JPS62269334A - ウエ−ハキヤリア - Google Patents

ウエ−ハキヤリア

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JPS62269334A
JPS62269334A JP61115391A JP11539186A JPS62269334A JP S62269334 A JPS62269334 A JP S62269334A JP 61115391 A JP61115391 A JP 61115391A JP 11539186 A JP11539186 A JP 11539186A JP S62269334 A JPS62269334 A JP S62269334A
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晃 町田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 二次電池を内蔵し運搬中はこの電池によりファンを廻し
て送気し、特定位置に置いた時は送気と同時にこの電池
に充電することの出来る空気清浄器を備えたウェーハキ
ャリアで、ウェーハ表面への塵埃付着を防止し、清浄に
保つ。
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハキャリアの構造に関する。
半導体ウェーハの表面を常に清浄に保つことは重要なこ
とで、そのためにウェーハプロセスは全て、塵埃を少な
くしたクリーンルームの内部やクリーンベンチの内部で
行われている。特に半導体装置の集積度が上がるに従っ
て、このウェーハ表面への塵埃付着防止はまずます重要
になって来ている。
各ウェーハ処理工程間におけるウェーハの運搬および保
管は通常ウェーハキャリアにウェーハを収納して行われ
るが、この時においてもウェーハへの塵埃付着防止に細
心の注意を要することは勿論である。
従来のウェーハキャリアは収納箱の両側が開放になって
おり、運搬および保管は多くの場合、このウェーハキャ
リアを密閉式のホックスの中に収容して行う。しかし前
記ボックスへの出し入れ操作は人手によって行われ、又
時にはウエーハキャリアのままで運搬が行われたりする
。この場合は最も大きい“ゴミ°゛の発生源たる人間が
近くにあるため、開放口より塵埃が舞い込んでウェーハ
を汚す危険性が多分にある。
本発明はウェーハ収納部に常に清浄な空気を流し、塵埃
の侵入を防止し得る簡易なウェーハキャリアを提供しよ
うとするものである。
〔従来の技術〕
第３図は従来例におけるウェーハキャリアの構造斜視図
である。
図において、１は側板であり、これに横方向に配列した
多数の溝２を設け、この溝２が対向するように側板ｌを
左右に置き、ごれを上板３および底板４　（底板４はこ
の図では隠れて見えない）により支える構造になっ°ζ
いて、前方と後方は何もなく開放され開口になっていて
いる。
この禍２の深さは挿入されたウェーハ５が落ちない程度
となっていて、ウェーハ５は開放された前方または後方
の開１０から、溝２に嵌めるように挿入する。ウェーハ
５の取り出しもこの前後の開Ｌ１より行う。
このように従来のウェーハキャリア６は全く開放的な構
造であるため、クリーンルームの内においても、このウ
ェーハキャリア６を口承しないボックスに入れてから運
搬および保管を行うことをたてまえとしている。
然しなからウェーハ５をウェーハキャリア６に出し入れ
すること、およびウェーハ収納のウェーハキャリア６を
ボックスに出し入れすることは、多くの場合、人手によ
って行われる。この時、クリーンルームの内では最大の
ゴミの発生源である人体がウェーハキャリア６の近くに
あることは、ウェーハギヤリア６に収納したウェーハ５
に巻き込まれた塵埃が付着するので極めて好ましくない
ことである。
また、自動化されていない限り、運１般、保管が常にウ
ェーハキャリアをボックスに収納して行っているとの保
証もない。
従って、従来例の前後面開放型のウェーハキャリアは塵
埃の侵入を許すもので、この点を改善した取扱い簡易な
装置が望まれている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来のウェーハキャリアは内部に塵埃が容易に侵入する
構造であった。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点の解決は、ウェーハを複数平行に収納するウ
ェーハ収納部（７）と、電源（１３）と、該電源（１３
）により作動し、外部の空気を取り込みフィルター（１
２）を介して、前記ウェーハ収納部（７）に送るファン
（１０）とを備えてなる本発明によるウェーハキャリア
により達成される。
〔作用〕
二次電池を内蔵し運搬中はこの二次電池によりファンを
動かして送気し、特定位置に置いた時は、この電池に充
電しなから送気を行うことが出来る空気清浄器を備えた
ウェーハキャリアで、ウェー八表面への塵埃付着を防止
し、清浄に保つ。
〔実施例〕
第１図（ａ）　、（ｂ）は本発明の実施例（１）におげ
ろウェーハキャリアの構造図で、（ａ）は斜視図、（ｂ
）は側断面図である。
これら図において、７はウェーハ収納部であり、これの
後方開口部に接して空気清浄器８を有する構造となって
いる。
ウェーハ収納部７は全〈従来のウェーハキャリアと全く
同じ構造であり、又空気清浄器８は上方に空気取入口９
を有し、この空気取入口９の下にはファン１０があり、
これにより空気を吸入し下方のチェンバー１１に送気す
る。このチェンバー１１の前部にはフィルター１２が設
けられ、このフィルター１２を通して濾過された清浄な
空気がウェーハ収納部７の後方開口部に送り出される。
更にファンＩＯの両側には二次電池１３としてＮｉＣｄ
電池を設け、また空気清浄器８の外側下方に二次電池１
３に充電するための端子１４を有する。これによりウェ
ーハキャリア６を運搬している場合等には二次電池１３
によりファン１０を作動させ、ウェーハキャリア６を定
位置に置いて保管したり、あるいは装置にセットして加
工作業に使用する場合には、二次電池Ｉ３に充電しなが
らファン１０を作動させる。
第２図（ａ）　、（ｂ）は本発明の実施例（２）におけ
るウェーハキャリアの構造図で、（ａ）は斜視図、（ｂ
）は側断面図である。
これは空気清浄器８をウェーハ収納部７の上部に取りつ
げた型のもので、後側板１５をもつためフィルター１２
を通過した空気流は、ウェーハ収納部７の前方および下
方に向かう空気流となり、ウェーハ収納部内において圧
力の低いウェーハ間の部分を流れ外部に放出される。よ
って、このウェーハキャリアにおいても塵埃の侵入の防
止および表面の浄化がなされ、機能的にはウェーハ収納
部７を後部に取りつけた実施例（１）の型のものと同様
な効果が得られる。
本発明における空気清浄器付きウェーハキャリアの成績
は次の如くであった。
周囲雰囲気としては、クラス１０万以上の一般事務所に
おいて、フィルター１２にＨＥＰＡフィルターを使用し
、ウェーハ収納部７における吹き出し風速０．２〜０．
５　ｍ　／ｓｅｃで、０．１　μｍ以上の粒子数が数ケ
／ｃｆ　ｔの結果を得ることが出来た。
〔発明の効果〕
空気清浄器付きウェーハキャリアは塵埃の侵入を防止し
、またウェーハから発生ずるガスがあるときはこれを除
去することが出来る。
例えばトライエツチング直後は生成ガスが付着した状態
でウェーハが出て来ることがある。これを従来は密閉し
たボックスに入れて保管、運搬していた。本発明による
と、これも改善することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）　、（ｂ）は本発明の実施例（１）におけ
るウェーハキャリアの構造Ｍ。 第２図（ａ）　、（ｂ）は本発明の実施例（２）におけ
ろ ｌウェーハキャリアの構造図、 第３図は従来例におけるウェーハキャリア構造斜視図で
ある。 図において、 １は側板、 ２は溝、 ３は上板、 ４は底板、 ５はウェーハ、 ６はウェーハキャリア、 ７はウェーハ収納部、 ８は空気清浄器、 ９は空気取入口、 １０はファン、 １１はチェンバー、 １２はフィルター、 １３は二次電池（ＮｉＣｄ電池）、 １４ば端子、 １５は後側板

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 　ウェーハを複数平行に収納するウェーハ収納部（７）
    と、 電源（１３）と、該電源（１３）により作動し、外部の
    空気を取り込みフィルター（１２）を介して、前記ウェ
    ーハ収納部（７）に送るファン（１０）とを備えてなる ことを特徴とするウェーハキャリア。
JP61115391A 1986-05-19 1986-05-19 ウエーハキャリア Expired - Lifetime JPH0736418B2 (ja)

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JP61115391A JPH0736418B2 (ja) 1986-05-19 1986-05-19 ウエーハキャリア
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JPS62269334A true JPS62269334A (ja) 1987-11-21
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