JPH02278746A - ウェハー保管箱 - Google Patents
ウェハー保管箱Info
- Publication number
- JPH02278746A JPH02278746A JP1100422A JP10042289A JPH02278746A JP H02278746 A JPH02278746 A JP H02278746A JP 1100422 A JP1100422 A JP 1100422A JP 10042289 A JP10042289 A JP 10042289A JP H02278746 A JPH02278746 A JP H02278746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- pressure
- storage box
- outside
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 18
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 10
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体ウェハー製造装置において補助治具とし
て使用するウェハー保管箱に関する。
て使用するウェハー保管箱に関する。
従来、この種のウェハー保管箱(以下保管箱という)は
、外部からの塵埃の侵入を防止するために、ウェハー取
出し口にパツキンの取り付けられた蓋を有する構造のも
のや、あるいは電動ファンを使用し、前記箱へフィルタ
ーを通した清浄空気を流入させる構造のものが用いられ
ていた。
、外部からの塵埃の侵入を防止するために、ウェハー取
出し口にパツキンの取り付けられた蓋を有する構造のも
のや、あるいは電動ファンを使用し、前記箱へフィルタ
ーを通した清浄空気を流入させる構造のものが用いられ
ていた。
上述した従来の保管箱は、第2図の縦断面図に示すよう
に、本体9内にウェハーを支持する側溝3を有し、パツ
キン2を介して蓋1を開閉する構造となっている。
に、本体9内にウェハーを支持する側溝3を有し、パツ
キン2を介して蓋1を開閉する構造となっている。
このように、従来の保管箱はその構造上、外部からの塵
埃の侵入をウェハー取出し口のパツキンにより防止する
形式をとっているだけなので、パツキン部の隙間から塵
埃の侵入を許してしまう欠点がある。
埃の侵入をウェハー取出し口のパツキンにより防止する
形式をとっているだけなので、パツキン部の隙間から塵
埃の侵入を許してしまう欠点がある。
一方、清浄空気をフィルターを通してファンで保管箱内
へ流入させる方式では、ファンを動作させるための電源
及びファン自身が重く、又、塵埃の多い外部環境で利用
すると、逆にフィルターで取り切れない一部塵埃を保管
箱内へ流入させてしまったり、又、保管箱を置く場合に
も、積み重ねて保管箱を置くと、ファンから出る熱を外
部へ排出するための空間やファンへの空気取入れ口の空
間を必要とするため、保管のための大きな空間を必要と
する欠点がある。
へ流入させる方式では、ファンを動作させるための電源
及びファン自身が重く、又、塵埃の多い外部環境で利用
すると、逆にフィルターで取り切れない一部塵埃を保管
箱内へ流入させてしまったり、又、保管箱を置く場合に
も、積み重ねて保管箱を置くと、ファンから出る熱を外
部へ排出するための空間やファンへの空気取入れ口の空
間を必要とするため、保管のための大きな空間を必要と
する欠点がある。
又、ファンを動作させるための電源も、保管箱が移動で
きるものである場合には蓄電池に限られてしまい、ファ
ンを動作させて清浄度を保てる時間も蓄電池の容量が少
ないので短時間となってしまう。
きるものである場合には蓄電池に限られてしまい、ファ
ンを動作させて清浄度を保てる時間も蓄電池の容量が少
ないので短時間となってしまう。
本発明は、内部に清浄気体を満たしウェハー出し入れ用
のパツキン付きの蓋を有するウェハー保管箱において、
清浄気体を充填したボンベと、この清浄気体を送り込み
前記保管箱内を外部雰囲気より陽圧にする弁とを備えた
ウェハー保管箱である。
のパツキン付きの蓋を有するウェハー保管箱において、
清浄気体を充填したボンベと、この清浄気体を送り込み
前記保管箱内を外部雰囲気より陽圧にする弁とを備えた
ウェハー保管箱である。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。蓋1
はウェハーの出し入れに使用し、パツキン2を介して本
体9の内部と外部雰囲気とを隔絶している。側溝3はウ
ェハー同士が接触しないように設けられた溝である。管
4は、外部からボンベ6へ弁5を通して清浄空気を充填
するためのものである。
はウェハーの出し入れに使用し、パツキン2を介して本
体9の内部と外部雰囲気とを隔絶している。側溝3はウ
ェハー同士が接触しないように設けられた溝である。管
4は、外部からボンベ6へ弁5を通して清浄空気を充填
するためのものである。
本体9内の圧力が一定圧以下となった場合に、弁7が開
いてボンベ6内の清浄空気は管8を通って本体9内へ充
填され、本体9内を外部に対して陽圧とし、外部からの
塵埃の流入を防止する。
いてボンベ6内の清浄空気は管8を通って本体9内へ充
填され、本体9内を外部に対して陽圧とし、外部からの
塵埃の流入を防止する。
又、弁7は、本体9内の圧力が一定圧力より高くなると
閉となり、ボンベ6より本体9内へ清浄空気が流入する
のを停止させるようになでいる。
閉となり、ボンベ6より本体9内へ清浄空気が流入する
のを停止させるようになでいる。
以上説明したように本発明は、ウェハーを保管する本体
内の圧力を、外部よりも陽圧とすることにより、パツキ
ンの一部シーリング不良箇所を通して微細な塵埃が本体
内へ流入するのを防止する効果がある。
内の圧力を、外部よりも陽圧とすることにより、パツキ
ンの一部シーリング不良箇所を通して微細な塵埃が本体
内へ流入するのを防止する効果がある。
又、本体内を陽圧に保つには、ボンベより充填される清
浄空気により行うため、ファンや電源、フィルター等の
大きな装置を用いる必要はない。
浄空気により行うため、ファンや電源、フィルター等の
大きな装置を用いる必要はない。
更に、弁7の動作圧力を、清浄なりリーンルーム内の圧
力よりも多少低く設定することにより、蓋を開けてウェ
ハーを出し入れする際に、この弁7が閉になるようにし
ておくと、パツキンを通して本体内へ塵埃が侵入するこ
とのないクリーンルーム内では、ボンベ内の清浄空気を
使用しないようにすることができる。
力よりも多少低く設定することにより、蓋を開けてウェ
ハーを出し入れする際に、この弁7が閉になるようにし
ておくと、パツキンを通して本体内へ塵埃が侵入するこ
とのないクリーンルーム内では、ボンベ内の清浄空気を
使用しないようにすることができる。
このようにすれば、ボンベ内の気体を無駄に使用するこ
とがないため、塵埃等の多い場所で、しかも長期間、本
体内の清浄度を維持することができる利点がある。
とがないため、塵埃等の多い場所で、しかも長期間、本
体内の清浄度を維持することができる利点がある。
第1図は本発明の一実施例の縦断面図、第2図は従来例
の縦断面図である。 1・・・蓋、2・・・パツキン、3・・・側溝、4・・
・管、5・・・弁、6・・・ボンベ、7・・・弁、8・
・・管、9・・・本体。
の縦断面図である。 1・・・蓋、2・・・パツキン、3・・・側溝、4・・
・管、5・・・弁、6・・・ボンベ、7・・・弁、8・
・・管、9・・・本体。
Claims (1)
- 内部に清浄気体を満たしウェハー出し入れ用のパッキン
付きの蓋を有するウェハー保管箱において、清浄気体を
充填したボンベと、この清浄気体を送り込み前記保管箱
内を外部雰囲気より陽圧にする弁とを備えたことを特徴
とするウェハー保管箱。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1100422A JPH02278746A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | ウェハー保管箱 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1100422A JPH02278746A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | ウェハー保管箱 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02278746A true JPH02278746A (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=14273537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1100422A Pending JPH02278746A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | ウェハー保管箱 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02278746A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007311742A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd | キャリヤ,設備連結装置,およびこれらを有した搬送連結システム |
EP2085325A1 (en) * | 2006-11-24 | 2009-08-05 | Miraial CO., LTD. | Sheet storing carrier system and reticle case making use of the same |
JP2010503990A (ja) * | 2006-09-14 | 2010-02-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | キャリアガスシステムおよび基板キャリアのロードポートとの連結 |
JP2018032880A (ja) * | 2007-05-17 | 2018-03-01 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 側部開口部基板キャリアおよびロードポート |
US11201070B2 (en) | 2007-05-17 | 2021-12-14 | Brooks Automation, Inc. | Side opening unified pod |
CN114535213A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-05-27 | 中环领先半导体材料有限公司 | 一种大尺寸包装片盒清洗后的保护方法 |
-
1989
- 1989-04-19 JP JP1100422A patent/JPH02278746A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007311742A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co Ltd | キャリヤ,設備連結装置,およびこれらを有した搬送連結システム |
JP4584894B2 (ja) * | 2006-05-17 | 2010-11-24 | 台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司 | キャリヤ及び搬送連結システム |
US7918251B2 (en) | 2006-05-17 | 2011-04-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Substrate carrier and facility interface and apparatus including same |
DE102006059152B4 (de) * | 2006-05-17 | 2020-01-09 | Taiwan Semiconductor Mfg. Co., Ltd. | Substratträger und Einrichtungsschnittstelle und Vorrichtung, die solches enthält |
JP2010503990A (ja) * | 2006-09-14 | 2010-02-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | キャリアガスシステムおよび基板キャリアのロードポートとの連結 |
KR101475420B1 (ko) * | 2006-09-14 | 2014-12-23 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 캐리어 가스 시스템 및 기판 캐리어와 로드포트의 연결 |
EP2085325A1 (en) * | 2006-11-24 | 2009-08-05 | Miraial CO., LTD. | Sheet storing carrier system and reticle case making use of the same |
EP2085325A4 (en) * | 2006-11-24 | 2011-10-26 | Miraial Co Ltd | SHEET STORAGE SYSTEM AND THIS USING RETICHAL HOUSING |
JP2018032880A (ja) * | 2007-05-17 | 2018-03-01 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 側部開口部基板キャリアおよびロードポート |
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