图9是表示使上盖朝上方移动的动作的一例的图。
图10是表示搭载有盖开闭装置的中间掩模盒的一例的立体图。
图11是图10的平面A的截面图。
图12是图10的平面B的截面图。
具体实施方式
以下，参照附图对实施方式进行说明。但是，本发明并不限定于以下说明的实施方式。此外，在附图中，为了说明实施方式，将一部分放大或者强调地记载等、适当地变更比例尺来表现。在以下的各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将上下方向(铅垂方向)设为Z方向，将水平方向设为X方向、Y方向。Y方向是水平方向中的一个方向，且是后述的容器的插入方向。X方向是与Y方向正交的方向。此外，关于X、Y、Z方向的各方向，适当地将箭头所指的朝向表现为+方向(例如，+X方向)，将箭头所指的朝向的相反方向表现为-方向(例如，-X方向)。
图1是表示实施方式的盖开闭装置100的一例的立体图。图2是从斜后方且是上方观察盖开闭装置100的立体图。图3是从-X侧观察盖开闭装置100的图。另外，在图3中省略后述的壳体101。图1至图3所示的盖开闭装置100为，在具有容器主体1以及上盖2且收纳中间掩模R等物品的第1容器3A以及第2容器3B中对各自的上盖2进行开闭。
第1容器3A以及第2容器3B具备卡止机构4，在容器主体1上安装有上盖2的状态下，该卡止机构4将上盖2相对于下容器主体1卡止(参照图4)。第1容器3A以及第2容器3B是对作为物品的中间掩模R进行收纳的中间掩模盒。卡止机构4应用如下构成：当使设置于上盖2的水平方向的板部5a相对于容器主体1朝上方超过规定值地转动时，解除卡止。另外，关于第1容器3A以及第2容器3B的详细情况将后述。本实施方式的盖开闭装置100为，为了从具有这种卡止机构4的第1容器3A以及第2容器3B中取出所收纳的中间掩模R，将上述卡止机构4解除而使上盖2相对于容器主体1开闭。
盖开闭装置100具备壳体101、第1盖开闭机构102以及第2盖开闭机构103。壳体101具有对置的两个侧壁部12以及背面部15。在两个侧壁部12之间设置有上述的第1盖开闭机构102、第2盖开闭机构103以及载放台10。图1至图3所示的盖开闭装置100为，通过设置成上下两层的载放台10而将第1容器3A以及第2容器3B配置成上下两层。载放台10被确定有分别载放第1容器3A以及第2容器3B的规定位置P(参照图3)。载放台10分别是沿着Y方向延伸的两个棒状部件，在X方向上排列有多个且平行地配置。载放台10对第1容器3A以及第2容器3B的+X侧的凸缘部1d以及-X侧的凸缘部1d进行支承，并分别与水平面平行地载放第1容器3A以及第2容器3B。
载放台10的-Y侧端部相当于用于插入第1容器3A以及第2容器3B的入口部分。第1容器3A以及第2容器3B被从该入口部分朝+Y方向插入而配置到载放台10上。在载放台10的-Y侧的端部(入口部分)设置有倾斜部11。倾斜部11以从-Y侧的端部朝向+Y侧朝上侧(+Z侧)倾斜的方式形成。通过设置倾斜部11，在插入第1容器3A以及第2容器3B时，凸缘部1d被从倾斜部11引导至载放台10，能够将第1容器3A以及第2容器3B分别配置在适当的高度。此外，在各载放台10的内侧的面(-X侧的载放台10的+X侧的面、+X侧的载放台10的-X侧的面)上分别设置有第2倾斜部11a。在插入第1容器3A以及第2容器3B时，第2倾斜部11a与容器主体1中为了形成凸缘部1d而从底部立起设置的侧部(参照图4)接触，将第1容器3A以及第2容器3B(容器主体1)引导至X方向的适当位置并定位。另外，在各载放台10中，也可以从-Y侧的端部设置第2倾斜部11a。
此外，在壳体101上，在用于插入第1容器3A以及第2容器3B的入口部分，设置有使两个载放台10之间的部分朝下方侧凹陷而成的凹部10a。通过设置该凹部10a，例如，在作业者等将第1容器3A或者第2容器3B插入到载放台10上时或者将载放台10上的第1容器3A或者第2容器3B取出时，作业者的手不会被妨碍，其结果，容易把持第1容器3A或者第2容器3B而提高第1容器3A或者第2容器3B的取出放入的便利性。在载放台10的+Y侧的上方设置有按压部10b。按压部10b被配置于比载放台10的上表面靠上方与容器主体1的凸缘部1d的厚度相应的量的位置。在第1容器3A以及第2容器3B分别被配置于规定位置P的情况下，按压部10b配置在载放台10上的凸缘部1d的上表面侧，限制容器主体1朝上方移动。
另外，也可以设置未图示的止挡件，在第1容器3A或者第2容器3B被配置于规定位置P的情况下，该止挡件与容器主体1的+Y侧接触。该止挡件也可以为，在第1容器3A或者第2容器3B被配置于规定位置P时，限制容器主体1从该位置朝+Y方向移动，将容器主体1在Y方向上进行定位。此外，盖开闭装置100具备保持部件17，该保持部件17用于限制被配置于规定位置P的第1容器3A或者第2容器3B脱离(朝-Y方向移动)。保持部件17被设置为前端侧朝向盖开闭装置100的内侧的状态。保持部件17例如具备未图示的突起部，该突起部由未图示的弹性部件朝向内侧弹性地支承。在第1容器3A或者第2容器3B被配置于规定位置P时，该突起部通过弹性部件而朝设置于凸缘部1d的台阶部1f(参照图4)的-Y侧突出，限制配置于规定位置P的第1容器3A或者第2容器3B朝-Y方向移动。另外，在图6、图7以及图9中省略保持部件17。
侧壁部12配置在载放台10的+X侧以及-X侧。侧壁部12与各载放台10一体地设置。在本实施方式中，在壳体101中，按照每个载放台10设置有能够对第1容器3A或者第2容器3B的入口部分进行开闭的闸门50、以及使闸门50进行开闭的闸门驱动机构60。闸门50被对置的两个侧壁部12夹持而配置，并从与闸门驱动机构60连结的连结部分悬吊(以悬臂支承于连结部分的状态)设置。在闸门50上分别设置有能够目视确认壳体101内的窗部50a。两个侧壁部12分别设置有槽部13，该槽部13对应于闸门50与闸门驱动机构60的连结部分移动的轨迹。槽部13被设置成朝上凸出的圆弧状。闸门50通过沿着槽部13移动，由此能够在开放位置与封闭位置之间移动。闸门驱动机构60配置在侧壁部12的外侧(壳体101的外侧)，使闸门50在开放位置与封闭位置之间移动。此外，与后述的第1盖开闭机构102以及第2盖开闭机构103同样，闸门驱动机构60配置在壳体101的一方(-X侧)的外侧。
在-X侧的侧壁部12设置有朝-X方向突出的被安装部14。被安装部14例如为板状，且沿着上下方向(Z方向)延伸。在被安装部14安装有后述的升降驱动部40(第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B)的一部分。在壳体101中的+Y侧的背面部15设置有开口部16(参照图2)。开口部16与载放于载放台10的第1容器3A以及第2容器3B分别对应地设置，在上下方向上设置在两处。
此外，第1容器3A以及第2容器3B所收纳的中间掩模R的取出或者中间掩模R向第1容器3A以及第2容器3B的载放，经由开口部16进行。开口部16被设置成中间掩模R以及输送中间掩模R的中间掩模输送部204(参照图11)的一部分能够通过的大小。此外，开口部16使来自壳体101内的空气(气体)通过。另外，在开口部16分别配置有后述的第1盖开闭机构102以及第2盖开闭机构103所具备的狭缝状的罩部32。该罩部32能够从开口部16退避。
第1盖开闭机构102对载放于载放台10上的规定位置P的第1容器3A的上盖2进行开闭。此外，第2盖开闭机构103对载放于载放台10上的规定位置P的第2容器3B的上盖2进行开闭。第1盖开闭机构102以及第2盖开闭机构103分别具有保持部20、突出部30以及升降驱动部40。保持部20、突出部30以及升降驱动部40针对上下的每个载放台10配置。在本实施方式中，通过与上侧的载放台10对应地设置的第1保持部20A、第1突出部30A以及第1升降驱动部40A构成第1盖开闭机构102。此外，通过与下侧的载放台10对应地设置的第2保持部20B、第2突出部30B以及第2升降驱动部40B构成第2盖开闭机构103。在以下的说明中，当在第1盖开闭机构102和第2盖开闭机构103中不区分各部的构成的情况下，将其分别简单记载为保持部20、突出部30、升降驱动部40。
保持部20(第1保持部20A以及第2保持部20B)具有下侧引导部21、上侧引导部24以及升降部件31。下侧引导部21相对于+X侧以及-X侧的各载放台10设置在上方。下侧引导部21沿着载放台10所延伸的方向配置。在第1容器3A以及第2容器3B被沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P时，下侧引导部21与设置于第1容器3A以及第2容器3B的卡止机构4的板部5a的下表面抵接，使该板部5a相对于容器主体1朝上方超过规定值地转动。下侧引导部21的上表面与板部5a的下表面抵接。
下侧引导部21在入口侧(-Y侧)的前端部分设置有倾斜面或者曲面。在本实施方式中，在下侧引导部21的-Y侧的前端部分设置有曲面22。通过设置曲面22，在插入第1容器3A以及第2容器3B时，板部5a与曲面22接触，由此能够在下侧引导部21上适当地引导板部5a。
下侧引导部21的里侧(+Y侧)的端部朝上方弯曲，并安装于后述的上侧引导部24。下侧引导部21的上表面的+Y侧朝向上方弯曲，并形成止挡件23。止挡件23与配置于规定位置P的第1容器3A以及第2容器3B的突出板2c的+Y侧的端部接触，由此限制第1容器3A以及第2容器3B从规定位置P进一步朝+Y方向移动。
上侧引导部24在两个下侧引导部21各自的上方、沿着下侧引导部21在Y方向上延伸设置。上侧引导部24与下侧引导部21平行地设置。此外，上侧引导部24的Y方向的长度比下侧引导部21的Y方向的长度长。在第1容器3A或者第2容器3B被沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P时，上侧引导部24在板部5a的上方与对置的上盖2的侧部2a的上表面抵接。通过设置上侧引导部24，在利用下侧引导部21使板部5a朝上方转动时，能够从上方按压上盖2。即，通过由上侧引导部24和下侧引导部21夹持侧部2a和板部5a，由此利用上侧引导部24来限制侧部2a(上盖2)朝上方移动，并且利用下侧引导部21使板部5a朝上方转动。
上侧引导部24相对于下侧引导部21在上下方向(Z方向)上隔开规定距离L地配置(参照图8)。该规定的距离L例如为如下距离：能够在下侧引导部21与上侧引导部24之间夹持上盖2的侧部2a和板部5a，抑制上盖2的上升，使板部5a相对于容器主体1朝上方超过规定值地转动(使板部5a的端部朝上方移动)，解除卡止机构4的卡止。此外，由于利用上侧引导部24的下表面按压上盖2的侧部2a的上表面，因此在利用下侧引导部21使板部5a朝上方转动时，能够限制上盖2朝上方移动，可靠地解除卡止机构4的卡止。此外，通过在下侧引导部21与上侧引导部24之间夹持上盖2的侧部2a和板部5a来保持上盖2。即，第1保持部20A以及第2保持部20B分别具备下侧引导部21以及上侧引导部24，由此作为上盖2的保持部发挥功能。此外，下侧引导部21的前端部分与上侧引导部24例如也可以经由托架来连结。下侧引导部21从止挡件23附近朝-Y方向延伸而以悬臂支承的方式设置。例如，通过托架将下侧引导部21的前端部分与上侧引导部24连结，由此能够提高下侧引导部21的刚性，防止下侧引导部21的前端部分下垂。
上侧引导部24例如安装于板状的升降部件31，并通过升降部件31的升降而进行升降。此外，安装于上侧引导部24的下侧引导部21通过上侧引导部24以及升降部件31的升降而进行升降。即，下侧引导部21以及上侧引导部24与升降部件31一体地升降。通过后述的升降驱动部40使升降部件31升降。关于升降驱动部40的驱动，例如，可以构成为，通过传感器等检测第1容器3A或者第2容器3B被配置于规定位置P的情况而通过未图示的控制装置等自动地进行，也可以构成为，通过作业者对未图示的操作盘进行操作(手动操作)来进行。
此外，在升降部件31的+Y侧的端部设置有狭缝状的罩部32。罩部32从升降部件31的+Y侧的端部朝向下方弯曲设置，且从升降部件31的端部下垂配置。罩部32确保壳体101内的气体流通(例如，流入或者流出)，并且在作业者将手伸入壳体101内时，限制手进一步伸入到中间掩模输送部204(参照图11等)工作的区域。另外，罩部32与升降部件31一体地升降，在升降部件31下降时配置在堵塞壳体101的开口部16的位置，在升降部件31上升时与升降部件31一起上升而从堵塞开口部16的位置退避(开口部16开放)。因而，在使上盖2与升降部件31一起上升时，能够从开口部16相对于容器主体1取出放入中间掩模R。
第1突出部30A设置于第1保持部20A的升降部件31。该第1突出部30A为沿着XY平面的板状，从升降部件31的-X侧端部朝-X方向(第1保持部20A的一侧)突出地设置。第1突出部30A朝-X方向贯通侧壁部12，并延伸至壳体101外侧。第2突出部30B设置于第2保持部20B的升降部件31。该第2突出部30B为沿着XY平面的板状，从升降部件31的-X侧端部朝-X方向即与第1突出部30A的突出方向相同的方向(第2保持部20B的一侧)突出地设置。第2突出部30B朝-X方向贯通侧壁部12，并延伸至壳体101外侧。第1突出部30A以及第2突出部30B的Y方向以及X方向的尺寸可以相同、也可以互不相同。在俯视时，第1突出部30A与第2突出部30B在Y方向上错开地配置。此外，第1突出部30A与第2突出部30B在Z方向上错开地配置。
此外，在-X侧的侧壁部12上设置有供第1突出部30A贯通的第1切口部12A、以及供第2突出部30B贯通的第2切口部12B。第1切口部12A为，从侧壁部12的上边的+Y侧的区域起对侧壁部12进行切口而朝向下方形成，Y方向的尺寸(宽度)在上下方向上一定。第1切口部12A的上下方向的尺寸被设定为包含第1突出部30A的升降范围。通过该第1切口部12A，第1突出部30A能够沿着第1切口部12A升降。
此外，第2切口部12B为，从侧壁部12的上下方向以及Y方向的大致中央部起朝向下方对侧壁部12进行切口而形成，Y方向的尺寸(宽度)在上下方向上一定。另外，第2切口部12B例如也可以形成为与用于使闸门50开闭的槽部13连续。第2切口部12B的上下方向的尺寸被设定为包含第2突出部30B的升降范围。通过该第2切口部12B，第2突出部30B能够沿着第2切口部12B升降。
升降驱动部40经由突出部30对保持部20进行悬臂支承并使其升降。升降驱动部40使保持有上盖2的保持部20(下侧引导部21以及上侧引导部24)相对于容器主体1升降。作为升降驱动部40，例如使用气缸装置或者液压缸装置等流体压力缸。在升降驱动部40中，第1升降驱动部40A使第1保持部20A升降。此外，第2升降驱动部40B使第2保持部20B升降。
第1升降驱动部40A具有缸主体41A、活塞杆42A以及移动部件43A。缸主体41A安装于被安装部14的+Y侧的第1面14A(参照图2)，该被安装部14从侧壁部12朝-X方向即与第1突出部30A以及第2突出部30B的突出方向相同的方向突出。活塞杆42A从缸主体41A朝向上方(+Z方向)突出。活塞杆42A根据相对于缸主体41A流入或者流出的流体的压力而在上下方向上移动。移动部件43A固定于活塞杆42A的上端(+Z侧端部)。移动部件43A固定于第1保持部20A的第1突出部30A。
通过移动部件43A(活塞杆42A)在上下方向上移动，由此经由第1突出部30A使第1保持部20A升降。该第1升降驱动部40A为，通过使活塞杆42A相对于缸主体41A朝上方移动(突出)而使第1保持部20A上升，通过使活塞杆42A相对于缸主体41A朝下方移动(缩入)而使第1保持部20A下降。
第2升降驱动部40B与第1升降驱动部40A在Y方向上相互相邻地配置。第2升降驱动部40B具有缸主体41B、活塞杆42B以及移动部件43B。缸主体41B安装于被安装部14的-Y侧的第2面14B(参照图1)。活塞杆42B从缸主体41B朝向下方(-Z方向)突出。活塞杆42B根据相对于缸主体41B流入或者流出的流体的压力而在上下方向上移动。移动部件43B固定于活塞杆42B的下端(-Z侧端部)。移动部件43B固定于第2保持部20B的第2突出部30B。
通过移动部件43B(活塞杆42B)在上下方向上移动，由此经由第2突出部30B使第2保持部20B升降。该第2升降驱动部40B为，通过使活塞杆42B相对于缸主体41B收缩而使第2保持部20B上升，通过使活塞杆42B相对于缸主体41B伸长而使第2保持部20B下降。
另外，第1升降驱动部40A的缸主体41A的上部与第2升降驱动部40B的缸主体41B的下部被配置为，在沿着水平方向(Y方向)观察时重叠。即，在沿着水平方向(Y方向)观察时，第1升降驱动部40A的缸主体41A与第2升降驱动部40B的缸主体41B的至少一部分重叠。因此，能够将第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B在上下方向上紧凑地配置。
图4是表示第1容器3A或者第2容器3B的一例的分解立体图。图5的(A)是解除了第1容器3A或者第2容器3B的卡止机构4的卡止的图，(B)是使上盖2相对于容器主体1朝上方移动了的图。第1容器3A与第2容器3B为相同构成。如图4以及图5所示，容器主体1例如为矩形的板状。容器主体1具有对矩形板状的中间掩模R进行支承的多个支承部1a。多个支承部1a分别配置在与中间掩模R的角部对应的4处。在各支承部1a上设置有定位部1b。定位部1b对中间掩模R的+Y侧以及-Y侧进行支承，防止中间掩模R的Y方向的位置偏移。此外，在容器主体1上设置有定位部1c。定位部1c对中间掩模R的+X侧以及-X侧进行支承，防止中间掩模R的X方向的位置偏移。另外，容器主体1中的中间掩模R的支承方法是任意的，并不限定于上述构成。
在容器主体1的+X侧和-X侧分别具有凸缘部1d。凸缘部1d沿着容器主体1的对置的两边形成。凸缘部1d沿着Y方向延伸，且与容器主体1的底部平行。凸缘部1d具有相对于底部沿着Z方向立起设置的侧部，从该侧部沿着X方向设置为凸缘状。该凸缘部1d相对于容器主体1的底部配置在上方。在凸缘部1d的一部分具有卡止部1e。卡止部1e在凸缘部1d中设置于长边方向即Y方向的大致中央部。此外，在凸缘部1d的边缘部，在+Y侧以及-Y侧设置有台阶部1f。在第1容器3A或者第2容器3B被配置于规定位置P时，该台阶部1f(+Y侧的台阶部1f)卡止于上述保持部件17(参照图3)的未图示的突出部，限制第1容器3A或者第2容器3B朝-Y方向移动。
上盖2具有侧部2a、侧壁部2b以及突出板2c。例如在俯视时，侧部2a向矩形状的顶板部的+X侧以及-X侧分别突出地设置。侧壁部2b在俯视时为矩形框状，沿着顶板部的外周设置。侧壁部2b被设置成在容器主体1中能够插入到两个凸缘部1d(立起设置于底部的一对侧部)之间的大小。突出板2c被设置成分别从侧壁部2b朝侧部2a的+Y侧向外侧突出。突出板2c的厚度尺寸被设定为，突出板2c能够插入到上述下侧引导部21与上侧引导部24之间。通过突出板2c的+Y侧端部与下侧引导部21的止挡件23接触，由此对载放台10上的第1容器3A以及第2容器3B的插入方向的位置进行规定。
此外，第1容器3A以及第2容器3B具有卡止机构4。卡止机构4具有卡止部件5、轴6以及弹性部件7。这些卡止部件5、轴6以及弹性部件7设置于上盖2。卡止部件5配置于侧部2a的下方。卡止部件5具有板部5a、下垂部5b以及爪部5c。板部5a沿着侧部2a在水平方向上延伸，相对于侧部2a隔开规定间隔地配置于下方。下垂部5b是从板部5a的侧壁部2b侧朝下方弯曲的部分。爪部5c设置于下垂部5b的下端，并卡止于容器主体1的卡止部1e。
轴6配置于板部5a的侧壁部2b侧，且以轴心方向成为Y轴方向的方式设置于上盖2(侧部2a)。轴6将卡止部件5支承为能够旋转。即，卡止部件5能够以轴6为中心旋转。换言之，板部5a被设置成能够围绕轴6转动，随着板部5a的转动而下垂部5b以及爪部5c相对于容器主体1(卡止部1e)的位置发生变化。当板部5a围绕轴6朝上方(+Z轴方向)转动时，下垂部5b以及爪部5c从容器主体1分离。当板部5a围绕轴6朝下方(-Z轴方向)转动时，下垂部5b以及爪部5c接近容器主体1。弹性部件7配置在板部5a与侧部2a之间。弹性部件7例如使用螺旋弹簧等，对板部5a施加朝下的弹性力。
如图5的(A)所示，在对板部5a朝上施加比弹性部件7的弹性力大的力的情况下，板部5a的端部朝接近侧部2a的方向转动，其结果，卡止部件5以轴6为中心转动。在板部5a相对于容器主体1朝上方超过规定值地转动了的情况下，或者在侧部2a的上表面与板部5a的端部的下表面之间的距离变得小于规定距离L(参照图8)的情况下，爪部5c从容器主体1分离，成为从卡止部1e脱离的状态。由于爪部5c从卡止部1e脱离，因此卡止机构4对上盖2的卡止被解除。在卡止机构4对上盖2的卡止被解除了的状态下，在俯视时爪部5c与卡止部1e不重叠。
如图5的(B)所示，在卡止机构4的卡止被解除了的状态下，通过使上盖2朝上方移动而使上盖2从容器主体1远离。其结果，上盖2被从容器主体1拆卸，第1容器3A以及第2容器3B成为打开的状态(能够取出或者载放中间掩模R的状态)。另外，在卡止机构4的卡止被解除了的状态下，即便使容器主体1下降，第1容器3A以及第2容器3B也成为打开的状态。另外，由于上盖2安装于容器主体1，且该第1容器3A以及第2容器3B被从载放台10取出(即板部5a从下侧引导部21远离)，因此板部5a被弹性部件7按压而朝下方转动，且使卡止部件5转动而使爪部5c接近容器主体1，由此返回到爪部5c卡止于卡止部1e的状态。
接着，使用图6至图9对在上述盖开闭装置100中配置第1容器3A或者第2容器3B并打开上盖2的动作的一例进行说明。另外，在图6至图9中，以一个第1容器3A或者第2容器3B为例进行说明。图6是表示将第1容器3A或者第2容器3B配置到载放台10上之前的状态的图。如图6所示，在一个载放台10的入口部分的近前侧(-Y侧)配置第1容器3A或者第2容器3B。该第1容器3A或者第2容器3B例如可以处于由作业者手持的状态，也可以处于由机械手等保持的状态。
第1容器3A或者第2容器3B例如被配置为凸缘部1d成为载放台10的高度。从该状态起，将第1容器3A或者第2容器3B朝+Y方向插入而配置于规定位置P。另外，在插入第1容器3A或者第2容器3B时，即使在凸缘部1d的高度低于载放台10的情况下，由于凸缘部1d与倾斜部11接触而被引导，因此也能够在将凸缘部1d载放于载放台10的状态下插入第1容器3A或者第2容器3B。当第1容器3A或者第2容器3B被插入时，卡止机构4的板部5a到达下侧引导部21的曲面22。该板部5a通过与曲面22接触而在下侧引导部21上被适当地引导。当板部5a在下侧引导部21上被引导时，板部5a成为通过下侧引导部21而朝上方转动了的状态。即，在将第1容器3A或者第2容器3B向规定位置P插入的中途，板部5a成为通过下侧引导部21而朝上方转动了的状态。
此外，当第1容器3A或者第2容器3B被插入时，上盖2的侧部2a与上侧引导部24接触而被引导。另外，在插入第1容器3A或者第2容器3B时，侧部2a开始与上侧引导部24接触的定时比板部5a开始被下侧引导部21引导的定时靠前。第1容器3A或者第2容器3B从插入的中途起，在侧部2a被上侧引导部24引导且板部5a被下侧引导部21引导的状态下插入至规定位置P。另外，在板部5a通过下侧引导部21而朝上方转动了的状态下，卡止机构4解除卡止。此外，第1容器3A或者第2容器3B被插入直到突出板2c与止挡件23接触为止。作业者通过将第1容器3A或者第2容器3B插入到停止(成为无法进一步压入的状态)为止，能够容易地将第1容器3A或者第2容器3B配置于规定位置P。
图7是表示将第1容器3A或者第2容器3B配置于规定位置P的状态的图。图8的(A)是将图7的主要部分放大表示的图。图8的(B)是在图7所示的状态下示意性地表示上盖2的卡止机构4的一例的图。如图7所示，在第1容器3A或者第2容器3B被配置于载放台10的规定位置P的状态下，侧部2a和板部5a被下侧引导部21和上侧引导部24夹持，上盖2由具备下侧引导部21和上侧引导部24的保持部20(第1保持部20A或者第2保持部20B)保持。
如图8的(A)以及(B)所示，成为上盖2两侧的板部5a由下侧引导部21引导，板部5a克服弹性部件7的弹性力而相对于容器主体1(第1容器3A或者第2容器3B)朝上方转动了的状态。此外，上盖2的侧部2a的上表面与上侧引导部24的下表面抵接。另外，在板部5a朝上方转动了时，对上盖2作用朝向上方的力。该力由上侧引导部24承接，因此上盖2的上下方向的位置被维持。如图8的(B)所示，下侧引导部21的上表面与上侧引导部24的下表面之间被设定为规定距离L。该规定距离L是使板部5a朝上方转动而解除卡止机构4的卡止所需要的距离。即，板部5a通过下侧引导部21朝上方转动直到成为规定距离L为止，由此能够可靠地解除卡止机构4的卡止。
此外，侧部2a朝上方的移动被上侧引导部24按压。因此，在使板部5a朝上方转动时，防止上盖2朝上方移动，能够可靠地使板部5a相对于容器主体1朝上方转动。通过该板部5a朝上方转动，由此卡止部件5以轴6为中心转动，爪部5c从容器主体1的卡止部1e脱离。其结果，卡止机构4的卡止被解除，能够使上盖2相对于容器主体1朝上方移动。另外，在第1容器3A或者第2容器3B被配置于规定位置P的期间，维持卡止机构4的卡止被解除了的状态。
图9是表示打开上盖2的动作的一例的图。通过升降驱动部40(第1升降驱动部40A、第2升降驱动部40B)使保持部20(第1保持部20A或者第2保持部20B)上升，由此如图9所示那样使下侧引导部21以及上侧引导部24上升。上盖2两侧的侧部2a以及板部5a夹持在下侧引导部21与上侧引导部24之间而被保持，因此通过下侧引导部21以及上侧引导部24上升，上盖2也相对于容器主体1上升。通过上盖2上升，容器主体1的上表面侧成为开放的状态，能够相对于容器主体1取出或者载放中间掩模R。
另外，在第1容器3A中，如上所述，通过使第1升降驱动部40A的活塞杆42A相对于缸主体41A伸长而使第1保持部20A上升。另一方面，在第2容器3B中，通过使第2升降驱动部40B的活塞杆42B相对于缸主体41B收缩而使第2保持部20B上升。
图10是表示搭载有上述盖开闭装置100的中间掩模出库入库装置200的一例的立体图。图11是图10中的平面A的截面图。图12是图10中的平面B的截面图。中间掩模出库入库装置200例如与中间掩模保管装置或者曝光装置等邻接地配置，在配置于盖开闭装置100的第1容器3A等与中间掩模R的保管区域或者使用了中间掩模R的处理区域之间输送中间掩模R。如图10以及图11所示，中间掩模出库入库装置200具有外壳201、风扇过滤单元202(以下，称作FFU202。)、盖开闭装置设置部203以及中间掩模输送部204。外壳201收纳FFU202、盖开闭装置设置部203以及中间掩模输送部204。
FFU202配置在外壳201内的上部。FFU202具有风扇202a以及未图示的过滤器。FFU202通过风扇202a的旋转而取入外壳201外的空气，并通过未图示的过滤器除去颗粒、水分等而送入到外壳201内。从FFU202送出的空气(清洁干燥空气)AR在外壳201内成为下降气流。
盖开闭装置设置部203在外壳201内设定在FFU202的下部。在盖开闭装置设置部203设置有上述盖开闭装置100。在本实施方式中，在盖开闭装置设置部203中上下地设置有两台盖开闭装置100，但并不限定于该方式，例如在盖开闭装置设置部203中也可以设置一台盖开闭装置100，还可以设置3台以上盖开闭装置100。另外，在盖开闭装置设置部203中设置两台盖开闭装置100的方式中，合计能够插入四个容器(第1容器3A或者第2容器3B)。各盖开闭装置100被设置为第1容器3A或者第2容器3B的插入侧面向外壳201的-Y侧的壁部的状态。
中间掩模输送部204在外壳201内设置在盖开闭装置100的+Y侧。中间掩模输送部204相对于配置于盖开闭装置100的第1容器3A或者第2容器3B进行中间掩模R的取出或者载放。中间掩模输送部204在与中间掩模出库入库装置200所邻接的中间掩模保管装置或者曝光装置等之间输送中间掩模R。中间掩模输送部204具有载放并支承中间掩模R的臂204a。
臂204a通过未图示的升降装置来进行升降，在成为对象的第1容器3A或者第2容器3B的高度停止之后，经由盖开闭装置100的壳体101的开口部16(参照图2)朝-Y方向移动到中间掩模R的下方，接着进行上升，由此能够将中间掩模R从第1容器3A或者第2容器3B抬起而输送至其他场所。
如图11所示，通过FFU202而成为下降气流的空气AR，在中间掩模输送部204中朝向下方流动，其一部分从盖开闭装置100的壳体101的开口部16流入壳体101内。此外，如图12所示，流入盖开闭装置100内部的空气AR朝+X方向以及-X方向流动而朝壳体101外排出。即，壳体101配置在存在空气AR流动的环境中，相对于壳体101来说，壳体101的一侧(配置有第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B的一侧)是空气AR流动的下游侧。
另外，流入壳体101内的空气AR，从设置于壳体101的-X侧的侧壁部12的第1切口部12A、第2切口部12B以及槽部13(参照图1)朝壳体101外排出，且比从设置于壳体101的+X侧的侧壁部12的槽部13朝壳体101外排出的空气AR的流量多。此外，虽然未图示，但壳体101内的空气AR的一部分还从壳体101与闸门50之间的间隙等朝壳体101外排出。
通过该空气AR的流动，壳体101内的第1容器3A以及第2容器3B周边被维持为清洁环境。此外，能够防止成为颗粒的产生源的第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B的设置区域(壳体101的一侧的区域)的空气进入壳体101内。并且，第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B被集中配置在壳体101的一侧，且在该一侧的侧壁部12设置有第1切口部12A以及第2切口部12B，因此空气AR在该一侧朝壳体101外排出，能够可靠且高效地防止由第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B产生的颗粒进入壳体101内。另外，朝壳体101外排出的空气AR从设置于外壳201的未图示的通气口等朝外部排出。
如以上那样，根据本实施方式的盖开闭装置100，第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B将第1保持部20A以及第2保持部20B分别悬臂支承地保持，且在壳体101的外侧相对于壳体101集中配置在一侧，因此能够紧凑地配置第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B，能够抑制装置的大型化。并且，成为颗粒的产生源的第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B相对于壳体101集中配置在一侧，因此通过防止配置有第1升降驱动部40A以及第2升降驱动部40B的区域的气体进入壳体101内，能够容易地维持第1容器3A以及第2容器3B周边的清洁环境。
以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述说明，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述实施方式中，以缸主体41A、41B安装于一个被安装部14的构成为例进行了说明，但并不限定于该构成。例如，缸主体41A、41B也可以直接安装于侧壁部12，还可以分别安装于设置于壳体101的两个被安装部14。
此外，在上述实施方式中，以缸主体41A、41B被配置为沿着水平方向观察至少一部分重叠的状态的构成为例进行了说明，但并不限定于该构成。例如，缸主体41A、41B可以配置为，沿着水平方向观察在上下方向上分离。
另外，有时省略在上述实施方式等中说明过的一个以上要件。此外，能够适当组合在上述实施方式等中说明过的要件。此外，只要法令允许，则可以将日本专利申请的特愿2019-030399以及在上述实施方式等中引用的全部文献的公开援用作为本文记载的一部分。
符号的说明
R：中间掩模；AR：空气；1：容器主体；2：上盖；3A：第1容器；3B：第2容器；4：卡止机构；10：载放台；14：被安装部；14A：第1面；14B：第2面；20：保持部；20A：第1保持部；20B：第2保持部；21：下侧引导部；24：上侧引导部；30：突出部；30A：第1突出部；30B：第2突出部；40：升降驱动部；40A：第1升降驱动部；40B：第2升降驱动部；41A、41B：缸主体；42A、42B：活塞杆；43A、43B：移动部件；50：闸门；60：闸门驱动机构；100：盖开闭装置；101：壳体；102：第1盖开闭机构；103：第2盖开闭机构；200：中间掩模出库入库装置；202：风扇过滤单元(FFU)；204：中间掩模输送部。

Claims (5)

1.一种盖开闭装置，具备：
壳体；
第1盖开闭机构，对配置在壳体内的第1容器的上盖进行开闭；以及
第2盖开闭机构，对在上述壳体内排列配置在上述第1容器下方的第2容器的上盖进行开闭，
上述第1盖开闭机构具有：第1保持部，保持上述第1容器的上盖；第1突出部，从上述第1保持部朝上述第1保持部的一侧突出地设置，并延伸到上述壳体外侧；以及第1升降驱动部，经由上述第1突出部对上述第1保持部进行悬臂支承而使其升降，
上述第2盖开闭机构具有：第2保持部，保持上述第2容器的上盖；第2突出部，从上述第2保持部朝上述一侧突出地设置，并延伸到上述壳体外侧；以及第2升降驱动部，经由上述第2突出部对上述第2保持部进行悬臂支承而使其升降，
上述第1升降驱动部以及上述第2升降驱动部在上述壳体的外侧相对于上述壳体配置在上述一侧。
2.根据权利要求1所述的盖开闭装置，其中，
上述第1升降驱动部与上述第2升降驱动部相邻地配置。
3.根据权利要求1或2所述的盖开闭装置，其中，
上述壳体配置在存在空气流动的环境中，
相对于上述壳体，上述一侧是上述空气流动的下游侧。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的盖开闭装置，其中，
上述第1升降驱动部以及上述第2升降驱动部分别是具有缸主体和活塞杆的流体压力缸，
上述第1升降驱动部被配置为使上述活塞杆朝向上方突出，
上述第2升降驱动部被配置为使上述活塞杆朝向下方突出，
沿着水平方向观察，上述第1升降驱动部的上述缸主体与上述第2升降驱动部的上述缸主体被配置为至少一部分重叠。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的盖开闭装置，其中，
从上述壳体朝上述一侧突出地设置有被安装部，
上述第1升降驱动部安装于上述被安装部的一面侧，
上述第2升降驱动部安装于上述被安装部的与上述一面侧相反一侧的另一面侧。
CN202080015694.XA 2019-02-22 2020-01-20 盖开闭装置 Active CN113474267B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-030399 2019-02-22
JP2019030399 2019-02-22
PCT/JP2020/001661 WO2020170671A1 (ja) 2019-02-22 2020-01-20 蓋開閉装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113474267A true CN113474267A (zh) 2021-10-01
CN113474267B CN113474267B (zh) 2022-09-20

Family

ID=72144203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202080015694.XA Active CN113474267B (zh) 2019-02-22 2020-01-20 盖开闭装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11961752B2 (zh)
EP (1) EP3929118A4 (zh)
JP (1) JP7127731B2 (zh)
CN (1) CN113474267B (zh)
TW (1) TWI814990B (zh)
WO (1) WO2020170671A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7139726B2 (ja) 2018-06-28 2022-09-21 いすゞ自動車株式会社 制御装置及び、制御方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05175321A (ja) * 1991-07-12 1993-07-13 Canon Inc 板状物収納容器およびその蓋開口装置
JPH09167792A (ja) * 1995-10-09 1997-06-24 Canon Inc ステージ装置およびリニアモータ、ならびに前記ステージ装置を用いた露光装置およびデバイス生産方法
JP2001291765A (ja) * 2000-04-10 2001-10-19 Tokyo Electron Ltd 基板収容ボックス及び処理システム
JP2002009133A (ja) * 2000-06-26 2002-01-11 Canon Inc 基板搬送装置
JP2002170860A (ja) * 2000-11-30 2002-06-14 Hirata Corp 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ
CN1761045A (zh) * 2004-10-14 2006-04-19 未来儿株式会社 薄板支承容器用夹紧装置
DE102006019644A1 (de) * 2005-04-28 2006-11-02 Toshiba Kikai K.K. Übertragungseinrichung mit einem Kardangelenkmechanismus und Übertragungsverfahren unter Verwendung der Übertragungseinrichtung
JP2007141924A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 Nikon Corp マスク収納容器開装置、露光装置
JP2008251921A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Fujifilm Corp 基板アライメント装置及び方法並びに描画装置
JP2015093696A (ja) * 2013-11-12 2015-05-18 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 基板ケース分離合体装置及び基板ケース洗浄装置
CN107352111A (zh) * 2017-05-22 2017-11-17 正业包装（中山）有限公司 一种旋转开箱折纸包装结构
CN107431036A (zh) * 2015-04-10 2017-12-01 信越聚合物株式会社 基板收纳容器

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5895812A (ja) * 1981-12-01 1983-06-07 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 基板の収納容器及び収納容器の装着装置
JPH0758192A (ja) * 1993-08-12 1995-03-03 Nikon Corp 基板収納ケース
US7258520B2 (en) * 2002-08-31 2007-08-21 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for using substrate carrier movement to actuate substrate carrier door opening/closing
JP4343241B2 (ja) * 2007-07-30 2009-10-14 Ｔｄｋ株式会社 収容容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法
KR101564583B1 (ko) * 2008-08-14 2015-10-30 주성엔지니어링(주) 로드락 챔버 및 그를 포함하는 기판처리장비
WO2013005363A1 (ja) * 2011-07-06 2013-01-10 平田機工株式会社 容器開閉装置
TWM453953U (zh) * 2013-02-01 2013-05-21 Prov Technology Corp 晶圓承載盒之啓閉設備
JP6917240B2 (ja) 2017-08-07 2021-08-11 花王株式会社 吸収性物品

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05175321A (ja) * 1991-07-12 1993-07-13 Canon Inc 板状物収納容器およびその蓋開口装置
JPH09167792A (ja) * 1995-10-09 1997-06-24 Canon Inc ステージ装置およびリニアモータ、ならびに前記ステージ装置を用いた露光装置およびデバイス生産方法
JP2001291765A (ja) * 2000-04-10 2001-10-19 Tokyo Electron Ltd 基板収容ボックス及び処理システム
JP2002009133A (ja) * 2000-06-26 2002-01-11 Canon Inc 基板搬送装置
JP2002170860A (ja) * 2000-11-30 2002-06-14 Hirata Corp 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ
CN1761045A (zh) * 2004-10-14 2006-04-19 未来儿株式会社 薄板支承容器用夹紧装置
DE102006019644A1 (de) * 2005-04-28 2006-11-02 Toshiba Kikai K.K. Übertragungseinrichung mit einem Kardangelenkmechanismus und Übertragungsverfahren unter Verwendung der Übertragungseinrichtung
JP2007141924A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 Nikon Corp マスク収納容器開装置、露光装置
JP2008251921A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Fujifilm Corp 基板アライメント装置及び方法並びに描画装置
JP2015093696A (ja) * 2013-11-12 2015-05-18 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 基板ケース分離合体装置及び基板ケース洗浄装置
CN107431036A (zh) * 2015-04-10 2017-12-01 信越聚合物株式会社 基板收纳容器
CN107352111A (zh) * 2017-05-22 2017-11-17 正业包装（中山）有限公司 一种旋转开箱折纸包装结构

Also Published As

Publication number Publication date
TWI814990B (zh) 2023-09-11
TW202039334A (zh) 2020-11-01
CN113474267B (zh) 2022-09-20
WO2020170671A1 (ja) 2020-08-27
EP3929118A1 (en) 2021-12-29
US11961752B2 (en) 2024-04-16
US20220172974A1 (en) 2022-06-02
EP3929118A4 (en) 2022-10-26
JPWO2020170671A1 (ja) 2021-12-23
JP7127731B2 (ja) 2022-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2840599B1 (en) Accommodating container and wafer stocker using same
TW446993B (en) Semiconductor wafer processing apparatus having improved wafer input/output handling system
US8777540B2 (en) Apparatus for storing contamination-sensitive flat articles, in particular for storing semiconductor wafers
KR20170054427A (ko) 로드 포트 및 로드 포트의 분위기 치환 방법
JP4664264B2 (ja) 検出装置及び検出方法
JPH11145245A (ja) 基板処理装置
TWI616386B (zh) Cover opening and closing device
CN113474267B (zh) 盖开闭装置
JP2019054075A (ja) 部品実装装置、ノズル交換台設置方法及びノズル交換台取出し方法
KR20080021563A (ko) 처리 장치 및 처리 방법
JP2013058510A (ja) ノズル交換用治具およびノズル交換方法
JP3845585B2 (ja) 処理装置
KR101463135B1 (ko) 방향 조정 장치 및 방향 조정 방법
CN113454007B (zh) 盖开闭装置
JPS62195143A (ja) 基板の高速変換装置及び方法
JP2002164406A (ja) 処理装置
US20040126206A1 (en) Mini-environment system and operating method thereof
JP2004296646A (ja) 基板処理装置
JP2014029891A (ja) 半導体製造装置
JP5187565B2 (ja) ポッド開閉装置
JP2013161837A (ja) 半導体製造装置、基板移載装置及び半導体装置の製造方法
JPH11340296A (ja) 基板搬出搬入装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant