JPS61265432A

JPS61265432A - 空気清浄装置

Info

Publication number: JPS61265432A
Application number: JP60107161A
Authority: JP
Inventors: Takao Kase; 加瀬　隆雄; Yoshinobu Suzuki; 良延鈴木
Original assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Current assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Priority date: 1985-05-20
Filing date: 1985-05-20
Publication date: 1986-11-25
Also published as: JPH0215780B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、空気中の海塩粒子等を除去する空気清浄装置
に関するものである。

「従来の技術」例えば、ＬＳＩ等の半導体を製造する工場では、空気中
に海塩粒子として存在するナトリウムイオンが、シリコ
ンウェハの内部に拡散したり、あるいはシリコンウェハ
の表面に付着したりして、製品の歩留りを悪くする原因
となることがある。

従来、前記海塩粒子を空気中から除去するための手段と
しては、例えばいわゆるエアワッシャ等を備えた除塵器
等の適用が考えられている。すなわち、除塵器内に取り
入れた空気に水を噴霧することにより、水溶性である海
塩粒子を水に溶かして、かなりの効率で除去することが
できるものである。

「発明が解決しようとする問題点」しかしながら、この上うな除塵器を適用した場合、常時
、多量の水が必要であるという難点がある。つまり、空
気中に存在する海塩粒子の濃度は極めて変動が激しいか
ら、海から吹く風がない時のように海塩粒子の濃度がほ
とんど問題とならない程度に低くなる場合があり、この
ような場合にも多量の水を使用する装置は設備として冗
長となる。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、省エネルギー、節水型であり、かつ、
空気中の海塩粒子を効率良く除去できる空気清浄装置を
提供することにある。

「問題点を解決するための手段」かかる目的を達成するために本発明の空気清浄装置は、
空気を通過させるケーシングの内部に水を噴霧するスプ
レー機構を備え、しかも、空気中の海塩粒子の濃度を検
出する検出手段と、この検出手段の検出データに基づい
てスプレー機構の動作制御を行う制御手段とを備えたも
のである。

「作用」本発明では、検出手段が直接あるいは間接的に空気中の
海塩粒子の濃度を検出し、その濃度が一定値以上であれ
ば、制御手段がスプレー機構をＯＮにして水を噴霧させ
、また、一定値以下であればスプレー機構をＯＦＦにし
て噴霧を停止させる。

「実施例」以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。

第１図は本発明の第１実施例を概略的に示すもので、図
中符号１はケーシングである。このケーシング１は、は
ぼ筒状に形成されており、その前端には吸気ガラリ２が
、また、後端には送風機３が配設され、この送風機３に
上り前端から空気をケーシングｌ内に吸い込み、内部を
通過させて後端から吹き出すようになっている。また、
送風機３には分岐部４を有する接続ダクト５が連結され
ていする。

前記ケーシングｌ内には、吸気ガラリ２を通過した空気
流に対向するように前方を向いたスプレーノズル６が配
設され、このスプレーノズル６の下流側にエリミネータ
７が、また、このエリミネータ７と送風機３との間にミ
スト除去フィルタ８ガ配没されている。そして、スプレ
ーノズル６にはスプレー用ポンプ９を介してケーシング
１外に設置された給水タンク１０が連結され、この給水
タンク１０内の水をスプレーノズル６に供給するように
なっている。すなわち、これらスプレーノズル６、スプ
レー用ポンプ９および給水タンク１ｏによってケーシン
グｌ内に水を噴霧するスプレー機構１１が形成されてい
る。また、ケーシングｌ内の床には排水口１２が開口し
、この排水口１２には排水管１３が連結されてケーシン
グ１外に引き出されている。

なお、前記接続ダクト５内には分岐部４との接続箇所の
手前に吹出ダンパ１４が、かつ、分岐部４内にバイパス
ダンパ１５が設けられている。

一方、ケーシングｌ外には、前゛配給水タンクｌ。

等の他に、空気中の海塩粒子の濃度を検出する検出手段
１６が設置されている。この検出手段１６は、例えば、
ケーシングｌ内に取り入れるべき大気中の海塩粒子濃度
を直接検出するナトリウムセンサ１７、あるいは、屋外
の風向きおよび風速を測定し、この測定値に基づいて海
塩粒子濃度を間接的に類推する風向風速センサ１８、あ
るいは、ケーシング１の後端から吹き出される吹出空気
中の海塩粒子濃度を検出する補助センサ１９等である。

そして、これら各センサ１７．１８．１９（検出手段１
６）は、同じくケーシング１外の制御手段２０に接続さ
れ、この制御手段２０は、前記スプレー用ポンプ９、送
風機３、吹出ダンパ【４、バイパスダンパ１５等に接続
されている。つまり、制御手段２０は、例えば電気的制
御回路であって、前記検出手段１６の検出データ（出力
信号）に基づきスプレー機構１１および送風機３をＯＮ
、０ＦＦＬ、かつ、両ダンパ１４，１５を開閉するよう
になっている。なお、第２図は大気中の海塩粒子濃度と
風速との関係の一例を示すグラフである。

次いで、このように構成された空気清浄装置を一般的な
りリーンルームに適用する場合の使用方法および動作に
ついて説明する。

まず、第１図の如く、クリーンルームに既設された外気
用空気調和器２１に前記接続ダクト５の後端を連結し、
ケーシング１の前端および分岐部４の開放端を外気に開
放した状態とする。そして、検出手段１６および制御手
段２０を作動させる。すると、検出手段１６が外気中の
海塩粒子濃度を検出して、その出力信号を制御手段２０
に送る。制御手段２０は前記出力信号を受けて、海塩粒
子濃度が一定値以上であればバイパスダンパ１５を閉状
態に、かつ、吹出ダンパ１４を開状態にし、さらにスプ
レー機構１１と送風機３をＯＮにする。このとき、ケー
シング１内に吸い込まれる外気中の海塩粒子の大半（例
えば全体の約８４パーセント）およびその他の塵埃の一
部（粒径０．３μｍ以上の塵埃において、約８０パーセ
ント）は、スプレーノズル６から噴霧される水（霧状の
水滴）に溶けてケーシングｌの床に沈降し、沈降しない
水もエリミネータ７およびミスト除去フィルタ８で除去
され、排出口１２から排水管１３を通ってケーシング１
外に排出される。そして、海塩粒子を除去された空気は
接続ダクト５を通って外気用空気調和器２１に導入され
、この内部のエアフィルタ（図示路）によって、残りの
海塩粒子およびその他の塵埃のほとんど全てを除去され
てクリーンルーム内に吹き出される。

また、外気中の海塩粒子濃度が変動すると、検出手段１
６がこれを検出し、濃度が一定値以下となると制御手段
２０がスプレー機構１１をＯＦＦにして水の噴霧を停止
させる。そして、この一定値以下の状態が長く続く場合
には、制御手段２０が、さらに送風機３をＯＦＦにし、
かつ、バイパスダンパ１３を開状態に、吹出ダンパ１２
を閉状態にして空気清浄装置全体の機能を停止させる。

この場合、外気用空気調和器２１には接続ダクト５の分
岐部４を通って外気が直接導入されることになる。

・一方、第３図は本発明の第２実施例を示している。こ
の図において排水管１３の先端には遣水タンク２２が設
けられ、この還水タンク２２が還水ポンプ２３を介して
給水タンクｌＯに連結されている。また、遣水タンク２
２にはその内部に溜められる水の中の海塩粒子濃度を検
出する濃度センサ２４、および排水弁２５が設けられ、
濃度センサ２４は制御手段２０に接続されている。さら
に、給水タンク１０にはその内部の水位を検出する水位
センサ２６、および給水弁２７が設けられ、水位センサ
２６は給水弁２７に接続されている。そして制御手段２
０は、還水ポンプ２３、排水弁２５、給水弁２７等に接
続されている。つまり、この第２実施例の装置において
は、排水管１３からの水が遣水タンク２２に溜められた
後、遣水ポンプ２３により給水タンク１０に戻されて再
使用される。

そして、遣水タンク２２の水の海塩粒子濃度が高くなり
、ケーシングＩ内へ噴霧する水として不適当になると、
濃度センサ２４がこれを検出して制御手段２０に伝え、
制御手段２０が排水弁２５を開いて遣水タンク２２内の
水を廃棄する。なお、このとき遣水ポンプ２３は停止す
るが、制御手段２０が給水弁２７を開いて給水タンク１
０に水を補給する。

また、第４図は本発明の第３実施例を示している。この
装置は上記第２実施例の装置と同様、排水管１３からの
水を再使用する装置であるが、第２実施例と異なる点は
、給水タンク２８が還水タンクを兼ねており、かつ、還
水ポンプが不要で装置の構造を単純かつ小型化できる点
である。このような装置において給水タンク２８の水を
交換する場合は、スプレー機構１１の動作中に水位セン
サ２６を利用して、排水と同時に排水量と同量の水を給
水するか、または、スプレー機構１１の停止中に排水お
よび給水を行うように制御する。

なお、上記実施例において、ケーシングＩ内のミスト除
去フィルタ８の下流側に、エアフィルタを配設し、この
空気清浄装置を通した空気を直接クリーンルーム内に吹
き出すことができるようにしてもよい。

「発明の効果」以上説明したように、本発明の空気清浄装置は、空気を
通過させるケーシングの内部に水を噴霧するスプレー機
構を備え、しかも、空気中の海塩粒子の濃度を検出する
検出手段と、この検出手段の検出データに基づいてスプ
レー機構の動作制御を行う制御手段とを備えたので次の
ような優れた効果を奏する。

■空気中の海塩粒子濃度が高いときにスプレー機構を作
動させ、低いときに停止させることにより、装置の運転
費および水を節約して、省エネルギー化を図ることがで
きる。

■空気中の海塩粒子を効率良く除去することができる。

したがって、生産設備用のクリーンルーム等に適用すれ
ば、製品の品質を向上させ、歩留まりを高めることがで
きる。

■海塩粒子以外の水溶性汚染物質、例えば塩化水素等を
も空気中から除去して、生産設備用クリーンルーム内の
仕上げ材料等の腐食会防止することができる。

■大気中に含まれている海塩粒子以外の塵埃を海塩粒子
と同時に除去できるから、外気用空気調和器の負荷を軽
くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す概略図、第２図は大
気中の海塩粒子濃度と風速との関係の一例を示すグラフ
、第３図は本発明の第２実施例を示す概略図、第４図は
本発明の第３実施例を示す概略図である。ｌ・・・・・・ケーシング、３・・・・・・送風機、６
・・・・・・スプレーノズル、７・・・・・・エリミネ
ータ、８・・・・・・ミスト除去フィルタ、９・・・・
・・スプレー用ポンプ、１０．２８・・・・・・給水タ
ンク、１１・・・・・・スプレー機構、１３・・・・・
・排水管、１４・・・・・・吹出ダンパ、１５・・・・
・・バイパスダンパ、１６・・・・・・検出手段、１７
・・・・・・ナトリウムセンサ、１８・・・・・・風向
風速センサ、１９・・・・・・補助センサ、２０・・・
・・・制御手段、２１・・・・・・外気用空気調和器、
２２・・・・・・還水タンク、２３・・・・・・還水ポ
ンプ、２４・・・・・・濃度センサ、２５・・・・・・
排水弁、２６・・・・・・水位センサ、２７・・・・・
・給水弁。第２図風速（ｍ／Ｓン第３図Ｉ第４図

Claims

【特許請求の範囲】

内部に空気を通過させるケーシングと、このケーシング
の内部に水を噴霧するスプレー機構と、空気中の海塩粒
子の濃度を検出する検出手段と、この検出手段の検出デ
ータに基づいて前記スプレー機構の動作制御を行う制御
手段とを備えたことを特徴とする空気清浄装置。