JP2022076380A - ファンフィルタユニットの監視システム - Google Patents
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Abstract
Description
前記ファンフィルタユニットは、
ファンと、ファンフィルタユニットチャンバ内の圧力を検出する第1の圧力センサとを有し、
前記ファンによって外部から取り入れられた空気を、塵埃を濾過するフィルタに通過させて清浄化対象空間に送り出し、
前記制御部は、
前記清浄化対象空間の圧力を検出する第2の圧力センサからの信号に基づいて、前記ファンを駆動するモータの回転数を制御するとともに、
前記第1の圧力センサからの信号と前記第2の圧力センサからの信号から、前記フィルタの圧力損失を算出し、
算出した前記フィルタの圧力損失と定めておいた第1の圧力損失値とに基づいて、定めておいた第2の圧力損失値を変更するかを判定し、
判定した後の前記第2の圧力損失値と算出した前記フィルタの圧力損失とに基づいて、目詰まりが生じたとする信号を出力するかを判定するファンフィルタユニットの監視システムである。
2・・・・清浄化対象空間
3・・・・制御部
11・・・ファン
12・・・FFUチャンバ
13・・・モータ
14・・・フィルタ
21・・・清浄化対象空間圧力センサ
22・・・FFUチャンバ内圧力センサ
31・・・上位機器
32・・・表示部
33・・・表示灯
Claims (8)
- ファンフィルタユニットと制御部を有するファンフィルタユニットの監視システムであって、
前記ファンフィルタユニットは、
ファンと、ファンフィルタユニットチャンバ内の圧力を検出する第1の圧力センサとを有し、
前記ファンによって外部から取り入れられた空気を、塵埃を濾過するフィルタに通過させて清浄化対象空間に送り出し、
前記制御部は、
前記清浄化対象空間の圧力を検出する第2の圧力センサからの信号に基づいて、前記ファンを駆動するモータの回転数を制御するとともに、
前記第1の圧力センサからの信号と前記第2の圧力センサからの信号から、前記フィルタの圧力損失を算出し、
算出した前記フィルタの圧力損失と定めておいた第1の圧力損失値とに基づいて、定めておいた第2の圧力損失値を変更するかを判定し、
判定した後の前記第2の圧力損失値と算出した前記フィルタの圧力損失とに基づいて、目詰まりが生じたとする信号を出力するかを判定するファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項1に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記制御部は、
算出した前記フィルタの圧力損失値が前記第1の圧力損失値を超えた場合には、前記第1の圧力センサからの信号と前記第2の圧力センサからの信号の差分の変動値を、前記第2の圧力損失値に加えて新たな前記第2の圧力損失値に変更するファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項1に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記制御部は、
算出した前記フィルタの圧力損失値が前記第1の圧力損失値未満である場合には、前記第2の圧力損失値を変更しないファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項1に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記制御部は、
前記清浄化対象空間の圧力が、定めておいた圧力となるように、前記ファンを駆動するモータの回転数を制御するファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項4に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記制御部は、
定めておいた前記圧力となるように、PID制御をするファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項1に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記制御部は、
目詰まりが生じたとする信号を、上位機器、表示部、もしくは表示灯に出力するファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項1に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記ファンフィルタユニットは複数からなっており、
前記制御部は、
複数の前記ファンフィルタユニットそれぞれの前記第1の圧力センサからの信号を受け取り、前記ファンフィルタユニットそれぞれの目詰まりが生じたとする信号を出力するかを判定するファンフィルタユニットの監視システム。 - 請求項1に記載のファンフィルタユニットの監視システムにおいて、
前記制御部は、
PLCとインバータとを有し、
前記モータは、
DCブラシレスモータもしくはACモータであり、
前記フィルタは、HEPAフィルタであるファンフィルタユニットの監視システム。
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