KR101433214B1 - 자동창고 및 물품 반출 방법 - Google Patents

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Abstract

클린 스토커(100)는, 레티클과 포드를 따로따로 보관하는 레티클용 회전 선반(111) 및 빈 포드용 회전 선반(112)과, 레티클이 든 포드를 작업자에게 공급하는 수동 로드 포트(160)와, 레티클이 든 포드를 일시적으로 보관하는 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)과, 작업자로부터의 지시를 검지하는 검지부(180)와, 제 1 지시가 검지되었을 경우에, 레티클용 회전 선반(111)으로부터 레티클을 취득하고, 빈 포드용 회전 선반(112)으로부터 빈 포드를 취득하며, 취득한 레티클을 빈 포드에 수납하는 포드 오프너(140)와, 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 재치하는 동시에, 제 2 지시가 검지되었을 경우에, 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)으로부터 수동 로드 포트(160)로 이재하는 포드 반송 장치(130)를 구비한다.

Description

자동창고 및 물품 반출 방법{AUTOMATED WAREHOUSE AND ARTICLE REMOVAL METHOD}
본 발명은, 자동창고에 관한 것이며, 특히, 물품과 케이스를 따로따로 보관하다가, 출고 지시를 접수한 후에 물품을 케이스에 수납하여 출고하는 자동창고에 관한 것이다.
종래부터 전자부품의 제조 등에 이용되는 레티클은, 클린룸(clean room) 내에 설치된 클린 스토커에 보관되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이러한 클린 스토커는, 레티클과 레티클을 수납하는 포드(pod)를 따로따로 보관하고 있다가, 출고 지시를 접수한 후에 레티클을 포드에 수납하여, 로드 포트로 출고한다.
여기서, 레티클을 포드에 수납하는 데에는 어느 정도의 시간이 필요하다. 따라서, 작업자는, 클린룸과는 별개인 오퍼레이터 룸에 설치되어 있는 외부단말을 이용하여, 클린 스토커에 대해 특정한 레티클의 출고를 지시한다. 그리고, 작업자는, 클린 스토커가 지시된 레티클을 포드에 수납하여 로드 포트에 출고하고 있는 동안에, 클린 스토커가 설치되어 있는 장소까지 이동한다.
일본 특허공개공보 제2008-30914호
그러나, 상기와 같은 구성의 클린 스토커에서는, 작업자가 출고를 지시하고 나서 현실적으로 레티클을 취득하기까지 긴 시간을 필요로 할 경우에, 다음과 같은 문제가 생길 가능성이 있다.
작업자(A, B)가 이 순서대로 외부단말을 조작하여 레티클의 출고를 지시하고, 작업자(B, A)의 순으로 클린 스토커의 설치 장소에 도착했다고 가정할 경우, 로드 포트에는 작업자(A)가 취득해야 할 레티클이 든 포드가 재치되어 있으므로, 작업자(B)는 작업자(A)의 도착을 기다려야 한다.
또한, 클린 스토커에 있어서의 로드 포트가, 출고 포트인 동시에, 입고 포트로서도 기능할 경우에는, 출고되어야 할 레티클이 든 포드가 로드 포트에 장시간 재치된 채로 있으면, 다른 레티클이 든 포드의 입고를 저해할 가능성이 있다.
어느 경우에도, 사전에 출고된 레티클이 든 포드가 로드 포트를 점유하고 있기 때문에, 본래 필요한 레티클이 든 포드의 입출고를 기다려야 하는 상황이 된다.
본 발명은, 상기의 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 짐(荷物)의 입출고를 원활하게 행할 수 있는 자동창고를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 하나의 형태에 따른 자동창고는, 복수의 물품과, 상기 복수의 물품 중 적어도 1개를 수납하기 위한 케이스를 따로따로 보관하는 보관 선반과, 상기 케이스에 수납된 상기 물품을 작업자에게 공급하는 로드 포트와, 상기 케이스에 수납된 상기 물품을, 상기 로드 포트로 이재(移載)할 때까지 일시적으로 보관하는 임시 재치(載置) 선반과, 작업자로부터의 지시를 검지하는 검지부와, 상기 복수의 물품 중 소정의 물품을 반출할 것임을 나타내는 제 1 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 보관 선반으로부터 상기 소정의 물품과 상기 케이스를 취득하고, 취득한 상기 소정의 물품을 상기 케이스에 수납하는 수납장치와, 상기 수납장치에 의해 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반에 재치하는 동시에, 상기 소정의 물품을 반출할 준비가 현실적으로 갖추어졌음을 나타내는 제 2 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재하는 이재장치를 구비한다.
상기 구성에 따르면, 작업자가 출고를 지시(제 1 지시를 입력)하고 나서 현실적으로 짐을 가지러 오기(제 2 지시를 입력)까지의 동안에, 로드 포트가 출고되는 짐에 의해 점유되는 일이 없어지므로, 원활한 입출고를 실현할 수 있다.
또한, 상기 자동창고는, 작업자가 상기 제 2 지시를 입력하기 위한 입력부를 구비해도 된다. 그리고, 상기 이재장치는, 작업자에 의해 상기 입력부에 입력되는 상기 제 2 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재해도 된다.
이와 같이, 자동창고에 설치된 입력부로부터 제 2 지시를 접수함으로써, 제 2 지시의 입력 후에 신속히 짐이 제거되는 것을 기대할 수 있다. 참고로, 입력부는, 예컨대, 자동창고의 해당 벽면에 부착된 조작 패널 등이어도 좋고, 자동창고에 인접하여 설치된 단말 등이어도 좋다. 또한, 입력부는, 작업자가 능동적으로 제 2 지시를 입력하는 것에 한정되지 않고, 작업자가 자동창고 근방에 도착하였음을 검출하는 센서 등이어도 좋다.
또한, 상기 임시 재치 선반은, 상기 케이스에 수납된 상태의 복수의 상기 물품을 보관해도 좋다. 상기 제 2 지시는, 상기 임시 재치 선반에 일시적으로 보관되어 있는 상기 복수의 물품 중, 반출해야 할 물품을 특정하는 정보를 포함해도 좋다. 그리고, 상기 이재장치는, 상기 검지부에서 검지된 상기 제 2 지시에 의해 특정되는 상기 물품을, 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재해도 좋다. 이에 따라, 복수의 제 1 지시가 입력되고, 제 1 지시의 입력순서와 다른 순서로 제 2 지시가 입력되었을 경우에도, 원활하게 출고 처리를 행할 수 있다.
또한, 상기 자동창고에는, 원격지에 설치된 외부단말이 통신 네트워크를 통해 접속되어 있어도 좋다. 또한, 상기 외부단말은, 작업자가 상기 제 1 지시를 입력하기 위한 단말이어도 좋다. 그리고, 상기 수납장치는, 상기 외부단말에 입력된 상기 제 1 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반에 재치해도 좋다.
이와 같이, 원격지에 설치된 외부단말로부터 제 1 지시가 입력되었을 경우에만 임시 재치 선반을 이용하면 된다. 한편, 미리 정해진 스케줄에 근거하여 출고될 경우, 또는 작업자가 자동창고의 설치 장소까지 와서 출고 지시를 할 경우에는, 수납장치로부터 직접 로드 포트로 출고하면 된다.
참고로, 본 명세서 중의 「원격지」란, 외부단말이 설치되어 있는 장소로부터 자동창고가 설치되어 있는 장소까지 작업자가 이동하는데 상당한 시간(예컨대, 10분 이상)을 필요로 하여, 상술한 과제가 발생할 수 있을 정도로 먼 것을 가리키는 것으로 한다. 전형적으로는, 자동창고가 설치되어 있는 챔버와 다른 챔버 또는 다른 건물 등을 가리킨다. 그러나, 자동창고와 외부단말이 동일 챔버에 설정되어 있는 경우라도, 예컨대, 공장 내부가 매우 넓으며, 입구 부근에 외부단말이 설치되고, 입구로부터 먼 제일 안쪽에 자동창고가 설치되어 있는 등의 경우라면, 이 또한 포함하는 것으로 한다.
본 발명의 하나의 형태에 따른 물품 반출 방법은, 복수의 물품과, 상기 복수의 물품 중 적어도 1개를 수납하기 위한 케이스를 따로따로 보관하는 보관 선반과, 상기 케이스에 수납된 상기 물품을 작업자에게 공급하는 로드 포트와, 상기 케이스에 수납된 상기 물품을, 상기 로드 포트로 이재할 때까지 일시적으로 보관하는 임시 재치 선반과, 작업자로부터의 지시를 검지하는 검지부를 구비하는 자동창고가 상기 물품을 상기 케이스에 수납하여 반출하는 방법이다. 구체적으로는, 상기 복수의 물품 중 소정의 물품을 반출할 것임을 나타내는 제 1 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우, 상기 보관 선반으로부터 상기 소정의 물품과 상기 케이스를 취득하여, 취득된 상기 소정의 물품을 상기 케이스에 수납하고, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반에 재치하는 단계와, 상기 소정의 물품을 반출할 준비가 현실적으로 갖추어졌음을 나타내는 제 2 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 작업자가 출고를 지시(제 1 지시를 입력)하고 나서 현실적으로 짐을 가지러 오기(제 2 지시를 입력)까지의 동안에, 로드 포트가 출고되는 짐으로 인해 점유되는 일이 없어지므로, 원활한 입출고를 실현할 수 있다.
도 1은, 실시형태에 따른 클린 스토커의 정면도이다.
도 2는, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도이다.
도 3은, 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도이다.
도 4는, 제 1 지시를 검지한 경우의 수납 처리를 나타낸 플로우 챠트이다.
도 5는, 제 2 지시를 검지한 경우의 반출 처리를 나타낸 플로우 챠트이다.
도 6은, 빈 포드가 포드 오프너에 반입된 직후의 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은, 레티클을 받아들일 준비가 갖추어진 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은, 레티클이 포드 오프너에 반입된 직후의 상태를 나타낸 도면이다.
도 9는, 레티클이 포드에 수납된 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다.
우선, 도 1∼도 3을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 따른 자동창고인 클린 스토커(100; clean stocker)의 구성을 설명한다. 참고로, 도 1은 실시형태에 따른 클린 스토커(100)의 정면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선에 따른 단면도이고, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도이다.
클린 스토커(100)는, 반도체 공장 또는 액정 공장 등의 클린룸 내에 설치되는 것으로서, 반도체 또는 액정 기판의 노광용 레티클(짐)과, 레티클을 수납하는 포드(케이스)가 따로따로 보관된다.
구체적으로는, 클린 스토커(100)는, 회전 선반(110)과, 레티클 반송 장치(120)와, 포드 반송 장치(130)와, 포드 오프너(140)와, 자동 로드 포트(150)와, 수동 로드 포트(160)와, 클린 가스 공급부(170)와, 검지부(180)와, 조작 패널(190)을 주로 구비한다. 또한, 회전 선반(110)은, 상하로 다수의 단(段)을 구비하며, 레티클용 회전 선반(111)과, 빈 포드용 회전 선반(112)과, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)으로 구분되어 있다. 참고로, 레티클용 회전 선반(111), 빈 포드용 회전 선반(112), 및 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)의 위치 관계는 특별히 한정되지 않는다. 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 깨끗한 분위기를 가장 필요로 하는 레티클용 회전 선반(111)을 클린 가스 공급부(170)에 가까운 상단에 설치하고, 중단에 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)을 설치하고, 하단에 빈 포드용 회전 선반(112)을 설치하는 것이 바람직하다.
레티클용 회전 선반(111)은, 반도체 또는 액정 기판의 노광용 레티클을 보관하는 선반이다. 빈 포드용 회전 선반(112)은, 레티클이 수납되어 있지 않은 빈 포드(이하, 「빈 포드」로 표기함)를 보관하는 선반이다. 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 레티클을 수납한 상태의 포드(이하, 「레티클이 든 포드」로 표기함), 환언하자면, 포드에 수납된 레티클을 일시적으로 보관하는 선반이다.
참고로, 레티클용 회전 선반(111) 및 빈 포드용 회전 선반(112)은, 레티클과 빈 포드를 따로따로 보관하는 보관 선반으로서 기능하는 것이다. 한편, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 레티클이 든 포드를 일시적으로 보관하는 임시 재치 선반으로서 기능하는 것이다.
또한, 빈 포드용 회전 선반(112)에 있어서의 빈 포드의 보관 수(數)는, 레티클용 회전 선반(111)에 있어서의 레티클의 보관 수보다 적어도 되며, 예컨대, 1/10∼1/100 정도로 해도 된다. 더욱이, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 있어서의 레티클이 든 포드의 보관 수는, 빈 포드용 회전 선반(112)에 있어서의 빈 포드의 보관 수보다 더 적어도 되며, 적어도 1개 이상의 레티클이 든 포드를 수납할 수 있으면 된다.
레티클용 회전 선반(111), 빈 포드용 회전 선반(112), 및 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 각각이 일체로서 회전하고, 각 단(段)은 독립적으로 회전하지 않도록 해도 된다. 또는, 수납물의 출납을 보다 고속으로 행하기 위해, 각 선반을 상하 복수의 블록으로 더욱 분할하고, 블록마다 독립적으로 회전하도록 해도 된다.
레티클 반송 장치(120)는, 클린 스토커(100) 내부의 전면(前面) 일방측(도 1에서는, 마주 보았을 때 좌측)에 설치되어 있다. 상기 레티클 반송 장치(120)는, 레티클용 회전 선반(111)과 포드 오프너(140)와의 사이에서 레티클을 반송한다.
보다 구체적으로는, 레티클 반송 장치(120)는, 2단의 아암(121, 122)의 선단에 핸드(123)를 설치한 것으로서, 수평면 내에서 동작하는 3개의 관절(124, 125, 126)을 가진다. 또한, 레티클 반송 장치(120)는, 승강 가이드(127)를 따라 승강한다. 즉, 상기 레티클 반송 장치(120)는, 승강 가이드(127)의 범위 내에서 상하로 승강하며, 또한 각 관절(124, 125, 126)을 독립적으로 동작시킨다. 이에 따라, 2단의 아암(121, 122)으로 도달가능한 범위 내에서, 임의의 방향으로 레티클을 반송할 수 있다.
포드 반송 장치(130)는, 클린 스토커(100) 내부의 전면(前面) 타방측(도 1에서는, 마주 보았을 때 우측)에 설치되어 있다. 상기 포드 반송 장치(130)는, 빈 포드용 회전 선반(112)과 포드 오프너(140)와의 사이에서 빈 포드를 반송하거나, 포드 오프너(140)와 자동 로드 포트(150)와의 사이, 포드 오프너(140)와 수동 로드 포트(160)와의 사이, 포드 오프너(140)와 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)과의 사이, 및 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)과 수동 로드 포트(160)와의 사이에서 레티클이 든 포드를 반송한다.
보다 구체적으로는, 포드 반송 장치(130)는, 2단의 아암(131, 132)의 선단에 핸드(133)를 설치한 것으로서, 수평면 내에서 동작하는 3개의 관절(134, 135, 136)을 가진다. 또한, 포드 반송 장치(130)는, 승강 가이드(137)를 따라 승강한다. 즉, 상기 포드 반송 장치(130)는, 승강 가이드(137)의 범위 내에서 상하로 승강하며, 또한 각 관절(134, 135, 136)을 독립적으로 동작시킨다. 이에 따라, 2단의 아암(131, 132)으로 도달가능한 범위 내에서, 임의의 방향으로 포드를 반송할 수 있다.
포드 오프너(140)는, 클린 스토커(100) 내부의 전면 중앙부, 즉, 레티클 반송 장치(120) 및 포드 반송 장치(130)의 사이에 배치되어, 레티클을 빈 포드에 수납하는 수납장치로서 기능하거나, 레티클이 든 포드로부터 레티클을 꺼내는 취출(取出)장치로서 기능한다. 처리의 상세한 내용에 대해서는 후술하기로 한다.
자동 로드 포트(150)는, 클린 스토커(100)의 전면 상부에 설치된 천정주행차용 로드 포트이며, 도시가 생략된 천정주행차와의 사이에서 레티클이 든 포드의 입출고를 행하는 인터페이스이다. 수동 로드 포트(160)는, 클린 스토커(100)의 전면 하부에 설치된 작업자용 로드 포트이며, 작업자와의 사이에서 레티클이 든 포드의 입출고를 행하는 인터페이스이다.
클린 가스 공급부(170)는, 클린 스토커(100)의 상면에 설치되며, 예컨대, 클린 에어 또는 질소 등의 클린 가스를 다운 플로우로서 공급한다. 클린 가스 공급부(170)는, 클린 가스의 생성수단 및 팬 필터 유닛을 구비한 것이어도 좋고, 혹은 클린룸의 천정으로부터의 클린 에어를 클린 스토커(100) 내로 받아들이는 것이어도 좋다.
참고로, 클린 스토커(100)의 내부에서는, 클린 가스 공급부(170)로부터의 클린 가스가 최초로 레티클용 회전 선반(111)에 공급되고, 이어서, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113), 빈 포드용 회전 선반(112)의 순으로 공급된다. 이 때문에 아무것도 덮이지 않은 레티클을 수납한 레티클용 회전 선반(111)을 특히 깨끗한 분위기로 유지시켜, 레티클의 오염을 방지할 수 있다.
검지부(180)는, 조작 패널(190) 및 후술하는 조작 단말(10) 등을 통해 입력되는 작업자로부터의 지시를 검지한다. 구체적으로, 검지부(180)는, 작업자로부터 입력되는 제 1 및 제 2 지시를 검지한다. 그리고, 검지부(180)는, 검지된 제 1 및 제 2 지시를, 회전 선반(110), 레티클 반송 장치(120), 포드 반송 장치(130), 및 포드 오프너(140) 등에 통지한다. 통지를 받은 각 구성요소의 동작에 대해서는, 후술한다.
참고로, 제 1 지시는, 레티클용 회전 선반(111)에 보관되어 있는 복수의 레티클 중 소정의 레티클을 반출함을 나타낸다. 즉, 제 1 지시에는, 레티클용 회전 선반(111)에 보관되어 있는 레티클을 특정하는 정보가 포함되어 있다. 또한, 작업자는, 조작 패널(190) 및 후술하는 조작 단말(10) 중 어느 쪽으로부터도 제 1 지시를 입력가능한 것으로 한다.
한편, 제 2 지시는, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 일시적으로 보관되어 있는 레티클이 든 포드를 반출할 준비가 현실적으로 갖추어졌음을 나타낸다. 즉, 제 2 지시에는, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 보관되어 있는 레티클이 든 포드를 특정하는 정보가 포함되어 있다. 또한, 작업자는, 조작 패널(190)로부터만 제 2 지시를 입력가능한 것으로 한다.
조작 패널(190)은, 예컨대, 클린 스토커(100)의 전면(前面) 외벽에 부착되어 있으며, 작업자로부터의 지시를 접수하는 입력부로서 기능한다. 참고로, 조작 패널(190)은, 작업자로부터의 지시를 접수가능한 모든 구성을 채용할 수 있다. 예컨대, 터치 패널, 키보드, 누름 버튼, 스위치 등이어도 된다.
또한, 클린 스토커(100)에는, 작업자가 조작하는 조작 단말(외부단말; 10)이 통신 네트워크(20)를 통해 접속되어 있다. 통상, 상기 조작 단말(10)은, 클린 스토커(100)가 설치되어 있는 클린룸의 밖(오퍼레이터 룸 등)에 설치되어 있다. 그리고, 작업자는, 조작 단말(10)을 통해 클린 스토커(100)를 원격조작할 수 있다.
다음으로는, 도 4∼도 9를 참조하여, 제 1 및 제 2 지시를 검지한 경우의 처리에 대해 설명한다. 참고로, 도 4는 제 1 지시를 검지한 경우의 수납 처리를 나타낸 플로우 챠트이고, 도 5는 제 2 지시를 검지한 경우의 반출 처리를 나타낸 플로우 챠트이고, 도 6∼도 9는 수납 처리 중에 있어서의 포드 오프너(140)의 상태를 나타낸 도면이다.
우선, 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납 처리에 있어서의 검지부(180)는, 작업자로부터 제 1 지시가 입력되는 것을 감시한다(S11). 그리고, 검지부(180)는, 제 1 지시를 검지하면(S11에서 Yes), 상기 제 1 지시를 회전 선반(110), 레티클 반송 장치(120), 포드 반송 장치(130), 및 포드 오프너(140)에 통지한다.
그런 다음, 제 1 지시의 통지를 받은 포드 반송 장치(130)는, 빈 포드용 회전 선반(112)으로부터 빈 포드를 취득하여, 포드 오프너(140)에 반입시킨다(S12). 이때, 제 1 지시를 통지받은 빈 포드용 회전 선반(112)은, 포드 반송 장치(130)가 빈 포드를 취득할 수 있도록 선반을 회전시킨다. 도 6은, 빈 포드(200)가 포드 오프너(140)에 반입된 직후의 상태를 나타낸 도면이다. 도 7은, 레티클을 받아들일 준비가 갖추어진 상태를 나타낸 도면이다.
우선, 포드(200)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하로 분리가능한 커버(210) 및 도어(220)로 구성된다. 참고로, 도 6에는, 1장의 레티클을 수납가능한 구조의 포드(200)를 예시하였지만, 이에 한정되지 않고, 복수의 레티클을 수납가능한 구조여도 됨은 말할 필요도 없다.
또한, 도어(220)의 상면에는, 레티클을 지지하기 위한 복수의 돌기(221)가 설치되어 있다. 포드 오프너(140)는, 커버(210)를 걸림결합시키는 걸림결합부(141)와, 도어(220)를 재치하는 재치부(142)로 구성된다. 그리고, 포드 반송 장치(130)는, 커버(210)가 걸림결합부(141)에 걸림결합되고, 도어(220)가 재치부(142)에 재치되도록, 포드(200)를 포드 오프너(140)에 반입한다.
참고로, 재치부(142)는, 도어(220)가 재치되어 있는 상태에서 상하로 승강하는 승강장치로서 기능한다. 그리고, 재치부(142)가 도어(220)를 재치한 상태에서 하강함으로써, 도 7에 도시된 바와 같이, 커버(210)와 도어(220)가 상하로 분리되어, 레티클을 수납할 준비가 갖추어진다.
다음으로, 제 1 지시를 통지받은 레티클 반송 장치(120)는, 제 1 지시에 표시된 레티클을 레티클용 회전 선반(111)으로부터 취득하여, 포드 오프너(140)에 반입한다(S13). 이때, 제 1 지시를 통지받은 레티클용 회전 선반(111)은, 레티클 반송 장치(120)가 제 1 지시에 표시된 레티클을 취득할 수 있도록 선반을 회전시킨다. 도 8은, 레티클(230)이 포드 오프너(140)에 반입된 직후의 상태를 나타낸 도면이다. 도 9는, 레티클(230)이 포드(200)에 수납된 상태를 나타낸 도면이다.
레티클 반송 장치(120)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 도어(220)의 상면으로부터 돌출되는 복수의 돌기(221) 상에, 레티클(230)을 재치한다. 이후, 재치부(142)가 도어(220)를 재치한 상태로 상승함으로써, 도 9에 나타낸 바와 같이, 레티클(230)이 포드(200)의 내부에 수납된다.
그런 다음, 포드 반송 장치(130)는, 검지부(180)에서 검지된 제 1 지시가 조작 단말(10)로부터 입력된 것인지의 여부를 판단한다(S14). 그리고, 상기 제 1 지시가 조작 단말(10)로부터 입력된 것일 경우(S14에서 Yes), 포드 반송 장치(130)는, 포드 오프너(140) 내의 레티클이 든 포드를, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 재치한다(S15). 이때, 제 1 지시를 통지받은 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 포드 반송 장치(130)가 레티클이 든 포드를 재치할 수 있도록 선반을 회전시킨다.
한편, 상기 제 1 지시가 조작 단말(10)로부터 입력된 것이 아닐 경우(S14에서 No), 포드 반송 장치(130)는, 포드 오프너(140) 내의 레티클이 든 포드를, 직접(즉, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 일시보관하는 일 없이), 자동 로드 포트(150) 또는 수동 로드 포트(160)에 재치한다(S16).
구체적으로는, 미리 정해진 스케줄에 근거하여 천정주행차 등이 자동 로드 포트(150)로부터 레티클이 든 포드를 취득하는 경우, 또는, 작업자가 클린 스토커(100)에 설치된 조작 패널(190)로부터 제 1 지시를 입력하는 경우 등을 생각할 수 있다. 이러한 경우에 있어서는, 자동 로드 포트(150) 또는 수동 로드 포트(160)의 레티클이 든 포드가 신속하게 제거되므로, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 일시보관할 필요는 없다.
다음으로는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 반출 처리에 있어서의 검지부(180)는, 작업자로부터 제 2 지시가 입력되는 것을 감시한다(S21). 그리고, 검지부(180)는, 제 2 지시를 검지하면(S21에서 Yes), 상기 제 2 지시를 회전 선반(110) 및 포드 반송 장치(130)에 통지한다.
그리고, 제 2 지시를 통지받은 포드 반송 장치(130)는, 제 2 지시에 표시되는 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)으로부터 취득하여, 수동 로드 포트(160)에 재치한다(S22). 이때, 제 2 지시를 통지받은 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 포드 반송 장치(130)가 제 2 지시에 표시되는 레티클이 든 포드를 취득할 수 있도록 선반을 회전시킨다.
상기와 같이 구성된 클린 스토커(100)에 따르면, 레티클이 든 포드의 입출고를 원활하게 행할 수 있다. 예컨대, 상기와 같이 구성된 클린 스토커(100)는, 다음과 같은 상황에 있어서, 특히 유리한 효과를 나타낸다.
제 1의 예로서, 작업자(A)가 제 1 지시를 입력하고 나서 제 2 지시를 입력하기까지의 사이에, 작업자(B)가 레티클이 든 포드를 입고하고자 하는 경우를 생각할 수 있다. 이 경우, 클린 스토커(100)는, 작업자(A)로부터의 제 1 지시에 근거하여, 소정의 레티클을 포드에 수납하고, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 일시적으로 보관해둔다. 그런 다음, 작업자(B)에 의해 수동 로드 포트(160)에 입고된 레티클이 든 포드를, 포드 오프너(140)에 의해 레티클과 빈 포드로 분해하여, 레티클은 레티클용 회전 선반(111)에, 빈 포드는 빈 포드용 회전 선반(112)에 보관한다. 그리고, 작업자(A)로부터의 제 2 지시에 근거하여, 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)으로부터 수동 로드 포트(160)로 이재한다.
이와 같이, 작업자(A)가 출고를 지시(제 1 지시를 입력)하고 나서 현실적으로 레티클이 든 포드를 가지러 오기(제 2 지시를 입력)까지 장시간을 필요로 한다 하더라도, 다른 작업자(B)에 의한 레티클이 든 포드의 입고를 방해할 일이 없다. 참고로, 이 경우, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 적어도 1개 이상의 레티클이 든 포드를 보관할 수 있으면 된다.
다음으로는, 제 2의 예로서, 작업자(A, B)가 이 순서대로 조작 단말(10)을 조작하여 레티클의 출고를 지시하고, 작업자(B, A)의 순으로 클린 스토커(100)의 설치장소에 도착한 경우를 생각할 수 있다. 이 경우, 클린 스토커(100)는, 작업자(A, B)의 제 1 지시에 근거하여, 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)에 일시적으로 보관해둔다. 그리고, 작업자(B)의 제 2 지시에 근거하여, 작업자(B)가 취득해야 할 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)으로부터 수동 로드 포트(160)로 이재한다. 이어서, 작업자(A)의 제 2 지시에 근거하여, 작업자(A)가 취득해야 할 레티클이 든 포드를 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)으로부터 수동 로드 포트(160)로 이재한다.
이와 같이, 복수의 작업자(A, B)가 레티클을 출고하고자 할 경우에 있어서, 제 1 지시의 입력순서와, 제 2 지시의 입력순서가 바뀐 경우에도 원활한 출고가 가능해진다. 참고로, 이 경우, 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 복수의 레티클이 든 포드(작업자의 수와 동수(同數) 이상)를 보관할 수 있어야 한다.
참고로, 상기의 실시형태에 있어서, 각 구성요소의 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않는다. 예컨대, 임시 재치 선반으로서의 레티클이 든 포드용 회전 선반(113)은, 보관해야 할 포드 수가 적으므로, 회전 선반이 아니라 고정 선반으로 해도 좋다. 이 경우의 임시 재치 선반은, 예컨대, 자동 로드 포트(150) 및 수동 로드 포트(160) 사이의 공간에 설치해도 되고, 포드 오프너(140)의 하부 등에 설치해도 된다.
또는, 조작 패널(190)은, 클린 스토커(100)의 전면 외벽이 아니더라도, 클린 스토커(100)에 근접하게 설치되는 단말 등, 작업자가 지시를 입력한 후 신속하게 레티클이 든 포드를 취득가능한 위치이면 된다.
또한, 입력부는, 작업자의 능동적인 지시를 접수하는 조작 패널(190)에 한정되지 않고, 작업자의 도착을 검출하는 센서 등이어도 좋다. 보다 구체적으로는, 제 1 지시에는, 상기 제 1 지시를 입력한 작업자를 특정하는 정보(작업자 ID 등) 가 더 포함되어 있으며, 입력부는, 작업자가 휴대하는 RFID 태그 등으로부터 작업자 ID를 취득함으로써, 제 1 지시를 입력한 작업자가 클린 스토커(100)의 설치 장소에 도착하였음(즉, 레티클이 든 포드를 반출할 준비가 현실적으로 갖추어졌음)을 검출해도 된다.
또한, 본 발명은, 레티클을 수납하는 클린 스토커(100) 뿐만 아니라, 짐과 짐을 수납하는 용기를 따로따로 보관하다가, 출고시에 짐을 용기에 수납하는 구성을 구비하는 모든 자동창고에 적용이 가능하다.
이상, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태를 설명하였으나, 본 발명은, 도시한 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 도시한 실시형태에 대해, 본 발명과 동일한 범위 내에서, 혹은 균등한 범위 내에서, 다양한 수정이나 변형을 가할 수 있다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명은, 짐과 짐을 수납하는 용기를 따로따로 보관하다가, 출고시에 짐을 용기에 수납하는 자동창고에 유리하게 이용된다.
10 : 조작 단말
20 : 통신 네트워크
100 : 클린 스토커
110 : 회전 선반
111 : 레티클용 회전 선반
112 : 빈 포드용 회전 선반
113 : 레티클이 든 포드용 회전 선반
120 : 레티클 반송 장치
121, 122, 131, 132 : 아암
123, 133 : 핸드
124, 125, 126, 134, 135, 136 : 관절
127, 137 : 승강 가이드
130 : 포드 반송 장치
140 : 포드 오프너
141 : 걸림결합부
142 : 재치부
150 : 자동 로드 포트
160 : 수동 로드 포트
170 : 클린 가스 공급부
180 : 검지부
190 : 조작 패널
200 : 포드
210 : 커버
220 : 도어
221 : 돌기
230 : 레티클

Claims (5)

  1. 복수의 물품과, 상기 복수의 물품 중 적어도 1개를 수납하기 위한 케이스를 따로따로 보관하는 보관 선반과;
    상기 케이스에 수납된 상기 물품을 작업자에게 공급하는 로드 포트와;
    상기 케이스에 수납된 상기 물품을, 상기 로드 포트로 이재(移載)할 때까지 일시적으로 보관하는 임시 재치(載置) 선반과;
    작업자로부터의 지시를 검지하는 검지부와;
    상기 복수의 물품 중 소정의 물품의 반출준비를 나타내는 제 1 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 보관 선반으로부터 상기 소정의 물품과 상기 케이스를 취득하고, 취득한 상기 소정의 물품을 상기 케이스에 수납하는 수납장치와;
    상기 수납장치에 의해 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반에 재치하는 동시에, 상기 소정의 물품을 반출할 것을 나타내는 제 2 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재하는 이재장치;를 구비하는, 자동창고.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 자동창고는, 작업자가 상기 제 2 지시를 입력하기 위한 입력부를 더 구비하며,
    상기 이재장치는, 작업자에 의해 상기 입력부에 입력되는 상기 제 2 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재하는, 자동창고.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 임시 재치 선반은, 상기 케이스에 수납된 상태의 복수의 상기 물품을 보관하며,
    상기 제 2 지시는, 상기 임시 재치 선반에 일시적으로 보관되어 있는 상기 복수의 물품 중, 반출해야 할 물품을 특정하는 정보를 포함하며,
    상기 이재장치는, 상기 검지부에서 검지된 상기 제 2 지시에 의해 특정되는 상기 물품을, 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재하는, 자동창고.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 자동창고에는, 원격지에 설치된 외부단말이 통신 네트워크를 통해 접속되어 있으며,
    상기 외부단말은, 작업자가 상기 제 1 지시를 입력하기 위한 단말이며,
    상기 수납장치는, 상기 외부단말에 입력된 상기 제 1 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반에 재치하는, 자동창고.
  5. 복수의 물품과, 상기 복수의 물품 중 적어도 1개를 수납하기 위한 케이스를 따로따로 보관하는 보관 선반과; 상기 케이스에 수납된 상기 물품을 작업자에게 공급하는 로드 포트와; 상기 케이스에 수납된 상기 물품을, 상기 로드 포트로 이재할 때까지 일시적으로 보관하는 임시 재치 선반과; 작업자로부터의 지시를 검지하는 검지부;를 구비하는 자동창고가 상기 물품을 상기 케이스에 수납하여 반출하는 물품 반출 방법으로서,
    상기 복수의 물품 중 소정의 물품의 반출준비를 나타내는 제 1 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 보관 선반으로부터 상기 소정의 물품과 상기 케이스를 취득하여, 취득된 상기 소정의 물품을 상기 케이스에 수납하고, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반에 재치하는 단계와,
    상기 소정의 물품을 반출할 것을 나타내는 제 2 지시가 상기 검지부에서 검지되었을 경우에, 상기 케이스에 수납된 상기 소정의 물품을 상기 임시 재치 선반으로부터 상기 로드 포트로 이재하는 단계를 포함하는, 물품 반출 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103650126B (zh) * 2011-05-02 2016-08-17 村田机械株式会社 方向调整装置以及方向调整方法
JP5709011B2 (ja) * 2011-12-26 2015-04-30 株式会社ダイフク 物品保管設備
CN103538045B (zh) * 2013-09-29 2016-05-25 昆山中士设备工业有限公司 便于自动化操作取零件的货架
CN103538047A (zh) * 2013-09-29 2014-01-29 昆山中士设备工业有限公司 适用于机械手的货架
JP6160711B2 (ja) * 2014-01-07 2017-07-12 村田機械株式会社 移載装置及び移載装置の制御方法
KR101903441B1 (ko) * 2014-06-16 2018-10-02 무라다기카이가부시끼가이샤 퍼지 장치, 퍼지 시스템, 퍼지 방법 및 퍼지 시스템에 있어서의 제어 방법
US9786536B2 (en) * 2015-12-07 2017-10-10 Microchip Technology Incorporated Reticle rack system
US10406562B2 (en) * 2017-07-21 2019-09-10 Applied Materials, Inc. Automation for rotary sorters
KR102046814B1 (ko) * 2019-06-11 2019-11-20 이재환 물품보관창고 관리시스템
KR102481920B1 (ko) * 2019-12-19 2022-12-26 캐논 톡키 가부시키가이샤 처리체 수납 장치와, 이를 포함하는 성막 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63267601A (ja) * 1987-04-24 1988-11-04 Mitsubishi Electric Corp マスク管理設備
JPH0494306A (ja) * 1990-08-10 1992-03-26 Fujitsu Ltd 被搬送物管理システム
KR20080012116A (ko) * 2006-07-31 2008-02-11 무라타 기카이 가부시키가이샤 클린 스토커와 물품의 보관방법
EP2264749A2 (en) * 2009-06-15 2010-12-22 Murata Machinery, Ltd. Automatic storage system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62217036A (ja) * 1986-03-18 1987-09-24 Mitsubishi Electric Corp ストツカ
JPS63127906A (ja) * 1986-11-17 1988-05-31 Mitsubishi Electric Corp 保管棚
JP3513437B2 (ja) * 1999-09-01 2004-03-31 キヤノン株式会社 基板管理方法及び半導体露光装置
JP3647330B2 (ja) * 1999-09-02 2005-05-11 キヤノン株式会社 半導体製造装置およびデバイス製造方法
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2007165367A (ja) * 2005-12-09 2007-06-28 Izumi Akiyama ワーク枚葉搬送システム
US7751919B2 (en) 2006-08-19 2010-07-06 Dynamic Micro Systems Method for operating equipment using buffer station having emergency access
CN101617397B (zh) * 2006-11-15 2013-05-29 动力微系统公司 用于工件储料器的可移除式室

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63267601A (ja) * 1987-04-24 1988-11-04 Mitsubishi Electric Corp マスク管理設備
JPH0494306A (ja) * 1990-08-10 1992-03-26 Fujitsu Ltd 被搬送物管理システム
KR20080012116A (ko) * 2006-07-31 2008-02-11 무라타 기카이 가부시키가이샤 클린 스토커와 물품의 보관방법
EP2264749A2 (en) * 2009-06-15 2010-12-22 Murata Machinery, Ltd. Automatic storage system

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