JPH03263534A - 空気清浄室 - Google Patents
空気清浄室Info
- Publication number
- JPH03263534A JPH03263534A JP2062382A JP6238290A JPH03263534A JP H03263534 A JPH03263534 A JP H03263534A JP 2062382 A JP2062382 A JP 2062382A JP 6238290 A JP6238290 A JP 6238290A JP H03263534 A JPH03263534 A JP H03263534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- room
- worker
- air cleaning
- cleaning room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title abstract description 23
- 238000004887 air purification Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
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- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体の製造等に用いる空気清浄室に係り、特
に天井に複数の空気清浄機を備えた空気清浄室に関する
。
に天井に複数の空気清浄機を備えた空気清浄室に関する
。
半導体製造等に用いられる工業用の空気清浄室は、室内
の塵埃を極力低減させることにより、製品への塵埃の付
着によって発生する不良品を低減させるために広く用い
られている。
の塵埃を極力低減させることにより、製品への塵埃の付
着によって発生する不良品を低減させるために広く用い
られている。
従来のこの種の空気清浄室は第３図のように構成されて
いる。すなわち、空気調和機１から給気用送風機２を介
して空気清浄室天井裏部３に送られた空気は、空気清浄
機４に備えられた送風機５及び高性能エアフィルタ６を
介して清浄空気となって空気清浄室作業域７に吹き出さ
れる。清浄空気は該空気清浄機吹出面７内を垂直層流状
態で流下した後、一定の開口比率を有する床面８を通過
し、床下空間９に排出される。この空気の大部分はリタ
ーンスペース１０を通って再び天井裏部３に送られ、再
び空気清浄機４に供給される。また一部は、循環用ダク
ト１１に送られ、さらにその一部を排気用送風機１２を
介して外へ排出した後、所定量の外気と混合され再び空
気調和機１に送られる。なお、符号１３は制御用ＣＰＵ
、１４はプロセス装置を示す。
いる。すなわち、空気調和機１から給気用送風機２を介
して空気清浄室天井裏部３に送られた空気は、空気清浄
機４に備えられた送風機５及び高性能エアフィルタ６を
介して清浄空気となって空気清浄室作業域７に吹き出さ
れる。清浄空気は該空気清浄機吹出面７内を垂直層流状
態で流下した後、一定の開口比率を有する床面８を通過
し、床下空間９に排出される。この空気の大部分はリタ
ーンスペース１０を通って再び天井裏部３に送られ、再
び空気清浄機４に供給される。また一部は、循環用ダク
ト１１に送られ、さらにその一部を排気用送風機１２を
介して外へ排出した後、所定量の外気と混合され再び空
気調和機１に送られる。なお、符号１３は制御用ＣＰＵ
、１４はプロセス装置を示す。
空気清浄室はこの構成により、作業者等から発生した塵
埃を速かに除去するように運転される。
埃を速かに除去するように運転される。
今、第４図に半導体製造用空気清浄室のレイアウト例を
示す。空気清浄室は、空気清浄室廊下１５の両側に操作
面だけが空気清浄窓作業域７に顔を出すように配置され
たプロセス装置１４を操作できる溝形の空気清浄窓作業
域７を複数個配置する構成となっており、その周囲が、
プロセス装置１４の保守、点検等も行えるリターンスペ
ース】６となっている。
示す。空気清浄室は、空気清浄室廊下１５の両側に操作
面だけが空気清浄窓作業域７に顔を出すように配置され
たプロセス装置１４を操作できる溝形の空気清浄窓作業
域７を複数個配置する構成となっており、その周囲が、
プロセス装置１４の保守、点検等も行えるリターンスペ
ース】６となっている。
このような空気清浄室においては、第５図（ａ）に示す
ように、全てのプロセス装置１４が稼動している場合は
通常運転モードとして、空気清浄機４を全て運転してい
る。しかし、夜間などプロセス装置１４の稼動率が低く
なる場合には、第５図ら）に示すように、制御用ＣＰＵ
１３を介して個別に空気清浄機４を停止させる間引き運
転モードを採用する場合が多い。このような間引き運転
モード中にも作業者が侵入する場合があり、こ の時停
止中の空気清浄機４周辺のプロセス装置 １４や床面８
は作業者から発生した塵埃により汚染される。そして、
再び通常運転モードに戻して停止中の空気清浄機４を再
稼動させた時、塵埃が舞い上ったり、周辺の清浄度の回
復が遅れ、延いては製品に塵埃が付着して、歩留りや信
頼性を低下させる原因となるという問題があった。
ように、全てのプロセス装置１４が稼動している場合は
通常運転モードとして、空気清浄機４を全て運転してい
る。しかし、夜間などプロセス装置１４の稼動率が低く
なる場合には、第５図ら）に示すように、制御用ＣＰＵ
１３を介して個別に空気清浄機４を停止させる間引き運
転モードを採用する場合が多い。このような間引き運転
モード中にも作業者が侵入する場合があり、こ の時停
止中の空気清浄機４周辺のプロセス装置 １４や床面８
は作業者から発生した塵埃により汚染される。そして、
再び通常運転モードに戻して停止中の空気清浄機４を再
稼動させた時、塵埃が舞い上ったり、周辺の清浄度の回
復が遅れ、延いては製品に塵埃が付着して、歩留りや信
頼性を低下させる原因となるという問題があった。
本発明の目的は上述した問題に鑑みなされたもので、運
転モードによらず清浄度確保運転が可能な空気清浄室を
提供するにある。
転モードによらず清浄度確保運転が可能な空気清浄室を
提供するにある。
前記目的を達成するために、本発明は、空気調和機と送
風ダクト系から成る空気供給系と、天井に配置されかつ
エアフィルタを備えた空気清浄機とを有する空気清浄室
において、前記空気清浄機吹出面である空気清浄窓作業
域の天井面に人間検知装置を設けた構成としたものであ
る。
風ダクト系から成る空気供給系と、天井に配置されかつ
エアフィルタを備えた空気清浄機とを有する空気清浄室
において、前記空気清浄機吹出面である空気清浄窓作業
域の天井面に人間検知装置を設けた構成としたものであ
る。
〔作 用）
このように本発明によれば、人間検知装置を設けたこと
により、空気清浄室内における人間の介在に適合した空
気清浄機の運転モードが逐次選択運用できるので、常に
空気清浄室の清浄度を保持できる。
により、空気清浄室内における人間の介在に適合した空
気清浄機の運転モードが逐次選択運用できるので、常に
空気清浄室の清浄度を保持できる。
以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細な説駄する
。
。
第１図は本発明に係る空気清浄室の一実施例を示す要部
概略構成図である。空気清浄機吹出面を成す空気清浄窓
作業域２０の天井面には、各々の空気清浄機２１の間に
位置する如く赤外線センサ等を用いた人間検知装置２２
（２２ａ〜２２ｅ）が配置されている。そして、該人間
検知装置２２からの信号で制御用ＣＰＵ２３を介して各
々の空気清浄機２１の発停が可能となっている。なお、
該空気清浄機２１は送風機２４と高性能エアフィルタ２
５を具備しており、空気調和機（図示せず）から給気用
送風機、送風ダクト（図示せず）を介して空気清浄室の
天井裏部２６に送られた空気は、該空気清浄機２１に備
えられた送風機２４及び高性能エアフィルタ２５を介し
て清浄空気となって空気清浄窓作業域２０に吹き出され
るよう構成されている。また、清浄空気は該空気清浄機
４周辺２０内を垂直層流状態で流下した後、一定の開口
比率を有する床面２７を通過し、床下空間２８に排出さ
れるようになっている。なお、第１図において符号２９
は空気清浄室内下、３０は作業者を示す。
概略構成図である。空気清浄機吹出面を成す空気清浄窓
作業域２０の天井面には、各々の空気清浄機２１の間に
位置する如く赤外線センサ等を用いた人間検知装置２２
（２２ａ〜２２ｅ）が配置されている。そして、該人間
検知装置２２からの信号で制御用ＣＰＵ２３を介して各
々の空気清浄機２１の発停が可能となっている。なお、
該空気清浄機２１は送風機２４と高性能エアフィルタ２
５を具備しており、空気調和機（図示せず）から給気用
送風機、送風ダクト（図示せず）を介して空気清浄室の
天井裏部２６に送られた空気は、該空気清浄機２１に備
えられた送風機２４及び高性能エアフィルタ２５を介し
て清浄空気となって空気清浄窓作業域２０に吹き出され
るよう構成されている。また、清浄空気は該空気清浄機
４周辺２０内を垂直層流状態で流下した後、一定の開口
比率を有する床面２７を通過し、床下空間２８に排出さ
れるようになっている。なお、第１図において符号２９
は空気清浄室内下、３０は作業者を示す。
以上のように構成された空気清浄室においては、第２図
（ａ）、（ｂ）に示すように作業者３０が侵入した場合
、該作業者３０の侵入を入口側（空気清浄室内下２９側
）の人間検知装置２２ａから奥方向に向かって、２２ｂ
〜２２ｅと順次検知し、それに応じて空気清浄機２１を
作業者３０の進行に先行させて順次稼動させる。なお、
第２図（ｂ）において○印は人間検知装置がオンしたと
きに清浄機を可動させることを意味する。
（ａ）、（ｂ）に示すように作業者３０が侵入した場合
、該作業者３０の侵入を入口側（空気清浄室内下２９側
）の人間検知装置２２ａから奥方向に向かって、２２ｂ
〜２２ｅと順次検知し、それに応じて空気清浄機２１を
作業者３０の進行に先行させて順次稼動させる。なお、
第２図（ｂ）において○印は人間検知装置がオンしたと
きに清浄機を可動させることを意味する。
このような運転特性を付加することによって、間引き運
転モード中に空気清浄室における最大の発ａ源である作
業者３０が侵入した場合においても、プロセス装置（図
示せず）や床面２７の汚染を防止することが可能になる
。
転モード中に空気清浄室における最大の発ａ源である作
業者３０が侵入した場合においても、プロセス装置（図
示せず）や床面２７の汚染を防止することが可能になる
。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
い。例えば空気清浄室の運転モードを通常運転モードと
間引き運転モードとに区分せず、常に空気清浄室作業域
内に作業者３０が介在するか否かの判定によって空気清
浄機２１を発停させたり、インバータを介して吹出し風
量を制御することで、空気清浄室の省エネルギー運転や
清浄度の維持に寄与できる。
い。例えば空気清浄室の運転モードを通常運転モードと
間引き運転モードとに区分せず、常に空気清浄室作業域
内に作業者３０が介在するか否かの判定によって空気清
浄機２１を発停させたり、インバータを介して吹出し風
量を制御することで、空気清浄室の省エネルギー運転や
清浄度の維持に寄与できる。
以上説明したように本発明によれば、空気清浄室作業域
の天井面に人間検知装置を設けたことにより、空気清浄
室内における人間の介在に適合した空気清浄機の運転モ
ードが逐次選択運用できるので、常に清浄度を保持した
空気清浄室を提供できるという優れた効果を奏する。
の天井面に人間検知装置を設けたことにより、空気清浄
室内における人間の介在に適合した空気清浄機の運転モ
ードが逐次選択運用できるので、常に清浄度を保持した
空気清浄室を提供できるという優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係る空気清浄室の一実施例を示す要部
概略構成図、第２図は本発明に係る空気清浄室における
空気清浄機の運転例を示す図、第３図は従来の空気清浄
室の一例を示す概略構成図、第４図は工業用空気清浄室
のレイアウトを示す図、第５図（ａ）、 （ｂ）は従来
の空気清浄室における空気清浄機の運転モードの例を示
す図である。 ２０・・・空気清浄室作業域、２１・・・空気清浄機、
２２（２２ａ〜２２ｅ）・・・人間検知装置、２４・・
・送風機、２５・・・高性能エアフィルタ。
概略構成図、第２図は本発明に係る空気清浄室における
空気清浄機の運転例を示す図、第３図は従来の空気清浄
室の一例を示す概略構成図、第４図は工業用空気清浄室
のレイアウトを示す図、第５図（ａ）、 （ｂ）は従来
の空気清浄室における空気清浄機の運転モードの例を示
す図である。 ２０・・・空気清浄室作業域、２１・・・空気清浄機、
２２（２２ａ〜２２ｅ）・・・人間検知装置、２４・・
・送風機、２５・・・高性能エアフィルタ。
Claims (1)
- 空気調和機と送風ダクト系から成る空気供給系と、天井
に配置されかつエアフィルタを備えた空気清浄機とを有
する空気清浄室において、前記空気清浄機吹出面である
空気清浄室作業域の天井面に人間検知装置を設けたこと
を特徴とする空気清浄室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062382A JPH03263534A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 空気清浄室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062382A JPH03263534A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 空気清浄室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03263534A true JPH03263534A (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=13198515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062382A Pending JPH03263534A (ja) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | 空気清浄室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03263534A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5664995A (en) * | 1996-06-21 | 1997-09-09 | O.K. Filters Company, Inc. | Environmental enclosure apparatus with air flow control and balancing |
| US5692954A (en) * | 1994-05-09 | 1997-12-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Air-shower system for a clean room |
| US6132309A (en) * | 1999-03-10 | 2000-10-17 | Panelli; Paul Giulo | Modular clean room plenum |
| US7465225B2 (en) * | 2004-06-03 | 2008-12-16 | Tosho, Inc. | Clean room unit |
| JP2013167387A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JP2014214915A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-11-17 | 清水建設株式会社 | 清浄化空調システム |
| EP2886966A1 (de) * | 2013-12-20 | 2015-06-24 | Schilling Engineering GmbH | Reinraumsystem und verfahren zu dessen betrieb |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365242A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-23 | Sanki Eng Co Ltd | 空気清浄システム |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP2062382A patent/JPH03263534A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6365242A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-23 | Sanki Eng Co Ltd | 空気清浄システム |
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| WO1997048951A1 (en) * | 1996-06-21 | 1997-12-24 | Air Technologies, Inc. | Environmental enclosure apparatus with air flow control and balancing |
| US6132309A (en) * | 1999-03-10 | 2000-10-17 | Panelli; Paul Giulo | Modular clean room plenum |
| US6514137B1 (en) * | 1999-03-10 | 2003-02-04 | Paul Giulo Panelli | Modular clean room plenum |
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