JPH0648259Y2 - クリーンルーム用センサ類の取付構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、クリーンルームの室内環境を適性に維持する
ためのクリーンルーム用センサ類の取付構造に関する。

（従来技術） クリーンルームは、半導体製造や、薬品工場、医療施設
等の無菌室や無塵室として用いられ、空気中の粒子状物
質や微生物を規定されたレベルに管理している。

このようなクリーンルームでは、室内環境を常時適性に
維持するため、各種制御用センサが配置されている。

第３図はこの配置の様子を示したものであり、現状にあ
っては、サーモスタット等の各種制御用センサｂはクリ
ーンルームを形成する間仕切壁ａに直付けされ、室内に
突出している。

しかし、前記制御用センサ類が室内に突出した状態で取
り付けられていると、埃溜まりを形成することになり、
好ましくなかった。特に、クラス1000以上のクリーンル
ーム等では室内に埃溜まりが形成されるのを極端に嫌
い、望ましくなかった。このため、前記制御用センサは
壁面に埋め込んで設置するのが望ましいが、埋込みによ
っても測定性能の低下が問題視されない程度に高感度な
センサは、現時点では見当たらない。

（考案が解決しようとする課題） このため、前記センサ類の取り付けは、既述したとお
り、間仕切壁面に突出されて埃溜まりを形成していた。
又、このような取り付け状態は取付壁面において乱気流
を発生させるばかりか、室内消毒時に散布される薬剤か
らの保護を図るため、センサを取り外さねばならない手
間を要した。

本考案は、上記事情に鑑みなされたもので、埃溜まりを
作らず、また室内気流も乱さず、且つ室内消毒時におけ
る取り外しの手間も不要にし、しかもセンサの制御特性
も損なわないクリーンルーム用センサ類の取付構造を提
供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本考案の係る目的は、クリーンルームを形成する間仕切
壁の室外部に突出するように配置し且つ前記間仕切壁に
形成した開口部に接する面を解放すると共に、上面に排
気口を有し且つ前記間仕切壁の壁面と平行な内壁面を制
御用センサの取付可能面に設けると共に該取付面に連続
する下面がクリーンルームの床面に向かって下方向へ傾
斜した傾斜面として前記開口部に気密に取り付けた略箱
体と、前記制御用センサの前面に位置し且つ前記間仕切
壁の壁面に沿った位置に着脱自在な前部カバープレート
とを備えたことを特徴とするクリーンルーム用センサ類
の取付構造により達成される。

（作用） 制御用センサ類をクリーンルーム内に突出させないた
め、前記センサ類を収納した略箱体（ケース）をクリー
ンルーム外部に突出させ、前記間仕切壁が略平坦面に成
るように構成しているので、室内に埃溜まりが形成され
ない。又、室内の気流も乱さない。更に、センサの取り
付け部には排気口を設けているので、センサは制御特性
に影響を与えることなくクリーンルーム内の環境と同一
条件を測定できる。しかも、センサ前面に前部カバープ
レートを設けているので、消毒剤等からセンサを保護で
きる。

（実施態様） 以下、添付した図面に基づき本考案のクリーンルーム用
センサ類の取付構造の一実施態様について説明する。

第１図は本考案に基づく制御用センサ類の取付構造を示
す断面図である。

図において、クリーンルームを形成する間仕切壁１は、
表面材2,2により断熱材３がサンドイッチ状に被覆され
てパネル状に設けられている。

前記間仕切壁１は所定箇所が開口された開口部４を備え
ており、後述する略箱体（以下、単にケースと呼ぶ）６
が前記開口部４に接してクリーンルーム外部へ突出する
ように配置されている。

更に詳述すれば、前記ケース６は前記開口部４を塞ぐよ
うにして室外部へ突出して配置されており、又、この開
口部４に対応する面が解放され且つ前記間仕切壁１と気
密状態に取り付けられている。即ち、前記ケース６は解
放された面の周縁が外方に折曲されたフランジ部７を形
成しており、該フランジ部７を前記開口部４の周縁に係
止させて前記間仕切壁１に取り付けられている。

又、前記ケース６はクリーンルーム外方へ延長された上
面８の一部領域にソケットが形成されて排気口11を構成
すると共に、前記間仕切壁１と平行な内壁面９が制御用
センサ５を取付可能に設けられている。更に、前記ケー
ス６は前記センサ取付面に連続する下面10がクリーンル
ームの床面に向かって下方向へ傾斜した傾斜面に設けら
れている。なお、前記排気口11は、図示しないクリーン
ルーム全体の排気ダクトに連通している。

一方、本考案のセンサ類の取付構造は、前記センサ５の
前方に位置し且つ前記間仕切壁１の壁面に沿った位置
に、前部カバープレート12を配置している。前記前部カ
バープレート12は前記間仕切壁１と着脱自在に配置さ
れ、且つ前記ケース６解放面の一部領域だけを覆うよう
に形成されている。即ち、前記前部カバープレート12は
前記センサ５を消毒剤等から保護するもので、しかも気
流を乱さず且つセンサの制御特性を損なわせないため
に、既述のような構成により配置されている。

前記センサ５としては、目的に応じた各種センサが用い
られ、温度・湿度センサの他に、ガスセンサや光センサ
等が任意に適用される。

なお、図中矢印は室内気流を示しており、図からも明ら
かなとおり、前記ケース６の下面10を傾斜させたことに
より、気流の澱み領域の発生が阻止される。

上記の如く構成されたセンサ取付構造では、室内気流は
前記間仕切壁の壁面に沿って乱れることなく流れ、しか
も解放面よりセンサ位置に案内されて排気口より排気さ
れる。

第２図は、排気口の他の実施態様を図示するもので、排
気口11には超小型換気扇13が取り付けられている。この
ように構成することにより、排気口11はクリーンルーム
全体の排気ダクトに連通する必要がなく、工事が簡素化
される。

なお、本考案による取付構造は、クリーンルームの室内
気流方式、即ち非層流形と層流形の如何に係わらず適用
できるものであるが、特に乱気流を生じさせない点か
ら、層流形に適用されて顕著な効果を有する。

（考案の効果） 以上述べたように、本考案のクリーンルーム用センサの
取付構造によれば、センサが間仕切壁内に略埋込まれた
埋込み方式のため、埃溜まりの形成が阻止できると共
に、乱気流の発生が抑えられて洗浄度を高レベルに維持
できる。又、センサ収容ケースに排気口を設け、この排
気口をレターンダクトと接続することにより、センサ面
に適当な風速が与えられてセンサの制御特性が確実に確
保される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施態様によるクリーンルーム用制
御センサ類の取付構造を説明する断面図、第２図は排気
口の他の実施態様を説明する断面図、第３図は従来構造
を説明する断面図である。 １……間仕切壁、２……表面材、 ３……断熱材、４……開口部、 ５……制御用センサ、６……ケース、 ７……フランジ部、８……上面、 ９……内壁面、10……傾斜面、 11……排気口、 12……前部カバープレート、 13……超小型換気扇

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルームを形成する間仕切壁の室外
   部に突出するように配置し且つ前記間仕切壁に形成した
   開口部に接する面を開放すると共に、上面に排気口を有
   し且つ前記間仕切壁の壁面と平行な内壁面を制御用セン
   サの取付可能面に設けると共に該取付面に連続する下面
   がクリーンルームの床面に向かって下方向へ傾斜した傾
   斜面として前記開口部に気密に取り付けた略箱体と、前
   記制御用センサの前面に位置し且つ前記間仕切壁の壁面
   に沿った位置に着脱自在な前部カバープレートとを備え
   たことを特徴とするクリーンルーム用センサ類の取付構
   造。