JPH11218355A - フィルタ一体型気流吹き出しユニット - Google Patents
フィルタ一体型気流吹き出しユニットInfo
- Publication number
- JPH11218355A JPH11218355A JP10021128A JP2112898A JPH11218355A JP H11218355 A JPH11218355 A JP H11218355A JP 10021128 A JP10021128 A JP 10021128A JP 2112898 A JP2112898 A JP 2112898A JP H11218355 A JPH11218355 A JP H11218355A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- air
- airflow
- unit
- air flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルタの補足効率を低下することなく、高
い面風速が得られ、もって、汚染物を速やかに排除しフ
ィルタ面から遠い距離まで清浄な空気を強い勢いで供給
することができるフィルタ一体型気流吹き出しユニット
を提供する。 【解決手段】 アダプタ１ｃは、下部の吹き出し開口面
１ｄに向かって漏斗状の絞り形状をなし、下部が切り欠
かれた角錐状となっている。アダプタ１ｃの下端部は縦
断面図上で直線状となる垂直ガイド部１ｅとなってい
る。アダプタ１ｃの中心軸はユニット本体１ａおよび空
気フィルタ１ｂの中心軸と一致している。吹き出し開口
面１ｄから吹き出される単位面積あたりの風量が増大す
るため、吹き出し開口面１ｄにおいては空気フィルタ１
ｂの通過時よりも風速が増加する。
い面風速が得られ、もって、汚染物を速やかに排除しフ
ィルタ面から遠い距離まで清浄な空気を強い勢いで供給
することができるフィルタ一体型気流吹き出しユニット
を提供する。 【解決手段】 アダプタ１ｃは、下部の吹き出し開口面
１ｄに向かって漏斗状の絞り形状をなし、下部が切り欠
かれた角錐状となっている。アダプタ１ｃの下端部は縦
断面図上で直線状となる垂直ガイド部１ｅとなってい
る。アダプタ１ｃの中心軸はユニット本体１ａおよび空
気フィルタ１ｂの中心軸と一致している。吹き出し開口
面１ｄから吹き出される単位面積あたりの風量が増大す
るため、吹き出し開口面１ｄにおいては空気フィルタ１
ｂの通過時よりも風速が増加する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子機器、精密
機械、薬品および食品等の産業分野に使用されるクリー
ンルーム内に配設されるフィルタ一体型気流吹き出しユ
ニットに関する。
機械、薬品および食品等の産業分野に使用されるクリー
ンルーム内に配設されるフィルタ一体型気流吹き出しユ
ニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、そこで行われる作業
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで、汚染が問題にな
る場合に設けられる。
に対して有害な汚染物を制御することができる室であ
り、生産工場、病院、研究施設などで、汚染が問題にな
る場合に設けられる。
【０００３】従来、クリーンルーム内では、空気中の浮
遊粉塵が規定されたレベル以下に管理されていて、必要
に応じて温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条
件も管理される。その際のクリーンルーム内への吹き出
し風速は、空気吹き出し口に配設されたフィルタの捕捉
効率（クリーンルームの清浄度）を維持するため、所定
の面風速（フィルタを通過する空気量をフィルタ面積で
割った値）が決まっており、一般に制限される。
遊粉塵が規定されたレベル以下に管理されていて、必要
に応じて温度、湿度、圧力、静電気、振動などの環境条
件も管理される。その際のクリーンルーム内への吹き出
し風速は、空気吹き出し口に配設されたフィルタの捕捉
効率（クリーンルームの清浄度）を維持するため、所定
の面風速（フィルタを通過する空気量をフィルタ面積で
割った値）が決まっており、一般に制限される。
【０００４】ところが、粉塵等の汚染物が発生しやすい
場合に、この汚染物を速やかに排除するため、フィルタ
の面風速よりも大きい風速が必要とされるとともに、フ
ィルタ面から遠い距離まで清浄な空気を強い勢いで供給
する必要が生じる。
場合に、この汚染物を速やかに排除するため、フィルタ
の面風速よりも大きい風速が必要とされるとともに、フ
ィルタ面から遠い距離まで清浄な空気を強い勢いで供給
する必要が生じる。
【０００５】これに対し、例えば、特開平８−２４７５
１０号に開示されたような室内空気循環システムを備え
たクリーンルームを採用することも可能である。すなわ
ち、天井エリアにフィルタユニットを配設するととも
に、このフィルタユニットの上部側にファンを配設し、
空気流通孔を設けた床の床下エリアに吸引装置を配設す
ることも可能である。
１０号に開示されたような室内空気循環システムを備え
たクリーンルームを採用することも可能である。すなわ
ち、天井エリアにフィルタユニットを配設するととも
に、このフィルタユニットの上部側にファンを配設し、
空気流通孔を設けた床の床下エリアに吸引装置を配設す
ることも可能である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなク
リーンルームにおいては、フィルタユニットに配設され
たファンを駆動する関係上、省エネルギー化（地球温暖
化防止等の観点からこの要請は大きい）を図ることがで
きず、しかも、このファンが配設された場所ではフィル
タの空気通過量が大きいため、当該フィルタの捕捉効率
の悪化によりクリーンルーム内の清浄度のレベルが低下
したり、寿命が短くなりメンテナンスコストが増加す
る。
リーンルームにおいては、フィルタユニットに配設され
たファンを駆動する関係上、省エネルギー化（地球温暖
化防止等の観点からこの要請は大きい）を図ることがで
きず、しかも、このファンが配設された場所ではフィル
タの空気通過量が大きいため、当該フィルタの捕捉効率
の悪化によりクリーンルーム内の清浄度のレベルが低下
したり、寿命が短くなりメンテナンスコストが増加す
る。
【０００７】そこで、この発明は、このような従来の課
題に着目してなされたもので、室内等に供給される全風
量を変えずにフィルタの面風速より大きい風速が得ら
れ、汚染物等を速やかに排除しフィルタ面から遠い距離
まで清浄な空気を強い勢いで供給することができ、しか
も省エネルギーの要請に反せず、清浄度のレベルを低下
させず、フィルタの寿命が短くなるといった問題を生じ
ることのない、フィルタ一体型気流吹き出しユニットを
提供することを目的とするものである。
題に着目してなされたもので、室内等に供給される全風
量を変えずにフィルタの面風速より大きい風速が得ら
れ、汚染物等を速やかに排除しフィルタ面から遠い距離
まで清浄な空気を強い勢いで供給することができ、しか
も省エネルギーの要請に反せず、清浄度のレベルを低下
させず、フィルタの寿命が短くなるといった問題を生じ
ることのない、フィルタ一体型気流吹き出しユニットを
提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明のフィルタ一体型気流吹き出しユニット
は、空気フィルタを一体的に備えたフィルタ一体型気流
吹き出しユニットにおいて、前記空気フィルタの下流側
に気流吹き出し口を連結するとともに、前記気流吹き出
し口の吹き出し開口面を前記空気フィルタの吹き出し開
口面より小さな面積に形成してなることを特徴とする。
に、この発明のフィルタ一体型気流吹き出しユニット
は、空気フィルタを一体的に備えたフィルタ一体型気流
吹き出しユニットにおいて、前記空気フィルタの下流側
に気流吹き出し口を連結するとともに、前記気流吹き出
し口の吹き出し開口面を前記空気フィルタの吹き出し開
口面より小さな面積に形成してなることを特徴とする。
【０００９】このようなフィルタ一体型気流吹き出しユ
ニットをクリーンルームの適宜な位置に配設すること
で、このユニットを通過する風量が一定の場合、吹き出
し開口面から吹き出される清浄な空気の面風速はフィル
タの面風速より大きくなり、フィルタ面から遠い距離ま
で清浄な空気を強い勢いで供給することができる。
ニットをクリーンルームの適宜な位置に配設すること
で、このユニットを通過する風量が一定の場合、吹き出
し開口面から吹き出される清浄な空気の面風速はフィル
タの面風速より大きくなり、フィルタ面から遠い距離ま
で清浄な空気を強い勢いで供給することができる。
【００１０】ここで、前記気流吹き出し口の下端部が、
縦断面図上で直線状となる垂直ガイド部となっているこ
とが望ましい。このようにすれば、フィルタから吹き出
された気流に対して気流吹き出し口の垂直ガイド部によ
るガイド効果がもたらされ、一方向流に近い清浄空気の
流れをつくることができる。
縦断面図上で直線状となる垂直ガイド部となっているこ
とが望ましい。このようにすれば、フィルタから吹き出
された気流に対して気流吹き出し口の垂直ガイド部によ
るガイド効果がもたらされ、一方向流に近い清浄空気の
流れをつくることができる。
【００１１】また、前記気流吹き出し口の吹き出し開口
面の中心位置は前記空気フィルタのほぼ中心軸上にある
ことが望ましい。このようにすれば、気流の偏りが生じ
にくくなる。
面の中心位置は前記空気フィルタのほぼ中心軸上にある
ことが望ましい。このようにすれば、気流の偏りが生じ
にくくなる。
【００１２】そして、前記気流吹き出し口は着脱可能な
アダプタからなっていることが望ましい。このようアダ
プタを採用することにより、種々の形状のアダプタの中
から最適なものを選択できるとともに、クリーンルーム
内のワーキングエリアのレイアウトが変更されても、容
易に対応が可能となる。
アダプタからなっていることが望ましい。このようアダ
プタを採用することにより、種々の形状のアダプタの中
から最適なものを選択できるとともに、クリーンルーム
内のワーキングエリアのレイアウトが変更されても、容
易に対応が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】この発明の好ましい実施の形態に
ついて、以下、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
ついて、以下、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１４】本実施の形態にかかるフィルタ一体型気流
吹き出しユニット１は、図１（ａ），（ｂ）に示される
ように、ユニット本体１ａ、空気フィルタ１ｂおよび気
流吹き出し口としてのアダプタ１ｃを備えている。ユニ
ット本体１ａは、断面内を上方から空気が通過できるよ
うな構造になっており、その上部より供給される空気
は、空気フィルタ１ｂを通過することにより浮遊粉塵が
捕捉され、アダプタ１ｃの吹き出し開口面１ｄから吹き
出される。
吹き出しユニット１は、図１（ａ），（ｂ）に示される
ように、ユニット本体１ａ、空気フィルタ１ｂおよび気
流吹き出し口としてのアダプタ１ｃを備えている。ユニ
ット本体１ａは、断面内を上方から空気が通過できるよ
うな構造になっており、その上部より供給される空気
は、空気フィルタ１ｂを通過することにより浮遊粉塵が
捕捉され、アダプタ１ｃの吹き出し開口面１ｄから吹き
出される。
【００１５】空気フィルタ１ｂは、直径１μｍ以下の細
いガラス繊維に少量のバインダを加えた紙状の濾材を、
濾材面積を広げるために密に折りたたみ、その間にセパ
レータを入れた構造のフィルタで、粉塵捕集効率が０．
３μｍの粉塵に対して９９．９７％以上のＨＥＰＡフィ
ルタ、または非常に細い繊維で作られた濾材を用いたフ
ィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍの粉塵に対して９
９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィルタからなってい
る。空気フィルタ１ｂは、ユニット本体１ａの下方に、
空気漏れのないように取り付けられる。
いガラス繊維に少量のバインダを加えた紙状の濾材を、
濾材面積を広げるために密に折りたたみ、その間にセパ
レータを入れた構造のフィルタで、粉塵捕集効率が０．
３μｍの粉塵に対して９９．９７％以上のＨＥＰＡフィ
ルタ、または非常に細い繊維で作られた濾材を用いたフ
ィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍの粉塵に対して９
９．９９９９％程度のＵＬＰＡフィルタからなってい
る。空気フィルタ１ｂは、ユニット本体１ａの下方に、
空気漏れのないように取り付けられる。
【００１６】本実施の形態において、ユニット本体１ａ
および空気フィルタ１ｂは略正方形状となっている一
方、アダプタ１ｃは、下部の吹き出し開口面１ｄに向か
って漏斗状の絞り形状をなし、下部が切り欠かれた角錐
状となっている。それぞれの稜線は曲線状となって滑ら
かに絞り形成され、アダプタ１ｃの下端部は縦断面図上
で直線状となる垂直ガイド部１ｅとなっている。また、
アダプタ１ｃの中心軸はユニット本体１ａおよび空気フ
ィルタ１ｂの中心軸とほぼ一致している。そして、本実
施の形態では、吹き出し開口面１ｄの面積は、空気フィ
ルタ１ｂの面積より小さく、例えばその１／４となって
いる。
および空気フィルタ１ｂは略正方形状となっている一
方、アダプタ１ｃは、下部の吹き出し開口面１ｄに向か
って漏斗状の絞り形状をなし、下部が切り欠かれた角錐
状となっている。それぞれの稜線は曲線状となって滑ら
かに絞り形成され、アダプタ１ｃの下端部は縦断面図上
で直線状となる垂直ガイド部１ｅとなっている。また、
アダプタ１ｃの中心軸はユニット本体１ａおよび空気フ
ィルタ１ｂの中心軸とほぼ一致している。そして、本実
施の形態では、吹き出し開口面１ｄの面積は、空気フィ
ルタ１ｂの面積より小さく、例えばその１／４となって
いる。
【００１７】空気フィルタ１ｂを通過した清浄空気はア
ダプタ１ｃの絞り構造によって中心軸方向に集められ、
その結果、吹き出し開口面１ｄから吹き出される単位面
積あたりの風量が増大するため、吹き出し開口面１ｄに
おいては空気フィルタ１ｂの通過時よりも風速が増加
し、下方に向けて強い勢いで清浄な空気が供給される。
ダプタ１ｃの絞り構造によって中心軸方向に集められ、
その結果、吹き出し開口面１ｄから吹き出される単位面
積あたりの風量が増大するため、吹き出し開口面１ｄに
おいては空気フィルタ１ｂの通過時よりも風速が増加
し、下方に向けて強い勢いで清浄な空気が供給される。
【００１８】本実施の形態では、アダプタ１ｃの下端部
が垂直ガイド部１ｅとなっているため、空気フィルタ１
ｂを通過した清浄空気の気流にガイド効果をもたらし、
吹き出し気流の拡散を抑えて一方向流に近い気流をつく
ることができる。
が垂直ガイド部１ｅとなっているため、空気フィルタ１
ｂを通過した清浄空気の気流にガイド効果をもたらし、
吹き出し気流の拡散を抑えて一方向流に近い気流をつく
ることができる。
【００１９】なお、アダプタ１ｃの形状は、図１に示さ
れる形状に限定されるものではなく種々のものが考えら
れ、例えば、図２（ａ）に示すように垂直ガイド部１ｅ
がないものであってもよいし、同図（ｂ）に示すように
図１の垂直ガイド部１ｅのさらに下端部を拡開したもの
としてもよい。また、アダプタ１ｃの稜線は曲線状でな
く直線状となっていてもよい。
れる形状に限定されるものではなく種々のものが考えら
れ、例えば、図２（ａ）に示すように垂直ガイド部１ｅ
がないものであってもよいし、同図（ｂ）に示すように
図１の垂直ガイド部１ｅのさらに下端部を拡開したもの
としてもよい。また、アダプタ１ｃの稜線は曲線状でな
く直線状となっていてもよい。
【００２０】また、図３（ａ）に示すように吹き出し開
口面１ｄの中心位置を空気フィルタ１ｂの中心軸からず
らしてもよいし、同図（ｂ）のように吹き出し開口面１
ｄを側方に向けてもよいし、同図（ｃ）のようにユニッ
ト本体１ａの断面内を側方から空気が通過できるような
構造とすることもできる。
口面１ｄの中心位置を空気フィルタ１ｂの中心軸からず
らしてもよいし、同図（ｂ）のように吹き出し開口面１
ｄを側方に向けてもよいし、同図（ｃ）のようにユニッ
ト本体１ａの断面内を側方から空気が通過できるような
構造とすることもできる。
【００２１】さらに、この発明のフィルタ一体型気流吹
き出しユニット１では、アダプタ１ｃを空気フィルタ１
ｂに対して着脱可能とすれば、種々の形状のアダプタの
中から最適なものを選択できるとともに、クリーンルー
ム内のワーキングエリアのレイアウトが変更されても、
容易に対応が可能となるが、ユニット本体１ａと一体で
あってもよいことは勿論である。
き出しユニット１では、アダプタ１ｃを空気フィルタ１
ｂに対して着脱可能とすれば、種々の形状のアダプタの
中から最適なものを選択できるとともに、クリーンルー
ム内のワーキングエリアのレイアウトが変更されても、
容易に対応が可能となるが、ユニット本体１ａと一体で
あってもよいことは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明の
フィルタ一体型気流吹き出しユニットによれば、空気フ
ィルタの下流側に絞り構造を有する気流吹き出し口を連
結し、気流吹き出し口の吹き出し開口面を空気フィルタ
の吹き出し開口面より小さな面積に形成することによ
り、吹き出し開口面から吹き出される清浄空気の風速を
空気フィルタを通過する風速より大きくすることができ
る。
フィルタ一体型気流吹き出しユニットによれば、空気フ
ィルタの下流側に絞り構造を有する気流吹き出し口を連
結し、気流吹き出し口の吹き出し開口面を空気フィルタ
の吹き出し開口面より小さな面積に形成することによ
り、吹き出し開口面から吹き出される清浄空気の風速を
空気フィルタを通過する風速より大きくすることができ
る。
【００２３】その結果、クリーンルームに供給される全
風量を変えずに空気フィルタの面風速より大きい面風速
が容易に得られ、汚染物等を速やかに排除することがで
きるとともにフィルタ面から遠い距離まで清浄な空気を
強い勢いで供給することが可能になる。
風量を変えずに空気フィルタの面風速より大きい面風速
が容易に得られ、汚染物等を速やかに排除することがで
きるとともにフィルタ面から遠い距離まで清浄な空気を
強い勢いで供給することが可能になる。
【図１】（ａ）は、この発明の一実施形態によるフィル
タ一体型気流吹き出しユニットの縦断面図である。
（ｂ）は、同上フィルタ一体型気流吹き出しユニットの
底面図である。
タ一体型気流吹き出しユニットの縦断面図である。
（ｂ）は、同上フィルタ一体型気流吹き出しユニットの
底面図である。
【図２】（ａ）は、同上ユニットの変形例を示す縦断面
図である。（ｂ）は、同上ユニットのさらに別の変形例
を示す縦断面図である。
図である。（ｂ）は、同上ユニットのさらに別の変形例
を示す縦断面図である。
【図３】（ａ）は、同上ユニットの変形例を示す縦断面
図である。（ｂ）は、同上ユニットの他の変形例を示す
縦断面図である。（ｃ）は、同上ユニットのさらに他の
変形例を示す縦断面図である。
図である。（ｂ）は、同上ユニットの他の変形例を示す
縦断面図である。（ｃ）は、同上ユニットのさらに他の
変形例を示す縦断面図である。
１ フィルタ一体型気流吹き出しユニット １ａ ユニット本体 １ｂ 空気フィルタ １ｃ アダプタ １ｄ 吹き出し開口面 １ｅ 垂直ガイド部
Claims (4)
- 【請求項１】 空気フィルタを一体的に備えたフィルタ
一体型気流吹き出しユニットにおいて、 前記空気フィルタの下流側に気流吹き出し口を連結する
とともに、前記気流吹き出し口の吹き出し開口面を前記
空気フィルタの吹き出し開口面より小さな面積に形成し
てなることを特徴とするフィルタ一体型気流吹き出しユ
ニット。 - 【請求項２】 前記気流吹き出し口の下端部が、縦断面
図上で直線状となる垂直ガイド部となっていることを特
徴とする請求項１に記載のフィルタ一体型気流吹き出し
ユニット。 - 【請求項３】 前記気流吹き出し口の吹き出し開口面の
中心位置は前記空気フィルタのほぼ中心軸上にあること
を特徴とする請求項１または２に記載のフィルタ一体型
気流吹き出しユニット。 - 【請求項４】 前記気流吹き出し口は着脱可能なアダプ
タからなっていることを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載のフィルタ一体型気流吹き出しユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10021128A JPH11218355A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | フィルタ一体型気流吹き出しユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10021128A JPH11218355A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | フィルタ一体型気流吹き出しユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218355A true JPH11218355A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=12046260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10021128A Pending JPH11218355A (ja) | 1998-02-02 | 1998-02-02 | フィルタ一体型気流吹き出しユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11218355A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004311738A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Toppan Printing Co Ltd | 回転塗布装置への清浄な空気の供給方法 |
| WO2013008610A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| CN104903653A (zh) * | 2012-12-07 | 2015-09-09 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| JP2015210053A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 清水建設株式会社 | ファンフィルターユニット、空気清浄化システム、クリーンルーム |
| US9410710B2 (en) | 2011-10-03 | 2016-08-09 | Koken Ltd. | Purified air discharge device |
| US10197302B2 (en) | 2011-07-29 | 2019-02-05 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
-
1998
- 1998-02-02 JP JP10021128A patent/JPH11218355A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004311738A (ja) * | 2003-04-08 | 2004-11-04 | Toppan Printing Co Ltd | 回転塗布装置への清浄な空気の供給方法 |
| WO2013008610A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| JP2013036729A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-02-21 | Koken Ltd | 局所空気清浄化装置 |
| CN103827592A (zh) * | 2011-07-08 | 2014-05-28 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| RU2586050C2 (ru) * | 2011-07-08 | 2016-06-10 | Кокен Лтд. | Устройство локальной очистки воздуха |
| US10161645B2 (en) | 2011-07-08 | 2018-12-25 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
| US10197302B2 (en) | 2011-07-29 | 2019-02-05 | Koken Ltd. | Local air cleaning apparatus |
| US9410710B2 (en) | 2011-10-03 | 2016-08-09 | Koken Ltd. | Purified air discharge device |
| CN104903653A (zh) * | 2012-12-07 | 2015-09-09 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| CN104903653B (zh) * | 2012-12-07 | 2017-08-04 | 兴研株式会社 | 局部空气清洁化装置 |
| US10478874B2 (en) | 2012-12-07 | 2019-11-19 | Koken Ltd. | Local air cleaner |
| JP2015210053A (ja) * | 2014-04-30 | 2015-11-24 | 清水建設株式会社 | ファンフィルターユニット、空気清浄化システム、クリーンルーム |
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