JPS62217036A - ストツカ - Google Patents
ストツカInfo
- Publication number
- JPS62217036A JPS62217036A JP6011286A JP6011286A JPS62217036A JP S62217036 A JPS62217036 A JP S62217036A JP 6011286 A JP6011286 A JP 6011286A JP 6011286 A JP6011286 A JP 6011286A JP S62217036 A JPS62217036 A JP S62217036A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- filter
- fan
- chamber
- box body
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 17
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体ウェハ用カセット等の被格納物
を格納して好適なストッカに関する。
を格納して好適なストッカに関する。
従来、この種のストッカは第６図および第７図に示すよ
うに構成されており、これを同図に基づいて概略説明す
ると、同図において、符号１で示すものはクリーン室２
内に配設されその内部がヘパフィルタ３によって収納室
１ａと空気室１ｂとに画成された箱体、４はこの箱体１
の収納室ｌａ内に架設されウェハカセット等の被格納物
５を載置する格納棚、６はこの格納棚３の下方に配設さ
れその内部に制御箱７とファン８を有する機械室である
。また、９は前記収納室１．ａ内に配設され前記へバフ
イルタロの前方に位置する保護網である。なお、前述し
たクリーンエアは、天井ダクト（第３図および第４図に
は図示せず）を介してクリーン室２内に流入する。また
、第７図中矢印Ａはクリーンエアの流れ方向を示す。
うに構成されており、これを同図に基づいて概略説明す
ると、同図において、符号１で示すものはクリーン室２
内に配設されその内部がヘパフィルタ３によって収納室
１ａと空気室１ｂとに画成された箱体、４はこの箱体１
の収納室ｌａ内に架設されウェハカセット等の被格納物
５を載置する格納棚、６はこの格納棚３の下方に配設さ
れその内部に制御箱７とファン８を有する機械室である
。また、９は前記収納室１．ａ内に配設され前記へバフ
イルタロの前方に位置する保護網である。なお、前述し
たクリーンエアは、天井ダクト（第３図および第４図に
は図示せず）を介してクリーン室２内に流入する。また
、第７図中矢印Ａはクリーンエアの流れ方向を示す。
このように構成されたストッカにおいては、収納室６内
のファン８が回転すると、第７図に矢印Ａで示すように
クリーン室２内のクリーンエアが空気室１ｂを通過して
収納室ｌａ内に流入し、箱体１内の空気清浄化を行うこ
とができる。
のファン８が回転すると、第７図に矢印Ａで示すように
クリーン室２内のクリーンエアが空気室１ｂを通過して
収納室ｌａ内に流入し、箱体１内の空気清浄化を行うこ
とができる。
ところで、この種のストッカにおいては、被格納物５の
出し入れの際に人手、ロボットハンバあるいは格納物自
体に付着した汚れが、ファン８の回転により生じる空気
流によって吹き払われている。
出し入れの際に人手、ロボットハンバあるいは格納物自
体に付着した汚れが、ファン８の回転により生じる空気
流によって吹き払われている。
ところが、従来のスト７カにおいては、第８図および第
９図に示すようにヘパフィルタ３を通過する空気流のう
ち周縁部の空気流がその中央部分の空気流より速度が小
さくなり、その部分の空気が清浄化され難いという問題
があった。
９図に示すようにヘパフィルタ３を通過する空気流のう
ち周縁部の空気流がその中央部分の空気流より速度が小
さくなり、その部分の空気が清浄化され難いという問題
があった。
すなわち、収納室１ａの壁付近の空気流は壁との接触に
よりそれだけ流体抵抗が大きくなるからである。
よりそれだけ流体抵抗が大きくなるからである。
そこで、ファン容量を上げてフィルタ周縁部を通過する
空気流の速度を大きくすることが考えられるが、この場
合フィルタ中央部を通過する空気流の速度も大きくなり
、ファン回転による清掃効率が低下するという不都合が
あった。
空気流の速度を大きくすることが考えられるが、この場
合フィルタ中央部を通過する空気流の速度も大きくなり
、ファン回転による清掃効率が低下するという不都合が
あった。
なお、同図において、空気流速■、〜Ｖ、および■６〜
■１゜は、矢印の向きが流速の方向を、また長さがその
大きさを示す。
■１゜は、矢印の向きが流速の方向を、また長さがその
大きさを示す。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、フィル
タを通過する空気流の流速分布を均一にすることができ
、もってファン回転による清掃効率を向上させることが
できるストッカを提供するものである。
タを通過する空気流の流速分布を均一にすることができ
、もってファン回転による清掃効率を向上させることが
できるストッカを提供するものである。
本発明に係るストッカは、フィルタによってその内部が
収納室と空気室とに画成された箱体からなり、この箱体
の内部にフィルタの中央部分を通過する空気流の速度を
抑制する流速抑制手段を配設したものである。
収納室と空気室とに画成された箱体からなり、この箱体
の内部にフィルタの中央部分を通過する空気流の速度を
抑制する流速抑制手段を配設したものである。
本発明においては、フィルタを通過する空気流の流速分
布を均一にすることができる。
布を均一にすることができる。
第１図は本発明に係るストッカを示す断面図、第２図は
同じくストフカの要部を示す斜視図で、同図以下におい
て第６図〜第９図と同一の部材については同一の符号を
付し、詳細な説明は省略する。同図において、符号２１
で示すものは流速抑制手段としての網部材で、前記へバ
フィルタ３の前方に位置し前記箱体１の収納室１ａ内に
配設されており、全体が矩形状に形成されている。この
網部材２１は、大小２つのメツシュサイズすなわち中央
部分ａがその周囲すより小さいメンシュサイズを存して
おり、前記へバフィルタ３の中央部分を通過する空気流
に対しその周縁を通過する空気流より大きい抵抗を生じ
させることにより、その中央部分の空気流の速度を抑制
するように構成されている。なお、同図において、空気
流速Ｕ。
同じくストフカの要部を示す斜視図で、同図以下におい
て第６図〜第９図と同一の部材については同一の符号を
付し、詳細な説明は省略する。同図において、符号２１
で示すものは流速抑制手段としての網部材で、前記へバ
フィルタ３の前方に位置し前記箱体１の収納室１ａ内に
配設されており、全体が矩形状に形成されている。この
網部材２１は、大小２つのメツシュサイズすなわち中央
部分ａがその周囲すより小さいメンシュサイズを存して
おり、前記へバフィルタ３の中央部分を通過する空気流
に対しその周縁を通過する空気流より大きい抵抗を生じ
させることにより、その中央部分の空気流の速度を抑制
するように構成されている。なお、同図において、空気
流速Ｕ。
〜Ｕ、は、矢印の向きが流速の方向を、長さがその大き
さを示す。また、網部材２１の形状は前述したものに限
定されず、例えば円形状としてもよく、その形状は適宜
変形することができる。
さを示す。また、網部材２１の形状は前述したものに限
定されず、例えば円形状としてもよく、その形状は適宜
変形することができる。
このように構成されたストッカにおいては、機械室６内
のファン８が回転すると、クリーン室２内のクリーンエ
アが空気室１ｂを通過して収納室１ａ内に流入し、箱体
１内の空気清浄化を行うことができる。このとき、ヘパ
フィルタ３を通過する空気流の流速Ｕ１〜ＵＳが全て等
しくなり、その流速分布状態が均一になる。
のファン８が回転すると、クリーン室２内のクリーンエ
アが空気室１ｂを通過して収納室１ａ内に流入し、箱体
１内の空気清浄化を行うことができる。このとき、ヘパ
フィルタ３を通過する空気流の流速Ｕ１〜ＵＳが全て等
しくなり、その流速分布状態が均一になる。
なお、本実施例においては、網部材２工がへパフィルタ
３の前方に位置付ける例を示したが、本考案は第３図に
示すようにその後方に位置付けても勿論よい。
３の前方に位置付ける例を示したが、本考案は第３図に
示すようにその後方に位置付けても勿論よい。
また、本実施例においては、流速抑制手段として網部材
２１を用いる例を示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、第４図および第５図に示すように空気取
入口３１を開閉する調整弁３２を用いても実施例と同様
の効果を奏する。同図において、符号３３は前記空気室
１ｂを２つのチャンバー３４．３５に画成する有底箱状
の仕切板で、ヘパフィルタ３の中央部後方に取り付けら
れており、下部には前記両チャンバー３４．３５を連通
ずる前記空気取入口３１が形成されている。
２１を用いる例を示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、第４図および第５図に示すように空気取
入口３１を開閉する調整弁３２を用いても実施例と同様
の効果を奏する。同図において、符号３３は前記空気室
１ｂを２つのチャンバー３４．３５に画成する有底箱状
の仕切板で、ヘパフィルタ３の中央部後方に取り付けら
れており、下部には前記両チャンバー３４．３５を連通
ずる前記空気取入口３１が形成されている。
ここで、図中矢印Ｂはクリーンエアの流れ方向を示す。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、フィルタによって
その内部が収納室と空気室とに画成されこの空気室から
収納室に送風するファンを有する箱体からなり、この箱
体の内部にフィルタの中央部分を通過する空気流の速度
を抑制する流速抑制手段を配設したので、フィルタを通
過する空気流の流速分布を均一にすることができ、ファ
ン回転による清掃効率を確実に向上させることができる
。
その内部が収納室と空気室とに画成されこの空気室から
収納室に送風するファンを有する箱体からなり、この箱
体の内部にフィルタの中央部分を通過する空気流の速度
を抑制する流速抑制手段を配設したので、フィルタを通
過する空気流の流速分布を均一にすることができ、ファ
ン回転による清掃効率を確実に向上させることができる
。
第１図は本発明に係るストッカを示す断面図、第２図は
同じくストッカの要部を示す斜視図、第３図はその応用
例を示す断面図、第４図は他の実施例を示す断面図、第
５図は第４図のＶ−Ｖ断面図、第６図は従来のストッカ
を示す斜視図、第７図は第６図の■−■断面図、第８図
および第９図はその空気流の流速分布状態を説明するた
めの断面図である。 １・・・・箱体、１ａ・・・・収納室、１ｂ・・・・空
気室、３・・・・ヘパフィルタ、８・・・・ファン、２
１・・・・網部材。 代 理 人 大 岩 増 雄 第９図
同じくストッカの要部を示す斜視図、第３図はその応用
例を示す断面図、第４図は他の実施例を示す断面図、第
５図は第４図のＶ−Ｖ断面図、第６図は従来のストッカ
を示す斜視図、第７図は第６図の■−■断面図、第８図
および第９図はその空気流の流速分布状態を説明するた
めの断面図である。 １・・・・箱体、１ａ・・・・収納室、１ｂ・・・・空
気室、３・・・・ヘパフィルタ、８・・・・ファン、２
１・・・・網部材。 代 理 人 大 岩 増 雄 第９図
Claims (1)
- フィルタによってその内部が収納室と空気室とに画成さ
れこの空気室から前記収納室に送風するファンを有する
箱体からなり、この箱体の内部に前記フィルタの中央部
分を通過する空気流の速度を抑制する流速抑制手段を配
設したことを特徴とするストッカ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011286A JPS62217036A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | ストツカ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011286A JPS62217036A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | ストツカ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62217036A true JPS62217036A (ja) | 1987-09-24 |
Family
ID=13132702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6011286A Pending JPS62217036A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | ストツカ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62217036A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02265802A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-30 | Matsushita Electron Corp | ストッカ装置 |
| JPH0624507A (ja) * | 1992-04-02 | 1994-02-01 | Murata Mach Ltd | クリーン倉庫 |
| JPH0624509A (ja) * | 1992-04-09 | 1994-02-01 | Murata Mach Ltd | クリーン収納庫 |
| JPH07172506A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-11 | Murata Mach Ltd | クリーンルーム用自動倉庫 |
| US5525106A (en) * | 1993-04-12 | 1996-06-11 | Daifuku Co., Ltd. | Load storing equipment with cleaning device |
| JP2002343846A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | Shinko Electric Co Ltd | ストッカ |
| JP2009198014A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Shinryo Corp | 空調吹出装置 |
| WO2012035693A1 (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | ムラテックオートメーション株式会社 | 自動倉庫及び物品搬出方法 |
-
1986
- 1986-03-18 JP JP6011286A patent/JPS62217036A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02265802A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-30 | Matsushita Electron Corp | ストッカ装置 |
| JPH0624507A (ja) * | 1992-04-02 | 1994-02-01 | Murata Mach Ltd | クリーン倉庫 |
| JPH0624509A (ja) * | 1992-04-09 | 1994-02-01 | Murata Mach Ltd | クリーン収納庫 |
| US5525106A (en) * | 1993-04-12 | 1996-06-11 | Daifuku Co., Ltd. | Load storing equipment with cleaning device |
| JPH07172506A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-11 | Murata Mach Ltd | クリーンルーム用自動倉庫 |
| JP4696394B2 (ja) * | 2001-05-18 | 2011-06-08 | ムラテックオートメーション株式会社 | ストッカ |
| JP2002343846A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | Shinko Electric Co Ltd | ストッカ |
| JP2009198014A (ja) * | 2008-02-19 | 2009-09-03 | Shinryo Corp | 空調吹出装置 |
| JP4612067B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2011-01-12 | 新菱冷熱工業株式会社 | 空調吹出装置 |
| WO2012035693A1 (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | ムラテックオートメーション株式会社 | 自動倉庫及び物品搬出方法 |
| CN103119517A (zh) * | 2010-09-13 | 2013-05-22 | 村田机械株式会社 | 自动仓库以及物品搬出方法 |
| JP5549736B2 (ja) * | 2010-09-13 | 2014-07-16 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫及び物品搬出方法 |
| US8948908B2 (en) | 2010-09-13 | 2015-02-03 | Murata Machinery, Ltd. | Automated warehouse and article removal method |
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