JPS5969919A - クリ−ンベンチの風速制御装置 - Google Patents

クリ−ンベンチの風速制御装置

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JPS5969919A
JPS5969919A JP57181035A JP18103582A JPS5969919A JP S5969919 A JPS5969919 A JP S5969919A JP 57181035 A JP57181035 A JP 57181035A JP 18103582 A JP18103582 A JP 18103582A JP S5969919 A JPS5969919 A JP S5969919A
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Takeshi Orii
折井　健
Takao Kawakami
河上　貴雄
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Yamato Kagaku KK
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Yamato Scientific Co Ltd
Yamato Kagaku KK
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
    • B08B15/023—Fume cabinets or cupboards, e.g. for laboratories
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、クリーンベンチの風速制御Ｈ置に関するも
のである。
従来、クリーンベンチの作業空間における風速の低下を
監視する方法としては、（ａ＞フィルタ、−の前後の圧
力差を検出して、この検出値を差圧計あるいは流！ｆｆ
ｌによって表示する方法、または、（ｂ）送風機の吐出
口に小形回転翼を設け、この小形回転翼により吐出風１
を検出して、この検出値を作業空間にｄ５　＋ｊる風速
に換紳して表示づる方法がとられてＪ３す、これらの方
法ににり作業空間におりる風速の低下を検知したときに
は、手動操作により位相制御回路の抵抗を変換して送１
！＠　ｆｉｌの回転数をアップし、送風機０月１１出風
量を増大させることにより、作業空間におりる風ｊ＊を
［げていＩＣ。
このような従来の手段では、検出１蚤１速が作業空間に
おりる風速と異なるものとなるため作業空間の風速を正
確に検出することが困ｙ１となる問題があり、また、作
業空９間にお【）る風速の低下に対する是正操作が煩雑
であった。
この発明は上記の問題点に鑑み創案されたものであり、
その目的どするところは作業空間にＪ３ける風速を正確
に検出することができるとともに、あらかじめ設定した
風速に制御することができるクリーンベンチの風速制御
装置を提供するものである。
この目的を達成するために、この発明はフィルター１の
下流側の風速を作業空間９上方で検出する風速センサー
３と、この風速センサー３によって検出した検出風速値
に起因して送風機５の回転数を制御づる制（ｆ＋＋装＠
７どを設（Ｊ、フィルター１の下流側の風速をあらかじ
め設定した設定風速値に制御するようにしたものである
。
以下、この発明の一実施例を図面を用いて詳細に説明す
る。
第１図、第２図は、気流垂直形のクリーンベンチの正面
図および側面図を示すものであり、作業空間９内に清浄
空気を垂直に送り込むように構成されている。ずなわら
、下部の空気吸込口１１からプレフィルタ１３を経て吸
込まれた空気は、送１！ｉ′！Ｉ　＋ｊｌ　５によって
上方へ送風され、フィルター１にＪ：って空気中の塵埃
が完全に除去されて無塵、無菌の清浄空気となって、作
業空間９内にあらかじめ設定された設定風速値により垂
直に送り込まれた後、前面に向って排出されるように構
成されている。
前記フィルター１の下流側には、該フィルター１を通過
して作業空間９内に送り込まれる清浄空気の風速を作業
空間９上方で検出する熱線風速計等のごどき風速セン１
ナー３が設けられており、この風速センサー３は制御装
置７に接続されている。
前記制御装置７は、風速センサー３に検出した検出Ｉｌ
！ｌ速値と、あらかじめ設定した設定風速値とを比較し
て、両者の値に差異があるとぎに送風数５の回転数を自
動的に増速あるいは減速すへく制御りるもであり、さら
に、検出用ｊ＊値が最低限界値になったときには、警報
を発するように構成されている。なお、図中、１５は作
業空間９の前面上部に設（づられたシャッター、１７は
作業空間９の上方に設りられた蛍光灯、１９は蛍光灯の
光を散乱させる散光板である。
以上より明らかなＪ：うに、この発明の（ず４成によれ
ば、以下のような効果を奏する。
（ａ　）　　フィルターの下流側において作業空間の上
方で風速センサーを設（プだので、作業空間にお（プる
風速を直接検出することか可能となり、正６１Ｅな気流
状態を検知することができる。
（１））　　風速センサーにＪこって検出した検出風速
（１「ｊど、あらかじめ設定した設定ｆ＠速値とを比較
して、送圧１機の回転数を制御する制御装置を設【プだ
の℃、作業空間における風速を常に設定風速値に制御り
−ることか可能となり、安定した気流状態を（１１るこ
とができる。
（Ｃ）　　シャッターの開度を小さくして運転する場合
には、あらかじめ設定風速値を低く設定してｄ′３＜こ
とににす、フィルターの寿命を延長させることができる
。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば風速制御は手動で行なうこともできる。％、ｌ
速センサーの取（＝Ｊ位置にお（プる凪速ど作業空間に
お（プる風速との間に差異がある場合には、あらかじめ
相互の関係を検出しておくことにより、風速センサーの
検出した検出風速値から作業空間にお【プる風速値を換
界し、この換算値によって制御するように構成すること
もできる。
また、フィルターの下流側に、風速センサーを取付りる
場所か無い場合には、フィルターの下流側の空気を分岐
させる分岐部を設゛（プ、この分岐部に風速レンリーー
を設（づても同様の効果を秦りるものである。
また、９４訂請求の範囲の項に、図面との対応を便利に
するために符号を記すが該符号は、この発明の特ＷＬ［
請求の範囲を限定り−るものではない。
【図面の簡単な説明】
図面は、この発明の一実施例を示すものであり、第１図
、第２図は、この発明に係る風速制御装置を（痛えたク
リーンベンチの正面図および側面図である。 （図面の主要な部分を表わ！Ｊ符号の説明）１・・・フ
ィルター　　　　３・・・風速センサー５・・・送風（
幾　　　　　　７・・・制御装備９・・・作業空間 第１図 第２図 手続７市正書（方式） 昭和５８年３月ｌど日 特許庁長官　　若　杉　　和　夫　　殿１、事イ！１の
表示　　昭和５７年特許願第１８１０３５号２、発明の
名称　　クリーンベンチの風速制御装置３、ンＩＩｉ正
をする者 事件との関係　特旧出願人 住所（居所）　東京都中央区日本橋本町２丁目９ｉ地５
氏名（名称）１７マト科学株式会社 代表者　　森　川　　巽 ４、代理人 住　所　　　　〒１０５東京都港区虎ノ門１丁目１番１
８号ニュー虎ノ門ビル８階 ６、補正の対象 （１）願出 （２）　　明細内 （３）牛Ａ４４友 ７、補正の内容 （＋＞　　ｇｉ書の浄書 ８、添イ士占類の目録

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. フィルター１の下流側の風速を作業空間９上方で検出す
    る風速センサー３と、この風速センサー３にＪ：っで検
    出した検出風速値に起因して送ＩＩ１機５の回転数を制
    御する制御装＠７とを設け、フィルター１の下流側の風
    速をあらかじめ設定した設定風速値に制御するようにし
    たことを特徴とするクリーンベンチの風速制御装置。
JP57181035A 1982-10-15 1982-10-15 クリ−ンベンチの風速制御装置 Granted JPS5969919A (ja)

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GB08327610A GB2128757B (en) 1982-10-15 1983-10-14 Measuring flow rate
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