KR101463135B1 - 방향 조정 장치 및 방향 조정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 방향 조정 장치를 구비하는 클린 스토커(100)는, 외부 장치에 대한 물품의 삽입 방향이 미리 정해지고, 또한 물품이 재치된 상태의 재치대가 외부 장치에 삽입되는 방향이 미리 정해져 있는 경우에 있어서, 재치대를 선회시키는 선회 장치와, 물품을 그 방향을 변경시키지 않고 유지하는 레티클 반송 장치(120)와, 선회 장치 및 레티클 반송 장치(120)를 제어하는 컨트롤러(180)를 구비한다. 그리고 컨트롤러(180)는, 선회 장치에 유지되어 있는 재치대로부터 이격시킨 상태로 물품을 유지시키고, 물품이 이격된 상태의 재치대를 초기 위치로부터 목적 위치까지 선회시키며, 목적 위치까지 선회한 재치대에 물품을 재치하고, 물품이 재치된 상태의 재치대를 목적 위치로부터 초기 위치까지 선회시킨다.

Description

방향 조정 장치 및 방향 조정 방법{ORIENTATION ADJUSTMENT DEVICE, AND ORIENTATION ADJUSTMENT METHOD}
본 발명은 물품(荷物)과, 해당 물품을 재치하는 재치대(載置臺)의 상대적인 방향을 조정하기 위한 방향 조정 장치에 관한 것이다.
종래의 노광 장치는, 레티클에 묘화(描畵)된 회로 패턴을 반도체 소자에 전사함으로써 전자 부품을 제조해 왔다. 이때, 레티클은 오염을 방지하기 위해 포드(Pod)에 수납된 상태로 노광 장치에 삽입된다. 또한, 노광 장치에 대한 레티클의 삽입 방향은 기종에 따라 다르다. 보다 구체적으로는, 노광 장치에 대한 레티클의 삽입 방향이 미리 정해지고, 또한 레티클이 수납된 상태의 포드가 노광 장치에 삽입되는 방향이 미리 정해져 있다.
이 때문에, 종래의 레티클 보관고 등에는, 노광 장치의 기종에 따라 포드 내부의 레티클의 방향을 조정하기 위한 기구가 설치되어 있다. 구체적으로는, 포드 오프너 내부의 포드로부터 레티클을 꺼내어, 턴테이블에 의해 레티클을 소정의 각도만큼 회전시키고, 레티클을 다시 포드 오프너 내의 포드에 수납하는 기구가 방향 조정 장치로서 설치된 레티클 보관고가 존재한다.
일본 특허 공개 공보 제2008-30914호
그러나, 상기의 기구에 따르면, 레티클을 포드 오프너로부터 턴테이블까지 이동시키고, 회전시킨 후에 다시 턴테이블로부터 포드 오프너까지 이동시킬 필요가 생긴다. 그 결과, 포드 오프너와 턴테이블의 사이에서 레티클을 이재(移載)하는 처리에 많은 시간이 소요된다는 과제가 있다.
이에, 본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 단시간에 적은 공정으로 물품과 해당 물품을 재치(載置)하는 재치대의 상대적인 방향을 조정할 수 있는 방향 조정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 형태에 관한 방향 조정 장치는, 외부 장치에 대한 물품의 삽입 방향이 미리 정해지고, 또한 상기 물품이 재치된 상태의 재치대가 외부 장치에 삽입되는 방향이 미리 정해져 있는 경우에 있어서, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 조정하는 장치이다. 구체적으로는, 상기 재치대를 선회시키는 선회 장치와, 상기 물품을 그 방향을 변경시키지 않고 유지시키는 유지 장치와, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 미리 정해진 방향으로 조정하기 위하여, 상기 선회 장치 및 상기 유지 장치를 제어하는 컨트롤러를 구비한다. 그리고 상기 컨트롤러는, 상기 유지 장치에 의해, 상기 선회 장치에 유지되어 있는 상기 재치대로부터 이격시킨 상태로 상기 물품을 유지시키고, 상기 선회 장치에 의해, 상기 물품이 이격된 상태의 상기 재치대를 초기 위치로부터 목적 위치까지 선회시키며, 상기 유지 장치에 의해, 상기 목적 위치까지 선회한 상기 재치대에 상기 물품을 재치시키고, 상기 선회 장치에 의해, 상기 물품이 재치된 상태의 상기 재치대를 상기 목적 위치로부터 상기 초기 위치까지 선회시킨다.
상기 구성에 따르면, 종래와 같이 물품을 다른 장소로 이재할 필요가 없어지기 때문에, 이재에 필요한 사이클 타임을 삭감할 수 있다. 그 결과, 단시간에 적은 공정으로 물품과 재치대의 상대적인 방향을 조정할 수가 있다.
또, 상기 유지 장치는, 상기 물품을 유지한 상태로 상하 방향으로 이동하며, 상기 재치대로부터 소정의 거리만큼 상방으로 이격된 유지 위치에서 상기 물품을 유지시켜도 무방하다. 이로써, 재치대를 선회시킨 후에 물품을 다시 재치할 때, 위치결정 등의 공정이 불필요해지기 때문에, 더욱 단시간에 적은 공정으로 방향을 조정할 수가 있다.
더욱이, 상기 컨트롤러는, 상기 유지 장치에 의해 상기 물품이 상기 재치대로부터 이격된 후이면서, 또한 상기 유지 장치에 도달하기 전에, 상기 재치대의 상기 초기 위치로부터 상기 목적 위치로의 선회를 상기 선회 장치에 의해 개시하도록 하여도 무방하다. 이와 같이, 물품을 재치대로부터 이격시키는 공정과, 재치대를 선회시키는 공정을 병렬로 수행함으로써, 더욱 단시간에 적은 공정으로 방향을 조정할 수가 있다.
또, 상기 방향 조정 장치는, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 확인하는 방향 확인 장치를 구비하여도 무방하다. 그리고 상기 컨트롤러는, 상기 선회 장치로 상기 재치대를 상기 초기 위치까지 선회시킨 후에, 상기 방향 확인 장치에 의해 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 확인시켜도 무방하다. 이로써, 물품과 재치대의 상대적인 방향을 확인하고 나서 후공정으로 송출할 수가 있다.
본 발명의 일 형태에 관한 방향 조정 방법은, 외부 장치에 대한 물품의 삽입 방향이 미리 정해지고, 또 상기 물품이 재치된 상태의 재치대가 외부 장치에 삽입되는 방향이 미리 정해져 있는 경우에 있어서, 상기 재치대를 선회시키는 선회 장치와, 상기 물품을 그 방향을 변경시키지 않고 유지시키는 유지 장치를 구비하는 방향 조정 장치가, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 조정하는 방법이다. 구체적으로는, 방향 조정 방법은, 상기 유지 장치가, 상기 선회 장치에 유지되어 있는 상기 재치대로부터 이격시킨 상태로 상기 물품을 유지시키는 단계와, 상기 선회 장치가, 상기 물품이 이격된 상태의 상기 재치대를 초기 위치로부터 목적 위치까지 선회시키는 단계와, 상기 유지 장치가, 상기 목적 위치까지 선회한 상기 재치대에 상기 물품을 재치하는 단계와, 상기 선회 장치가, 상기 물품이 재치된 상태의 상기 재치대를 상기 목적 위치로부터 상기 초기 위치까지 선회시키는 단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 종래와 같이 물품을 다른 곳으로 이재할 필요가 없게 되므로, 단시간에 적은 공정으로 물품과 재치대의 상대적인 방향을 조정할 수가 있다.
도 1은 실시 형태에 관한 클린 스토커(clean stocker)의 정면도이다.
도 2는 도 1의 II-II의 단면도이다.
도 3은 도 1의 III-III의 단면도이다.
도 4는 방향 조정 처리를 나타내는 플로우 차트이다.
도 5는 포드 오프너 내부의 측면도로서, S11의 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 포드 오프너 내부의 측면도로서, S12의 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 포드 오프너 내부의 평면도로서, S13의 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 포드 오프너 내부의 측면도로서, S14의 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 포드 오프너 내부 평면도로서, S15의 상태를 나타내는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
우선, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 관한 방향 조정 장치를 포함하는 클린 스토커(100)의 구성을 설명한다. 또한, 도 1은 실시 형태에 관한 클린 스토커(100)의 정면도이다. 도 2는 도 1의 II-II의 단면도이다. 도 3은 도 1의 III-III의 단면도이다.
클린 스토커(100)는, 반도체 공장 또는 액정 공장 등의 클린룸 내에 설치되는 것으로서, 반도체 또는 액정 기판의 노광용 레티클(물품)과, 레티클을 수납하는 포드(용기)가 별개로 보관된다. 또한, 노광 장치(외부 장치)에 대한 레티클의 삽입 방향은 미리 정해지고, 또 레티클이 재치(載置)된 상태의 포드가 노광 장치에 삽입되는 방향은 미리 정해져 있는 것으로 한다.
구체적으로는 클린 스토커(100)는, 회전 선반(110), 레티클 반송 장치(120), 포드 반송 장치(130), 포드 오프너(Pod opener; 140), OHT 자동 로드 포트(Auto load port; 150), 수동 로드 포트(160), 팬 필터 유닛(FFU; 170), 컨트롤러(180)를 주로 구비한다. 또한, 회전 선반(110)은, 상하 다단(多段)의 다수의 단을 구비하며, 상측으로부터 순서대로 레티클용 회전 선반(111), 빈 포드용 회전 선반(112)으로 구분되어 있다.
또한, 본 발명의 일 형태에 관한 방향 조정 장치는, 예컨대, 클린 스토커(100)의 구성 요소 중, 선회 장치로서 기능하는 포드 오프너(140, 보다 구체적으로는 후술하는 재치부(142))와, 유지 장치로서 기능하는 레티클 반송 장치(120)와, 컨트롤러(180)로 구성된다. 각 부의 구성 및 동작에 대해서는 후술한다.
레티클용 회전 선반(111)은, 반도체 또는 액정 기판의 노광용 레티클을 보관하는 선반이다. 빈 포드용 회전 선반(112)은, 레티클이 수납되지 않은 빈 포드(이하 「빈 포드」로 표기한다)를 보관하는 선반이다. 또한, 빈 포드용 회전 선반(112)에서의 포드의 보관 수는, 레티클용 회전 선반(111)에서의 레티클의 보관 수보다 적어도 무방하며, 예컨대, 1/10 ~ 1/100 정도로 하여도 무방하다.
레티클용 회전 선반(111) 및 빈 포드용 회전 선반(112)은, 각각이 일체로서 회전하며, 각 단(段)은 독립적으로 회전하지 않도록 하여도 무방하다. 또는, 수납물의 출입을 보다 고속으로 수행하기 위하여, 각 선반을 상하 복수의 블록으로 더욱 분할하여, 블록마다 독립적으로 회전하게 하여도 무방하다.
레티클 반송 장치(120)는, 클린 스토커(100) 내부의 전면(前面) 일방측(도 1에서는 마주하고 좌측)에 설치되어 있다. 상기 레티클 반송 장치(120)는 레티클용 회전 선반(111)과 포드 오프너(140)의 사이에서 레티클을 반송하거나, 포드 오프너(140) 내에서 레티클의 위치를 이동시키거나 한다.
보다 구체적으로는, 레티클 반송 장치(120)는, 2단의 아암(121, 122)의 선단에 핸드(123)를 설치한 것으로, 수평면 내에서 동작하는 3개의 관절(124, 125, 126)을 갖는다. 또한, 레티클 반송 장치(120)는 승강 가이드(127)를 따라 승강한다. 즉, 레티클 반송 장치(120)는, 승강 가이드(127)의 범위 내에서 상하로 승강하고, 또한 각 관절(124, 125, 126)을 독립적으로 동작시킴으로써, 2단의 아암(121, 122)으로 도달할 수 있는 범위 내에서, 임의의 방향으로 레티클을 반송할 수 있다.
포드 반송 장치(130)는, 클린 스토커(100) 내부의 전면 타방측(도 1에서는 마주하고 우측)에 설치되어 있다. 상기 포드 반송 장치(130)는, 빈 포드용 회전 선반(112)과 포드 오프너(140)의 사이에서 빈 포드를 반송하거나, 포드 오프너(140)와 OHT 자동 로드 포트(150)의 사이, 및 포드 오프너(140)와 수동 로드 포트(160)의 사이에서 레티클이 수납되어 있는 포드(이하 「레티클 수납 포드」라 표기함)를 반송하거나 한다.
보다 구체적으로는, 포드 반송 장치(130)는, 2단의 아암(131, 132)의 선단에 핸드(133)를 설치한 것으로서, 수평면 내에서 동작하는 3개의 관절(134, 135, 136)을 갖는다. 또한, 포드 반송 장치(130)는 승강 가이드(137)를 따라 승강한다. 즉, 상기 포드 반송 장치(130)는, 승강 가이드(137)의 범위 내에서 상하로 승강하며, 또한 각 관절(134, 135, 136)을 독립적으로 동작시킴으로써, 2단의 아암(131, 132)으로 도달할 수 있는 범위 내에서 임의의 방향으로 포드를 반송할 수 있다.
포드 오프너(140)는, 클린 스토커(100) 내부의 전면 중앙부, 즉, 레티클 반송 장치(120) 및 포드 반송 장치(130)의 사이에 배치되어, 레티클을 빈 포드에 수납하거나, 레티클 수납 포드로부터 레티클을 꺼내거나, 레티클과 포드의 상대적인 방향을 조정하는 데 이용된다. 처리의 구체적인 내용은 후술한다.
OHT 자동 로드 포트(150)는, 클린 스토커(100)의 전면 상부에 설치된 천정 주행차용 로드 포트로서, 도시되지 않은 천정 주행차와의 사이에서 레티클 수납 포드의 입출고를 수행하는 인터페이스이다. 수동 로드 포트(160)는, 클린 스토커(100)의 전면 하부에 설치된 작업자용 로드 포트이며, 작업자와의 사이에서 레티클 수납 포드의 입출고를 수행하는 인터페이스이다.
컨트롤러(180)는, 클린 스토커(100)의 각 가동부를 제어한다. 예컨대, 회전 선반(110)을 소정의 위치로 회전시키거나, 레티클 반송 장치(120) 및 포드 반송 장치(130)의 동작을 제어하거나 한다. 자세한 내용은 후술한다. 또한, 컨트롤러(180)는, 프로그램을 로드하여 소정의 처리를 실행하는 CPU(Central Processing Unit)여도 무방하며, 소정의 기능을 실현하는 집적 회로여도 무방하다.
다음으로, 상기 구성의 클린 스토커(100)의 기본적인 동작을 설명한다.
먼저, 레티클 수납 포드를 입고할 경우, 천정 주행차에 의해 레티클 수납 포드가 OHT 자동 로드 포트(150)에 반입되거나, 또는 작업자에 의해 레티클 수납 포드가 수동 로드 포트(160)에 반입된다. 다음으로, 반입된 레티클 수납 포드는, 포드 반송 장치(130)에 의해 포드 오프너(140)에 이재(移載)되고, 레티클과 빈 포드로 분리된다. 그리고 레티클은, 레티클 반송 장치(120)에 의해 레티클용 회전 선반(111)에 수납되며, 빈 포드는 포드 반송 장치(130)에 의해 빈 포드용 회전 선반(112)에 수납된다.
한편, 레티클 수납 포드를 출고할 경우, 출고해야 할 레티클이 레티클 반송 장치(120)에 의해 레티클용 회전 선반(111)으로부터 포드 오프너(140)로 이재되고, 빈 포드가 포드 반송 장치(130)에 의해 빈 포드용 회전 선반(112)으로부터 포드 오프너(140)로 이재된다. 포드 오프너(140)에 반입된 레티클은 빈 포드에 수납되고, 포드 반송 장치(130)에 의해 OHT 자동 로드 포트(150) 또는 수동 로드 포트(160)로 이재되어 출고된다.
다음으로, 도 4 ~ 도 9를 참조하여 레티클 반송 장치(120), 포드 반송 장치(130) 및 포드 오프너(140)를 이용하여, 레티클과 포드의 상대적인 방향을 조정하는 방향 조정 처리를 설명한다. 도 4는 방향 조정 처리를 나타내는 플로우 차트이다. 또한, 도 4의 각 처리는 컨트롤러(180)에 의해 제어된다.
먼저, 포드 오프너(140)에 레티클 수납 포드가 재치된다(S11). 예컨대, 출고되는 레티클(230)이 레티클 반송 장치(120)에 의해 레티클용 회전 선반(111)으로부터 포드 오프너(140)로 이재되고, 빈 포드(200)가 포드 반송 장치(130)에 의해 빈 포드용 회전 선반(112)으로부터 포드 오프너(140)로 이재되어, 포드 오프너(140) 내에서 레티클(230)이 포드(200)에 수납된다.
도 5를 참조하여, 포드 오프너(140) 및 포드(200)에 대해 자세히 설명한다. 또한, 도 5는 포드 오프너(140) 내부의 측면도로서, 도 4의 S11의 상태를 나타내는 도면이다.
먼저, 포드(200)는, 상하로 분리될 수 있는 커버(210) 및 도어(220)로 구성된다. 그리고 포드(200)는, 도어(220)의 상면으로부터 돌출되는 복수의 돌기(221)에 의해 레티클(230)을 지지하고, 커버(210)에 의해 레티클(230)을 덮음으로써, 내부에 레티클(230)을 수납한다.
포드 오프너(140)는, 커버(210)를 걸어 고정하는 걸림 고정부(141)와, 도어(220)를 재치하는 재치부(142)로 구성된다. 또한, 재치부(142)는, 도어(220)가 재치되어 있는 상태에서 상하로 승강하는 승강 장치로서 기능하는 동시에, 수평면 내를 선회하는 선회 장치로서도 기능한다.
포드 오프너(140)의 상면에는 개구가 형성되어 있다. 그리고 걸림 고정부(141)는, 개구의 둘레 가장자리부에 설치된다. 또, 재치부(142)는, 포드 오프너(140)의 내부이면서, 또한 상면에 형성된 개구에 대면하는 위치에 설치되어 있다. 포드 오프너(140)의 상면과 재치부(142)의 재치면(상면)은, 재치부(142)가 가장 상승했을 때, 동일 평면 위에 위치하게 된다. 그리고 포드(200)는, 가장 상승한 상태의 재치부(142)에 재치된다. 이로써, 포드 오프너(140)의 개구가 포드(200)에 의해 폐쇄된다.
도 6은 포드 오프너(140) 내부의 측면도로서, 도 4의 S12의 상태를 나타내는 도면이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 포드(200)를 재치한 상태의 재치부(142)가 하강하면, 도어(220)는 재치부(142)와 함께 하강하고, 커버(210)는 걸림 고정부(141)에 걸림 고정되어, 커버(210)와 도어(220)가 분리된다.
그리고, 유지 장치로서의 레티클 반송 장치(120)는, 레티클(230)을 유지시킨 상태에서 승강 가이드(127)를 따라 승강함으로써, 레티클(230)을 도어(220)로부터 상방으로 소정의 거리만큼 이격된 유지 장치에 유지시킨다. 이때, 레티클 반송 장치(120)는, 레티클(230)의 방향을 변경하지 않고 유지하고 있는 것으로 한다.
도 7은 포드 오프너(140) 내부의 평면도로서, 도 4의 S13의 상태를 나타내는 도면이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 선회 장치로서의 재치부(142)는, 레티클(230)이 이격된 상태의 도어(220)를 초기 위치로부터 목적 위치까지 선회시킨다(S13). 초기 위치로부터 목적 위치까지의 선회 각도는 특별히 한정되지 않지만, 예컨대 반시계방향으로 180° 선회시킨다.
도 8은 포드 오프너(140) 내부의 측면도로서, 도 4의 S14의 상태를 나타내는 도면이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 레티클 반송 장치(120)는, 승강 가이드(127)를 따라 하강함으로써, 목적 위치까지 선회한 도어(220)에 레티클(230)을 재치한다. 여기서, 레티클(230)은 레티클 반송 장치(120)에 의해 방향이 변경되지 않고 유지되어 있었던 데 대하여, 도어(220)는 재치부(142)에 의해 선회되었기 때문에, 레티클(230)과 도어(220)의 상대적인 방향이 변화된 것이 된다.
도 9는 포드 오프너(140) 내부의 평면도로서, 도 4의 S15의 상태를 나타내는 도면이다. 재치부(142)는, 레티클(230)이 재치된 상태의 도어(220)를 목적 위치로부터 초기 위치까지 선회시킨다(S15). 즉, 상기 예에서는, 시계 방향으로 180° 선회시킨다. 이로써, 레티클(230)의 좌측 하방 모서리에 위치하는 마커(231)가 우측 상방 모서리(파선 프레임으로 나타낸 위치)로 이동하도록 레티클(230)이 도어(220)와 함께 선회한다. 또, 마커(231)로서는, 레티클(230)의 방향을 특정할 수 있는 모든 것을 이용할 수 있으며, 예컨대, 레티클(230)을 식별하기 위한 바코드 등이어도 무방하다.
상기 방법에 따르면, 포드 오프너(140) 내에서, 레티클(230)과 포드(200)의 상대적인 방향을 조정할 수 있다. 즉, 레티클(230) 및 포드(200)를 포드 오프너(140)로부터 꺼내어 다른 장소로 이재할 필요가 없게 되므로, 이재에 필요한 사이클 타임을 삭감할 수 있다. 그 결과, 단시간에 적은 공정으로 레티클(230)과 포드(200)의 상대적인 방향을 조정할 수가 있다.
또한, 도 4의 S12 및 S13에 있어서, 레티클 반송 장치(120)가 레티클(230)을 유지한 상태로 유지 위치까지 상승한 후, 재치부(142)가 선회를 개시하여도 무방하다. 그러나 방향 조정 처리의 처리 시간을 더욱 단축한다는 관점에서, 컨트롤러(180)는, 레티클 반송 장치(120)에 의해 레티클(230)이 도어(220)로부터 이격된 후이면서, 또한 유지 위치에 도달하기 전에, 도어(220)의 초기 위치로부터 목적 위치로의 선회를 재치부(142)가 개시하도록 하여도 무방하다.
또한, 클린 스토커(100)는, 레티클(230)과 도어(220)의 상대적인 방향을 확인하는 방향 확인 장치(도시 생략)를 더욱 구비하여도 무방하다. 그리고 컨트롤러(180)는 재치부(142)에 의해 도어(220)를 초기 위치까지 선회시킨 후에, 방향 확인 장치에 의해 레티클(230)과 도어(220)의 상대적인 방향을 확인하도록 해도 된다.
보다 구체적으로는, 방향 확인 장치는, 레티클(230)을 상방으로부터 촬영하는 카메라를 구비하여도 무방하다. 그리고 도 4의 S15 후에, 레티클 반송 장치(120)에 의해 레티클(230)을 포드(200)로부터 꺼내 카메라로 촬영하여, 마커(231)가 미리 정해진 소정의 위치에 있는지 여부를 확인하는 것이어도 무방하다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 클린 스토커(100) 내에서 레티클(230)과 포드(200)의 상대적인 방향을 조정하는 예를 설명하였으나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예컨대, 클린 스토커(100)의 외부에 독립적으로 설치되어, 레티클(230)과 포드(200)의 상대적인 방향을 조정하는 레티클 방향 조정 장치도 본 발명에 포함된다.
나아가, 레티클(230)과 포드(200)의 상대적인 방향을 조정하는 것으로 한정되지 않고, 모든 물품과 해당 물품이 재치되는 재치대의 상대적인 방향을 조정하는 방향 조정 장치도 본 발명에 포함된다. 예컨대, 액정 패널과 상기 액정 패널을 재치하는 팰릿의 상대적인 방향을 조정하는 것이어도 무방하다.
이상, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태를 설명하였으나, 본 발명은 도시된 실시 형태의 것으로 한정되지 않는다. 도시된 실시 형태에 대하여, 본 발명과 동일한 범위 내에서, 혹은 균등한 범위 내에서 각종 수정이나 변형을 부가할 수 있다.
본 발명은, 물품과, 해당 물품을 재치하는 재치대의 상대적인 방향을 조정하기 위한 방향 조정 장치에 유리하게 이용된다.
100; 클린 스토커
110; 회전 선반
111; 레티클용 회전 선반
112; 빈 포드용 회전 선반
120; 레티클 반송 장치
121, 122, 131, 132; 아암
123, 133; 핸드
124, 125, 126, 134, 135, 136; 관절
127, 137; 승강 가이드
130; 포드 반송 장치
140; 포드 오프너
141; 걸림 고정부
142; 재치(載置)부
150; OHT 자동 로드 포트
160; 수동 로드 포트
170; 팬 필터 유닛
180; 컨트롤러
200; 포드
210; 커버
220; 도어
221; 돌기
230; 레티클
231; 마커

Claims (5)

  1. 외부 장치에 대한 물품의 삽입 방향이 미리 정해지고, 또한 상기 물품이 재치된 상태의 재치대가 외부 장치에 삽입되는 방향이 미리 정해져 있는 경우에 있어서, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 조정하는 방향 조정 장치로서,
    상기 재치대를 선회시키는 선회 장치와,
    상기 물품을 그 방향을 변경시키지 않고 상기 재치대의 상방에서 유지하는 유지 장치와,
    상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 미리 정해진 방향으로 조정하기 위하여, 상기 선회 장치 및 상기 유지 장치를 제어하는 컨트롤러
    를 구비하고,
    상기 컨트롤러는,
    상기 유지 장치에 의해, 상기 선회 장치에 유지되어 있는 상기 재치대로부터 상방으로 이격시킨 상태로 상기 물품을 유지시키고,
    상기 선회 장치에 의해, 상기 물품이 이격된 상태의 상기 재치대를 초기 위치로부터 목적 위치까지 선회시키며,
    상기 유지 장치에 의해, 상기 목적 위치까지 선회한 상기 재치대에, 상기 재치대의 상방에서 유지되어 있던 상기 물품을 재치시키고,
    상기 선회 장치에 의해, 상기 물품이 재치된 상태의 상기 재치대를 상기 목적 위치로부터 상기 초기 위치까지 선회시키는
    방향 조정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유지 장치는, 상기 물품을 유지한 상태로 상하 방향으로 이동하며, 상기 재치대로부터 소정의 거리만큼 상방으로 이격된 유지 위치에서 상기 물품을 유지하는
    방향 조정 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 유지 장치에 의해 상기 물품이 상기 재치대로부터 이격된 후이면서, 또한 상기 유지 장치에 도달하기 전에, 상기 재치대의 상기 초기 위치로부터 상기 목적 위치로의 선회를 상기 선회 장치에 의해 개시하도록 하는
    방향 조정 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 방향 조정 장치는, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 확인하는 방향 확인 장치를 더 구비하며,
    상기 컨트롤러는, 상기 선회 장치에 의해 상기 재치대를 상기 초기 위치까지 선회시킨 후에, 상기 방향 확인 장치에 의해 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 확인시키는
    방향 조정 장치.
  5. 외부 장치에 대한 물품의 삽입 방향이 미리 정해지고, 또한 상기 물품이 재치된 상태의 재치대가 외부 장치에 삽입되는 방향이 미리 정해져 있는 경우에 있어서, 상기 재치대를 선회시키는 선회 장치와, 상기 물품을 그 방향을 변경시키지 않고 상기 재치대의 상방에서 유지하는 유지 장치를 구비하는 방향 조정 장치가, 상기 물품과 상기 재치대의 상대적인 방향을 조정하는 방향 조정 방법으로서,
    상기 유지 장치가, 상기 선회 장치에 유지되어 있는 상기 재치대로부터 상방으로 이격시킨 상태로 상기 물품을 유지하는 단계와,
    상기 선회 장치가, 상기 물품이 이격된 상태의 상기 재치대를 초기 위치로부터 목적 위치까지 선회시키는 단계와,
    상기 유지 장치가, 상기 목적 위치까지 선회한 상기 재치대에, 상기 재치대의 상방에서 유지되어 있던 상기 물품을 재치하는 단계와,
    상기 선회 장치가, 상기 물품이 재치된 상태의 상기 재치대를 상기 목적 위치로부터 상기 초기 위치까지 선회시키는 단계를 포함하는
    방향 조정 방법.
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