JP2003279115A - ファンフィルター装置のリモコンユニット - Google Patents

ファンフィルター装置のリモコンユニット

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JP2003279115A
JP2003279115A JP2002084610A JP2002084610A JP2003279115A JP 2003279115 A JP2003279115 A JP 2003279115A JP 2002084610 A JP2002084610 A JP 2002084610A JP 2002084610 A JP2002084610 A JP 2002084610A JP 2003279115 A JP2003279115 A JP 2003279115A
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fan
filter device
control unit
air
fan filter
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JP2002084610A
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Tsukasa Fujita
司 藤田
Tomoki Isaki
知己 伊崎
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Keyence Corp
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Keyence Corp
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    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ファンフィルター装置から送り出される清浄
空気の風量を調整し、清浄化対象空間の空気の清浄度を
モニターすることができるリモコンユニットを提供す
る。 【解決手段】 リモコンユニット40は、ファンフィル
ター装置10との通信を行う通信回路41と、ファンフ
ィルター装置10から受信した情報に基づいてファンフ
ィルター装置10の動作状態を表示するための表示部4
3と、ファンフィルター装置10の電動ファン16の回
転数を調整するための設定を行う操作部44とを備えて
いる。また、清浄化対象空間の空気の一部を導入するサ
ンプル空気導入部63と、導入したサンプル空気中の塵
埃量を計測するパーティクルカウンタ45を備え、計測
された塵埃量が表示部43に表示される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気をHEPAフ
ィルター(high−efficiency part
iculate air filter、高性能微粒子
除去フィルター)で濾過することによって清浄化して送
り出すファンフィルター装置のリモコンユニット(遠隔
制御装置)に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のファンフィルター装置は、電子
機器や精密機械等の組み立て場所及び保管場所の空気を
清浄化するために用いられる。例えば、組み立て作業テ
ーブルの上方から下方に向けて清浄化された空気を送り
出すようにファンフィルター装置が設置される。あるい
は、保管庫の上にファンフィルター装置を設置し、保管
庫の天井に設けられた開口から保管庫内へ清浄化された
空気が送り出されるようにする。
【0003】図8は従来の典型的なファンフィルター装
置の構造を示す側面視の構成図である。このファンフィ
ルター装置100は、直方体形状又は円筒形状のケース
101の内部に、電動モータ102とその上下方向の回
転軸に固着されたプロペラファン103とHEPAフィ
ルター104とを備え、これらが上下方向に並ぶように
配置されている。
【0004】ケース101の外部に備えられた電源10
5から供給される電力によって電動モータ102が回転
すると、矢印線で示すように、プロペラファン103に
よってケース101の上側の開口から取り込まれた空気
が下方へ送り出され、HEPAフィルター104を通っ
て清浄化された後に下方空間に送り出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
ファンフィルター装置は、HEPAフィルター、ファン
及びモータを組み合わせただけの簡単な構成であり、H
EPAフィルターから送り出される清浄空気の風量を調
整することが困難であった。
【0006】清浄空気の風量を調節するにはファンの出
力、すなわちモータの回転数を調整する必要があり、モ
ータの回転数を調整するには電源電圧、電源周波数等を
調整する必要がある。これには通常、サイリスタ等のス
イッチング素子を用いた制御が必要となるので、作業者
が簡単に調整することはできない。
【0007】一方、省エネルギーの観点からは、必要以
上にファンフィルター装置から清浄空気を送り出す必要
はない。つまり、清浄化対象空間の空気が十分清浄化さ
れている場合は、ファンの回転数を下げることが可能で
ある。また、例えばファンフィルター装置から保管庫内
へ清浄空気を送り出して、保管庫内を清浄空気で満たす
場合は、保管庫内の気圧が周囲の気圧より若干高い状態
に維持して、外部の塵埃が保管庫内に入らないようにす
る必要がある。この場合、保管庫の扉の開閉に伴う保管
庫内の気圧の変化を検出して、ファンフィルター装置か
ら送り出される清浄空気の風量を調整することが望まし
い。
【0008】本発明は上記のような課題に鑑みてなされ
たものであり、ファンフィルター装置から送り出される
清浄空気の風量を調整し、清浄化対象空間の空気の清浄
度をモニターすることができるリモコンユニットを提供
することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によるファンフィ
ルター装置のリモコンユニットは、空気を濾過するフィ
ルターと電動ファンを備え、電動ファンによって外部か
ら取り入れられた空気がフィルターを通過して清浄化さ
れた後に外部に送り出されるように構成されたファンフ
ィルター装置に接続されるリモコンユニットであって、
ファンフィルター装置との通信を行う通信回路と、ファ
ンフィルター装置から受信した情報に基づいてファンフ
ィルター装置の動作状態を表示するための表示部と、フ
ァンフィルター装置の電動ファンの回転数を調整するた
めの設定を行う操作部とを備えていることを特徴とす
る。
【0010】このような構成のリモコンユニットを例え
ば作業場所に設置すれば、作業者はファンフィルター装
置の動作状態(例えば電動ファンの回転数、風速等)を
表示部でモニターしながら、必要に応じて操作部から風
量(又は風速)の設定を行うことにより、電動ファンの
回転数を調整することができる。また、フィルターの目
詰まりやファンモータの異常等を表示部から知ることも
できる。
【0011】好ましい実施形態において、リモコンユニ
ットは、清浄化対象空間の空気の一部を導入するサンプ
ル空気導入部と、導入されたサンプル空気中の塵埃量を
計測するパーティクルカウンタとを備え、パーティクル
カウンタが計測した塵埃量を表示部に表示する。
【0012】このような構成によれば、作業者は、表示
部に表示された塵埃量に基づいて清浄化対象空間の空気
の清浄度を判断し、必要に応じて操作部から風量(又は
風速)の設定を行うことにより、電動ファンの回転数を
調整することができる。
【0013】別の好ましい実施形態では、リモコンユニ
ットは、清浄化対象空間の空気の一部を導入するサンプ
ル空気導入部と、そのサンプル空気導入部から導入した
空気中の塵埃量を計測するパーティクルカウンタと、該
パーティクルカウンタが計測した塵埃量に基づいてファ
ンフィルター装置の電動ファンの回転数を調整するため
の自動設定を行う制御部とを備えている。
【0014】このような構成によれば、清浄化対象空間
の空気が所定の清浄度を満たしている場合は電動ファン
の回転数を下げ、清浄度が悪化すれば電動ファンの回転
数を上げるといった自動制御が可能になる。
【0015】更に別の好ましい実施形態では、閉空間で
ある清浄化対象空間の気圧を検出する圧力センサからの
電気信号が入力される圧力検出回路を備え、圧力検出回
路の出力に基づいてファンフィルター装置の電動ファン
の回転数を調整するための自動設定を行う制御部を備え
ている。
【0016】このような構成によれば、例えばファンフ
ィルター装置から保管庫内へ清浄空気を供給する使用形
態において、保管庫の扉の開閉に伴う保管庫内の気圧の
変化に迅速に追従してファンフィルター装置から送り出
される清浄空気の風量を自動調整し、保管庫内の気圧を
一定に維持することが可能になる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
【0018】図1は、本発明の実施形態に係るファンフ
ィルター装置の外観を示し、(a)は上面図、(b)は
側面図、(c)は下面図である。このファンフィルター
装置10は、樹脂成形品である上ケース11と下ケース
12を有する。上ケース11の上面の長手方向一側部に
一対の空気取り入れ口13が設けられている。また、下
ケース12の底面に吐き出し口(吐き出し面)14が設
けられている。吐き出し口14は、平面視において、空
気取り入れ口13が設けられている長手方向一側部の反
対側から中央部にかけて略正方形に形成されている。
【0019】空気取り入れ口13は、上ケース11に形
成された複数のスリット開口が並んだ構造と、その内側
に貼り付けられたナイロンメッシュ(図示せず)によ
り、第1プレフィルターを構成している。空気取り入れ
口の第1プレフィルター13によって、髪の毛や綿埃の
ような大きい塵埃がファンフィルター装置の内部に入る
のを阻止して、ファンの故障を防いでいる。
【0020】図2は、本発明の実施形態に係るファンフ
ィルター装置の内部構造図であり、(a)は平面視、
(b)は側面視の内部構造の概略を示している。ファン
フィルター装置10の略直方体の内部空間において、長
手方向の一方側に遠心式ファンの一種であるシロッコフ
ァン16と、それを回転駆動する電動モータ17が配置
され、他方側にHEPAフィルター(高性能微粒子除去
フィルター)18と第2プレフィルター19が配置され
ている。
【0021】図3は、HEPAフィルター18の構造を
示し、(a)は平面図、(b)は側面から見た断面図で
ある。HEPAフィルター18は、空気を清浄化するた
めの主フィルターであり、ガラス繊維不織布を折り畳ん
で多数の襞を形成したフィルター本体22をアルミニウ
ム枠21に装着した構造を有する。多数の襞を形成する
ことにより、フィルター本体22の濾過作用を奏する表
面積を増やしている。
【0022】また、第2プレフィルター19は不織布で
構成され、HEPAフィルター18の上面(上流側)に
装着されている。第2プレフィルター19は、カビの胞
子や花粉等の数ミクロンの埃の通過を阻止することがで
きる。第2プレフィルター19は不織布を所定寸法にカ
ットしたものであり、HEPAフィルター18に比べて
非常に安価である。目詰まりが生ずれば新しいものに取
り替えることができる。あるいは、取り外して水洗又は
掃除機での吸引等により容易にその濾過作用を回復させ
ることができる。これにより、高価なHEPAフィルタ
ー18の寿命を延ばすことができる。
【0023】図1及び図2からわかるように、上ケース
11の一対の空気取り入れ口(第1プレフィルター)1
3は、平面視でシロッコファン16の両側(上下)に位
置するように形成されている。空気取り入れ口(第1プ
レフィルター)13を通して外部から取り入れた空気
は、図2に矢印線で示すように、シロッコファン16の
両側(上下両方向)からシロッコファン16に入り、そ
のハウジング出口部に取り付けられた連結ダクト24を
通ってHEPAフィルター18の上部空間25に導かれ
る。
【0024】図4は、シロッコファン16のハウジング
出口部側からみたシロッコファン16及び電動モータ1
7を示す図である。シロッコファン16は、略円筒形の
ハウジング16aとその中で回転する羽根車16bから
なり、羽根車16bの回転軸は電動モータ17の回転軸
に接続されている。ハウジング16aには、長方形のハ
ウジング出口部16cが形成されている。矢印線で示す
ように、ハウジング16aの両側面の空気取り入れ口か
ら空気が取り入れられ、ハウジング出口部16cから
(紙面に垂直に手前方向へ)吐き出される。
【0025】図2に示すように、HEPAフィルター1
8の上部空間25は、シロッコファン16及び電動モー
タ17が配置された空間27から隔壁26によって分離
されている。隔壁26の中央部に開口部26aが形成さ
れ、この開口部26aが連結ダクト24に接続されてい
る。連結ダクト24及び開口部26aを通ってHEPA
フィルター18の上部空間25に導かれた空気は、シロ
ッコファン16によって正の圧力を与えられた状態で第
2プレフィルター19及びHEPAフィルター18を上
面側から下面側へ通過して清浄化され、下ケース12の
底面の吐き出し口14から外部へ送り出される。
【0026】前述のような構造のHEPAフィルター1
8は、長時間使用すれば埃による目詰まりが発生する。
使用環境によって異なるが、所定時間が経過すればHE
PAフィルター18を新しいものに交換する必要があ
る。HEPAフィルター18を交換するまでの間は、目
詰まりが徐々に進行し、HEPAフィルター18の圧力
損失が徐々に増加することになる。圧力損失が増加すれ
ば、吐き出し口14から送り出される空気の風量が低下
する。上記のような使用時間の経過に伴う風量の低下を
補償するには、電動モータ17に供給する電力(電流)
を増やす必要がある。本実施形態のファンフィルター装
置10は、風量を検出するための風速センサを備え、そ
の検出出力に基づいて電動モータ17に供給する電力の
フィードバック制御を行う。
【0027】図2に示すように、シロッコファン16の
ハウジング出口部の内壁に風速センサ28が取り付けら
れている。この風速センサ28は、トランジスタのベー
スエミッタ間電圧が温度によって変化することを利用し
たものである。つまり、風速センサ28が晒されている
空気の風速が速くなるほどトランジスタの冷却効果が高
くなるので、ベースエミッタ間電圧を風速センサ28の
センサ出力として検出すれば、風速がわかることにな
る。このような風速センサ28は公知であるので、詳し
い説明は省く。トランジスタに代えて電熱素子を用い、
その抵抗値の変化をセンサ出力とする風速センサを用い
てもよい。
【0028】風速センサ28が取り付けられたファン出
口部分の流路断面積は既知であるから、風速が分かれば
風量も分かる。図8に示した従来構造のファンフィルタ
ー装置では風速を正確に測定することが困難であるが、
本実施形態の構造では、流路断面積の小さい流路部分に
取り付けられた風速センサ28を用いて比較的速い風速
を検出することができ、正確に風速(風量)を測定する
ことができる。
【0029】図5は、本実施形態のファンフィルター装
置10とそのリモコンユニット40の電子回路の概略構
成を示すブロック図である。ファンフィルター装置10
は、後述するリモコンユニット40と通信ケーブル29
で接続され、リモコンユニット40との間で情報の送受
信を行うための通信回路30を備えている。また、ファ
ンフィルター装置10は風速検出回路31、FFU制御
部32、モータドライバ33、電流検出回路34及び回
転数検出回路35を備えている。
【0030】風速センサ28の出力信号は風速検出回路
31を経てFFU制御部32に入力される。FFU制御
部32は、風速センサ28で検出された現在の風速レベ
ルを設定値と比較し、その誤差がゼロになるようにモー
タドライバ33を介して電動モータ17(への供給電
力)を制御する。つまり、現在の風速レベルが設定値よ
り低ければ、電動モータ17への供給電力を増加し、逆
に風速レベルが高くなれば供給電力を減少するようなフ
ィードバック制御を行う。これにより、HEPAフィル
ター18の目詰まり等に起因する風量の低下を補償し
て、一定の風量を確保することができる。
【0031】電動モータ17への供給電力(電流)は電
流検出回路34でモニターされ、その出力がFFU制御
部32に入力されている。FFU制御部32は、電流検
出回路34の出力を基準値(上限設定値)と比較し、電
動モータ17への供給電流が基準値を超えると、通信回
路30を介してフィルター交換信号をリモコンユニット
40に送信する。つまり、電動モータ17への供給電力
が基準値を超えると、もはや電動モータ17の制御によ
ってHEPAフィルター18の目詰まりを補償すること
ができないので、フィルター交換を促すためのフィルタ
ー交換信号をリモコンユニット40に送信する。
【0032】また、電動モータ17の回転数が回転数検
出回路35によって検出され、その出力信号がFFU制
御部32に入力される。FFU制御部32は、回転数検
出回路35の検出情報を風速検出回路31の検出情報と
共に、通信回路30を介してリモコンユニット40に送
信する。
【0033】リモコンユニット40は、ファンフィルタ
ー装置10との間で情報の送受信を行うための通信回路
41、RCU制御部42、表示部43、操作部44、パ
ーティクルカウンタ45及び圧力検出回路46を備えて
いる。パーティクルカウンタ45は、サンプル空気導入
部から導入される清浄化対象空間のサンプル空気に含ま
れる塵埃量(パーティクル濃度)を検出する。検出され
た塵埃量は表示部43に表示される。あるいは、塵埃量
に基づいてRCU制御部42が適切な風量又は風速の設
定値をファンフィルター装置10に送信することによ
り、ファンフィルター装置10のファン回転数の自動調
整を行う。
【0034】また、清浄化対象空間が保管庫内部のよう
な閉空間である場合に、清浄化対象空間の気圧を検出す
る圧力センサ47が設けられ、圧力検出回路46は圧力
センサ47からの電気信号に基づいて清浄化対象空間の
気圧を検出する。RCU制御部42は、圧力検出回路4
6の出力レベルを基準値と比較し、その誤差に基づいて
風量(風速)の設定値をファンフィルター装置10に送
信することにより、ファンフィルター装置10のファン
回転数の自動調整を行う。これにより、清浄化対象空間
(保管庫内部)を常に一定の気圧(外部の気圧より少し
高い状態)に維持し、外部の塵埃が清浄化対象空間に入
らないようにすることができる。
【0035】例えば、保管庫の扉を開けたことによって
保管庫内部の気圧が基準値より下がると、RCU制御部
42は、風量又は風速の設定値を上げてファン回転数を
増加させることにより、速やかに保管庫内部の気圧を上
昇させる。逆に定常状態で保管庫内部の気圧が高くなれ
ば、RCU制御部42は、風量又は風速の設定値を下げ
る。これにより、電動モータ17の消費電力を抑えると
共にHEPAフィルター18の寿命を延ばすことができ
る。このような自動制御には通常、現在の圧力レベルと
基準値との誤差と誤差の積分値と誤差の微分値の3つの
情報を用いるPID制御が使用される。
【0036】図6は、リモコンユニット40の外観を示
す図である。(a)は前面の表示及び操作パネル部を示
し、(b)は側面のコネクタ部を示している。リモコン
ユニット40の前面50に、風量表示51、塵埃量(パ
ーティクル濃度)表示52、FFU状態表示53、圧力
センサ接続表示54、アラーム表示55を含む表示部
(図5の43)と、パワースイッチ57、風量設定スイ
ッチ58、ターボスイッチ59を含む操作部(図5の4
4)とが設けられている。なお、ターボスイッチ59
は、ファンフィルター装置10の電動モータ17を最大
回転数で所定時間駆動する際に操作される。これによ
り、空気清浄度を迅速に高めることができる。別の設定
手段により、所定時間として1分又は10分を設定する
ことができる。
【0037】また、リモコンユニット40の側面60に
は、ファンフィルター装置10との通信ケーブルのコネ
クタ61、圧力センサ47のケーブルのコネクタ62、
サンプル空気導入部であるチューブコネクタ63、及び
空気排出口64が設けられている。チューブコネクタ6
3から導入された清浄化対象空間のサンプル空気は、パ
ーティクルカウンタ45を通った後、空気排出口64か
ら排出される。
【0038】図7はパーティクルカウンタ45の動作原
理を示す図である。サンプリングチューブ71に導入さ
れ、一定速度で移動するサンプル空気に対してレーザダ
イオード72から発したレーザ光が投光レンズ73を介
して照射される。サンプル空気中に含まれる塵埃粒子
(パーティクル)によってレーザ光のレーリー散乱また
はミー散乱が生じ、その散乱光が受光レンズ74を通っ
て受光素子(PD)75に受光される。受光素子75か
ら出力される電気信号は増幅器76で増幅された後に比
較器77に入力される。比較器77は、塵埃粒子の径に
応じて設定(選択)された基準レベルと入力レベルとを
比較し、比較結果をカウンタ78に与える。このような
回路構成により、設定された径(基準レベル)より大き
い塵埃粒子(パーティクル)の数がカウンタ78によっ
て計数される。
【0039】図6(a)に示したリモコンユニット40
の前面50において、塵埃量表示52には、上記のよう
にして計数された塵埃粒子の数がバーグラフで表示され
る。径の異なる2種類の塵埃粒子に関して個別に塵埃量
(パーティクル数)が表示される。ユーザはこの表示に
基づいて、風量表示51及び風量設定スイッチ58を用
いて適切な風量(風速)を設定することができる。ま
た、自動モードが選択されているときは、RCU制御部
42がパーティクルカウンタ45からの信号に基づいて
自動的に適切な風量(風速)を設定する。設定された風
量(風速)は、通信回路41を介してファンフィルター
装置10に送信され、ファンフィルター装置10のFF
U制御部32が前述のようにして、風速検出回路31の
出力と設定風量(風速)とに基づく電動モータ17の自
動制御を行う。
【0040】以上、本発明の実施形態を変形例と共に説
明したが、本発明は上記の実施形態に限らず、種々の形
態で実施することができる。図示した形状及び構造、そ
して各部材の材質の記述は一例に過ぎず、必要に応じて
変更可能である。
【0041】リモコンユニット40の前面50に配置さ
れた種々の表示及び操作スイッチのすべてについて詳細
に説明することは省略したが、表示部43及び操作部4
4の具体的な構成や配置は任意に設計することができ
る。
【0042】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のリモコ
ンユニットによれば、作業者はファンフィルター装置の
動作状態(例えば電動ファンの回転数、風速等)を表示
部でモニターしながら、必要に応じて操作部から風量
(又は風速)を設定し、電動ファンの回転数を調整する
ことができる。また、フィルターの目詰まりやファンモ
ータの異常等を表示部から知ることもできる。
【0043】また、清浄化対象空間の空気を導入して塵
埃量を計測するパーティクルカウンタをリモコンユニッ
トに設けたことにより、作業者は、表示部に表示された
塵埃量に基づいて清浄化対象空間の空気の清浄度を判断
し、必要に応じて操作部から風量(又は風速)を設定
し、電動ファンの回転数を調整することができる。ある
いは、パーティクルカウンタの出力に基づいて制御部が
自動的に風量(又は風速)を設定することができる。
【0044】更に、閉空間である清浄化対象空間の気圧
を検出する圧力センサからの電気信号が入力される圧力
検出回路をリモコンユニットに設けたことにより、ファ
ンフィルター装置から送り出される清浄空気の風量を自
動調整し、保管庫内の気圧を一定に維持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るファンフィルター装置
の外観を示す図である。
【図2】本発明の実施形態に係るファンフィルター装置
の内部構造図である。
【図3】HEPAフィルターの構造を示す図である。
【図4】シロッコファンのハウジング出口部側からみた
シロッコファン及び電動モータを示す図である。
【図5】本実施形態のファンフィルター装置とそのリモ
コンユニットの電子回路の概略構成を示すブロック図で
ある。
【図6】リモコンユニットの外観を示す図である。
【図7】パーティクルカウンタの動作原理を示す図であ
る。
【図8】従来の典型的なファンフィルター装置の構造を
示す側面視の構成図である。
【符号の説明】
10 ファンフィルター装置 16 電動ファン(シロッコファン) 18 フィルター(HEPAフィルター) 40 リモコンユニット 42 制御部(RCU制御部) 43 表示部 44 操作部 45 パーティクルカウンタ 46 圧力検出回路 47 圧力センサ 63 サンプル空気導入部(チューブコネクタ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F24F 11/04 F24F 11/04 F Fターム(参考) 3L061 BA01 BA03 BB01 BB03 BC04 BD03 BF08

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】空気を濾過するフィルターと電動ファンを
    備え、前記電動ファンによって外部から取り入れられた
    空気が前記フィルターを通過して清浄化された後に外部
    に送り出されるように構成されたファンフィルター装置
    に接続されるリモコンユニットであって、 前記ファンフィルター装置との通信を行う通信回路と、
    前記ファンフィルター装置から受信した情報に基づいて
    前記ファンフィルター装置の動作状態を表示するための
    表示部と、前記ファンフィルター装置の電動ファンの回
    転数を調整するための設定を行う操作部とを備えている
    ことを特徴とするファンフィルター装置のリモコンユニ
    ット。
  2. 【請求項2】清浄化対象空間の空気の一部を導入するサ
    ンプル空気導入部と、導入されたサンプル空気中の塵埃
    量を計測するパーティクルカウンタとを備え、前記パー
    ティクルカウンタが計測した塵埃量を前記表示部に表示
    することを特徴とする請求項1記載のファンフィルター
    装置のリモコンユニット。
  3. 【請求項3】清浄化対象空間の空気の一部を導入するサ
    ンプル空気導入部と、該サンプル空気導入部から導入し
    た空気中の塵埃量を計測するパーティクルカウンタと、
    該パーティクルカウンタが計測した塵埃量に基づいて前
    記ファンフィルター装置の電動ファンの回転数を調整す
    るための自動設定を行う制御部とを備えていることを特
    徴とする請求項1又は2記載のファンフィルター装置の
    リモコンユニット。
  4. 【請求項4】閉空間である清浄化対象空間の気圧を検出
    する圧力センサからの電気信号が入力される圧力検出回
    路を備え、前記圧力検出回路の出力に基づいて前記ファ
    ンフィルター装置の電動ファンの回転数を調整するため
    の自動設定を行う制御部を備えていることを特徴とする
    請求項1、2又は3記載のファンフィルター装置のリモ
    コンユニット。
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