JP2021025690A

JP2021025690A - 機器

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Publication number: JP2021025690A
Application number: JP2019143098A
Authority: JP
Inventors: 康司蒲原; Koji Kambara
Original assignee: Hugle Development Co Ltd
Current assignee: Hugle Development Co Ltd
Priority date: 2019-08-02
Filing date: 2019-08-02
Publication date: 2021-02-22
Anticipated expiration: 2039-08-02
Also published as: JP7399448B2

Abstract

【課題】室内での使用により適した機器を提供することである。【解決手段】複数の壁部に囲まれた筐体１０内に発熱を伴って動作する動作部２０が収容された構造の機器１００であって、前記筐体１０は、吸気口１４ａの形成された第１壁部１１ａと、排気口１４ｂの形成された第２壁部１１ｂとを有し、前記第２壁部１１ｂに前記排気口１４ｂを覆うように設けられたフィルタ（２５）と、前記フィルタ（２５）を通して前記筐体１０内の空気を排出させる排気ファン（２５）と、を有する構成となる。【選択図】図１

Description

本発明は、室内で使用する機器に関する。

室内で使用される種々の機器が存在する。例えば、特許文献１には、クリーンルーム（室内）で使用される半導体製造装置としての現像装置（機器）が開示されている。このクリーンルームで使用される現像装置は、筐体内に現像ユニットや加熱ユニット等が収容された構造である。そして、筐体の天面にはファンフィルタユニットが設けられており、そのファンフィルタユニットによって筐体内にクリーンルーム内の清浄な空気が取り入れられる。その筐体は、クリーンルーム内に敷設された排気設備（排気路）に接続され、現像ユニットや加熱ユニットが動作する筐体内の空気がその排気設備に排出される。これにより、クリーンルームに設置された現像装置では、清浄な状態の空間である筐体内において、現像ユニットや加熱ユニット等の動作部が動作して半導体基板（ウェハ）の現像処理が行われる。

特開２００２−２２２２８号公報

上記のような現像装置（機器）では、排気設備（排気路）の整ったクリーンルームでしか使用できない。また、クリーンルームから供給される空気が筐体から排気設備を通してクリーンルームの外部に排出されるので、その排気分を補うための清浄な空気をクリーンルーム内に補給しなければならない。

このように、上述した現像装置（機器）は、排気設備及び排気に見合った空気を補給するための設備を備えていないクリーンルームでは使用することができない。このため、このような機器は、クリーンルームという室内において使用し易いものとは言い難く、クリーンルームという室内での使用に必ずしも適したものではない。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、室内での使用により適した機器を提供するものである。

本発明に係る機器は、複数の壁部に囲まれた筐体内に発熱を伴って動作する動作部が収容された構造の機器であって、前記筐体は、吸気口の形成された第１壁部と、排気口の形成された第２壁部とを有し、前記第２壁部に前記排気口を覆うように設けられたフィルタと、前記フィルタを通して前記筐体内の空気を排出させる排気ファンと、を有する構成となる。

このような構成により、機器が室内に設置された状態で、排気ファンが動作すると、筐体内の空気が排気口からフィルタを通して該筐体の外に排出されるとともに、吸気口から筐体内に室内の空気が引き入れられる。この吸気口からの空気の引き入れ及び排気口からの空気の排出により筐体内に気流が生じ、発熱を伴って動作する動作部がその気流にさらされて冷却（空冷）される。また、筐体内の空気は排気口のフィルタを通して外に排出されるので、ホコリ等の微粒子が前記フィルタに捕捉されて当該筐体から室内に拡散することが防止される。

更に、室内に存在するホコリ等の微細粒子は、吸気口から空気とともに筐体内に引き入れられると、排気口に設けられたフィルタによって捕捉されてその排気口から拡散することが防止されるので、結果として、室内における当該機器近傍の空気を清浄化することができる。

本発明に係る機器において、前記第１壁部と前記第２壁部とは、前記筐体において前記動作部を挟んで対向して配置されている、構成とすることができる。

このような構成により、第１壁部の吸気口から引き入れられる空気が確実に動作部を通って第２壁部の排気口から排出するようになるので、吸気口から排気口に向かって流れる気流によって動作部を確実に冷却することができるとともに、前記動作部の動作によって発生するホコリ等の微細粒子を筐体内で長い時間滞留させることなく、フィルタによって捕捉することができる。

本発明に係る機器において、前記フィルタ及び前記排気ファンは、ファンフィルタユニットとして一体化されている、構成とすることができる。

このような構成により、筐体の第２壁部に形成された排気口に前記フィルタ及び排気ファンを容易に装着することができる。

本発明に係る機器において、前記筐体内の状態を表す物理量を検出する状態検出手段と、前記状態検出手段にて検出される物理量に基づいて前記排気ファンの動作を制御するファン制御手段と、を有する構成とすることができる。

このような構成により、筐体内の状態に応じて排気ファンの動作が制御される。その結果、機器における動作部の空冷、筐体内において動作部の動作によって発生し得る微細粒子の外部への拡散防止、及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化を、筐体内の状態に応じて行うことができる。

本発明に係る機器において、前記状態検出手段は、前記筐体内の状態を表す物理量として前記筐体内の温度値を検出する温度検出手段を含み、前記ファン制御手段は、前記温度検出手段にて検出される温度値に基づいて前記排気ファンの動作を制御する温度依存ファン制御手段を含む、構成とすることができる。

このような構成により、機器における動作部の空冷、筐体内において動作部の動作によって発生し得る微細粒子の外部への拡散防止、及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化を、筐体内の温度に応じて行うことができる。

本発明に係る機器において、前記温度依存ファン制御手段は、前記検出される温度値が第１所定値より大きいときに、前記排気ファンの動作を第１温度モードで制御し、前記検出される温度値が前記第１所定値以下の第２所定値より小さいときに、前記排気ファンの動作を前記第１温度モードの動作より弱い動作の第２温度モードで制御する、温度モード可変制御手段を含む、構成とすることができる。

このような構成により、検出される筐体内の温度値が第１所定値より大きく、筐体内の温度が比較的高い場合には、第１温度モードで排気ファンが動作され、筐体内の微細粒子の外部への拡散、及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化とともに、前記動作部の空冷が積極的に行われ得る。一方、検出される筐体内の温度値が第２所定値より小さく、筐体内の温度が比較的低い場合には、前記排気ファンは、前記第１温度モードの動作より弱い第２温度モードにて動作され、筐体内の微細粒子の外部への拡散及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化が比較的弱くなされつつ、動作部の空冷が比較的弱く行われ得る。

第２温度モードでの排気ファンの動作制御は、第１温度モードでの排気ファンの動作より弱くなるような動作制御であれば特に限定されず、排気ファンを停止（停止動作）させる制御も含み得る。

本発明に係る機器において、前記状態検出手段は、前記筐体内の状態を表す物理量として前記筐体内の空気の清浄度を検出する空気清浄度検出手段を含み、前記ファン制御手段は、前記空気清浄度検出手段にて検出される空気清浄度に基づいて前記排気ファンを制御する空気清浄度依存ファン制御手段を含む、構成となる。

このような構成により、機器における動作部の空冷、筐体内において動作部の動作によって発生し得る微細粒子の外部への拡散を防止しつつ筐体内の空気の清浄度の改善、及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化を、筐体内の空気の清浄度に応じて行うことができる。

本発明に係る機器において、前記空気清浄度ファン制御手段は、前記検出される清浄度が第１所定清浄度より低いときに、前記排気ファンの動作を第１清浄度モードで制御し、前記検出される清浄度が前記第１所定清浄度以上の第２所定清浄度より高いときに、前記排気ファンの動作を前記第１清浄度モードの動作より弱い第２清浄度モードで制御する清浄度モード可変制御手段を含む、構成とすることができる。

このような構成によれば、検出される筐体内の空気の清浄度が第１所定清浄度より低く、筐体内の空気の清浄度が比較的低い場合には、第１清浄度モードで排気ファンが動作され、動作部の空冷とともに、筐体内において動作部の動作によって発生し得る微細粒子の外部への拡散を防止しつつ筐体内の空気の清浄度の改善、及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化が積極的に行われ得る。一方、検出される筐体内の空気の清浄度が第２清浄度より高く、筐体内の空気の清浄度が比較的高い場合には、前記排気ファンは、前記第１清浄度モードの動作より弱い第２清浄度モードにて動作され、動作部の空冷が比較的弱く行われるとともに、筐体内の微細粒子の外部への拡散を防止しつつ筐体内の空気の清浄度の改善及び室内における当該機器近傍の空気の清浄化が比較的弱くなされ得る。

本発明に係る機器によれば、室内に設けられた排気設備に結合させることなく、機器単独にて、筐体内の動作部の空冷とともにホコリ等の微細粒子が当該筐体から室内に放出されることを防止しつつ室内の空気の清浄化も可能になるので、室内での使用により適したものとなり得る。

図１は、本発明の第１の実施の形態に係る機器を概略的に示す側面図である。図２は、本発明の第２の実施の形態に係る機器を概略的に示す側面図である。図３は、図２に示す機器の動作を示すタイミングチャートである。図４は、図２に示す機器の変形例における動作を示すタイミングチャートである。

以下、本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。

本発明の第１の実施の形態に係る機器は、クリーンルーム内（室内）における、半導体、ディスプレイパネル、電池材料等の製造工程で使用されるブロア装置であって、図１に示すように構成される。

図１において、ブロア装置１００は、クリーンルーム２００内（室内）に設置される。このブロア装置１００は、パネル表面の除塵を行うためのクリーニングヘッド（不図示：例えば、特開２０１４−３０８０６号公報参照）に清浄なエア（空気）を送り、クリーニングヘッドによって基板表面から除去されたホコリ等の微細粒子を含んだ空気を回収するための機器である。

このブロア装置１００（機器）は、対向する２つの壁部１１ａ、１１ｂを含む複数の壁部で囲まれて箱状に形成された筐体１０を有している。この筐体１０内には、発熱を伴って動作する動作部としてのブロア機２０（電動機を含む）が収容されている。また、筐体１０内には、出力フィルタ２１（ＨＥＰＡフィルタ）及び入力フィルタ２２（プレフィルタ）が設けられている。ブロア機２０からは給気管２３が延びており、この給気管２３が出力フィルタ２１に接続されている。また、ブロア機２０には入力フィルタ２２から延びる導入管２４が接続されている。出力フィルタ２１は、出力ポート１２を介してクリーニングヘッド（不図示）に接続され、入力フィルタ２２は、入力ポート１３を介してそのクリーニングヘッドに接続されている。

このような構造のブロア装置１００では、ブロア機２０から圧送される空気は、給気管２３から出力フィルタ２１を通って清浄化され、その清浄化された空気が出力ポート１２からクリーニングヘッド（不図示）に供給される。また、そのクリーニングヘッドからのホコリ等の微細粒子を含む空気が入力ポート１３から入力フィルタ２２に取り入れられて清浄化され、その清浄化された空気が導入管２４を通ってブロア機２０に戻される。このように、出力フィルタ２１及び入力フィルタ２２での空気の清浄化がなされながら、ブロア装置１００（ブロア機２０）とクリーニングヘッドとの間で空気が循環する。

更に、筐体１０においてブロア機２０を挟んで対向して配置される壁部１１ａ、１１ｂのうち、一方の壁部１１ａには吸気口１４ａが形成され、他方の壁部１１ｂには排気口１４ｂが形成されている。排気口１４ｂには、フィルタと排気ファンとが一体となったファンフィルタユニット（ＦＦＵ）２５がその排気口１４ｂを覆うように設けられている。

上述した構造のブロア装置１００では、ブロア機２０が動作している状況において、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）２５の排気ファンが動作すると、筐体１０内の空気がファンフィルタユニット２５のフィルタを通って排気口１４ｂから筐体１０外に排出されるとともに、吸気口１４ａから筐体１０内にクリーンルーム２００内（室内）の空気が引き入れられる。この吸気口１４ａからの空気の引き入れ及び排気口１４ｂからの空気の排出により筐体１０内には動作部であるブロア機２０を通る気流ＡＦ（図１における太破線矢印参照）が生じる。そして、発熱を伴って動作するブロア機２０は、その気流ＡＦにさらされて、冷却（空冷）される。また、ブロア機２０の動作に伴って発塵しても、筐体１０内の空気は排気口１４ｂのファンフィルタユニット２５（フィルタ）を通して外に排出されるので、ホコリ等の微細粒子はファンフィルタユニット２５（フィルタ）に捕捉されてこの筐体１０からクリーンルーム２００内に拡散することが防止される。なお、ファンフィルタユニット２５の排気ファン自体が発塵したとしても、その微細粒子もファンフィルタユニット２５のフィルタにて捕捉されて筐体１０からクリーンルーム２００内に拡散することはない。

更に、クリーンルーム２００内にホコリ等の微細粒子が存在したとしても、その微細粒子は、吸気口１４ａから空気とともに筐体１０内に引き入れられると、排気口１４ｂに設けられたファンフィルタユニット２５（フィルタ）によって捕捉されてクリーンルーム２００に戻されることが防止される。その結果、クリーンルーム２００におけるブロア装置１００（筐体１０）近傍の空気を清浄化することができる。

上述したようなブロア装置１００（機器）によれば、クリーンルーム２００内（室内）に設けられた排気設備に結合させることなく、ブロア装置１００単体で、筐体１０内のブロア機２０の空冷とともに、ブロア機２０の動作に伴った発塵による微細粒子のクリーンルーム２００内への拡散を防止しつつ、クリーンルーム２００の当該機器１００近傍の空気の清浄化も可能になる。また、クリーンルーム２００の排気設備に結合させてブロア装置１００の排気を行っていないので、その排気分を補うための清浄な空気をクリーンルーム２００に補給する必要もない。

更に、筐体１０において吸気口１４ａが形成された壁部１１ａと排気口１４ｂが形成された壁部１１ｂとが動作部であるブロア機２０を挟んで対向して配置されている。このため、排気口１４ｂに設けられたファンフィルタユニット２５の動作で生じる吸気口１４ａから排気口１４ｂに向かって流れる気流ＡＦによって、ブロア機２０が効率よく冷却されるとともに、ブロア機２０の動作によって発生するホコリ等の微細粒子を筐体１０内で長時間滞留させることなく、ファンフィルタユニット２５のフィルタによって捕捉することができる。

よって、上述したブロア装置１００（機器）は、クリーンルーム２００内（室内）での使用により適したものとなる。

なお、吸気口１４ａ及び排気口１４ｂは、筐体１０の対向する壁部１１ａ、１１ｂに形成されているが、これに限定されず、筐体１０を構成する他の壁部に形成するようにしてもよい。

また、排気口１４ｂには、排気ファンとフィルタとが一体となったファンフィルタユニット２５が設けられたが、これに限定されず、それぞれ別個の排気ファン及びフィルタを排気口１４ｂに設けるようにしてもよい。ただし、ファンフィルタユニット２５の場合、排気ファン及びフィルタを排気口１４ｂに容易に装着できる点で好ましい。

次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。

本発明の第２の実施の形態に係る機器は、前述した第１の実施の形態の場合と同様に、ブロア装置であって、図２に示すように構成される。このブロア装置は、筐体１０内の状態に応じて、具体的には、筐体１０内の温度に応じて、ファンフィルタユニット２５が制御される点で、前述したブロア装置と相違する。なお、その相違点以外のものは、前述した第１の実施の形態のものと同じであり、以下、その相違点を中心に説明し、共通する点については適宜省略する。また、図２において、第１の実施の形態（図１参照）と共通する要素については同一の名称及び同一の符号を使用する。

図２において、筐体１０内には、当該筐体１０内の温度値に応じた温度検出信号を出力する温度センサ２６（温度検出手段：状態検出手段）が設けられている。ブロア装置１００は、温度センサ２６からの温度検出信号に基づいてファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作を制御する制御部３０（温度依存ファン制御手段：ファン制御手段）を有している。

このブロア装置１００は、例えば、図３のタイミングチャートで示されるように動作する。

ブロア機２０が時刻ｔ０で動作を開始すると、前述したのと同様に、クリーンルーム２００において、ブロア機２０（ブロア装置１００）とクリーニングヘッド（不図示）との間で空気の清浄化が図られつつその空気が循環する。制御部３０は、ブロア機２０が動作を開始した（時刻ｔ０）後も、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）を動作させない状態（後述する第２温度モード）を維持させる。そして、ブロア機２０が発熱を伴いながら動作して温度センサ２６からの温度検出信号が表す検出温度値が、徐々に上昇して、温度第１閾値Ｔｈ１（第１所定値）を時刻ｔ１で超えると、制御部３０は、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）を所定の強度で動作させる（第１温度モード）。このファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作により筐体１０内に生じる気流ＡＦによってブロア機２０が冷却（空冷）される。また、このとき、ファンフィルタユニット２５（フィルタ）により、ブロア機２０からの発塵等に起因する微細粒子のクリーンンルーム２００内への拡散が防止されるとともに、クリーンルーム２００のブロア装置１００近傍の空気の清浄化が図られる。

上述したように、ブロア機２０の冷却とともに、筐体１０内においてブロア機２０の動作によって発生し得る微細粒子の外部への拡散防止、及びクリーンルーム２００のブロア装置１００近傍の空気の清浄化が図られつつ、ブロア機２０が継続的に動作する（第１温度モード）。そして、上昇していた検出温度値（温度検出信号に対応）が前記空冷により下降に転じ、その後、検出温度値、即ち、筐体１００内の温度値が前記温度第１閾値Ｔｈ１より低い温度に維持される。

そして、クリーンルーム２００内でのクリーニングヘッド（不図示）の動作終了に伴って、ブロア機２０の動作が時刻ｔ２で停止されると、ブロア機２０の発熱が停止する一方、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）による空冷が維持される。このため、その検出温度値が更に低下していく。そして、その検出温度値が、時刻ｔ３で、前記温度第１閾値Ｔｈ１より小さい温度第２閾値Ｔｈ２（第２所定値）を下回ると、制御部３０は、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）を停止させ、そのファンフィルタユニット２５（排気ファン）の停止状態を維持させる（第２温度モード）。

以後、同様に、筐体１０内においてブロア機２０が動作及び停止を繰り返す状況において、制御部３０は、筐体１０内の検出温度値に応じてファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作を、第１温度モードでの動作と、第２温度モードでの動作（停止動作）とで繰り返させる（温度モード可変制御手段）。

上述したようなブロア装置１００によれば、検出される筐体１０内の温度値（検出温度値）が温度第１閾値Ｔｈ１より大きく、筐体１０内の温度が比較的高い場合には（図３におけるｔ１〜ｔ３の間）、即ち、ブロア機２０の動作による発熱量が比較的多いと想定し得る場合（停止後の余韻も含む）には、ファンフィルタユニット２５の排気ファンが第１温度モードで動作される。これにより、筐体１０内の微細粒子の外部への拡散防止、及びクリーンルーム２００内のブロア装置１００近傍の空気の清浄化とともに、ブロア機２０の空冷が積極的に行われる。一方、検出される筐体１０内の温度値（検出温度値）が温度第２閾値Ｔｈ２（＜Ｔｈ１）より小さく、筐体１０内の温度が比較的に低い場合には（図３における時刻ｔ３以降、及び時刻ｔ１以前）、即ち、ブロア機２０の動作による発熱量が比較的少ない（あるいは無い）と想定される場合には、ファンフィルタユニット２５の排気ファンは、停止される。これにより、筐体１０内の微罪粒子のファンフィルタユニット２５（フィルタ）での捕捉及びクリーンルーム２００内のブロア装置１００近傍の空気の清浄化が止まるとともにブロア機２０の空冷が停止される。

これにより、上述したブロア装置１００（機器）は、上述した第１の実施の形態の場合と同様に、クリーンルーム２００内での使用により適したものである他、特に、筐体１０内の温度が比較的低い状況では、ファンフィルタユニット２５の排気ファンが停止されるので、消費電力の無駄を防止することができる。

なお、前述したブロア装置１００では、温度第１閾値Ｔｈ１と温度第２閾値Ｔｈ２とを用いて、検出温度値に応じて、ファンフィルタユニット２５の排気ファンを動作させる第１温度モードと、その排気ファンを動作させない第２温度モードで制御するものであったが、それに限定されない。検出温度値に応じて、ファンフィルタユニット２５の排気ファンを他の態様、例えば、停止を含まない強弱の２段階の制御であっても、更に、２段階以上での動作強度制御であってもよい。また、ファンフィルタユニット２５の排気ファンの２段階の動作強度制御を、上述したように、温度第１閾値Ｔｈ１及び温度第２閾値Ｔｈ２の２つの閾値を用いるのではなく、単一の温度閾値Ｔｈを用いて行うこともできる。

次に、前述した本発明の第２の実施の形態に係る機器の変形例について説明する。

この変形例では、図２に示すブロア装置１００において、筐体１０内に、前述した温度センサ２６に代えて、筐体１０内の空気の清浄度、例えば、微細粒子の単位体積当たりの数（微細粒子が多いと清浄度が低く、微細粒子が少ないと清浄度が高い）、に応じた清浄度検出信号を出力するパーティクルセンサセンサ２７（空気清浄度検出手段：状態検出手段）が設けられる。そして、制御部３０は、パーティクルセンサ２７からの清浄度検出信号に基づいてファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作を制御する（空気清浄度依存ファン制御手段）。

なお、上述したパーティクルセンサ２７及びその検出清浄度信号に基づいた制御部３０による制御（相違点）以外のものは、前述した第２の実施の形態（第１の実施の形態）のものと同じであり、その相違点を中心に説明し、共通する点については適宜省略する。また、図２において、第１の実施の形態（図１参照）と共通する要素については同一の名称及び同一の符号を使用する。

このブロア装置１００は、例えば、図４のタイミングチャートで示されるように動作する。

ブロア機２０が時刻ｔ０で動作を開始すると、前述したのと同様に、クリーンルーム２００において、ブロア機２０（ブロア装置１００）とクリーニングヘッド（不図示）との間で空気の清浄化が図られつつその空気が循環する。制御部３０は、ブロア機２０が動作を開始した（時刻ｔ０）後も、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）を動作させない状態を維持させる。そして、例えば、ブロア機２０の動作に伴う発塵によって、パーティクルセンサ２７からの清浄度検出信号が表す検出空気清浄度が、徐々に低下して（空気が汚染して）、時刻ｔ１で清浄度第１閾値Ｔｈ１（第１所定清浄度）より低くなると、制御部３０は、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）を所定の強度で動作させる（第１清浄度モード）。このファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作により、ブロア機２０が積極的に空冷される（ブロア機空冷強）とともに、筐体１０内のホコリ等の微細粒子が、積極的にファンフィルタユニット２５（フィルタ）によって捕捉され、筐体１０の外部への微細粒子の拡散が防止されつつ筐体１０内の空気の清浄度が改善され、更に、ブロア装置１００近傍の空気の清浄化が積極的に行われる（清浄化強）。

上述したように筐体１０内の空気の清浄度が徐々に改善されて、パーティクルセンサ２７からの清浄度検出信号が表す検出空気清浄度が、時刻ｔ２で、前記清浄度第１閾値Ｔｈ１より大きい清浄度第２閾値Ｔｈ２より高くなると、制御部３０は、ファンフィルタユニット２５（排気ファン）を、前記第１清浄度モードの動作より弱い第２清浄度モードにて動作させる。この第２清浄度モードでのファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作により、ブロア機２０の空冷が比較的弱く（ブロア機空冷弱）行われるとともに、筐体１０の微細粒子の外部への拡散を防止しつつ筐体１０内の空気の清浄度の改善及びクリーンルーム２００内（室内）におけるブロア装置１００近傍の清浄化が比較的弱くなされる（清浄化弱）。

そして、上述したようなファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作により、筐体１０内の検出空気清浄度が前記清浄度第２閾値Ｔｈ２より高い、空気の清浄度が比較的高い状態が保持されている状況において、ブロア機２０が時刻ｔ３で停止されると、その時刻ｔ３から所定時間後の時刻ｔ４にファンフィルタユニット２５（排気ファン）が停止される。以後、ブロア機２０が動作する毎に、制御部３０は、パーティクルセンサ２７からの清浄度検出信号（検出空気清浄度）に基づいて上述したような第１清浄度モードまたは第２清浄度モードにてファンフィルタユニット２５（排気ファン）の動作制御を行う（清浄度モード可変制御手段）。

上述したようなブロア装置１００によれば、ブロア機２０が動作している際に、検出される筐体１０内の空気の清浄度（検出空気清浄度）が清浄度第１閾値Ｔｈ１より低く、筐体１０内の清浄度が比較的低い（空気の汚染度合いが高い）場合（図４における時刻ｔ１〜ｔ２の間）には、即ち、ブロア機２０の動作による発塵量が比較的多いと想定される場合には、ファンフィルタユニット２５の排気ファンが第１清浄モードで動作される。これにより、ブロア機２０の空冷が積極的になされるとともに、筐体１０内の微細粒子の外部への拡散を防止しつつ筐体１０内の空気の清浄度の改善、及びクリーンルーム２００内におけるブロア装置１００近傍の空気の清浄化が積極的に行われる。

一方、検出される筐体１０内の空気の清浄度が清浄度第２閾値Ｔｈ２（＞Ｔｈ１）より大きく、筐体１０内の空気の清浄度が比較的高い場合には（図４における時刻ｔ２〜時刻ｔ４の間）、即ち、第１清浄度モードで動作するファンフィルタユニット２５（排気ファン、フィルタ）の効果があらわれている、ブロア機２０の動作による発塵量が低下した、クリーンルーム２０の清浄度が改善された等々と想定される場合には、ファンフィルタユニット２５の排気ファンが第２清浄度モードで動作される。これにより、ブロア機２０の空冷が比較的弱く行われると共に、筐体１０内の微細粒子の外部への拡散を防止しつつ筐体１０内の空気の清浄度の改善及びクリーンルーム２００におけるブロア装置１００近傍の空気の清浄化が比較的弱く継続的に行われる

なお、ブロア機２０の動作に伴う発塵に起因して筐体１０内の清浄度が低下することを想定したが、クリーンルーム２００内（筐体１０外）の空気の清浄度の低下に伴って吸気口１４ａから引き込まれる空気の清浄度が低下することも想定される。このような場合であっても、上述したのと同様に、パーティクルセンサ２７からの清浄度検出信号が表す検出空気清浄度が清浄度第１閾値Ｔｈ１より低ければ、第１清浄度モード（清浄化強、ブロア機冷却強）にて、一方、前記検出空気清浄度が清浄度第２閾値Ｔｈ２より高ければ、第２清浄度モード（清浄化弱、ブロア機冷却弱）にて、それぞれファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作が制御される。

以上により、上述したブロア装置１００（機器）は、上述した第１の実施の形態の場合と同様に、クリーンルーム２００内での使用により適したものである他、特に、筐体１０内の清浄度が高い状況では、ファンフィルタユニット２５の排気ファンが比較的弱く動作されるので、ブロア機２０の空冷を行いつつ、筐体１０内の空気の清浄度、及びクリーンルーム２００におけるブロア装置１００近傍の空気の清浄度を無駄なく更に改善させることができる。

上述したブロア装置１００（機器）では、清浄度第１閾値Ｔｈ１と清浄度第２閾値Ｔｈ２を用いて、検出空気清浄度に応じて、ファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作を第１清浄度モードと、第２清浄度モードとの２つのモードで制御するものであったが、これに限定されない。筐体１０内の空気の清浄度が改善された状態における第２清浄度モードでは、ファンフィルタユニット２５の排気ファンを停止させるようにしてもよいし、更に、２段階以上でファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作強度制御であってもよい。また、ファンフィルタユニット２５の排気ファンの２段階の動作強度制御を、上述したように、清浄度第１閾値Ｔｈ１及び清浄度第２閾値Ｔｈ２の２つの閾値を用いるのではなく、単一の清浄度閾値Ｔｈを用いて行うこともできる。

なお、上述した第２の実施の形態及びその変形例では、筐体１０内での検出温度値に基づいてファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作制御を行い、また、筐体１０内の検出空気清浄度に基づいてファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作制御を行うものであったが、これに限定されない。筐体１０内の検出温度値及び検出空気清浄度の双方に基づいてファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作制御を行うこともできる。更に、筐体１０内の他の状態、例えば、ブロア機２０の動作音圧に応じて、ブロア機２０の動作、非動作のいずれかに応じて、可変出力のブロア機２０の場合には、その設定出力に応じて、筐体１０に複数の機器が収容される場合には、動作する機器の数などに応じてファンフィルタユニット２５の排気ファンの動作制御を行うことができる。

また、前述した各例では、クリーンルーム２００に設置されるブロア装置１００について説明したが、これに限定されず、機器は、クリーンルーム２００以外の室内に設置されものであってもよく、機器としては、ブロア装置１００以外の機器であってもよい。

以上、本発明の実施形態及びその変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

本発明に係る機器は、室内での使用により適したものとなるという効果を有し、室内で使用される機器として有用である。

１０筐体
１１ａ、１１ｂ壁部
１２出力ポート
１３入力ポート
１４ａ吸気口
１４ｂ排気口
２０ブロア機
２１出力フィルタ
２２入力フィルタ
２３給気管
２４導入管
２５ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
２６温度センサ
２７パーティクルセンサ
３０制御部
１００ブロア装置（機器）
２００クリーンルーム

Claims

複数の壁部に囲まれた筐体内に発熱を伴って動作する動作部が収容された構造の機器であって、
前記筐体は、吸気口の形成された第１壁部と、排気口の形成された第２壁部とを有し、
前記第２壁部に前記排気口を覆うように設けられたフィルタと、
前記フィルタを通して前記筐体内の空気を排出させる排気ファンと、を有する機器。
前記第１壁部と前記第２壁部とは、前記筐体において前記動作部を挟んで対向して配置されている、請求項１記載の機器。
前記フィルタ及び前記排気ファンは、ファンフィルタユニットとして一体化されている、請求項１または２記載の機器。
前記筐体内の状態を表す物理量を検出する状態検出手段と、
前記状態検出手段にて検出される物理量に基づいて前記排気ファンの動作を制御するファン制御手段と、を有する請求項１乃至３のいずれかに記載の機器。
前記状態検出手段は、前記筐体内の状態を表す物理量として前記筐体内の温度値を検出する温度検出手段を含み、
前記ファン制御手段は、前記温度検出手段にて検出される温度値に基づいて前記排気ファンの動作を制御する温度依存ファン制御手段を含む、請求項４記載の機器。
前記温度依存ファン制御手段は、前記検出される温度値が第１所定値より大きいときに、前記排気ファンの動作を第１温度モードで制御し、前記検出される温度値が前記第１所定値以下の第２所定値より小さいときに、前記排気ファンの動作を前記第１温度モードの動作より弱い動作の第２温度モードで制御する、温度モード可変制御手段を含む、請求項５記載の機器。
前記状態検出手段は、前記筐体内の状態を表す物理量として前記筐体内の空気の清浄度を検出する空気清浄度検出手段を含み、
前記ファン制御手段は、前記空気清浄度検出手段にて検出される空気清浄度に基づいて前記排気ファンを制御する空気清浄度依存ファン制御手段を含む、請求項４乃至６のいずれかに記載の機器。
前記空気清浄度ファン制御手段は、前記検出される清浄度が第１所定清浄度より低いときに、前記排気ファンの動作を第１清浄度モードで制御し、前記検出される清浄度が前記第１所定清浄度以上の第２所定清浄度より高いときに、前記排気ファンの動作を前記第１清浄度モードの動作より弱い第２清浄度モードで制御する清浄度モード可変制御手段を含む、請求項７記載の機器。