JPS59183231A - 室内空気清浄装置 - Google Patents

室内空気清浄装置

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Publication number
JPS59183231A
JPS59183231A JP5702483A JP5702483A JPS59183231A JP S59183231 A JPS59183231 A JP S59183231A JP 5702483 A JP5702483 A JP 5702483A JP 5702483 A JP5702483 A JP 5702483A JP S59183231 A JPS59183231 A JP S59183231A
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JP
Japan
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air
room
positive pressure
set value
degree
Prior art date
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Pending
Application number
JP5702483A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Hasumi
蓮見 滋
Shoichi Suzuki
章一 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SHINWA BOEKI KK
Original Assignee
SHINWA BOEKI KK
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Publication date
Application filed by SHINWA BOEKI KK filed Critical SHINWA BOEKI KK
Priority to JP5702483A priority Critical patent/JPS59183231A/ja
Publication of JPS59183231A publication Critical patent/JPS59183231A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00Control or safety arrangements
    • F24F11/0001Control or safety arrangements for ventilation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は主に電子・精密機械・薬品等の生産工場やそ
の他各種目的のクリーンルームと称されるような室内の
空気の清浄化を保つ必要があるところに使用される室内
空気清浄装置に関する。
一般にこの種のクリーンルームと称される室は、米国連
邦規格を用いて室内空気の清浄度がクラス分けされてい
る。その清浄度は各クラスとも1立方[(28,3/)
の空気中の0.5μm以上の浮遊微粒子の個数で定めら
れておシ、クラス  100・・・0.5μm以上の粒
子数100以下 クラス 1,000・・・0.5μm 以上の粒子数i
、ooo以下 クラス10,000・・・0.5μm以上の粒子数io
、ooo以下 などと規格されている。
こうしたクラスの室内空気清浄度を確保するために、通
常では送風機によシ室内空気を導出してフィルタに通し
て清浄化した後肢室内に導入する空気循環式清浄装置が
設けられ、特にその室内への空気吹出口にはHEPAフ
ィルタ(超高性能フィルタ)を備えられている。そして
、室内での作業内容と要求される空気清浄度等によって
HEPAフィルタの個数や風量を設定して稼動されてい
る。
父上記室内の清浄化を図るために上記空気循環式清浄装
置だけでは、気圧差により室外周囲の汚染空気が室内に
侵入して来てしまうので、該室内を常に陽圧に保つ目的
と、長時間の運転の際作業員の労働安全衛生規則で定め
られた1人当シの必要空気(酸素)量を確保する目的で
、外気導入装置を設けている。
ところで、上述した装置は室内空気清浄度を確保する設
備として十分と云えるが、しかしながら、通常クリーン
ルームは作業員の出入りの回数や製品の搬出入及び作業
内容の変動等により、室内空気の清浄度及び陽圧度がた
えず変化する場合が多く、このために上記設備を予め設
定した定格風量で運転し続けると、ある時期は室内が目
的のクラス以上の清浄度となったり必要以上の陽圧度と
なったシすると云った具合に、いわば過乗風量で送風機
の駆動モータの消費電力の無駄が多く不経済であり、又
ある時期は室内空気の清浄度が異常に低くなって必要な
陽圧度を確保できずに外部汚染空気が侵入して清浄化が
図れなかったりする問題があった。
この発明は上記事情に鑑みなされたもので、その目的と
する処は、出入りする人員数や作業内容等の変動にかか
わらず、室内を常に設定した空気清浄度並びに陽圧度に
保つことができると共に、送風機の電力消費量など大巾
な経費節減ができる室内空気清浄装置を提供することに
ある。
つまり、この発明の室内空気清浄装置は、送風機により
室内汚染空気を導出してフィルタに通して清浄化した後
肢室内に導入する循環系と、この循環系を介して室内に
外気を導入する外気導入系と、を備えて、室内を陽圧に
保ちながら該室内空気の清浄化を図るものにおいて、室
内の浮遊微粒子数を検出する清浄度検出器と、室内の陽
圧度検出器とを設け、それら両検出器からの信号を入力
として室内の清浄度及び陽圧度を設定値に保つべく上記
循環系と外気導入系との送風機或いはダンパーを自動制
御してそれぞれの風量を調整せしめる制御器を設けた構
成で、常に最適な風量で適切な空気清浄化を図ると共に
消費電力等の経費節減を可能としたものであるO 以下この発明の一実施例を図面に従い説明する。先ず第
1図中1はクリーンルームの室、2はその室1内の汚染
空気を導出してエアーフィルタにより清浄化した後再び
室1内に導通する循環系で、この循環系2は室1内の床
面を構成すべく設けた整流作用をなすグレーチング3及
びその下面に設けたプレフィルタ4と、これら床下空間
と連通して室外に延出した風量調整ダンノ!−5付き導
出ダクト6と、これに接続したフィルタケーシング7及
びそのフィルタケーシングz内に設けたエアーフィルタ
8及び主送風機F、と、この主送風機F1の吐出口側か
ら上記室Jの天井上側空間に連通ずるダンパー9付き導
入ダクト10と、上記室1内天井に設けたHEPAフィ
ルタ(超高性能了イルタ)11とから構成されて、主送
風機F、の回転で室1内の汚染空気をグレーチング3及
びプレフィルタ4を介して床下に導出し、それを導出ダ
クト6からフィルタケーシング7内のエアーフィルタ8
を通して主送風機F1から導入ダクトlOを介して室1
の天井に導入し、そしてその天井のHEPAフィルタ1
1を通して室1内に垂直層流状で送シ込むと云った具合
に、該室1内の空気をフィルタ4,8.11に通しなが
ら循環して該室内の清浄化を図るようになっている。
一方図中12は外気導入系で、外気導入用フィルタケー
シング13及びその内部に設けた外気用エアーフィルタ
14並びに外気取入用送風機F2と、その送風機F2の
回転によシェアーフィルタ14を介して取入れた外気を
上記循環系2のフィルタケーシング7のエアーフィルタ
8上流側に導入する風量調整ダンl? −15付き接続
ダクト16とで構成されて、循環系2に室l内から導出
されて来る空気に外気を合流させて室l内に導入して、
該室1内を陽圧にするようになっている。
なお、上記循環系2の主送風機F!及び外気導入系12
の外気取入用送風機F2は、いずれも図示しないがサイ
リスクで回転数制御ができ見 る可変速電動機をそれぞれ用いて駆動している。
ここで、上記室1内には該室内空気の清浄度検出器17
と、室内陽圧度検出器18とが設けられている。その清
浄度検出器17はパーチクルカウンタと称されるダスト
カウンタで、空気中の05μm以上の浮遊微粒子の個数
をカウントして1立方囚中当シの浮遊微粒子数に変換し
、その値を予め定めた微粒子数設定値と比較して設定値
以上か、設定値の範囲内か、設定値以下かのいずれかの
電気信号を発信するものであシ、又陽圧度検出器18は
微差圧計を用いたもので、室1内と隣室との微差圧を検
知して、その差圧を予め定めた陽圧設定値と比較して設
定値以上か、設定値の範囲内か、設定値以下かのいずれ
かの電気信号を発信するようになっている。
−1方、上記雨検出器17.18からの発信信号を入力
信号として作動して上記主送風機F。
と外気取入用送風機F2との各電動機の回転数を自動的
に制御して循環系2及び外気導入系12のそれぞれの風
量を調整せしめることで室1内の空気清浄度及び陽圧塵
を設定した最適な状態に保つようになす制御器19が設
けられている。
第2図は循環系2の風量制御を行うブロック図で、清浄
度検出器19からの電気信号が制御AMP 20 Aに
より増巾されて移相制御回路21kに送られ、その移相
制御回路21Aは上記清浄度検出器19からの電気信号
が設定値以上の信号の場合次のサイリスタ22にの点弧
角を小さくする方向に制御する回路がON (、、設定
値の範囲内の信号の場合はサイリスタ22にの点弧角を
そのまま保持する回路がON L、設定値以下の信号の
場合はサイリスタ22Aの点弧角を大きくする方向に制
御する回路がONするよう′になっておシ、これにてサ
イリスタ22kにょシ主送風機F、用の電動機23にへ
の供給電源の電圧が制御されて、室1内の清浄度が設定
値よシ低い(浮遊微粒子数が多い)時は主送風機F1の
回転数が上がって送風量が増し、清浄度が設定値の範囲
内の時は主送風機F1の回転数が変化せずにそのままの
送風量を持続し、清浄度が設定値よシ高い(浮遊微粒子
数が少ない)時は主送風機F!の回転数が下がって送風
量を減少するようになる。なお、そのF1用電動機23
にの回転数は速度検出器24kによ勺検出されて、変換
回路25kによシ亀気信号に変えられて速度設定回路2
6Aを介して上記制御AMP 20 Aにフィードパ、
りされ、これにて予め設定した回転数の上限値と下限値
との範囲内でFl用電動機23Aが回転するように制御
するようになっている。
又第3図は外気導入系12の風量制御を行うブロック図
で、陽圧検出器18がらの電気信号を入力信号として、
上記第2図に示す循環系と同様に制御AMP 20 B
 、移相制御回路21B及びサイリスタ22Bを用いて
外気導入用送風機F2の電動機23Bの回転数を制御す
るようにしている。ただしこの外気導入系の場合は陽圧
度検出器18からの電気信号が設定値以上の時は回転数
を降下させ、設定値以下の信号の時は回転数を上昇させ
るよう制御する。またF2用電動機23Bの回転数は上
記同様速度検出器24B、変換回路25B1速度設定回
路26Bを介してフィードバックして予め設定した回転
数の上限値と下限値の範囲内でF2用電動機23Bの制
御ができるようにしである。
なお、上記Fl用電動機23k及びF2用電動機23B
の両者の回転数の下限価は少なくても室1内での作業員
の労働安全衛生規則で定められた1人当シの必要外気量
を導入し得る値に設定する。
而して上述した構成の室内空気清浄装置では、室J内空
気の清浄度を常に検出して、その信号によ)制御器19
を介して主送風機Fl用の電動機23Aの回転数を自動
的に制御して、室I内の清浄度が設定値よシ低くい時は
循環系2の送風量が増し、これにて室l内空気の換気回
数が増して清浄化を高め、清浄度が設定値の範囲内の時
はそのままの送風量を保ち、清浄度が設定値より高くな
った時は主送風機F1の回転数が下がって送風量が少な
くなシ、これにて換気回数が減って必要以上の清浄化を
おさえる。こうして室1内を設定した清浄度に保つと共
に、過乗風量をおさえて主送風機F1の電動機23にの
消費電力の節減を図る。
一方、室1内の耐圧度を常に検出して、その信号によシ
制御器19を介して外気取入用送風機F2の回転数を自
動的に制御して、耐圧度が設定値より低い時は外気導入
糸12の外気取入量を増して室1内の耐圧度を高め、耐
圧度が設定値の範囲内の時はそのままの風量を保′ち、
耐圧度が設定値よシ高い時は外気取入量を減らして、常
に設定した耐圧度に保つようにすると共に、過東風量を
おさえて外気取入用送風機F2の電動機23Bの消費電
力の節減を図る。一般に室1内の耐圧度は室外との差圧
が1〜2朋水柱程度となるよう設定する。
なお、この発明は以上詳述した実施例のみに限定される
ことなく、例えば制御器19によシ整ダンパー5.9.
15の開度を制御して風量調整を行うようにしても町で
あシ、いずれも上記実施例同様の効果が得られる。その
他本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更してもよい
この発明は上述した如くなしたから、室内への出入りす
る人数や作業内容等の変動にかかわらず、室内を常に設
定した空気清浄度並びに耐圧度に保つことが自動的にで
き、しかも送風機の消費電力の節減など大巾な経費節減
が図れて、実用上非常に効果大となるものである。
【図面の簡単な説明】 図面はこの発明の一実施例を示すもので、第1図は全体
の概略構成図、第2図は循環系の制御グロック図、第3
図は外気導入系の制御ブロック図である。 l・・室、2−循環系、3・・・グレーチング、4・プ
レフィルタ、5.9.15・・・風量調整ダンパー、6
・・・導出ダク゛ト、7.13・・・フィルタケーシン
グ、8.14・・・エアーフィルタ、10・・・導入ダ
クト、1ノ・・・HEPAフィルタ、12・・・外気導
入系、16・・接続ダクト、Fl・・・主送風機、F2
・・・外気取入用送風機、17・・・清浄度検出器、J
8・・陽圧度検出器、19・・・制御器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 送風機により室内汚染空気を導出してフィルタに通して
    、清浄化した稜該室内に導入する循環系と、この循環系
    を介して室内に外気を導入する外気導入系とを備えて、
    室内を陽圧に保ちながら該室内空気の清浄化を図るもの
    において、上記室内の浮遊微粒子数を検出する清浄度検
    出器と、室内の陽圧度検出器とを設け、それら雨検出器
    からの信号を入力として室内の清浄度及び陽圧度を設定
    値に保つべく、上記循環系と外気導入系との送風機或い
    は風量調整ダン・や−を自動制御してそれぞれの風量を
    調整せしめる制御器を設けて構成したことを特徴とする
    室内空気清浄装置。
JP5702483A 1983-04-01 1983-04-01 室内空気清浄装置 Pending JPS59183231A (ja)

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JP5702483A JPS59183231A (ja) 1983-04-01 1983-04-01 室内空気清浄装置

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