JPH02278746A - ウェハー保管箱 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェハー製造装置において補助治具とし
て使用するウェハー保管箱に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェハー保管箱（以下保管箱という）は
、外部からの塵埃の侵入を防止するために、ウェハー取
出し口にパツキンの取り付けられた蓋を有する構造のも
のや、あるいは電動ファンを使用し、前記箱へフィルタ
ーを通した清浄空気を流入させる構造のものが用いられ
ていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の保管箱は、第２図の縦断面図に示すよう
に、本体９内にウェハーを支持する側溝３を有し、パツ
キン２を介して蓋１を開閉する構造となっている。

このように、従来の保管箱はその構造上、外部からの塵
埃の侵入をウェハー取出し口のパツキンにより防止する
形式をとっているだけなので、パツキン部の隙間から塵
埃の侵入を許してしまう欠点がある。

一方、清浄空気をフィルターを通してファンで保管箱内
へ流入させる方式では、ファンを動作させるための電源
及びファン自身が重く、又、塵埃の多い外部環境で利用
すると、逆にフィルターで取り切れない一部塵埃を保管
箱内へ流入させてしまったり、又、保管箱を置く場合に
も、積み重ねて保管箱を置くと、ファンから出る熱を外
部へ排出するための空間やファンへの空気取入れ口の空
間を必要とするため、保管のための大きな空間を必要と
する欠点がある。

又、ファンを動作させるための電源も、保管箱が移動で
きるものである場合には蓄電池に限られてしまい、ファ
ンを動作させて清浄度を保てる時間も蓄電池の容量が少
ないので短時間となってしまう。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、内部に清浄気体を満たしウェハー出し入れ用
のパツキン付きの蓋を有するウェハー保管箱において、
清浄気体を充填したボンベと、この清浄気体を送り込み
前記保管箱内を外部雰囲気より陽圧にする弁とを備えた
ウェハー保管箱である。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図である。蓋１
はウェハーの出し入れに使用し、パツキン２を介して本
体９の内部と外部雰囲気とを隔絶している。側溝３はウ
ェハー同士が接触しないように設けられた溝である。管
４は、外部からボンベ６へ弁５を通して清浄空気を充填
するためのものである。

本体９内の圧力が一定圧以下となった場合に、弁７が開
いてボンベ６内の清浄空気は管８を通って本体９内へ充
填され、本体９内を外部に対して陽圧とし、外部からの
塵埃の流入を防止する。

又、弁７は、本体９内の圧力が一定圧力より高くなると
閉となり、ボンベ６より本体９内へ清浄空気が流入する
のを停止させるようになでいる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェハーを保管する本体
内の圧力を、外部よりも陽圧とすることにより、パツキ
ンの一部シーリング不良箇所を通して微細な塵埃が本体
内へ流入するのを防止する効果がある。

又、本体内を陽圧に保つには、ボンベより充填される清
浄空気により行うため、ファンや電源、フィルター等の
大きな装置を用いる必要はない。

更に、弁７の動作圧力を、清浄なりリーンルーム内の圧
力よりも多少低く設定することにより、蓋を開けてウェ
ハーを出し入れする際に、この弁７が閉になるようにし
ておくと、パツキンを通して本体内へ塵埃が侵入するこ
とのないクリーンルーム内では、ボンベ内の清浄空気を
使用しないようにすることができる。

このようにすれば、ボンベ内の気体を無駄に使用するこ
とがないため、塵埃等の多い場所で、しかも長期間、本
体内の清浄度を維持することができる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は従来例
の縦断面図である。 １・・・蓋、２・・・パツキン、３・・・側溝、４・・
・管、５・・・弁、６・・・ボンベ、７・・・弁、８・
・・管、９・・・本体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部に清浄気体を満たしウェハー出し入れ用のパッキン
   付きの蓋を有するウェハー保管箱において、清浄気体を
   充填したボンベと、この清浄気体を送り込み前記保管箱
   内を外部雰囲気より陽圧にする弁とを備えたことを特徴
   とするウェハー保管箱。