KR100511690B1 - 크린룸장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 실내의 청정도를 보다 향상시킬 수 있도록 한 크린룸장치를 제공하는 것으로,

본 발명의 크린룸장치는, 공기흡입구와 공기토출구를 갖는 본체와, 상기 본체의 내부에 설치되는 송풍기와, 상기 본체의 공기토출구측에 설치되어 공기를 최종적으로 여과시키는 필터수단과, 상기 본체의 내부에 설치되어 공기를 냉난방시키는 냉난방 공조수단으로 이루어져 실내에 다수개 설치되며, 상기 공기흡입구를 통하여 흡입된 공기중에 포함된 이물질을 여과하여 정화시킨 후 공기토출구를 통해 다시 실내로 토출하는 공기정화수단과; 중앙에 연통부가 구비되고, 상기 연통부를 중앙으로 하여 방사상으로 형성되며, 끝단이 상기 다수개의 공기정화수단의 각 공기토출구에 연통 가능하게 연결되어 실내의 천장에 설치되며, 여과된 공기가 실내 바닥으로 하향 이동하도록 다수개의 공기분출공을 갖는 다수개의 공기분출덕트와;상기 실내의 공기의 청정도를 감지하는 청정도 감지센서와; 상기 공기분출덕트의 중간에 해당되는 내부에 회동 가능하게 설치되어 상기 공기분출덕트의 내부 통로의 개도량을 가변시키는 개도량 조절도어와, 상기 개도량 조절도어가 회동되도록 구동시키는 구동모터로 이루어지며, 상기 청정도 감지센서에 의해 검출된 공기의 청정도에 따라 상기 개도량 조절도어가 회동되어 개도량이 가변되도록 구동모터가 구동되도록 제어하여 공기의 순환 속도를 가변시키는 순환속도 가변수단과; 상기 청정도 감지센서에서 출력된 신호에 근거하여 상기 순환속도 가변수단의 구동모터를 제어하는 제어수단과; 상기 필터수단의 후단에 설치되어 유동되는 공기의 속도를 감지하는 속도감지센서와; 상기 속도감지센서의 출력 신호에 따라 상기 제어수단에 연산하여 공기의 유동 속도가 소정치 이하인 경우에 필터수단의 교체 시기인 경보하는 경보수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

크린룸장치{A CLEAN ROOM DEVICE}

본 발명은 크린룸장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 실내의 청정도를 보다 향상시킬 수 있도록 한 크린룸장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체(Semi Conductor), 전자기기(Electronics), 정밀기계(Precision Machinery), 광학ㆍ인쇄(Optical Printing), 약품(Prarma-ceutical), 식품(Food processing), 축산품(Agriculture processing), 바이오하자드(Bio-Harzard)등을 생산하는 작업장과 수술실(An Operating Table Room)등의 청결을 요구하는 구역에서는 먼지 등이 그 품질에 막대한 영향을 미치므로 외부와 완전 밀폐된 크린룸(clean room)을 필요로 하고 있다.

그런데 신규 작업장을 건축하는 경우에는 크린룸의 기준에 맞추어 시설과 설비를 신설하지만 기 사용되고 있는 작업장에는 크린룸 설비를 갖추기가 용이하지 않음과 아울러 경비와 시간의 제약을 받기 때문에 임시 방편으로 일반 공조 시설 등을 설치하는 것으로 만족하고 있다.

따라서, 크린룸을 구비하고 있지 않은 작업장에서 고청정도(High Clean Class)를 유지하지 못하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 실내의 청정도를 보다 향상시킬 수 크린룸장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 크린룸장치는, 공기흡입구와 공기토출구를 갖는 본체와, 상기 본체의 내부에 설치되는 송풍기와, 상기 본체의 공기토출구측에 설치되어 공기를 최종적으로 여과시키는 필터수단과, 상기 본체의 내부에 설치되어 공기를 냉난방시키는 냉난방 공조수단으로 이루어져 실내에 다수개 설치되며, 상기 공기흡입구를 통하여 흡입된 공기중에 포함된 이물질을 여과하여 정화시킨 후 공기토출구를 통해 다시 실내로 토출하는 공기정화수단과; 중앙에 연통부가 구비되고, 상기 연통부를 중앙으로 하여 방사상으로 형성되며, 끝단이 상기 다수개의 공기정화수단의 각 공기토출구에 연통 가능하게 연결되어 실내의 천장에 설치되며, 여과된 공기가 실내 바닥으로 하향 이동하도록 다수개의 공기분출공을 갖는 다수개의 공기분출덕트와;상기 실내의 공기의 청정도를 감지하는 청정도 감지센서와; 상기 공기분출덕트의 중간에 해당되는 내부에 회동 가능하게 설치되어 상기 공기분출덕트의 내부 통로의 개도량을 가변시키는 개도량 조절도어와, 상기 개도량 조절도어가 회동되도록 구동시키는 구동모터로 이루어지며, 상기 청정도 감지센서에 의해 검출된 공기의 청정도에 따라 상기 개도량 조절도어가 회동되어 개도량이 가변되도록 구동모터가 구동되도록 제어하여 공기의 순환 속도를 가변시키는 순환속도 가변수단과; 상기 청정도 감지센서에서 출력된 신호에 근거하여 상기 순환속도 가변수단의 구동모터를 제어하는 제어수단과; 상기 필터수단의 후단에 설치되어 유동되는 공기의 속도를 감지하는 속도감지센서와; 상기 속도감지센서의 출력 신호에 따라 상기 제어수단에 연산하여 공기의 유동 속도가 소정치 이하인 경우에 필터수단의 교체 시기인 경보하는 경보수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 크린룸장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 의한 크린룸장치의 일측면에서 나타낸 내부 구성도이고, 도 2는 본 발명에 의한 크린룸장치 정면에서 나타낸 내부 구성도이며, 도 3은 본 발명에 의한 크린룸장치가 실내에 설치된 상태를 나타낸 도면이며, 도 4는 본 발명에 의한 크린룸장치의 구성중 공기분출덕트의 내부 구성을 나타낸 단면도이며, 도 5는 본 발명에 의한 공기분출덕트 및 개도량 조절도어의 다른 실시예를 나타낸 일 부 외관 사시도이며, 도 6은 본 발명의 구성중 공기분출덕트의 배치 상태의 일실시예를 나타낸 도면이며, 도 7은 본 발명의 구성중 공기분출덕트의 배치 상태의 다른 실시예를 나타낸 도면이며, 도 8은 본 발명의 제어 블록도이며, 도 9는 본 발명의 필터수단의 일례의 구성을 도시한 도면이다.

본 발명에 의한 크린룸장치는, 실내(200)에 설치되는 공기정화수단(100)과, 공기분출덕트(50)와, 청정도 감지센서(500)와, 순환속도 가변수단(300)과, 제어수단(400)을 포함하여 이루어진다.

상기 공기정화수단(100)은 실내(200)에 다수개 설치되며, 공기흡입구(101)를 통하여 흡입된 공기 중에 포함된 이물질을 여과하여 정화시킨 후 공기토출구(102)를 통해 다시 실내(200)로 토출하는 역할을 한다.

이의 구성을 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상하부에 각각 공기토출구(102)와 공기흡입구(101)를 구비하여 실내에 설치되는 본체(110)를 구비하며, 이 본체(110)의 내부에는 송풍기(120)와, 공기를 여과시키는 필터수단(10)과, 냉난방 공조수단(90)과, 가습기(92)가 구비되어 있다.

상기 본체(110)는 높이조절용 받침대(103)를 매개로 하여 실내의 바닥으로부터 소정 높이가 되도록 설치된다.

상기 본체(110)에 형성된 공기흡입구(101)는 본체(110)의 최하단에 형성되며, 상기 높이조절용 받침대(103)에 의해 형성된 공간으로 공기가 상기 공기흡입구(101)로 유입된다.

반면에, 상기 공기토출구(102)는 본체(110)의 최상단의 전면부에 형성된다.

상기 공기흡입구(101)에는 최초로 유입되는 공기의 분진이나 부유물을 80%이상 여과시켜주는 초기필터수단인 프리필터(104)가 설치되는 바, 그 두께는 50mm의 콜케트형 필터를 사용하며, 그 재질은 유리섬유로 되어 있다.

상기 송풍기(120)는 본체(110)의 내부 중간 부분에 고정 설치되는 것으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상하로 유입구(121a)와 배출구(121b)를 갖는 하우징(121)과, 이 하우징(121)의 내부에 회전 가능하게 설치되는 송풍팬(122)과, 이 송풍팬(122)을 회전시키는 구동모터(123)로 이루어진다.

상기 필터수단(30)은 고성능 헤파(High Efficiency Particular Air) 필터가 사용되며, 이 필터에 의해 DOP(디오피) 0.3㎛의 입자를 99.99%까지 포집하는 효과를 발휘한다.

또한, 상기 필터수단(10)은 ULPA(Ultra Low Penetration Air)필터가 사용될 수도 있다.

한편, 상기 필터수단(10)의 또 다른 실시예로 도 9에 도시된 바와 같이 구성할 수도 있다.

도시된 바와 같이 필터수단(10)은 거의 직사각형의 평면 형태를 갖는 외장재(13)로 구성된다. 외장재(13)는 원통형 내부 부재(11) 및 원통형 외부 부재(12)에 의해 형성된다.

외장재(13)의 내부 원통형 부재(11)는 제 1의 원통형 부분(11a)과 제 2의 원통형 부분(11b)을 포함하며, 이들 둘은 수직으로 연장한다. 제 1 및 제 2의 부분(11a 및 11b)은 판 형태의 제 3 및 제 4의 부분(11c 및 11d)을 통해 공통의 수직 축에 대해 동축상에 서로 고정된다. 제 3 및 제 4의 부분(11c 및 11d)은 측면으로 연장한다. 제 1의 부분(11a)은 제 2의 부분(11b) 내부에 완전히 위치된다. 제 3의 부분(11c)은 제 4의 부분(11d) 위쪽에 소정 거리 떨어져 위치된다. 제 1의 부분(11a)의 상부 끝은 제 3의 부분(11c)을 통해 제 2의 부분(11b)의 상부 끝에 연결된다. 제 1의 부분(11a)의 바닥 끝은 제 4의 부분(11d)을 통해 제 2의 부분(11b)의 바닥 끝에 연결된다.

외장재(13)의 외부 원통형 부재(12)는 제 1의 부분(12a)과 제 2의 부분(12b)을 포함하며, 이들 둘은 수직으로 연장한다. 제 1 및 제 2의 부분(12a 및 12b)은 판 형상의 제 3의 부분(12c)을 통해 내부 부재(11)에 대해 공통의 수직 축에 동축으로 서로 고정된다. 제 3의 부분(12c)은 측면으로 연장한다. 제 1의 부분(12a)은 제 2의 부분(12b)의 내부에 완전히 위치된다. 제 1의 부분(12a)의 상부 끝은 제 3의 부분(12c)을 통해 제 2의 부분(12b)의 상부 끝에 연결된다. 제 1의 부분(12a)의 바닥 끝은 제 2의 부분(12b)의 바닥 끝에 연결된다.

도 3에서 명확히 알 수 있는 바와 같이, 내부 부재(11)의 제 2의 부분(11b)과 외부 부재(12)의 제 2의 부분(12b)은 외장재(13)의 측면의 길이축을 따라 연장하는 네 개의 지지 부재(15)를 통해 서로 연결된다. 따라서, 내부 부재(11)는 소정 갭을 가지고 외부 부재(12)와 연결된다.

내부 분재(11)의 제 2 및 제 3의 부분(11b 및 11c)의 외부 표면과 외부 부재의 제 1, 제 2 및 제 3의 부분(12a, 12b 및 12c)의 내부 표면 사이에 공기 귀환 경로(air-returning path; 2)가 형성된다. 상기 경로(2)는 내부 부재(11)의 전체 외부 표면을 따라 연장한다.

직사각형의 공기 유입구(11e)는 내부 부재(11)의 제 1의 부분(11a)의 상부 끝에 형성된다. 상기 유입구(11e)는 제 1의 부분(11a)의 상부 에지에 의해 정의된다. 외부 부재(12)의 제 1의 부분(12a)은 상기 유입구(11e)와 완전히 중첩된다. 외부 부재(12)의 제 3의 부분(12c)은 상기 유입구(11e)와 부분적으로 중첩된다. 따라서, 상기 유입구(11e)의 내부 부분만이 외장재(13)의 외부에 노출되고 상기 유입구(11e)의 나머지 부분은 공기 경로(2)에 노출된다.

환기팬(3)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 내부 부재(11)의 제 1의 부분(11a)에서 수평적으로 설치된다. 상기 팬(3)은 제 1의 부분(11a)에 설치된 모터(도시되지 않음)에 의해 구동된다. 상기 팬(3)의 내부 부분은 유닛(10)의 외부에 노출되고 그 외부 부분은 공기 경로(2)에 노출된다.

화학 필터(1)는 내부 부재(11)의 제 2의 부분(11b)에 위치된다. 상기 필터(1)는 제 2의 부분(11b)의 바닥 끝에 고정되어 상기 부분(11b)의 바닥 개구(11f)에 근접하게 된다.

화학 필터(1)는 활성탄(activated carbon), 소정의 화학 작용제와 혼합된 활성탄, 또는 이온 교환 섬유(ion-exchange fibers)와 같은 재료로 이루어질 수 있는데, 이것은 알칼리성 가스와, 산성 가스, 또는 유기 가스를 제거한다.

내부 부재(11)의 제 2의 부분(11b)의 내벽에 분할판(14)이 고정된다. 상기 판(14)은 화학 필터(1)의 바로 위에서 소정 거리 떨어져 위치된다. 주변 영역에 투과 구멍(14a)을 구비하는 상기 판(14)은 상기 부재(11)의 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 분할한다. 이렇게 분할된 상부 공간 및 하부 공간은 상기 구멍(14a)을 통해 서로 연결된다.

외부 부재(12)의 제 2의 부분(12b)의 바닥 끝에는 직사각형의 공기 배기구(12d)가 형성된다. 상기 배기구(11d)는 제 2의 부분(12b)의 바닥 에지에 의해 정의된다. 상기 배기구(11d)는 화학 필터(1)와 내부 부재(11)의 제 2의 부분(11b)의 바닥 개구(11f)보다 더 크다.

외부 부재(12)의 제 2의 부재(12b)에 먼지 필터(4)가 위치된다. 상기 필터(4)는 제 2의 부분(12b)의 바닥 끝에 고정되어 상기 배기구(12d)에 근접하게 된다. 상기 필터(4)는 화학 필터(3)와 수직으로 떨어져 있다.

먼지 필터(4)로서, 예를 들면, HEPA(High Efficiency Particulate Air) 필터 또는 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 필터가 사용될 수도 있다.

다음에, 상기 상술된 구성을 갖는 필터수단(10)의 동작을 하기에 설명할 것이다.

먼저, 필터수단(10)의 외부에 존재하는 외부 공기(16)가 팬(3)의 동작으로 인해 공기 유입구(11e)의 내부의 노출된 부분을 통해 외장재(13)의 내부 부재(11)로 유입되어 내부 공기(17)를 형성하게 된다. 이렇게 상기 부재(11)에 형성된 내부 공기(17)는 팬(3)의 동작에 의해 분할판(14)의 구멍(14a)을 통해 하부의 화학 필터(1)로 보내어지고, 그 다음, 이렇게 보내진 공기는 필터(1)를 통과한다. 따라서, 소정의 화학 물질이 필터(1)에 의해 공기(17)로부터 제거되어, 화학적으로 여과된 공기(18)를 형성하게 된다.

소정의 화학 물질이 제거된 화학적으로 여과된 공기(18)의 일부는 먼지 필터(4)로 흘러 이것을 통과하여 유닛(10)의 외부로 향하게 된다. 공기(18)에 존재하는 먼지는 먼지 필터(4)에 의해 제거되어, 유닛(10) 외부에서 정화된 공기(19)를 형성하게 된다. 상기 공기(19)는 상기 유닛(10)의 공기 배기구(12d)로부터 방출된다.

한편, 화학적으로 여과된 공기(18)의 나머지는 내부 및 외부 부재(11 및 12) 사이에 형성된 공기 귀환 경로(2)를 통해 공기 유입구(11e)로 되돌아간다. 다시 말하면, 상기 경로(2)는 상기 공기(18)의 나머지 부분을 먼지 필터(4)를 거쳐 외부로 통과시키지 않고 공기 유입구(11e)로 되돌리기 위한 우회 경로로서 동작한다. 이렇게 공기 유입구(11e)로 되돌아 간 공기(18)는 다시 내부 부재(11)의 제 1의 부분(11a)으로 유입된다. 이렇게 되돌아간 화학적으로 여과된 공기(18)와 새롭게 유입된 외부 공기(16)는 서로 혼합되어 내부 공기(17)를 형성하고, 이것은 화학 필터(1)를 통과하게 된다.

따라서, 화학 필터를 통과한 화학적으로 여과된 공기(18)는 필터수단(10) 내에서 반복적으로 순환된다. 결과적으로, 외부 공기(16)에 포함된 화학 물질은 유닛(10)으로부터 방출되는 정화된 공기(19)의 유속을 증가시키지 않고도 효율적으로 제거될 수 있다.

한편, 상기 냉난방 공조수단(90)은 압축기, 응축기, 증발기, 사방밸브, 팽창밸브등이 사이클을 이루어져 실내를 냉방 또는 난방을 할 수 있도록 구성한 것으로, 이는 통상적으로 사용되는 주지의 기술이어서 상세한 설명은 생략하기로 한다.

그러나, 본 발명에서는 난방시에는 별도의 전원에 의해 가열되어 공기를 데우는 히터코일을 사용하였고, 냉방시에는 증발기(91)를 포함한 냉방 사이클이 이루어지도록 구성하였다.

상기 순환속도 가변수단(300)은, 상기 공기분출덕트(50)의 중간에 해당되는 내부에 회동 가능하게 설치되어 상기 공기분출덕트(50)의 내부 통로(50a)의 개도량을 가변시키는 개도량 조절도어(320)와, 상기 개도량 조절도어(320)가 회동되도록 구동시키며 상기 제어수단(400)의 제어에 따라 동작되는 구동모터(310)로 이루어진다.

한편, 상기 공기분출덕트(50)는 다수개로 이루어지며, 양단이 상기 다수개의 공기정화수단(100)의 각 공기토출구(102)에 연통 가능하게 연결되어 실내(200)의 천장(210)에 설치되며, 여과된 공기가 실내 바닥으로 하향 이동하도록 다수개의 공기분출공(51)을 갖도록 구성된다.

상기 공기분출덕트(50)는 도 6에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 상기 공기정화수단(100)과 일대일 대응되게 연결된다.

그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 공기분출덕트(50)는 중앙에 연통부(55)를 두고, 상기 연통부(55)를 중앙으로 하여 방사상으로 상기 공기정화수단(100)의 공기토출구(102)에 각각 연결된다.

상기 공기분출덕트(50)의 종단면은 도 4에 도시된 바와 같이, 수평부(52)와, 이 수평부(52)의 양단에 상방향으로 경사지게 절곡된 경사부(53)로 이루어져, 상기 공기분출공(51)을 통해 실내 사방으로 공기 분출되도록 한다.

여기서, 상기 공기분출덕트(50)는 천정에 앵글(80)을 매개로 하여 체결볼트(81,82)에 의해 고정 설치되어 있다.

여기서, 상기 공기분출덕트(50)의 종단면 형상을 반드시 전술한 실시예와 같이 하지 않고 도 5에 도시된 바와 같이, 반원형 등의 타입으로 설계할 수 도 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.

전원이 송풍기(120)로 인가되어 송풍기(120)의 구동모터(123)가 구동되면, 송풍팬(122)이 회전된다.

상기와 같이 송풍팬(122)이 회전되면, 본체(10) 내부 하단에 있는 공기는 송풍팬(122)의 흡입력에 의해 하우징(121)의 흡입구(121a)를 통해 흡입되어 배출구(121b)를 통해 본체(110) 내부 상단으로 유동하게 된다.

여기서, 하우징(121)의 흡입구(121a)로 유입되는 공기는 공기흡입구(101)를 통해 최초로 실내측에서 유입된 것으로, 이때 실내에서 유입된 공기에는 각종 분진과 부유물이 포함되어 있다.

상기 실내에서 유입된 공기는 프리필터(104)에 의해 1차적으로 여과된다.

이후, 프리필터(104)에 의해 1차적으로 여과된 실내공기는 송풍기(120)의 배출구(121b)를 통해 본체(110)의 상방향으로 유동하게 되다.

본체(110)의 상방향으로 유동된 공기는 필터수단(10)에 의해 최종적으로 완전 여과된 후에 공기토출구(102)를 통해 실내로 배출된다.

따라서, 본체(110) 내부의 공기 유동 경로중에서 마지막단에 필터수단(0)이 설치되어 있기 때문에, 기기를 장기간 사용하거나 구성 요소의 노후화에 따라 분진이 발생되더라도 실내로는 고청정을 유지한 공기가 배출될 수 있게 된다.

한편, 고청정의 상태로 본체(110)의 공기토출구(102)로 토출된 공기는 공기분출덕트(50)의 내부로 유동하게 된다.

상기와 같이, 공기분출덕트(50)내로 유동된 공기는 공기분출덕트(50)의 내부에 점차적으로 채워지게 되며, 이후 공기분출덕트(50) 내부의 압력이 상승하게 되어 더 이상 공기가 채워지지 못하게된다.

그러나, 공기분출덕트(50)의 내부에 채워진 공기중의 일부는 공기분출공(51)을 통해 분출되어 실내의 바닥으로 서서히 내려오게 된다.

상기와 같이, 실내 바닥으로 내려온 공기는 다시 본체(10)의 공기흡입구(101)내로 유입된다.

이상 살펴본 바와 같이, 본 고안은 상기와 같은 공기의 유동 경로를 반복하면서 실내 공기를 고청정 상태로 유지하게 된다.

이제까지의 설명은 본 발명의 가장 기본적인 작용을 설명하였다.

이하부터는 본 발명의 장치를 사용중 실내 공기의 청정도가 떨어질 경우에 이를 감지하여 다시 청정도를 상승시키도록 하는 것에 대한 작용을 설명하기로 한다.

상기 청정도 감지센서(500)에 의해 실내(200) 공기의 청정도가 저하될 경우에, 제어수단(400)에서는 이를 감지하여 순환속도 가변수단(300)을 작동시킨다.

좀더 상세하게는 순환속도 가변수단(300)을 구성하는 구동 모터(310)가 구동되도록 신호를 출력하게 된다.

이후, 구동 모터(310)는 개도량 조절도어(320)를 소정 각도 회동시켜 공기분출덕트(50)의 내부 통로(50a)의 개도량을 제로로 한다.

결국, 공기분출덕트(50)는 중앙에 설치된 개도량 조절도어(320)에 의해 양측으로 공간이 구획되는 것이다.

따라서, 공기정화수단(100)의 공기토출구(2)를 통해 분출되는 공기가 공기분출덕트(50)내의 절반 부분만 채워지게 되므로, 공기분출공(51)을 통해 공기의 분출 시간이 단축된다.

그리고, 공기분출덕트(50)의 내부 공간이 개도량 조절도어(320)가 없는 경우에 비해 축소되었기 때문에 내부 압력이 증대되어 공기분출공(51)을 통해 공기의 분출 속도가 증대되며, 결국에는 빠른 시간 내에 실내(100)의 바닥에 도달하게 되는 것이다.

이로써, 공기분출덕트(50)에 개도량 조절도어(320)가 없는 경우보다 개도량 조절도어(320)가 있는 경우에서는 공기의 순환속도가 빨라지게 되며, 이로 인해 공기의 청정도를 보다 향상시킬 수 있게 된다.

한편, 청정도 감지센서(500)에 의해 검출된 공기 청정도가 설정치로 복귀되었을 때 경우에 제어수단(400)은 순환속도 가변수단(300)을 구성하는 구동 모터(310)를 다시 작동시켜 개도량 조절도어(320)를 공기분출덕트(50)내에 수평 상태가 되도록 복귀시킨다.

이제까지 설명한 바와 같이, 청정도 감지센서(500)와 순환속도 가변수단(300)을 이용하여 공기 청정도를 상승시킬 수 있음을 살펴보았다.

이외에도 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 실내(200)의 바닥(210)으로부터 일정 높이 이격되게 설치됨과 아울러 흡입공(251)이 일정 간격을 두고 다수개 관통 형성된 바닥프레임(250), 상기 바닥프레임(250)과 상기 실내(200)의 바닥(210) 사이의 공간부(S)에 구비되어 상기 흡입공(251)을 통과한 공기를 상기 공기정화수단(100)의 내부로 강제 송풍하는 송풍기(260)를 더 구비할 수도 있다.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 필터수단(10)의 후단에 설치되어 유동되는 공기의 속도를 감지하는 속도감지센서(550)와, 이 속도감지센서(550)의 출력 신호에 따라 상기 제어수단(400)에 연산하여 공기의 유동 속도가 소정치 이하인 경우에 필터수단(10)의 교체 시기인 경보하는 경보수단(560)을 더 구비함으로써, 적기에 필터수단(10)을 교체하여 크린룸의 고정청도를 보다 효율적으로 유지할 수 있는 것이다.

좀더 상세하게는 공기의 유동 속도가 설정치 이하인 경우에는 필터수단(10)에 먼지 등의 이물질이 많이 존재하고 있어 공기의 통과를 방해하고 있다는 것을 알 수 있다.

따라서, 공기의 유동 속도가 점차적으로 감소하게 된다는 것은 필터수단(10)을 교체해주어야 한다.

이상 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 크린룸장치는, 실내의 청정도를 보다 증대시킬 수 있게 된다.

도 1은 본 발명에 의한 크린룸장치의 일측면에서 나타낸 내부 구성도.

도 2는 본 발명에 의한 크린룸장치 정면에서 나타낸 내부 구성도.

도 3은 본 발명에 의한 크린룸장치가 실내에 설치된 상태를 나타낸 도면.

도 4는 본 발명에 의한 크린룸장치의 구성중 공기분출덕트의 내부 구성을 나타낸 단면도.

도 5는 본 발명에 의한 공기분출덕트 및 개도량 조절도어의 다른 실시예를 나타낸 일부 외관 사시도.

도 6은 본 발명의 구성중 공기분출덕트의 배치 상태의 일실시예를 나타낸 도면.

도 7은 본 발명의 구성중 공기분출덕트의 배치 상태의 다른 실시예를 나타낸 도면.

도 8은 본 발명의 제어 블록도.

도 9는 본 발명의 필터수단의 일례의 구성을 도시한 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

50 : 공기분출덕트

100 : 공기정화수단

200 : 실내

300 : 순환속도 가변수단

400 : 제어수단

500 : 청정도 감지센서

Claims (10)

1. 공기흡입구(101)와 공기토출구(102)를 갖는 본체(110)와, 상기 본체(110)의 내부에 설치되는 송풍기(120)와, 상기 본체(120)의 공기토출구(102)측에 설치되어 공기를 최종적으로 여과시키는 필터수단(10)과, 상기 본체(110)의 내부에 설치되어 공기를 냉난방시키는 냉난방 공조수단(90)으로 이루어져 실내(200)에 다수개 설치되며, 상기 공기흡입구(101)를 통하여 흡입된 공기중에 포함된 이물질을 여과하여 정화시킨 후 공기토출구(102)를 통해 다시 실내로 토출하는 공기정화수단(100)과;

   중앙에 연통부(55)가 구비되고, 상기 연통부(55)를 중앙으로 하여 방사상으로 형성되며, 끝단이 상기 다수개의 공기정화수단(100)의 각 공기토출구(102)에 연통 가능하게 연결되어 실내의 천장에 설치되며, 여과된 공기가 실내 바닥으로 하향 이동하도록 다수개의 공기분출공(51)을 갖는 다수개의 공기분출덕트(50)와;

   상기 실내의 공기의 청정도를 감지하는 청정도 감지센서(500)와;

   상기 공기분출덕트(50)의 중간에 해당되는 내부에 회동 가능하게 설치되어 상기 공기분출덕트(50)의 내부 통로(50a)의 개도량을 가변시키는 개도량 조절도어(320)와, 상기 개도량 조절도어(320)가 회동되도록 구동시키는 구동모터(310)로 이루어지며, 상기 청정도 감지센서(50)에 의해 검출된 공기의 청정도에 따라 상기 개도량 조절도어(320)가 회동되어 개도량이 가변되도록 구동모터(310)가 구동되도록 제어하여 공기의 순환 속도를 가변시키는 순환속도 가변수단(300)과;

   상기 청정도 감지센서(500)에서 출력된 신호에 근거하여 상기 순환속도 가변수단(300)의 구동모터(310)를 제어하는 제어수단(400)과;

   상기 필터수단(10)의 후단에 설치되어 유동되는 공기의 속도를 감지하는 속도감지센서(550)와;

   상기 속도감지센서(550)의 출력 신호에 따라 상기 제어수단(400)에 연산하여 공기의 유동 속도가 소정치 이하인 경우에 필터수단(10)의 교체 시기인 경보하는 경보수단(560)을 포함하는 것을 특징으로 하는 크린룸장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 실내(200)의 바닥(210)으로부터 일정 높이 이격되게 설치됨과 아울러 흡입공(251)이 일정 간격을 두고 다수개 관통 형성된 바닥프레임(250)과;

   상기 바닥프레임(250)과 상기 실내(200)의 바닥(210) 사이의 공간부(S)에 구비되어 상기 흡입공(251)을 통과한 공기를 상기 공기정화수단(100)의 내부로 강제 송풍하는 송풍기(260)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 크린룸장치.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 공기분출덕트(50)의 종단면은 수평부(52)와, 상기 수평부(52)의 양단에 상방향으로 경사지게 절곡된 경사부(53)로 이루어져, 상기 공기분출공(51)을 통해 실내 사방으로 공기 분출되도록 한 것 특징으로 하는 크린룸장치.
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 삭제