JPH04118015A - 簡易型クリーンルーム - Google Patents
簡易型クリーンルームInfo
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- JPH04118015A JPH04118015A JP23944090A JP23944090A JPH04118015A JP H04118015 A JPH04118015 A JP H04118015A JP 23944090 A JP23944090 A JP 23944090A JP 23944090 A JP23944090 A JP 23944090A JP H04118015 A JPH04118015 A JP H04118015A
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- Japan
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- room
- clean room
- air
- chamber
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- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 8
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
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- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
所定空間の一部を占める簡易型のクリーンルームに関し
、 保管が容易で高清浄度を得ることを目的とし、所定空間
の一部を占める簡易型クリーンルームにおいて、所定の
エアフィルタか介在されたチャンバとルームとが柔軟性
膜部材により形成され、該チャンバ内にエアを送る送風
手段を設ける構成とする。
、 保管が容易で高清浄度を得ることを目的とし、所定空間
の一部を占める簡易型クリーンルームにおいて、所定の
エアフィルタか介在されたチャンバとルームとが柔軟性
膜部材により形成され、該チャンバ内にエアを送る送風
手段を設ける構成とする。
本発明は、所定空間の一部を占める簡易型のクリーンル
ームに関する。
ームに関する。
近年、半導体装置等の製造では高清浄度空間のクリーン
ルームが使用されるが、このクリーンルームの一角又は
通常空間の一角に、別の簡易なりリーンルームが使用さ
れる場合もある。そのため、この簡易なりリーンルーム
においても高清浄度が要求されている。
ルームが使用されるが、このクリーンルームの一角又は
通常空間の一角に、別の簡易なりリーンルームが使用さ
れる場合もある。そのため、この簡易なりリーンルーム
においても高清浄度が要求されている。
第３図に従来の簡易型のクリーンルームの概念図を示す
。第３図（Ａ）はクリーンルーム内の−角に簡易型のク
リーンルームを設けた場合を示し、第３図（Ｂ）は通常
空間内に簡易型のクリーンルームを設けた場合を示して
いる。
。第３図（Ａ）はクリーンルーム内の−角に簡易型のク
リーンルームを設けた場合を示し、第３図（Ｂ）は通常
空間内に簡易型のクリーンルームを設けた場合を示して
いる。
第３図（Ａ）において、クリーンルーム１０と通常空間
１１とが隣接されており、クリーンルーム１０の一角に
、該通常空間１１と隣接して簡易型のクリーンルーム１
２が設けられる。このクリーンルーム１２は、ビニール
シート等で形成され、通常空間１１とは扉１３て連通ず
る。また、クリーンルーム１０内と簡易型のクリーンル
ーム１２とはＨＥ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉ
ｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔ
ｅｒ）フィルタ１４か介在する。
１１とが隣接されており、クリーンルーム１０の一角に
、該通常空間１１と隣接して簡易型のクリーンルーム１
２が設けられる。このクリーンルーム１２は、ビニール
シート等で形成され、通常空間１１とは扉１３て連通ず
る。また、クリーンルーム１０内と簡易型のクリーンル
ーム１２とはＨＥ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉ
ｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ−ｆｉｌｔ
ｅｒ）フィルタ１４か介在する。
この場合、クリーンルームｌＯと簡易型のクリーンルー
ム１２とは気圧状態は同じてあり、通常空間１１に対し
て陽圧となっている。従って、クリーンルーム１２の扉
１３を開放しても通常空間１１の方向に気流を生じて塵
埃の侵入を防止する。
ム１２とは気圧状態は同じてあり、通常空間１１に対し
て陽圧となっている。従って、クリーンルーム１２の扉
１３を開放しても通常空間１１の方向に気流を生じて塵
埃の侵入を防止する。
このような簡易型のクリーンルーム１２は、クリーンル
ーム１０に設備１５を搬入する場合等に一時受入れ、該
クリーンルーム１０を直接汚染するのを防止するもので
ある。
ーム１０に設備１５を搬入する場合等に一時受入れ、該
クリーンルーム１０を直接汚染するのを防止するもので
ある。
次に、第３図（Ｂ）において、通常空間２０内の一角に
簡易型のクリーンルーム２１を設けたもので、通常空間
２０内で、−時的な清浄空間か必要な場合に、設備等の
保管、搬出入を行うものである。
簡易型のクリーンルーム２１を設けたもので、通常空間
２０内で、−時的な清浄空間か必要な場合に、設備等の
保管、搬出入を行うものである。
このクリーンルーム２１は、ファン２２か設けられる通
気孔２３よりエアを送り、ＨＥＰＡフィルタ２４を通し
て清浄空気をルーム内にダウンフローし、該ファン２２
によりエアを循環させるものである。
気孔２３よりエアを送り、ＨＥＰＡフィルタ２４を通し
て清浄空気をルーム内にダウンフローし、該ファン２２
によりエアを循環させるものである。
しかし、第３図（Ａ）のような簡易型のクリーンルーム
１２は、送風手段を有していないことがら、ルーム内の
空気流か乱流になり易く、クリーンルーム１０と同等の
高い清浄度か得られず、該クリーンルーム１０内を汚染
し易い。また、第３図（Ｂ）のような簡易型のクリーン
ルーム２１は、それなりの清浄度は得られるが、不使用
時の保管が困難であるという問題がある。
１２は、送風手段を有していないことがら、ルーム内の
空気流か乱流になり易く、クリーンルーム１０と同等の
高い清浄度か得られず、該クリーンルーム１０内を汚染
し易い。また、第３図（Ｂ）のような簡易型のクリーン
ルーム２１は、それなりの清浄度は得られるが、不使用
時の保管が困難であるという問題がある。
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、保管
が容易で高清浄度が得られる簡易型のクリーンルームを
提供することを目的とする。
が容易で高清浄度が得られる簡易型のクリーンルームを
提供することを目的とする。
上記課題は、所定空間の一部を占める簡易型クリーンル
ームにおいて、所定のエアフィルタか介在されたチャン
バとルームとが柔軟性膜部材により形成され、該チャン
バ内にエアを送る送風手段を設けることにより解決され
る。
ームにおいて、所定のエアフィルタか介在されたチャン
バとルームとが柔軟性膜部材により形成され、該チャン
バ内にエアを送る送風手段を設けることにより解決され
る。
上述のように、送風手段によりエアフィルタを通してル
ーム内にクリーンエアを送風する。これにより、ルーム
内には一定の空気流となって乱流を生じることなく、高
清浄度のルームを得ることが可能となる。
ーム内にクリーンエアを送風する。これにより、ルーム
内には一定の空気流となって乱流を生じることなく、高
清浄度のルームを得ることが可能となる。
また、チャンバ及びルームは柔軟性膜部材て形成してい
る。これにより、折り畳むことができ、不使用時の保管
が容易となる。
る。これにより、折り畳むことができ、不使用時の保管
が容易となる。
第１図に本発明の一実施例の構成図を示す。第１図にお
いて、簡易型のクリーンルーム１は、チャンバ２とルー
ム３とが、エアフィルタ４により仕切られて、柔軟性膜
部材５により形成される。
いて、簡易型のクリーンルーム１は、チャンバ２とルー
ム３とが、エアフィルタ４により仕切られて、柔軟性膜
部材５により形成される。
エアフィルタ４は、例えばＨＥＰＡフィルタ又はＵ Ｌ
Ｐ Ａ （Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉ
ｏｎ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）フィルタが使用される。
Ｐ Ａ （Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉ
ｏｎ Ａｉｒ−ｆｉｌｔｅｒ）フィルタが使用される。
また、柔軟性膜部材５は、例えばフッ素樹脂高機能材料
か、耐久性、機密性に鑑み使用される。
か、耐久性、機密性に鑑み使用される。
そして、チャンバ２には送風手段であるファン６か設け
られ、外気を、エアフィルタ４を通してルーム３内に清
浄度の高いエアを強制的に送風する。なお、図示しない
が、ルーム３には排気のための排気部か形成される。
られ、外気を、エアフィルタ４を通してルーム３内に清
浄度の高いエアを強制的に送風する。なお、図示しない
が、ルーム３には排気のための排気部か形成される。
また、このクリーンルームｌは、保管時にはエアフィル
タ４．ファン６及び柔軟性膜部材５に分離される。
タ４．ファン６及び柔軟性膜部材５に分離される。
このようなりリーンルーム１は、第３図に示すようなり
リーンルーム（１０）又は通常空間（２０）等の所定空
間の一部を占めるように設けられる。すなわち、ルーム
３内にはファン６によりエアフィルタを介して強制的に
送風される。
リーンルーム（１０）又は通常空間（２０）等の所定空
間の一部を占めるように設けられる。すなわち、ルーム
３内にはファン６によりエアフィルタを介して強制的に
送風される。
従って、ルーム３内で乱流を生じることなく清浄度の高
いエアが送られる。これにより、該クリーンルームを、
第３図（Ａ）に示すようなりリーンルーム１０に設けた
場合でも、該クリーンルーム１０を汚染することなく、
同等の高清浄度を得ることができる。
いエアが送られる。これにより、該クリーンルームを、
第３図（Ａ）に示すようなりリーンルーム１０に設けた
場合でも、該クリーンルーム１０を汚染することなく、
同等の高清浄度を得ることができる。
また、クリーンルームｌは、上述のようにそれぞれを分
離することが可能であり、不使用時には折り畳み収納を
行うことができる。すなわち、保管、搬出入か容易であ
り、折り畳み可能な簡易型としては高清浄空間を得るこ
とができる。
離することが可能であり、不使用時には折り畳み収納を
行うことができる。すなわち、保管、搬出入か容易であ
り、折り畳み可能な簡易型としては高清浄空間を得るこ
とができる。
次に、第２図に、本発明の他の実施例の構成図を示す。
第２図において、クリーンルーム１は、ルーム３よりフ
ァン６に循環ダクト７を設け、清浄度の高いエアを循環
させて、より高清浄度を得ようとするものである。この
循環ダクト７は上述の柔軟性膜部材５によりルーム３と
一体に形成される。従って、分離時もファン６より分離
され、ルーム３（チャンバ２）と一体で収納される。
ァン６に循環ダクト７を設け、清浄度の高いエアを循環
させて、より高清浄度を得ようとするものである。この
循環ダクト７は上述の柔軟性膜部材５によりルーム３と
一体に形成される。従って、分離時もファン６より分離
され、ルーム３（チャンバ２）と一体で収納される。
以上のように本発明によれば、チャンバ及びルームを柔
軟性膜部材により形成し、チャンバに送風手段を設ける
ことにより、不使用時の保管が容易であり、高清浄度を
得ることができる。
軟性膜部材により形成し、チャンバに送風手段を設ける
ことにより、不使用時の保管が容易であり、高清浄度を
得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、
第２図は本発明の他の実施例の構成図、第３図は従来の
簡易型のクリーンルームの概念図である。 図において、 ■はクリーンルーム、 ２はチャンバ ３はルーム、 ４はエアフィルタ、 ５は柔軟性膜部材、 ６はファン（送風手段） ７は循環ダクト を示す。
簡易型のクリーンルームの概念図である。 図において、 ■はクリーンルーム、 ２はチャンバ ３はルーム、 ４はエアフィルタ、 ５は柔軟性膜部材、 ６はファン（送風手段） ７は循環ダクト を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定空間の一部を占める簡易型クリーンルームにおいて
、 所定のエアフィルタ（４）が介在されたチャンバ（２）
とルーム（３）とが柔軟性膜部材（５）により形成され
、 該チャンバ（２）内にエアを送る送風手段（６）を設け
ることを特徴とする簡易型クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23944090A JPH04118015A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | 簡易型クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23944090A JPH04118015A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | 簡易型クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04118015A true JPH04118015A (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=17044805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23944090A Pending JPH04118015A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | 簡易型クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04118015A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998015659A1 (en) * | 1996-10-10 | 1998-04-16 | Envirogen, Inc. | Biofilter with modular panels and method of using the same |
| JP2017513693A (ja) * | 2014-03-21 | 2017-06-01 | ライフ テクノロジーズ コーポレイション | 流体処理システムのためのガスフィルタシステム |
| US10711233B2 (en) | 2010-02-22 | 2020-07-14 | Life Technologies Corporation | Heat exchanger system with flexible bag |
| US10822582B2 (en) | 2014-10-07 | 2020-11-03 | Life Technologies Corporation | Regulated vacuum off-gassing of gas filter for fluid processing system and related methods |
| US11229855B2 (en) | 2014-03-21 | 2022-01-25 | Life Technologies Corporation | Condenser systems for processing a fluid |
| US11268056B2 (en) | 2015-12-29 | 2022-03-08 | Life Technologies Corporation | Flexible bioprocessing container with partial dividing partition |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP23944090A patent/JPH04118015A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998015659A1 (en) * | 1996-10-10 | 1998-04-16 | Envirogen, Inc. | Biofilter with modular panels and method of using the same |
| US5821114A (en) * | 1996-10-10 | 1998-10-13 | Envirogen, Inc. | Biofilter with modular panels and method of using the same |
| US12012579B2 (en) | 2010-02-22 | 2024-06-18 | Life Technologies Corporation | Heat exchanger system with flexible bag |
| US11492582B2 (en) | 2010-02-22 | 2022-11-08 | Life Technologies Corporation | Heat exchanger system with flexible bag |
| US10711233B2 (en) | 2010-02-22 | 2020-07-14 | Life Technologies Corporation | Heat exchanger system with flexible bag |
| US11229855B2 (en) | 2014-03-21 | 2022-01-25 | Life Technologies Corporation | Condenser systems for processing a fluid |
| US10688429B2 (en) | 2014-03-21 | 2020-06-23 | Life Technologies Corporation | Gas filter systems for fluid processing systems |
| US11717768B2 (en) | 2014-03-21 | 2023-08-08 | Life Technologies Corporation | Condenser bag for processing a fluid |
| JP2017513693A (ja) * | 2014-03-21 | 2017-06-01 | ライフ テクノロジーズ コーポレイション | 流体処理システムのためのガスフィルタシステム |
| US12076681B2 (en) | 2014-03-21 | 2024-09-03 | Life Technologies Corporation | Methods for gas filtration in fluid processing systems |
| US10822582B2 (en) | 2014-10-07 | 2020-11-03 | Life Technologies Corporation | Regulated vacuum off-gassing of gas filter for fluid processing system and related methods |
| US11685886B2 (en) | 2014-10-07 | 2023-06-27 | Life Technologies Corporation | Regulated vacuum off-gassing of gas filter for fluid processing system and related methods |
| US11268056B2 (en) | 2015-12-29 | 2022-03-08 | Life Technologies Corporation | Flexible bioprocessing container with partial dividing partition |
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