KR101578924B1 - 청정공기 취출장치 - Google Patents

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Abstract

청정공기 취출장치는, 청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 취출면(23)을 지니는 푸쉬 후드(2)를 포함하고 있다. 푸쉬 후드(2)는, 푸쉬 후드(2)를 설치하면 형성되는 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23)의 둘레방향에 있어서 근접하는 둘레벽에 대해서, 청정공기의 충돌 기류를 발생시키기 위한 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있다.

Description

청정공기 취출장치{PURIFIED AIR DISCHARGE DEVICE}
본 발명은 청정공기 취출장치에 관한 것이다.
종래, 국소적인 작업 공간의 공기청정도를 향상시키는 장치로서 클린 벤치가 자주 이용되고 있다. 일반적인 클린 벤치는, 작업대의 앞쪽의 면만이 작업용의 개구로 되어 있고, 그것 이외의 면에서는 청정도를 유지하기 위하여 울타리로 되어 있다. 이러한 클린 벤치에서는, 그 울타리 내에 청정공기 취출구가 배치되어 있고, 작업자는 앞쪽의 작업용의 개구로부터 손을 넣어서 작업을 행하고 있다.
그러나, 클린 벤치의 작업용의 개구가 좁기 때문에, 작업자가 정밀기계의 조립 작업 등을 행할 경우에는, 그 작업성에 문제가 있다. 또, 제조 라인과 같이, 제품이나 제조 부품의 이동이 따를 경우에는, 라인 전체를 클린 룸 내로 넣는 등의 조치가 취해져 왔지만, 이것에서는 설비가 대규모로 되어 버린다고 하는 문제가 있다.
이 때문에, 청정화된 공기의 균일 흐름을 내뿜는(즉, 취출하는) 것이 가능한 1쌍의 푸쉬 후드의 공기류 개구면을 대향시켜서 배치하고, 각각의 공기류 개구면에서의 공기류를 충돌시킴으로써, 1쌍의 푸쉬 후드 간의 영역을 다른 영역과 비교해서 높은 청정도를 지니는 청정공기 공간으로 할 수 있는 국소 공기 청정화 장치가 제안되어 있다(특허문헌 1).
JP 2008-275266 A
그런데, 국소 공기 청정화 장치의 청정공기를 취출하는 청정공기 취출장치를 바닥 설치할 경우, 청정공기 취출장치와 바닥면이 기밀상태로 되도록 밀착시켜서 설치하지 않으면, 기류에 유인되어서 청정하지 않은 공기가, 청정공기 취출장치와 바닥면 사이로부터 말려들어버릴 우려가 있다. 또한, 청정공기 취출장치에 가이드를 붙여서 멀리까지 청정공기를 반송하려고 할 경우, 청정공기 취출장치와 가이드의 접속부가 기밀상태로 되도록 밀착시키지 않으면, 청정하지 않은 공기가 장치와 가이드 사이로부터 말려들어버릴 우려가 있다. 이와 같이, 국소 공기 청정화 장치의 청정공기 취출장치의 설치에 노동력을 필요로 할 우려가 있다. 이 때문에, 용이하게 설치할 수 있는 청정공기 취출장치가 요구되고 있다.
본 발명은, 상기 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 용이하게 설치할 수 있는 청정공기 취출장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 제1관점에 따른 청정공기 취출장치는,
청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 취출면을 지니는 푸쉬 후드를 포함하되,
상기 푸쉬 후드는, 해당 푸쉬 후드를 설치하면 형성되는 해당 푸쉬 후드의 공기류 취출면의 둘레방향에 있어서 근접하는 둘레벽에 대해서, 청정공기의 충돌 기류를 발생시키기 위한 측방 공기 취출부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2관점에 따른 청정공기 취출장치는,
청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 취출면을 지니는 푸쉬 후드를 포함하되,
상기 푸쉬 후드는, 상기 공기류 취출면의 전체 측면에, 청정화된 균일 공기류를 취출하는 측방 공기 취출부가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 측방 공기 취출부는, 해당 측방 공기 취출부가 설치되어 있는 면의 상기 공기류 취출면의 둘레방향에 걸쳐서 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 푸쉬 후드는, 예를 들어, 복수의 푸쉬 후드를 연결해서 이루어진다.
상기 공기류 취출면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은 0.1 내지 1.0m/s인 것이 바람직하다.
상기 공기류 취출면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은 0.2 내지 0.5m/s인 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 용이하게 설치할 수 있는 청정공기 취출장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 청정공기 취출장치를 나타낸 도면;
도 2는 푸쉬 후드의 구조를 나타낸 도면;
도 3은 종래의 푸쉬 후드와 바닥면 사이의 공기류의 흐름을 설명하기 위한 도면;
도 4는 본 발명의 푸쉬 후드와 바닥면 사이의 공기류의 흐름을 설명하기 위한 도면;
도 5는 다른 실시형태의 푸쉬 후드의 구조를 나타낸 도면;
도 6은 다른 실시형태의 푸쉬 후드의 구조를 나타낸 도면;
도 7은 격차 시험의 측정 위치를 나타낸 도면;
도 8은 실시예 1 내지 4 및 비교예 1 내지 8의 장치 및 측정 위치를 설명하기 위한 도면;
도 9는 실시예 5 및 비교예 9의 장치 및 측정 위치를 설명하기 위한 도면;
도 10은 실시예 6의 측정 위치를 설명하기 위한 도면.
이하, 본 발명의 청정공기 취출장치에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다.
도 1에 본 실시형태의 청정공기 취출장치를 나타낸다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태의 청정공기 취출장치(1)는 푸쉬 후드(2)를 구비하고 있다.
푸쉬 후드(2)는, 기본적으로는, 청정화된 균일 공기류를 취출하는 기구를 구비하는 것이면 되고, 종래부터 푸시 풀형 환기 장치에 이용되고 있는 푸쉬 후드를 기본적 구조로 해서, 청정용 필터를 내부에 설치한 구조를 채용할 수 있다. 단, 후술하는 바와 같이, 푸쉬 후드(2)는, 푸쉬 후드(2)를 설치하면 형성되는 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면의 둘레방향에 있어서 근접하는 둘레벽, 예를 들어, 바닥면, 가이드, 벽면 등에 대해서, 청정공기의 충돌 기류를 발생시키기 위한 측방 공기 취출부가 설치되어 있다.
여기에서 말하는 균일 공기류 및 균일 흐름은, 하야시 타로(林太郎) 저 「공장환기」(공기조화·위생공학회 1982년 발행)에 기재된 균일 흐름과 동의어이며, 균일하게 연속하여, 큰 소용돌이부가 생기지 않는 미풍속의 흐름을 말한다. 단, 본 발명은, 공기의 유속 및 속도 분포를 엄밀하게 규정한 공기 취출 장치를 제공하고자 하는 것은 아니다. 균일 공기류는, 예를 들어, 장해물이 없는 상태에서의 속도분포의 편차가, 그 평균치에 대해서 ±50% 이내, 나아가서는 ±30% 이내인 것이 바람직하다.
도 2에 푸쉬 후드(2)의 구조를 나타낸다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2)의 하우징(21)은, 대략 직방체 형상으로 형성되어, 그 한면에 공기류 흡입면(22)이 형성되어 있다. 공기류 흡입면(22)은, 예를 들어, 하우징(21)의 한면 전체에 복수의 구멍이 형성된 면으로 이루어진다. 공기류 흡입면(22)에서는, 이 구멍으로부터 푸쉬 후드(2)의 외부의 주변 공기인 외기나 실내 공기를 받아들인다. 또한, 하우징(21)의 공기류 흡입면(22)과 대향하는 다른 면에는, 공기 취출면(23)이 형성되어 있다. 공기 취출면(23)은, 예를 들어, 하우징(21)의 한면 전체에 복수의 구멍이 형성된 면으로 이루어진다. 공기 취출면(23)에서는, 이 구멍으로부터 푸쉬 후드(2) 내에서 형성된 청정공기의 균일 공기류가 푸쉬 후드(2)의 외부로 취출된다. 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23)의 크기는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어, 1050㎜×850㎜이다. 또한, 공기류 취출면(23)으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은, 0.1 내지 1.0m/s인 것이 바람직하며, 0.2 내지 0.5m/s인 것이 더욱 바람직하다.
하우징(21) 내에는, 송풍 기구(24)와, 고성능 필터(25)와, 정류 기구(26)가 배치되어 있다.
송풍 기구(24)는 하우징(21) 내의 공기류 흡입면(22) 측에 배치되어 있다. 송풍 기구(24)는 공기취출용의 팬 등으로 구성되어 있다. 송풍 기구(24)는, 푸쉬 후드(2)의 주변 공기인 외기나 실내 공기를 공기류 흡입면(22)로부터 받아들이는 동시에, 공기류 취출면(23)으로부터 공기류를 취출한다. 또한, 송풍 기구(24)는, 팬의 취출력을 제어함으로써, 공기류 취출면(23)으로부터 취출되는 공기류의 유속을 가변할 수 있도록 형성되어 있다.
고성능 필터(25)는, 송풍 기구(24)와 정류 기구(26) 사이에 배치되어 있다. 고성능 필터(25)는, 받아들인 주변 공기를 여과하기 위한 HEPA 필터(High Efficiency Particulate Air Filter)나 ULPA 필터(Ultra Low Penetration Air Filter) 등의 청정화 수준에 따른 고성능 필터로 구성되어 있다. 고성능 필터(25)는, 송풍 기구(24)에 의해 받아들인 주변 공기를 소망의 세정화 수준의 청정공기로 청정화한다. 고성능 필터(25)에 의해 소망의 세정화 수준으로 청정화된 청정공기는, 송풍 기구(24)에 의해 정류 기구(26)에 보내진다.
정류 기구(26)는, 고성능 필터(25)과 공기류 취출면(23) 사이에 배치되어 있다. 정류 기구(26)는, 도시하지 않은 공기 저항체를 구비하고 있으며, 그것은 펀칭 플레이트나 망상 부재 등으로 형성되어 있다. 정류 기구(26)는, 고성능 필터(25)로부터 송풍되어, 공기류 개구면(23) 전체에 대해서 통기량에 편향이 있는 송풍 공기를, 공기류 개구면(23) 전체에 대해서 통기량에 편향이 없는 균일화된 공기류(균일 공기류)로 보정(정류)한다. 이 정류된 균일 공기류가, 송풍 기구(24)에 의해, 공기류 개구면(23) 전체로부터 푸쉬 후드(2)의 외부로 취출된다.
또한, 푸쉬 후드(2)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 하우징(21) 내의 공기류 흡입면(22)과 송풍 기구(24) 사이에, 전치 필터(27)가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 전치 필터(27)로서는, 예를 들어, 중성능 필터를 들 수 있다. 공기류 흡입면(22)과 송풍 기구(24) 사이에 전치 필터(27)을 배치함으로써, 공기류 흡입면(22)을 개재해서 하우징(21) 내부에 흡입된 주변 공기에 포함되는 비교적 큰 분진을 제거할 수 있다. 이와 같이 주변 공기에 포함되는 분진의 크기에 따라서 다단계로 분진을 제거할 수 있으므로, 막힘 등이 생기기 쉬운 고성능 필터(25)의 성능을 장기간 유지할 수 있다.
푸쉬 후드(2)에는, 바닥면(둘레벽)에 대해서, 청정공기의 충돌 기류를 발생시키기 위한 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있다. 측방 공기 취출부(28)는, 정류 기구(26)에 의해 정류된 균일 공기류의 일부를 하우징(21)의 밑면으로부터 바닥면에 취출하는 구조인 것이라면 되고, 예를 들어, 도 2에 나타낸 바와 같이, 정류 기구(26)와 하우징(21)의 밑면을 연통하는 복수의 구멍으로 형성되어 있다.
여기에서, 측방 공기 취출부(28)의 복수의 구멍은, 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있는 면(도 2의 하부면)의 측방 공기 취출부(28)의 둘레방향(폭방향)에 걸쳐서 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또, 측방 공기 취출부(28)로부터 취출되는 공기류의 풍속은 균일한 것이 바람직하다. 또한, 공기류 취출면(23)으로부터 취출되는 공기류의 풍속은, 측방 공기 취출부(28)로부터 취출되는 공기류의 풍속과 동일한 것이 바람직하다. 또, 측방 공기 취출부(28)로부터 취출된 공기류가 충돌하는 둘레벽과, 푸쉬 후드의 둘레벽과 근접하는 면의 거리는, 일정한 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로써, 측방 공기 취출부(28)와 바닥면 사이의 영역에 주변 공기가 진입하기 어려워지기 때문이다.
이와 같이 구성된 푸쉬 후드(2)에서는, 송풍 기구(24)에 의해 받아들인 주변 공기가 전치 필터(27), 및 고성능 필터(25)에 의해 소망의 세정화 수준의 청정공기로 청정화된다. 그리고, 청정화된 청정공기는 정류 기구(26)에 의해서 균일 공기류로 정류된다. 이와 같이 청정화된 균일 공기류는 공기류 취출면(23) 전체로부터 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23)에 거의 수직방향으로 외부를 향해서 취출된다. 또한, 청정화된 균일 공기류의 일부가 측방 공기 취출부(28)로부터 푸쉬 후드(2)의 밑면에 거의 수직방향으로 바닥면을 향해서 취출된다.
특허문헌 1의 국소 공기 청정화 장치로는, 청정화된 균일 공기류를 취출하는 푸쉬 후드가 직접적으로 책상 등에 설치되어 있지만, 방진 고무 등을 책상과 맞대는 면에 끼우지 않으면, 푸쉬 후드를 가동시켰을 때의 진동이 책상에 전달되어 버린다. 이 때문에, 방진 고무를 끼웠을 경우에는, 책상과 푸쉬 후드 사이에 간극이 생기기 쉽다. 이와 같이, 책상과 푸쉬 후드 사이에 간극이 생기면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드로부터 취출하는 균일 공기류에 유인되어서, 실내의 청정화되어 있지 않은 공기가 청정화한 균일 공기류에 말려들어버린다.
이것에 대해서, 본 발명의 푸쉬 후드(2)는, 그 밑면에 정류 기구(26)에 의해 정류된 균일 공기류의 일부를 취출하는 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있으므로, 측방 공기 취출부(28)로부터 취출된 균일 공기류가 바닥면과 충돌한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 측방 공기 취출부(28)로부터 취출된 균일 공기류가 바닥면과 충돌하면, 충돌한 균일 공기류의 일부가 부딪친 바닥면의 외측에 유출하고 있으므로, 푸쉬 후드(2)의 공기류 흡입면(22) 측의 공기(국소 공기 청정화 장치 외부의 주변 공기)가 바닥면과 측방 공기 취출부(28) 사이의 영역에 진입하는 것이 없어진다. 이 때문에, 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23) 측의 영역의 세정도가 유지된다. 따라서, 청정공기 취출장치(1)와 바닥면이 기밀상태로 되도록 밀착시켜서 설치할 필요가 없어, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있다.
여기에서, 바닥면(둘레벽)과 측방 공기 취출부(28)(푸쉬 후드(2))의 거리는, 50㎜ 이하인 것이 바람직하며, 20㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써, 푸쉬 후드(2)의 공기류 흡입면(22) 측의 공기가 바닥면과 측방 공기 취출부(28) 사이의 영역에, 더욱 진입하기 어려워져, 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23) 측의 영역의 세정도가 유지되기 때문이다.
또, 측방 공기 취출부(28)로부터 취출된 균일 공기류가 바닥면(둘레벽)과 충돌하고, 충돌한 균일 공기류가, 공기류로부터 취출하는 균일 공기류와 교차할 때에는, 각각의 풍속이 같은 정도가 되는 것이 바람직하다. 그러한 것에 의해, 공기류 개구면(23)으로부터 취출하는 균일 공기류의 균일성이 유지되기 때문이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 국소 공기 청정화 장치(1)에 따르면, 푸쉬 후드(2)의 밑면에 정류 기구(26)에 의해 정류된 균일 공기류의 일부를 취출하는 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있으므로, 청정공기 취출장치(1)의 공기류 흡입면(22) 측(국소 공기 청정화 장치 외부)의 주변 공기가 바닥면과 측방 공기 취출부(28) 사이의 영역에 진입하는 일이 없어지며, 이 때문에, 청정공기 취출장치(1)와 바닥면을 비롯한 둘레벽이 기밀상태로 되도록 밀착시켜서 설치할 필요가 없어, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있다.
또, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되지 않고, 다양한 변형, 응용이 가능하다. 이하, 본 발명에 적용가능한 다른 실시형태에 대해서 설명한다.
상기 실시형태에서는, 푸쉬 후드(2)에 근접하는 부재로서, 바닥의 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 푸쉬 후드(2)에 근접하는 부재와 대향하는 면에 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있으면 되고, 예를 들어, 도 5에 나타낸 바와 같이, 측방 공기 취출부(28)가, 푸쉬 후드(2)의 바닥면과 대향하는 위치뿐만 아니라, 푸쉬 후드(2)에 설치된 가이드(3)와 대향하는 위치에도 설치되어 있어도 된다. 이 경우, 푸쉬 후드(2)의 밑면에 바닥면을 향해서 청정화된 균일 공기류를 취출하는 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있는 동시에, 푸쉬 후드(2)의 측면, 푸쉬 후드(2)의 표면에, 가이드(3)를 향해서 청정화된 균일 공기류를 취출하는 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있다.
특허문헌 1의 푸쉬 후드에 (청정화된 균일 공기류를 멀리까지 반송하기 위하여) 가이드를 설치할 경우에는, 푸쉬 후드와 가이드를 기밀상태로 접속하지 않으면, 푸쉬 후드와 가이드의 간극으로부터 청정화되어 있지 않은 공기가 혼입되어 버려, 푸쉬 후드로부터 취출하는 청정화된 균일 공기류가 오염되어 버린다. 이것에 대해서, 본 발명의 푸쉬 후드(2)에서는, 가이드(3)와 대향하는 면에 측방 공기 취출부(28)가 설치되어, 측방 공기 취출부(28)로부터 청정화된 공기가 취출되고 있다. 이 때문에, 가이드(3)와 측방 공기 취출부(28) 사이에서 외측으로 흘러가게 하도록 공기가 유출되어, 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23)으로부터 취출하는 청정화된 균일 공기류가 오염되는 것이 없어진다. 이 때문에, 푸쉬 후드(2)와 가이드(3)의 접속부가 기밀상태가 되도록 밀착시켜서 설치할 필요가 없어, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있다.
또한, 푸쉬 후드(2)(의 측면)에 벽이 근접하고 있을 경우, 이 벽과 대향하는 면에 측방 공기 취출부(28)를 설치해도 된다. 이 경우, 푸쉬 후드(2)와 벽의 접속부가 기밀상태가 되도록 밀착시켜서 설치할 필요가 없어, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 푸쉬 후드(2)가 1개의 푸쉬 후드로 구성되어 있을 경우를 예로 본 발명을 설명했지만, 푸쉬 후드(2)를 구성하는 푸쉬 후드의 수는 2개이상이어도 된다. 예를 들어, 푸쉬 후드(2)가 연결 기구에 의해 4개(세로 2개×가로 2개)의 푸쉬 후드가 연결되어 있어도 된다. 또, 푸쉬 후드(2)가 연결 기구에 의해 9개(세로 3개×가로 3개)의 푸쉬 후드가 연결되어 있어도 된다. 이들과 같이 푸쉬 후드(2)가 연결될 경우에는, 푸쉬 후드의 공기류 개구면이 동일방향이고, 푸쉬 후드의 짧은 변끼리, 긴 변끼리가 각각 이웃하도록 배열된다. 예를 들어, 도 6에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2)가, 연결 기구에 의해, 9개의 푸쉬 후드가 그 공기류 개구면이 동일방향이고, 푸쉬 후드의 짧은 변끼리, 긴 변끼리가 각각 이웃하도록 배열해서 연결되어 있을 경우, 설치되는 바닥면과 대향하는 밑면을 가지지 않는 푸쉬 후드(2d 내지 2i)에는, 종래부터 푸시 풀형 환기 장치에 이용되고 있는 푸쉬 후드를 채용할 수 있다. 또한, 푸쉬 후드(2)가 설치되는 바닥면과 대향하는 밑면을 지니는 푸쉬 후드(2a 내지 2c)에는, 종래의 푸쉬 후드의 구조에, 또한, 바닥면을 향해서 청정화된 균일 공기류를 취출하는 측방 공기 취출부(28)가 설치되어 있다. 이 경우에도 푸쉬 후드(2)의 밑면과 대향하는 위치에 측방 공기 취출부(28)를 설치함으로써, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있다.
또, 푸쉬 후드(2)는 밑면에 캐스터(caster)를 설치한 구조로 해도 된다. 이 경우, 푸쉬 후드(2)를 용이하게 이동시키는 것이 가능하다. 이 푸쉬 후드(2)는, 국소 공기 청정화 장치에 이용할 뿐만 아니라, 푸시 풀형 환기 장치의 푸쉬 후드로서 이용가능한 것은 말할 필요도 없는 것이다. 또한, 푸쉬 후드(2)의 형상은 대략 직방체로 한정되는 것은 아니다.
실시예
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 나타내고, 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.
우선, 푸쉬 후드(2)의 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출함으로써 공기류 취출면(23)으로부터 취출되는 공기류의 풍속에 편차가 생기는지의 여부를 확인하였다. 푸쉬 후드(2)의 하부면에 설치된 측방 공기 취출부(28)로부터 바닥면을 향해서 공기류를 취출한 경우와 취출하지 않은 경우에 대해서, 풍속 0.2 내지 0.5m/s로 변화시키고, 도 7에 나타낸 측정 위치의 풍속을 측정하였다. 이때의 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23)의 크기는, 세로 300㎜, 가로 500㎜로 하였다. 또, 측방 공기 취출부(28)로부터의 공기류의 취출 폭은 10㎜로 하였다. 또한, 푸쉬 후드(2)에는, 바닥면과 접하는 면에 4개소(도시생략)의 방진 고무가 설치되어 있고, 바닥면과 푸쉬 후드(2)의 바닥면과 근접하는 면의 거리는 약 5㎜로 되어 있다. 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하지 않는 결과를 표 1에 나타내고, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출한 결과를 표 2에 나타낸다.
Figure 112014026070778-pct00001
Figure 112014026070778-pct00002
표 1 및 표 2에 나타낸 바와 같이, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하는지의 여부에 관계 없이, 공기류 취출면(23)으로부터 취출되는 공기류의 풍속에 편차가 생기지 않는 것을 확인할 수 있었다.
(실시예 1 내지 4, 비교예 1 내지 8)
도 8에 나타낸 바와 같이, 테이블(T) 상에, 본 발명의 청정공기 취출장치(1)를 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(23)이 대향하도록 배치하고, 풍속 및 푸쉬 후드(2) 사이의 거리(L)를 변화시킨 경우에 대해서, A면(L/2), Ｂ면(L/3), C면(L/6)에서 청정도의 측정을 행하였다. 본 예에서는, 공기류 취출면(23)으로부터 공기류를 취출하는 동시에, 푸쉬 후드(2)의 하부면에 설치된 측방 공기 취출부(28)로부터 바닥면을 향해서 공기류를 취출하고 있다. 각 면에서는, 3분할한 중점의 합계 9점에 대해서 청정도의 측정을 행하였다. 청정도의 측정은, PMS사 제품인 LASAIR-II를 이용해서, 입자 직경 0.3㎛의 분진수(개/CF)를 측정하였다. 청정도는, 300개/CF 이하인 경우를 높은 청정도인 것으로 평가하였다. 결과를 표 3 내지 6에 나타낸다. 또한, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하지 않을 경우(비교예 1 내지 4)를 표 7 내지 10에 나타낸다.
Figure 112014026070778-pct00003
Figure 112014026070778-pct00004
Figure 112014026070778-pct00005
Figure 112014026070778-pct00006
Figure 112014026070778-pct00007
Figure 112014026070778-pct00008
Figure 112014026070778-pct00009
Figure 112014026070778-pct00010
표 7 내지 10에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2)의 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하지 않으면, 푸쉬 후드(2) 사이의 거리(L)가 550㎜로, A면 내지 C면의 모든 하부 영역에서 세정도의 결과가 나빠지는데 대해서, 표 3 내지 6에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2)의 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출함으로써, 푸쉬 후드(2) 사이의 거리(L)를 더욱 넓혀도, 세정도가 양호한 결과로 되는 것을 확인하였다. 이 때문에, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있는 것을 확인하였다.
(실시예 5, 비교예 9)
도 9에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2)에 길이 12m의 가이드(3)가 설치되어, 푸쉬 후드(2)의 공기류 취출면(정면 취출면)(23)의 전체 측면(측면 취출면(상), 측면 취출면(하), 측면 취출면(좌) 및 측면 취출면(우))에 측방 공기 취출부(28)가 설치된 청정공기 취출장치(1)를 이용한 경우에 대해서, 푸쉬 후드(2)로부터 6m의 위치(면)에서 청정도의 측정을 행하였다. 본 예에서는, 9개(세로 3개×가로3개)의 푸쉬 후드(2)를 그 공기류 개구면이 동일방향이고, 푸쉬 후드(2a)의 짧은 변끼리, 긴 변끼리가 각각 이웃하도록 배열해서 연결되어 있다. 또한, 본 예에서는, 공기류 취출면(23)으로부터 공기류를 취출하는 동시에, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하고 있다. 공기류의 풍속은 0.2m/s로 하였다. 측정 위치는, 전체 높이의 1/2(상) 및 전체 높이의 1/6(하)의 높이의 3분할한 중점의 합계 6점으로 하였다. 청정도의 측정은, 실시예 1 내지 4와 마찬가지이다. 이 결과를 표 11에 나타낸다. 또한, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하지 않을 경우(비교예 5)를 표 12에 나타낸다.
Figure 112014026070778-pct00011
Figure 112014026070778-pct00012
표 11 및 표 12에 나타낸 바와 같이, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출함으로써, 세정도가 양호한 결과로 되는 것을 확인하였다. 이 때문에, 청정공기 취출장치(1)의 푸쉬 후드(2)에 가이드(3)가 설치되어 있어도, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있는 것을 확인하였다.
(실시예 6)
실시예 5와 마찬가지로, 도 9에 나타낸 청정공기 취출장치(1)를 이용한 경우에 대해서, 푸쉬 후드(2)와 가이드(3) 사이의 도 10에 나타낸 가이드(3) 내의 측 방 상부(측정점 1), 측방 하부(측정점 2)의 2점의 청정도의 측정을 행하였다. 본 예에서는, 공기류 취출면(23)으로부터 공기류를 취출하는 동시에, 측방 공기 취출부(28)로부터 공기류를 취출하고 있다. 공기류의 풍속은 0.3m/s로 하였다. 또한, 비교를 위하여, 청정공기 취출장치(1) 밖(가이드 외)의 측방 상부(측정점 3), 측방 하부(측정점 4)에 대해서도 청정도의 측정을 행하였다. 청정도의 측정은, 실시예 1 내지 5와 마찬가지이다. 또한, 측정 점 1, 2에서의 풍속의 측정을 행하였다. 이들 결과를 표 13에 나타낸다.
Figure 112014026070778-pct00013
표 13에 나타낸 바와 같이, 푸쉬 후드(2)와 가이드(3) 사이에 대해서도 세정도가 양호한 결과로 되는 것을 확인하였다. 또한, 공기류의 풍속에 대해서 변화가 생기지 않는 것을 확인하였다. 이 때문에, 청정공기 취출장치(1)의 푸쉬 후드(2)에 가이드(3)이 설치되어 있어도, 청정공기 취출장치(1)를 용이하게 설치할 수 있는 것을 확인하였다.
본 출원은, 2011년 10월 3일에 출원된 일본국 특허출원 제2011-219659호 및 2012년5월22일에 출원된 일본국 특허출원 제2012-116855호에 의거한다. 본 명세서 중에, 일본국 특허출원 제2011-219659호 및 일본국 특허출원 제2012-116855호의 명세서, 특허청구의 범위, 도면 전체를 참조로서 받아들이는 것으로 한다.
본 발명은 청정공기 취출장치에 유용하다.
1: 청정공기 취출장치 2: 푸쉬 후드
21: 하우징 22: 공기류 흡입면
23: 공기 취출면 24: 송풍 기구
25: 고성능 필터 26: 정류 기구
27: 전치 필터 28: 측방 공기 취출부

Claims (10)

  1. 청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 취출면을 지니는 푸쉬 후드를 포함하되,
    상기 푸쉬 후드는, 해당 푸쉬 후드를 설치하면 형성되는 해당 푸쉬 후드의 공기류 취출면의 둘레방향에 있어서 근접하는 둘레벽에 대해서, 청정공기의 충돌 기류를 발생시키기 위한 측방 공기 취출부가 설치되고,
    상기 측방 공기 취출부로부터 취출된 청정 공기는, 상기 둘레벽에 충돌하여 충돌기류를 발생시키고, 해당 발생한 충돌 기류가 상기 푸쉬 후드의 정면 측 및 배면 측으로 나뉘어지는 것에 의해, 상기 측방 공기 취출부와 상기 둘레벽 사이의 영역에 상기 푸쉬 후드의 배면 측의 주변 공기가 진입되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  2. 청정화된 균일 공기류를 취출하는 공기류 취출면을 지니는 푸쉬 후드를 포함하되,
    상기 푸쉬 후드는, 상기 공기류 취출면의 전체 측면에, 청정화된 균일 공기류를 취출하는 측방 공기 취출부가 설치되고,
    상기 측방 공기 취출부로부터 취출된 균일 공기류에 의해, 상기 측방 공기 취출부 측으로부터 상기 푸쉬 후드의 배면 측의 주변 공기가 진입되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 측방 공기 취출부는, 해당 측방 공기 취출부가 설치되어 있는 면의 상기 공기류 취출면의 둘레방향에 걸쳐서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 푸쉬 후드는 복수의 푸쉬 후드를 연결해서 이루어진 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 공기류 취출면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은 0.1 내지 1.0m/s인 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 공기류 취출면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은 0.2 내지 0.5m/s인 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 측방 공기 취출부는, 해당 측방 공기 취출부가 설치되어 있는 면의 상기 공기류 취출면의 둘레방향에 걸쳐서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 푸쉬 후드는 복수의 푸쉬 후드를 연결해서 이루어진 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 공기류 취출면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은 0.1 내지 1.0m/s인 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 공기류 취출면으로부터 취출되는 청정화된 균일 공기류의 유속은 0.2 내지 0.5m/s인 것을 특징으로 하는 청정공기 취출장치.
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