KR20150094612A - 국소 공기 청정화 장치 - Google Patents

Abstract

국소 공기 청정화 장치(1)는, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류를 공기 충돌면(W)에서 충돌시켜 개방된 영역 밖으로 유출시킴으로써, 가이드(3) 내 및 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 한다. 또한, 국소 공기 청정화 장치(1)는, 가이드(3) 내 및 푸쉬 후드(2) 내의 압력을 계측하는 장치, 가이드(3) 내 혹은 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 가이드(3)와 공기 충돌면(W)의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고, 계측된 결과로부터, 청정도를 확보하기 위하여, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어한다.

Description

국소 공기 청정화 장치{LOCAL AIR CLEANER}

본 발명은 국소 공기 청정화 장치에 관한 것이다.

종래, 국소적인 작업 공간의 공기 청정도를 향상시키는 장치로서 클린 벤치가 자주 이용되고 있다. 일반적인 클린 벤치는, 작업대의 앞쪽의 면만이 작업용의 개구로 되어 있고, 그것 이외의 면에서는 청정도를 유지하기 위하여 울타리로 되어 있다. 이러한 클린 벤치에서는, 그 울타리 내에 청정공기 취출구가 배치되어 있고, 작업자는 앞쪽의 작업용의 개구로부터 손을 넣어서 작업을 행하고 있다.

그러나, 클린 벤치의 작업용의 개구가 좁기 때문에, 작업자가 정밀기계의 조립 작업 등을 행할 경우에는, 그 작업성에 문제가 있다. 또, 제조 라인과 같이, 제품이나 제조 부품의 이동이 따를 경우에는, 라인 전체를 클린 룸 내로 넣는 등의 조치가 취해져 왔지만, 이것에서는 설비가 대규모로 되어 버린다고 하는 문제가 있다.

이 때문에, 청정화된 공기의 균일 흐름을 취출하는 것이 가능한 1쌍의 푸쉬 후드의 공기류 개구면을 대향시켜서 배치하고, 각각의 공기류 개구면에서 나온 공기류를 충돌시킴으로써, 1쌍의 푸쉬 후드 간의 영역을 다른 영역과 비교해서 높은 청정도를 지니는 청정공기 공간으로 할 수 있는 국소 공기 청정화 장치를 제안하였다(특허문헌 1).

JP 2008-275266 A

그런데, 국소 공기 청정화 장치에서는, 작업 공간을 단시간에 청정공기 공간으로 하는 것이 가능하지만, 작업자에 따라서는, 작업하고 있지 않을 때이더라도 작업 공간 내를 항상 높은 청정도로 유지하고 싶을 경우가 있다. 이러한 경우, 작업자가 작업 공간 내에서 작업하고 있지 않을 때에는, 국소 공기 청정화 장치의 소비 전력을 될 수 있는 한 적게 하는 것이 요구되고 있다.

본 발명은, 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 청정공기 공간을 높은 청정도로 유지하면서, 소비 전력을 적게 할 수 있는 국소 공기 청정화 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 관점에 따른 국소 공기 청정화 장치는,

청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 개구면을 지니는 푸쉬 후드와,

상기 푸쉬 후드의 공기류 개구면 측에 설치되고, 상기 공기류 개구면 측으로부터 상기 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 하류 측 단부에 개구면을 형성하는 가이드를 포함하되,

상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가, 상기 가이드 내를 통과한 후, 상기 가이드의 상기 개구면의 하류 측에 있어서 공기 충돌면에 충돌하도록 상기 푸쉬 후드를 배치하는 동시에, 상기 가이드의 상기 개구면을 상기 공기 충돌면으로부터 이간시켜 대향시킴으로써, 상기 가이드의 상기 개구면과 상기 공기 충돌면 사이에 개방된 영역을 형성하고,

상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가 상기 공기 충돌면에서 충돌하여 상기 개방된 영역 밖으로 유출됨으로써, 상기 가이드 내 및 상기 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 하는 국소 공기 청정화 장치에 있어서,

상기 가이드 내 및 상기 푸쉬 후드 내의 압력을 계측하는 장치, 상기 가이드 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 상기 가이드와 상기 공기 충돌면의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고,

상기 계측된 결과로부터, 상기 청정도를 확보하기 위하여, 상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제2 관점에 따른 국소 공기 청정화 장치는,

청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 개구면을 지니는 1쌍의 푸쉬 후드와,

상기 1쌍의 푸쉬 후드의 각각의 공기류 개구면 측에 설치되고, 상기 공기류 개구면 측으로부터 상기 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 하류 측 단부에 개구면을 형성하는 가이드를 포함하되,

상기 1쌍의 가이드의 상기 개구면을 서로 이간시켜 대향시킴으로써, 상기 각가이드의 상기 개구면 사이에 개방된 영역을 형성하고,

상기 각각의 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가 상기 개방된 영역 내에서 충돌하여 상기 개방된 영역 밖으로 유출됨으로써, 상기 가이드 내 및 상기 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 하는 국소 공기 청정화 장치에 있어서,

상기 가이드 내 및 상기 푸쉬 후드 내의 압력을 계측하는 장치, 상기 가이드 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 상기 가이드의 상기 개구면끼리간의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고,

상기 계측된 결과로부터, 상기 청정도를 확보하기 위하여, 상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제3 관점에 따른 국소 공기 청정화 장치는,

청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 개구면을 지니는 1쌍의 푸쉬 후드와,

상기 1쌍의 푸쉬 후드의 한쪽의 공기류 개구면 측에 설치되고, 상기 공기류 개구면 측으로부터 상기 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 하류 측 단부에 개구면을 형성하는 가이드를 포함하되,

상기 가이드의 상기 개구면을, 상기 가이드가 설치되어 있지 않은 푸쉬 후드의 공기류 개구면과 이간시켜 대향시킴으로써, 상기 가이드의 개구면과 상기 가이드가 설치되어 있지 않은 푸쉬 후드 공기류 개구면 사이에 개방된 영역을 형성하고,

상기 각각의 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가 상기 개방된 영역 내에서 충돌하여 상기 개방된 영역 밖으로 유출됨으로써, 상기 가이드 내 및 상기 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 하는 국소 공기 청정화 장치에 있어서,

상기 가이드 내 및 상기 푸쉬 후드 내의 압력을 계측하는 장치, 상기 가이드 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 상기 가이드의 개구면과 상기 가이드가 설치되어 있지 않은 푸쉬 후드의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고,

상기 계측된 결과로부터, 상기 청정도를 확보하기 위하여, 상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어하는 것을 특징으로 한다.

상기 가이드는, 가이드 길이를 변화가능한 가동부를 구비해도 된다. 이 경우, 상기 가동부를 가동시켜서 가이드 길이를 길게 함으로써, 상기 가이드의 상기 개구면과 상기 공기 충돌면의 거리를 짧게 한다.

본 발명에 따르면, 청정공기 공간을 높은 청정도로 유지하면서, 소비 전력을 적게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 국소 공기 청정화 장치를 도시한 도면;
도 2는 푸쉬 후드의 구조를 도시한 도면;
도 3은 가이드의 구조를 도시한 도면;
도 4는 제어부의 구조를 도시한 도면;
도 5는 공기류 개구면으로부터 취출되는 공기류의 풍속과 간극 면적의 관계를 도시한 도면;
도 6은 통상 모드 시에 있어서의 공기의 흐름을 설명하기 위한 도면;
도 7은 에너지 절약 모드 시에 있어서의 공기의 흐름을 설명하기 위한 도면;
도 8은 국소 공기 청정화 장치의 다른 예를 도시한 도면;
도 9는 국소 공기 청정화 장치의 다른 예를 도시한 도면;
도 10은 실시예에서 이용한 국소 공기 청정화 장치를 도시한 도면;
도 11은 거리(a)(간극 면적)와 유속을 변화시킨 경우의 소비 전력 및 가이드 내의 청정도의 결과를 도시한 도면.

이하, 본 발명의 국소 공기 청정화 장치에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 국소 공기 청정화 장치의 일례를 도시한 도면이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 국소 공기 청정화 장치(1)는, 벽, 칸막이 등의 공기 충돌면(W)에 대향하도록 배치된 푸쉬 후드(2)와, 푸쉬 후드(2)에 설치된 가이드(3)와, 장치의 각 부를 제어하는 제어부(100)를 구비하고 있다.

푸쉬 후드(2)는, 청정화된 균일 공기류를 취출하는 기구를 구비하는 것이면 되고, 종래부터 푸시 풀(push-pull)형 환기 장치에 이용되고 있는 푸쉬 후드를 기본적 구조로 하고, 청정용 필터를 내부에 설치한 구조를 채용할 수 있다.

여기에서 말하는 균일 공기류 및 균일 흐름은, 하야시 타로(林太郎) 저 「공장환기」(공기조화·위생공학회 1982년 발행)에 기재된 균일 흐름과 동의어이며, 균일하게 연속하여, 큰 소용돌이부가 생기지 않는 미풍속의 흐름을 말한다. 단, 본 발명은, 공기의 유속 및 속도 분포를 엄밀하게 규정한 공기 취출 장치를 제공하고자 하는 것은 아니다. 균일 공기류는, 예를 들어, 장해물이 없는 상태에서의 속도분포의 편차가, 그 평균치에 대해서 ±50% 이내, 나아가서는 ±30% 이내인 것이 바람직하다.

푸쉬 후드(2)는, 그 공기류 개구면(23)이 벽 등의 공기 충돌면(W)에 대향하도록 배치되어 있다. 여기에서, 공기류 개구면(23)이 공기 충돌면(W)에 대향한다는 것은, 푸쉬 후드(2)의 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W)이 정면으로 마주 대한 상태로 한정되는 것은 아니고, 예를 들어, 푸쉬 후드(2)의 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W)이 약간 기운 상태인 것도 포함된다. 푸쉬 후드(2)의 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W)의 경사는, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W)이 이루는 각도가 30°정도의 범위 내인 것이 바람직하다.

본 실시형태의 푸쉬 후드(2)는, 연결기구에 의해, 각각 9개(세로 3개×가로 3개)의 푸쉬 후드가 그 공기류 개구면이 동일방향으로서, 푸쉬 후드의 짧은 변끼리, 긴 변끼리가 각각 이웃하도록 배열되어 연결되어 있다. 도 2에 푸쉬 후드(2a)의 구조를 나타낸다. 또, 연결된 다른 푸쉬 후드(2)의 구조도 기본적으로 동일하다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2a)의 하우징(21)은, 대략 직방체 형상으로 형성되고, 그의 한면에 공기류 흡입면(22)이 형성되어 있다. 공기류 흡입면(22)은, 예를 들어, 하우징(21)의 한면 전체에 복수의 구멍이 형성된 면으로 이루어진다. 공기류 흡입면(22)에서는, 이 구멍으로부터 푸쉬 후드(2a)의 외부의 주변 공기인 외기나 실내공기를 받아들인다. 또, 하우징(21)의 공기류 흡입면(22)과 대향하는 다른 면에는, 공기 취출면(공기류 개구면)(23)이 형성되어 있다. 공기류 개구면(23)은, 예를 들어, 하우징(21)의 한면 전체에 복수의 구멍이 형성된 면으로 이루어진다. 공기류 개구면(23)에서는, 이 구멍으로부터 푸쉬 후드(2a) 내에서 형성된 청정공기의 균일 공기류가 푸쉬 후드(2a)의 외부로 취출된다. 푸쉬 후드(2a)의 공기류 개구면(23)의 크기는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어, 1050㎜×850㎜이다.

하우징(21) 내에는 송풍 기구(24)와, 고성능 필터(25)와, 정류 기구(26)가 배치되어 있다.

송풍 기구(24)는 하우징(21) 내의 공기류 흡입면(22) 측에 배치되어 있다. 송풍 기구(24)는 공기 취출용의 팬(125) 등으로 구성되어 있다. 송풍 기구(24)는, 푸쉬 후드(2a)의 주변 공기인 외기나 실내공기를 공기류 흡입면(22)으로부터 받아들이는 동시에, 공기류 개구면(23)으로부터 공기류를 취출한다. 또, 후술하는 바와 같이, 팬(125)은 제어부(100)에 접속되어, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 공기류의 유속을 가변시킬 수 있다.

고성능 필터(25)는 송풍 기구(24)와 정류 기구(26) 사이에 배치되어 있다. 고성능 필터(25)는, 받아들인 주변 공기를 여과하기 위한 HEPA 필터(High Efficiency Particulate Air Filter)나 ULPA 필터(Ultra Low Penetration Air Filter) 등의 청정화 수준에 따른 고성능 필터로 구성되어 있다. 고성능 필터(25)는, 송풍 기구(24)에 의해 받아들인 주변 공기를 목적으로 하는 청정화 수준의 청정공기로 청정화한다. 고성능 필터(25)에 의해 목적으로 하는 청정화 수준으로 청정화된 청정공기는, 송풍 기구(24)에 의해 정류 기구(26)에 보내진다.

정류 기구(26)는 고성능 필터(25)와 공기류 개구면(23) 사이에 배치되어 있다. 정류 기구(26)는, 도시하지 않은 공기저항체를 구비하고 있고, 펀칭 플레이트나 망상 부재 등으로 형성되어 있다. 정류 기구(26)는, 고성능 필터(25)로부터 송풍되어, 공기류 개구면(23) 전체에 대해서 통기량에 편향이 있는 송풍 공기를, 공기류 개구면(23) 전체에 대해서 통기량에 편향이 없는 균일화된 공기류(균일 공기류)로 보정(정류)한다. 이 정류된 균일 공기류가, 송풍 기구(24)에 의해, 공기류 개구면(23) 전체로부터 푸쉬 후드(2)의 외부로 취출된다.

또한, 푸쉬 후드(2a)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 하우징(21) 내의 공기류 흡입면(22)과 송풍 기구(24) 사이에, 전치 필터(prefilter)(27)가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 전치 필터(27)로서는, 예를 들어, 중성능 필터를 들 수 있다. 공기류 흡입면(22)과 송풍 기구(24) 사이에 전치 필터(27)를 배치함으로써, 공기류 흡입면(22)을 개재해서 하우징(21) 내부에 흡입된 주변 공기에 포함되는 비교적 큰 분진을 제거할 수 있다. 이와 같이 주변 공기에 포함되는 분진의 크기에 따라서 다단계로 분진을 제거할 수 있으므로, 막힘 등이 생기기 쉬운 고성능 필터(25)의 성능을 장기간 유지할 수 있다.

이와 같이 구성된 푸쉬 후드(2a)에서는, 송풍 기구(24)에 의해서 받아들인 주변 공기가 전치 필터(27) 및 고성능 필터(25)에 의해 목적으로 하는 청정화 수준의 청정공기로 청정화된다. 그리고, 청정화된 청정공기는 정류 기구(26)에 의해서 균일 공기류로 정류된다. 이렇게 청정화된 균일 공기류는 공기류 개구면(23) 전체로부터 푸쉬 후드(2a)의 공기류 개구면(23)에 거의 수직 방향으로 외부를 향해서 취출된다.

가이드(3)는, 그 일단부가, 푸쉬 후드(2)의 공기류 개구면(23) 측에 설치되어 있다. 또, 가이드(3)는, 공기류 개구면(23)에 설치되고, 거기에서, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 공기류 개구면(23)의 외주 윤곽부를 덮도록 형성되어 있다. 예를 들어, 공기류 개구면(23)의 형상이 사각형인 경우, 그 단면 형상이 ㄷ자 형상으로 되도록 연신 형성되어 있다. 이 ㄷ자 형상의 개방된 측과 바닥면에 의해, 균일 공기류의 취출 방향을 향해서 외주 윤곽부를 포함하고, 거기에서 취출되는 균일 공기류의 흐름과 병행하여 기류의 주위를 터널 형태로 둘러싸는 상태로 된다.

가이드(3)는, 그 개구면(31)으로부터 취출되는 공기류가, 공기류 개구면(23)으로부터의 청정화된 균일 공기류의 상태를 유지 가능한 것이면, 임의의 재료에 의해 형성하는 것이 가능하다. 또한, 가이드(3)는, 공기류 개구면(23)으로부터의 청정화된 균일 공기류의 상태를 유지 가능하면, 균일 공기류의 주위 전체를 완전히 덮고 있지 않아도 되고, 예를 들어, 그 일부에 구멍이 뚫려 있거나, 슬릿이 형성되어 있어도 된다.

개구면(31)의 형상은, 공기류 개구면(23)과 거의 같은 형상으로 되도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 개구면(31)과 공기류 개구면(23)을 거의 같은 형상으로 함으로써, 개구면(31)에 있어서 공기류 개구면(23)으로부터 취출된 균일 공기류의 상태를 유지하기 쉽기 때문이다.

가이드(3)의 길이(b)는, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이에 목적으로 하는 크기의 공간을 형성하는 동시에, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이에 소정 거리(a)만큼 이간시킨 상태에서 대향 가능하게 배치할 수 있는 길이로 형성되어 있다. 그리고, 가이드(3)는, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이에 소정의 거리(a)만큼 이간시킨 상태에서 대향하도록 배치되어 있다. 이와 같이, 개구면(31)이 공기 충돌면(W)에 이간된 상태에서 대향하도록 배치되어 있으므로, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이에 개방된 영역이 형성된다. 이 상태에서, 푸쉬 후드(2)의 공기류 개구면(23)(개구면(31))으로부터 취출된 균일 공기류는, 공기 충돌면(W)에 충돌하고, 그 흐름의 방향을 변경한다. 예를 들어, 개구면(31)을 벽에 정면으로 마주 대향시킨 경우, 균일 공기류는, 공기 충돌면(W)에 충돌하면, 거의 수직으로 흐름의 방향을 변경하는 거동을 나타낸다. 그리고, 공기 충돌면(W)에 충돌하여, 그 흐름의 방향을 변경한 균일 공기류는, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이에 개방된 영역으로부터, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 공간 밖으로 방출된다. 이 결과, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역에 있어서 청정공간이 얻어진다.

또, 본 발명의 국소 공기 청정화 장치(1)에는, 개구면(31)과 공기 충돌면(W)의 거리(a)를 조절하는 것이 가능한 거리 조정 기구가 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 가이드(3)에는, 가이드(3)의 개구면(31) 측을 덮도록 형성되어, 가이드(3)의 길이(b)를 변화가능한 가동부(32)가 설치되어 있다. 가동부(32)는, 후술하는 바와 같이, 이동 기구(127)에 접속되어, 이동 기구에 의해 가동부(32)를 이동시킴으로써 가이드(3)의 길이(b)를 변화시켜, 개구면(31)과 공기 충돌면(W)의 거리(a)를 조절할 수 있다.

또한, 본 발명의 국소 공기 청정화 장치(1)에는, 가이드(3) 내 및 푸쉬 후드(2) 내의 압력을 계측하는 장치, 가이드(3) 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 가이드(3)와 공기 충돌면(W)와의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고 있다. 그리고, 이 계측된 결과로부터, 청정도를 확보하기 위하여, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어한다.

가이드(3) 내 및 푸쉬 후드(2) 내의 압력을 계측하는 장치로서는, 예를 들어, 후술하는 압력계(123) 등을 들 수 있다. 가이드(3) 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치로서는, 예를 들어, 분진수의 측정이 가능한 파티클 카운터 등을 들 수 있다. 가이드(3)와 공기 충돌면(W)의 간극 면적을 계측하는 장치로서는, 예를 들어, 거리 센서 등을 들 수 있다.

여기에서, 간극 면적이란, 이하의 면적 중 어느 하나를 말한다.

[1] 가이드(3)의 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이의 개방되어 있는 3면의 면적(또, 바닥이 없을 경우에는 4면).

[2] 가이드(3)의 개구면(31)과 가이드(3)를 구비하고 있지 않은 푸쉬 후드(2) 사이의 개방되어 있는 3면의 면적(또, 바닥이 없을 경우에는 4면).

[3] 가이드(3)의 개구면(31)끼리 사이의 개방되어 있는 3면의 면적(또, 바닥이 없을 경우에는 4면).

이러한 간극 면적의 계측 방법으로서는, 단순히 거리 센서와 가이드(3)의 변의 길이로부터 산출하는 방법이나, 간극의 취출 풍속과 푸쉬 후드(2)로부터의 취출 풍량으로부터 산출하는 방법 등이 있다.

제어부(100)는, 또한, 국소 공기 청정화 장치(1)의 장치 각 부를 제어한다. 도 4에 제어부(100)의 구성을 나타낸다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 제어부(100)에는 조작 패널(121), 압력계(123), 팬(125), 이동 기구(127) 등이 접속되어 있다.

조작 패널(121)은, 표시 화면과 조작 버튼을 구비하고, 조작자의 조작 지시를 제어부(100)에 전달한다. 또한, 조작 패널(121)은 제어부(100)로부터의 각종 정보를 표시 화면에 표시한다.

압력계(123)는, 예를 들어, 푸쉬 후드(2) 내에 내장되어 있으며, 그 측정구 중 하나가 가이드(3) 내에 배치되고, 다른 하나가 푸쉬 후드(2) 내에 배치되어 있다. 압력계(123)는, 가이드(3) 내의 내압과 푸쉬 후드(2) 내의 내압을 측정하고, 그 차압을 제어부(100)에 통지한다.

팬(125)은 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 공기류의 유속을 제어부(100)로부터 지시된 양으로 제어한다.

이동 기구(127)는, 가동부(32)에 접속되어, 가이드(3)의 길이(b)를 제어부(100)로부터 지시된 길이로 되도록 가동부(32)를 이동시킨다. 또한, 이동 기구(127)는, 가동부(32)의 위치를 계측하는 센서 등을 구비하고, 가동부(32)의 위치(가이드(3)의 길이(b))를 제어부(100)에 통지한다.

제어부(100)는, ROM(Read Only Memory)(111)과, RAM(Random Access Memory)(112)과, I/O 포트(Input/Output Port)(113)와, CPU(Central Processing Unit)(114)와, 이들을 서로 접속하는 버스(115)로 구성되어 있다.

ROM(111)은, EEPROM(Electrically Erasable Progra㎜able Read Only Memory), 플래시 메모리, 하드 디스크 등으로 구성되고, CPU(114)의 동작 프로그램 등을 기억하는 기록 매체이다. RAM(112)은 CPU(114)의 작업 영역 등으로서 기능한다.

I/O 포트(113)는, 조작 패널(121), 압력계(123), 팬(125), 이동 기구(127) 등에 접속되어, 데이터나 신호의 입출력을 제어한다.

CPU(114)는, 제어부(100)의 중추를 구성하고, ROM(111)에 기억된 제어 프로그램을 실행하여, 조작 패널(121)로부터의 지시에 따라, 국소 공기 청정화 장치(1)의 동작을 제어한다. 즉, CPU(114)는, 압력계(123), 팬(125) 등에 가이드(3) 내의 압력, 풍량, 간극 풍속, 오염 농도 등을 특정시키고, 이 데이터에 의거해서, 팬(125) 등에 제어 신호 등을 출력하여, 국소 공기 청정화 장치(1)의 동작을 제어한다.

버스(115)는 각 부의 사이에서 정보를 전달한다.

또한, 제어부(100)에는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 공기류의 풍속(유속)과 간극 면적의 관계를 나타내는 모델이 기억되어 있다. 이 모델은, 청정도를 확보한 상태에서의 간극 면적과 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속의 관계를 나타내는 모델이며, 간극 면적을 변화시킨 경우에, 청정도를 확보할 수 있는 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속을 산출할 수 있는 모델이다.

다음에, 이상과 같이 구성된 국소 공기 청정화 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서는, 작업자가 작업 공간 내에서 작업을 하고 있는 상태(통상 모드 시)로부터 작업자가 작업 공간 내에서 작업을 하지 않는 상태(에너지 절약 모드 시)로의 변경에 대해서 설명함으로써, 국소 공기 청정화 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다.

우선, 국소 공기 청정화 장치(1)를 통상 모드로 기동할 경우에 대해서 설명한다. 예를 들어, 작업자가 조작 패널(121)을 조작해서 국소 공기 청정화 장치(1)의 기동(통상 모드 기동)을 선택하면, CPU(114)는, 팬(125)을 제어(소정의 회전수로 구동)하여, 공기류 흡입면(22) 근방의 주변 공기를 흡인시킨다. 이와 같이 흡인된 주변 공기는, 전치 필터(27) 및 고성능 필터(25)에 의해서 목적으로 하는 청정화 수준의 청정공기로 청정화된다. 그리고, 청정화된 청정공기가 정류 기구(26)에 의해서 균일 공기류로 정류되고, 청정화된 균일 공기류가 공기류 개구면(23) 전체로부터 가이드(3)에 취출된다.

가이드(3)에 취출된 청정화된 균일 공기류는, 균일 공기류의 상태를 유지하면서, 가이드(3)를 통과해서 개구면(31)으로부터 취출되어, 공기 충돌면(W)에 충돌한다. 충돌한 공기류는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이의 개방된 영역으로부터, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역 밖(국소 공기 청정화 장치(1) 밖)으로 유출된다. 이 결과, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W)와의 사이의 영역(가이드(3)의 내부, 및 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이의 개방된 영역)을 국소 공기 청정화 장치(1) 밖의 영역보다도 높은 청정도로 할 수 있다.

또, CPU(114)에는, 이동 기구(127)로부터 통상 모드에 있어서의 가이드(3)의 길이(b)(가동부(32)의 위치(통상 위치))가 통지된다.

다음에, 국소 공기 청정화 장치(1)를 통상 모드로부터 에너지 절약 모드로 변경할 경우에 대해서 설명한다. 예를 들어, 작업자가 조작 패널(121)을 조작해서 국소 공기 청정화 장치(1)의 전환(에너지 절약 모드 전환)을 선택하면, CPU(114)는, 이동 기구(127)를 제어해서, 가동부(32)의 위치를 통상 위치로부터 에너지 절약 모드에 있어서의 위치(에너지 절약 위치)로 되도록 공기 충돌면(W) 방향으로 이동시킴으로써, 간극 면적을 작게 한다.

계속해서, CPU(114)는, 거리 센서에 의해, 가동부(32)가 에너지 절약 위치에 배치된 상태에서의 간극 면적을 산출하고, 도 5에 나타낸 모델을 이용해서, 청정도를 확보할 수 있는 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속을 산출한다. 그리고, CPU(114)는, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속을, 산출된 유속으로 제어한다. 이와 같이, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속을 제어한 상태에서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이의 개방된 영역으로부터 방출되는 공기의 유속이 통상 모드와 에너지 절약 모드에서 거의 일정하게 되고 있고, 에너지 절약 모드에 있어서도, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역을 국소 공기 청정화 장치(1) 밖의 영역보다도 높은 청정도로 유지할 수 있다. 또, 도 6 및 도 7의 화살표의 길이는, 공기의 유속을 나타내고 있다. 또한, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이의 개방된 영역으로부터 방출되는 공기의 유속이 통상 모드와 에너지 절약 모드에서 거의 일정하게 되어 있으므로, 가이드(3) 내에 외부로부터 분진 등의 오염물이 유입되기 어려워져, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역을 국소 공기 청정화 장치(1) 밖의 영역보다도 높은 청정도로 유지할 수 있다.

또, 높은 청정도를 유지하고 있는 것(통상 모드의 청정도와 동등한 것)을 확인하는 수단으로서는, 파티클 카운터에 의한 분진수의 측정, 내압을 일정값으로 유지하는 것, 간극으로부터의 취출 풍속을 유지하는 것 등이 있다. 예를 들어, 파티클 카운터의 수치가 높은 값을 나타낸 경우에는, 푸쉬 후드(2)로부터의 유속이 증가하도록 팬(125)을 제어한다. 또한, 파티클 카운터의 수치가 낮은 값을 나타낸 경우에는, 푸쉬 후드(2)로부터의 유속이 감소하도록 팬(125)을 제어한다. 또한, 간극으로부터의 취출 풍속이 소정의 수치로부터 저하된 경우에는, 푸쉬 후드(2)로부터의 유속이 증가하도록 팬(125)을 제어한다. 또, 간극으로부터의 취출 풍속이 소정의 수치로부터 증가한 경우에는, 푸쉬 후드(2)로부터의 유속이 감소되도록 팬(125)을 제어한다.

이것에 의해, 충분한 청정도가 얻어지고 있을 경우에는, 유속을 감소시켜서 에너지 절약 운전을 할 수 있다. 에너지 절약 모드에서는, 통상 모드에 비해서, 팬(125)의 회전수를 감소시켜, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 균일 공기류의 유속을 감소시키고 있으므로, 국소 공기 청정화 장치(1)의 소비 전력을 적게 할 수 있다.

또한, 본 실시형태의 국소 공기 청정화 장치(1)에서는, 가이드(3)에 구멍이 뚫려서 가이드(3) 내의 압력이 저하된 경우에는, 팬(125)의 회전수를 증가시켜, 가이드(3) 내의 내압을 높게 함으로써, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역의 청정도가 유지된다. 또, 전력의 공급이 저하되어 공기류 개구면(23)으로부터 취출된 청정화된 균일 공기류의 유속이 감속된 경우에는, 가이드(3) 내의 압력이 저하되므로, 팬(125)의 회전수를 증가시켜, 가이드(3) 내의 내압을 높게 함으로써, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역의 청정도가 유지된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 국소 공기 청정화 장치(1)에 따르면, 가동부(32)의 위치를 통상 위치로부터 에너지 절약 위치로 이동시킴으로써, 간극 면적을 작게 하는 동시에, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속이 청정도를 확보할 수 있는 유속으로 제어하고 있으므로, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 영역을 높은 청정도로 유지하면서, 소비 전력을 적게 할 수 있다.

또, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되지 않고, 각종 변형, 응용이 가능하다. 이하, 본 발명에 적용가능한 다른 실시형태에 대해서 설명한다.

상기 실시형태에서는, 가동부(32)의 위치를 이동시킴으로써 간극 면적을 작게 한 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 본 발명의 국소 공기 청정화 장치(1)는, 간극 면적을 변화시키는 것이 가능한 구조를 구비하고 있으면 되고, 예를 들어, 푸쉬 후드(2)의 하단에 푸쉬 후드(2)를 공기 충돌면(W) 방향으로 진퇴가능한 이동 기구를 설치함으로써 간극 면적을 변화시켜도 된다. 또, 가이드(3)를 주름상자 형상으로 구성함으로써, 간극 면적을 변화시켜도 된다. 또한, 커튼 등으로 덮음으로써, 공기 충돌면(W) 대신으로 해도 된다. 또, 공기 충돌면(W)을 추가함으로써, 간극 면적을 변화시켜도 된다.

상기 실시형태에서는, 간극 면적을 작게 하는 동시에, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속을 청정도를 확보할 수 있는 유속으로 제어했을 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 예를 들어, 개구면(31)과 공기 충돌면(W)의 거리(a)를 짧게 하는 동시에, 가이드(3) 내의 압력이 일정하게 되도록 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속을 제어, 즉, 공기류 개구면(23)으로부터 취출되는 유속이 청정도를 확보할 수 있는 유속으로 제어해도 된다.

상기 실시형태에서는, 작업자가 조작 패널(121)을 조작해서 에너지 절약 모드로 전환할 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 예를 들어, 수동으로 공기 충돌면(W)을 움직임으로써, 전력 절약 모드로 전환시켜도 된다. 또, 타이머 등에 의해, 야간이 되면 자동적으로 에너지 절약 모드로 전환되도록 해도 된다.

상기 실시형태에서는, 작업자가 조작 패널(121)을 조작해서 에너지 절약 모드로 전환할 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 예를 들어, 파티클 카운터의 카운트가 상승한 경우에 균일 공기류의 유속이 증가하는 대신에, 공기 충돌면(W)이 자동으로 가이드(3) 측으로 이동하여, 청정도를 유지하는 형식이어도 된다. 또한, 파티클 카운터 대신에 압력계를 이용하는 것도 가능하다. 이와 같이, 청정도를 유지하기 위하여 균일 공기류의 유속의 증감뿐만 아니라, 내압의 증감, 간극 면적의 증감, 간극으로부터 취출하는 공기의 유속의 증감에 의해 청정도를 유지하는 방식이어도 된다.

상기 실시형태에서는, 공기 충돌면(W)이 벽, 간막이와 같은 평판 형상인 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 공기 충돌면(W)은 평판 형상으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 공기 충돌면(W)은, 가이드(3)의 개구면(31)의 단부와 대향하는 위치의 근방인, 공기 충돌면(W)의 단부, 예를 들어, 도 8에 나타낸 바와 같이, 공기 충돌면(W)의 측부에 가이드(3)(푸쉬 후드(2)) 측을 향해서 굴곡시킨 굴곡부(W1)를 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 공기 충돌면(W)은, 그 상부, 하부 및 측부의 모두를 가이드(3) 측을 향해서 굴곡시킨 굴곡부(W1)를 구비해도 된다. 또한, 굴곡부(W1)는, 완만한 곡면을 지니도록 모서리를 둥글게 해도(라운딩시켜도) 된다. 이와 같이 공기 충돌면(W)이 굴곡부(W1)를 구비함으로써, 가이드(3)와 공기 충돌면(W) 사이에 형성되는 개방된 영역 밖(국소 공기 청정화 장치(1) 밖)으로부터의 공기의 유입을 방지하기 쉬워진다.

상기 실시형태에서는, 푸쉬 후드(2)와 공기 충돌면(W)이 대향하도록 배치된 국소 공기 청정화 장치(1)의 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 예를 들어, 도 9에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 푸쉬 후드(2)가 대향하도록 배치되고, 각 푸쉬 후드(2)에 가이드(3)가 각각 설치된 국소 공기 청정화 장치(1)를 이용해도 된다. 또한, 1쌍의 푸쉬 후드(2)가 대향하도록 배치되고, 푸쉬 후드(2)의 한쪽에 가이드(3)가 설치된 국소 공기 청정화 장치(1)를 이용해도 된다.

상기 실시형태에서는, 푸쉬 후드(2)가 연결 기구에 의해, 각각 9개(세로 3개×가로 3개)의 푸쉬 후드(2a)가 연결되어 있을 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 푸쉬 후드(2)를 구성하는 푸쉬 후드(2a)의 수는, 10개 이상이어도, 8개 이하이어도 된다. 예를 들어, 푸쉬 후드(2)가 연결 기구에 의해, 각각 4개(세로 2개×가로 2개)의 푸쉬 후드(2a)가 연결되어 있어도 된다. 이들과 같이 푸쉬 후드(2a)가 연결될 경우에는, 푸쉬 후드(2a)의 공기류 개구면이 동일 방향이며, 푸쉬 후드(2a)의 짧은 변끼리, 긴 변끼리가 각각 이웃하도록 배열된다. 또한, 푸쉬 후드(2)가 1개의 푸쉬 후드(2a)로 구성되어 있어도 된다.

실시예

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 나타내고, 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

도 10에 도시한 국소 공기 청정화 장치(1)를 이용해서, 가이드(3) 내의 압력은 5㎩로 유지한 상태에서, 개구면(31)과 공기 충돌면(W) 사이의 거리(a)와, 푸쉬 후드(2)로부터 취출되는 유속을 변화시킨 경우의 소비 전력, 가이드(3) 내의 청정도를 측정하였다. 또, 푸쉬 후드(2)는, 가로 1050㎜, 세로 850㎜의 푸쉬 후드(2a) 4개(세로 2개×가로 2개)를 그 공기류 개구면이 동일 방향이고, 푸쉬 후드(2a)의 짧은 변끼리, 긴 변끼리가 각각 이웃하도록 배열해서 연결한 것이며, 그 개구면(31)의 크기는, 폭 2100㎜, 높이 1700㎜이다. 또한, 거리(a)가 1000㎜(간극 면적 55000㎠)인 경우가 국소 공기 청정화 장치(1)를 전술한 통상 모드로 했을 경우에 상당하고, 거리(a)가 9㎜(간극 면적 495㎠), 15㎜(간극 면적 825㎠), 22㎜(간극 면적 1210㎠)인 경우가 국소 공기 청정화 장치(1)를 전술한 에너지 절약 모드로 했을 경우에 상당한다. 청정도의 측정은, PMS사 제품인 LASAIR-II를 이용해서, 입자 직경 0.3㎛의 분진수(개/CF)를 측정하고, 그 결과로부터 ISO 등급을 특정하였다. 결과를 도 11에 나타낸다.

도 11에 나타낸 바와 같이, 통상 모드(간극 면적 55000㎠)에 있어서 가이드 내의 청정도가 ISO 등급 1인 높은 청정도임과 동시에, 에너지 절약 모드(간극 면적 495㎠, 825㎠, 1210㎠)에 있어서도 가이드 내의 청정도가 ISO 등급 1인 높은 청정도인 것을 확인하였다. 또한, 에너지 절약 모드에서는, 소비 전력이 통상 모드의 1/3 정도로 할 수 있음을 확인하였다. 이와 같이, 공기류 개구면(23)과 공기 충돌면(W) 사이의 청정공기 공간을 높은 청정도로 유지하면서, 소비 전력을 적게 할 수 있는 것을 확인했다.

또, 본 발명은, 본 발명의 광의의 취지 및 범위를 일탈하는 일 없이, 각종 실시형태 및 변형이 가능하게 되는 것이다. 또한, 전술한 실시형태는, 본 발명을 설명하기 위한 것이고, 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 범위는, 실시형태가 아니라, 특허청구의 범위에 의해서 표시된다. 그리고, 특허청구범위 내 그리고 그것과 동등한 발명의 의의의 범위 내에서 실시되는 각종 변형이, 본 발명의 범위 내로 간주된다.

본 출원은, 2012년 12월 7일에 출원된 일본국 특허출원 제2012-268614호에 의거한다. 본 명세서 중에 일본국 특허출원 제2012-268614호의 명세서, 특허청구범위 및 도면 전체를 참조로서 받아들이는 것으로 한다.

본 발명은 국소적인 작업 공간의 공기 청정에 유용하다.

1: 국소 공기 청정화 장치 2, 2a: 푸쉬 후드
3: 가이드 21: 하우징
22: 공기류 흡입면 23: 공기 취출면(공기류 개구면)
24: 송풍 기구 25: 고성능 필터
26: 정류 기구 27: 전치 필터
31: 개구면 32: 가동부
100: 제어부 111: ROM
112: RAM 113: I/O 포트
114: CPU 115: 버스
121: 조작 패널 123: 압력계
125: 팬 127: 이동 기구
W: 공기 충돌면

Claims (4)

1. 청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 개구면을 지니는 푸쉬 후드와,
   상기 푸쉬 후드의 공기류 개구면 측에 설치되고, 상기 공기류 개구면 측으로부터 상기 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 하류 측 단부에 개구면을 형성하는 가이드를 포함하되,
   상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가, 상기 가이드 내를 통과한 후, 상기 가이드의 상기 개구면의 하류 측에 있어서 공기 충돌면에 충돌하도록 상기 푸쉬 후드를 배치하는 동시에, 상기 가이드의 상기 개구면을 상기 공기 충돌면으로부터 이간시켜 대향시킴으로써, 상기 가이드의 상기 개구면과 상기 공기 충돌면 사이에 개방된 영역을 형성하고,
   상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가 상기 공기 충돌면에서 충돌하여 상기 개방된 영역 밖으로 유출됨으로써, 상기 가이드 내 및 상기 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 하는 국소 공기 청정화 장치에 있어서,
   상기 가이드 내 및 상기 푸쉬 후드 내의 압력을 계측하는 장치, 상기 가이드 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 상기 가이드와 상기 공기 충돌면의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고,
   상기 계측된 결과로부터, 상기 청정도를 확보하기 위하여, 상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어하는 것을 특징으로 하는 국소 공기 청정화 장치.
2. 청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 개구면을 지니는 1쌍의 푸쉬 후드와,
   상기 1쌍의 푸쉬 후드의 각각의 공기류 개구면 측에 설치되고, 상기 공기류 개구면 측으로부터 상기 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 하류 측 단부에 개구면을 형성하는 가이드를 포함하되,
   상기 1쌍의 가이드의 상기 개구면을 서로 이간시켜 대향시킴으로써, 상기 각가이드의 상기 개구면 사이에 개방된 영역을 형성하고,
   상기 각각의 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가 상기 개방된 영역 내에서 충돌하여 상기 개방된 영역 밖으로 유출됨으로써, 상기 가이드 내 및 상기 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 하는 국소 공기 청정화 장치에 있어서,
   상기 가이드 내 및 상기 푸쉬 후드 내의 압력을 계측하는 장치, 상기 가이드 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 상기 가이드의 상기 개구면끼리간의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고,
   상기 계측된 결과로부터, 상기 청정도를 확보하기 위하여, 상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어하는 것을 특징으로 하는 국소 공기 청정화 장치.
3. 청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 개구면을 지니는 1쌍의 푸쉬 후드와,
   상기 1쌍의 푸쉬 후드의 한쪽의 공기류 개구면 측에 설치되고, 상기 공기류 개구면 측으로부터 상기 균일 공기류의 하류 측을 향해서 연장되어, 하류 측 단부에 개구면을 형성하는 가이드를 포함하되,
   상기 가이드의 상기 개구면을, 상기 가이드가 설치되어 있지 않은 푸쉬 후드의 공기류 개구면과 이간시켜 대향시킴으로써, 상기 가이드의 개구면과 상기 가이드가 설치되어 있지 않은 푸쉬 후드의 공기류 개구면 사이에 개방된 영역을 형성하고,
   상기 각각의 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류가 상기 개방된 영역 내에서 충돌하여 상기 개방된 영역 밖으로 유출됨으로써, 상기 가이드 내 및 상기 개방된 영역 내를 다른 영역과 비교해서 높은 청정도로 하는 국소 공기 청정화 장치에 있어서,
   상기 가이드 내 및 상기 푸쉬 후드 내의 압력을 계측하는 장치, 상기 가이드 내 혹은 상기 개방된 영역의 청정도를 계측하는 장치, 상기 가이드의 개구면과 상기 가이드가 설치되어 있지 않은 푸쉬 후드의 간극 면적을 계측하는 장치 중 적어도 하나를 포함하고,
   상기 계측된 결과로부터, 상기 청정도를 확보하기 위하여, 상기 공기류 개구면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속을 감속 또는 가속 가능하게 제어하는 것을 특징으로 하는 국소 공기 청정화 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 가이드는 가이드 길이를 변화 가능한 가동부를 구비하고,
   상기 가동부를 가동시켜서 가이드 길이를 길게 함으로써, 상기 가이드의 상기 개구면과 상기 공기 충돌면의 거리를 짧게 하는 것을 특징으로 하는 국소 공기 청정화 장치.

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