JPS58216A - 空気清浄機の風速制御方式 - Google Patents

空気清浄機の風速制御方式

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JPS58216A
JPS58216A JP9818081A JP9818081A JPS58216A JP S58216 A JPS58216 A JP S58216A JP 9818081 A JP9818081 A JP 9818081A JP 9818081 A JP9818081 A JP 9818081A JP S58216 A JPS58216 A JP S58216A
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JP
Japan
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air
wind speed
filter
velocity
air cleaner
Prior art date
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Pending
Application number
JP9818081A
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English (en)
Inventor
Koichi Yanagisawa
柳沢 孝一
Soei Kanai
金井 荘栄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Fuji Electric Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd, Fuji Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
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Publication of JPS58216A publication Critical patent/JPS58216A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 こO発明は、空気清浄機の風速制御方式に関するもので
あって、更に詳細には炉材式フィルタを使用する空気清
浄機において、フィルタの経時的な目詰りによる風速低
下を肪止し、併せて省電力並びに低騒音化を達成するこ
とのできる風速制御方式Kllするものである。
半導体製造工場では、製作工程中和微細な1埃による汚
染t−m止するため環墳の無塵化を図る必要があシ、こ
のため製造工場はフィルタを通して清浄空気を供給する
クリーンルーム乃至クリーンブースとして構成されてい
る0例えば。
クリ−7ブースに使用される空気清浄機は、第1図及び
第1図に示すように凰洞會構成するケーシング10と、
このケーシング10の外部空気取入口に配設される1次
フィルタ/Jと、空気吹出口近傍に配設される一材式フ
ィルタl参(一般には高性能I(IPAフィルタ)と、
送風機/−4とからなり、外部空気を送風機/4により
吸引して1次フィルタ/Jで粗轟除去を行つ九後高性能
フィルタl#に導いて高効率の集塵    ′を行い、
得られ九清浄空気を所定の作業域に供給するようになっ
ている。
また−・局部的な作業場所に清浄空気を層流で供給する
クリーンベンチや、部分作業域浄化の−丸めには、この
空気清浄機を単一のユニットでめには、gJ図及び第参
図に示すようにこのユ=’7)を複数個天井から吊下げ
て、清浄空気を層流で室全体く均一に供給するように構
成される。このように多数のエニン)l使用するクリー
ンルームでは、必然的に送風機の使用個数が多くなるた
め、消費電力の増大並びに騒音レベルが高くなる欠点が
ある。   1 更に、前記クリーンルーム内の清浄度を所定の理想値に
維持する丸めには、空気清浄機から室内に吹出される清
浄空気の風速をa#〜α!rri / l@e 8度に
維持す゛ることか最良とされている。しかしながら、炉
材式フィルタを塵埃除去手段として使用するtlIE1
図に示す型式の空気清浄機では、その駆動に伴い経時的
にそのフィルタの目詰りが進行し、この丸め風圧損失が
増加して行く、前記空気清浄機は、その送風機の駆動源
として回転数が略一定の電動モータを使用しているので
、送風機特性とフィルタの負荷特性とをグラフ図に表せ
ば、第3図に示す通シになる。即ち、静圧Hをy軸にと
シ、風量QをX軸にとれば、負荷特性(Q−H特性)は
曲@’Ish、で示され、送風機特性は曲線町で示され
る関係となる。いま、送風機特性がfilであるとき、
゛空気清浄機の負荷特性は、フィルタが新製時には曲I
t h、であるが経時的にフィルタに目詰りが生じた後
のフィルタ使用終期にHh、に変化する。
従って、空気清浄機からの吹出風量(なお、吹出風量は
吹出風速×吹出口面積で計算されるので、風量は風速と
比例関係を有し、従って風速といってもよい)は、フィ
ルタ新製時のqからフィルタ使用終期のQIK低下する
このように、従来の空気清浄機ではフィルタの使用終期
においてフィル!目詰りのために吹出風量は低下するが
、このフィルタ使用終期においてもクリーンルーム中の
空気清浄度を一定レベルに維持するだけの所要風量を満
していることのl!鯖があるため(第1図ではQl) 
K、フィルタの新製時には所要・値を超過し九吹出風量
(第1図ではQl)で運転されておに、風量的に無駄が
あると共にモータ本容量の大きいものを一1使用する必
要があり、消費電力及び騒音も増加する等、多くの難点
があった。
本発明は前記の従来技術に係る空気清浄機が内在してい
る欠点に鑑み案出されたものであって、空気清浄機から
の吹出風量(風速)t−フィルタの目詰り一状IIK関
係なく一定に維持するようKして、モ”−夕の消費電力
の無駄を排除すると共に運転時の送風機騒音を低レベル
に抑制することを目的とする。
この目的を達成するため1本発明に係る空気清浄機の風
速制御方式は、炉材式フィルタを介して清浄空気の吹出
しを行う空気清浄機において、送風機駆動モータに電圧
周波数制御器を接続し、吹出空気の風速をセンナにより
検出して演算4により演算し、得られた出力管風速設定
器により予め設定した風速値と比較し、前記電圧周波数
制御器の出力電圧周波数を変化させることを特徴とする
次と、本発明に係る空気清浄機の風速制御方式につき、
添付図面を参輝しながら以下詳細に説明する。第J15
i11.第参図及び第4図は本発明を実施する丸めの好
適異体例を示し、殊に第4図は本発明を実施する空気清
浄機の電気結線図を示し、併せて従来の空気清浄機の結
線例を破線で示す。
すなわち、従来商用電11AOは電磁接触器i1及びヒ
エーズコ0を介して直ちに夫々の送風機駆動モータに・
・・Mt* I/c分岐接続されていえ、しかるに本発
明では、第4WJWC実線で示すように商用電源ムOK
接続する電磁接触器/lと送風機駆動モータMと0@V
C電圧周波数制御41JJが設けられ、電気的KII続
されている。この電圧周波数制御器コ1は、一般に電圧
形インバータを用%Alt可変電圧・町変周故数装置(
VVVF)をいい、出力電圧/出力周波数を常に一定の
比率で可変制御し得るようkして、交流モータの入力電
圧と久方周波数を可変とし、そのモーメ回転数を零付近
から当該周波数における同期μs転数迄のレンジで任意
に可変制御し得るよ、うKしたものである。
更に、纂3図及び第参図に示すように各ユニットをなす
空気清浄機コ夢の吹出口付4には吹出風速に反応する風
速センサ、コ4を夫々対応的に配置し、この風速センナ
J1によシ検出され良風速値を検中演算1部Jjに入力
すする(第1図参照)、検出演算部コlの出力は、−風
速設!器JOにおいて予め設定され九所望風速値と比較
され、このレベルに応じて電圧周波数制御器ココの出力
電圧及び周波数を変化させ、これKよって送風機駆動モ
ータMの回転数制御を行う。
すなわち、フィルタの目詰り状態の如何に拘わらず、空
気清浄機の吹出口から吹出される清浄空気の風速は、前
記風速設定器30で予め設定され九風速に常に維持され
ることが諒解されよう。
なお、第3図に示すクリーンルームのように複数の空気
清浄機コ参が配設される場合、各単位ユニットをなす個
々の空気清浄機J#から吹出、され今空気の風速−は嘴
千のばらつきを生じる。この丸め11.検出演算!lJ
fは、各空気清浄機コ参の最大値、平均値及び最小隼の
何れかで検出し得るような演算機能を有してい、る。
また、電圧周−数制御器ココから送風m駆動モータMへ
の結線の途中には、第1図に示すように前記制御器ココ
をバイパスして商−電源に切換接続回部な切替器JJを
設け、電圧周波数制御器JJが故障し九場合中保守点検
を行う場合等にも運転を宇土する必要がないようにな、
つている。
次に1本発明により得られる効蜂に?いて説明する。の
先に述べ九ように1送風機駆動モータ、Mの回転数は電
圧周一数制御器J1により可変制御できるよう和なって
、いるので、第ja4にンいて送風機の定格入力電圧周
波数におけるQ=H,41性を町々すれば、入力周波数
を定格周波数よ、p低下させて行くとモータ、¥の回転
数は屑、波数によって責化し、従りてそのQ−H41性
は町からn!に無段階で変化させることができる。
そこで、クリーンルームにおいて要求される最小風量を
偽としてこれを維持するためには、フィルタ新製時には
、モータM6回転数を像下させて特性Jで運転すれば、
曲線h1とn鵞との交点p鵞において所望の風量偽が得
られる。またフィルタ使用終期において、フィルタの風
圧損失特性がり、になればこれを風速センtJ4で検知
してモータMの回転数を自動的に上昇させ、送風機特性
町で運転すれば曲線り、と町との交点P、に風量1が得
られる。
このときのモータ消費電力は、第7図に示すように、第
1図の送風機のQ−H特性が町のときは勾配町となシ、
を九Q−■特性がfigのときは勾配置會となる。従っ
て、空気清浄機新製時における消費電力を従来技術に係
る空気清浄機での消費電力と比較すると、ΔP相当分だ
け低減されており、しかもこの省電力効果はフィルタ新
製時から使用終期までの長期に亘って持続する。
■クリーンルーム内が殆んど無人化されて外部からの塵
埃持込み等による発塵の可能性が殆んどなく、室内空気
の清浄度だけを常時一定レベルに:#1持しておくこと
が要求される場合がある。
このときは、室内空気清浄度を所望レベルに維持するに
足る最小風速にまで、前記風速設一定器JOKおける風
速設定値を下げておくことにより、一層効率の棗い省電
力が容JIK達成される。
0本発明では、フィルタの目詰〉が進行するにつれて送
風機駆動層−タMの回転数が自動的に上昇するが、フィ
ルタ使用終期における回転数が送風機特性n1と一致す
るように設定されているので、前記フィルタ使用終期に
至るまでの間。
モータMの回転数は終期における回転数よ)も抑制され
ているととKなり、従って従来技術に係る空気清浄機よ
〉も常に低い騒音レベルで運転が可能である。
■電圧周波数制御器JJをバイパスして商用電源AOK
直接切換接続することのできる切換器JJt配設するこ
とによ)、前記制御器JJK不測の故障が発生し九すし
九場合にも、清浄空気の供給を中止することなく運転を
継続することができ、システムとじての信頼性の向上に
も著しく貢献する。
本発明は先に述べたクリーンルームやクリーンブースの
他、クリーンベンチやエアーシャワー等の用途に向けら
れる空気清浄装置に広く志用可能である。
以上本発明につき、好適な実施例を挙げて説明し九が1
本発明はこの実施例の場合に限定されるものではなく、
発明の精神の範囲内で多くの改良変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図はクリーンブース等に使用される空気清浄機の、
1視正面概略図、第1図は第1図に示す清浄機の側面概
略図、第3図は天井部に複数の空気清浄機を配設したク
リーンルームの側面F1!i、第参図は第3図のW−W
線断面図、gt図は送風機特性とフィルタの負荷特性と
を示すグ′)7図、纂4図は本発明に係る制御方式を実
施する丸めの一実施例としてOvA路図、第7図は風量
とモータ消費電力との相関関係を示すグラフ図である。 10…ケーシング    /J−・・1次フィルタ/l
・・・−材式フィルタ   /4・・・送風機/1・・
・電磁接触1)    aa−・・ヒ具−ズJJ・・・
電圧周波数制御器 JIm・・・空気清浄機コト・・風
速センナ   Jf・・・演 算 部JO・・・風速設
定器   JJ−・・切 換 器FIG、I     
   FIG、2一10 b FIG、3 FIG、4゜ FIG、5 〜凰量Q

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)炉材式フィルタを介して清浄空気の吹出しを行う
    空気清浄機において、送風機駆動モータに電圧周波数制
    御器を接続し、書出空気の風速をセンナにより検出して
    演算部により演算し、得られ九出力を風速設定器により
    予め設定した風速値と比較し、前記電圧周波数制御器の
    出力電圧周波数を変化させることを特徴とする空気清浄
    機の風速制御方式。
  2. (2)  特許請求の範H1liI項記載の空気清浄機
    の風速制御方式において、電圧周波数制御器・は可変電
    圧・可変周波数装置である風速制御方式、      
      、  1 ・−
JP9818081A 1981-06-26 1981-06-26 空気清浄機の風速制御方式 Pending JPS58216A (ja)

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ID=14212819

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63175551A (ja) * 1987-01-16 1988-07-19 Nec Corp 光ネツトワ−クシステム
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JPH02211740A (ja) * 1989-02-10 1990-08-23 Fujitsu Ltd スロッテッドリングのアクセス方式
US5737155A (en) * 1992-08-25 1998-04-07 Seagate Technology, Inc. Read sensitivity MR head using permanent magnet longitudinal stabilization
KR20030026155A (ko) * 2001-09-25 2003-03-31 주식회사 필택 필터프레스 압력제어방법 및 장치
JP2020012425A (ja) * 2018-07-19 2020-01-23 株式会社Jvcケンウッド 送風装置

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